半导体制造控制方法
【专利摘要】本发明公开了一种半导体制造控制方法，应用于实时派工系统中，该方法包括：预先在实时派工系统中建立实时派工数据库，该数据库包括：开始站点和结束站点参数；该方法还包括：A、一批在制品到达虚拟站点后，从制造执行系统中获取该虚拟站点中设定队列时间的信息，确定虚拟站点中包含设定队列时间信息；B、从制造执行系统中获取该批在制品的开始站点和结束站点；C、与实时派工数据库进行比较，如果实时派工数据库中包含与该批在制品对应的开始站点和结束站点值，则判断该批在制品是否满足跳站条件，如果满足，则指示制造执行系统跳过虚拟站点执行后续站点工序。本发明能够快速准确地跳过Dummy站点。
【专利说明】半导体制造控制方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体生产制造领域，特别涉及一种半导体制造控制方法。
【背景技术】
[0002]在现有的晶圆制造中，为了制造出高质量的产品，某些制造工序之间有严格的时间间隔要求，也就是当某一工序完成后，一定要在特定时间内完成另一工序。本领域技术人员将这个特定的设定时间称为设定队列时间(Q-Time)。如图1所示，图1为制造执行系统(MES)的显示示意图。站点2 (St印2)有源区光刻(AA PHOTO)完成后，一定要在72小时内完成站点7 (Step7)有源区刻蚀(AA-ETCH)，这里72小时就是Q-Time的一种:最大允许等待时间。为了严格的满足这种要求，操作员在处理站点I (Stepl)的时候，要了解站点7 (Step7)的产能和站点2 (Step2)到站点7 (Step7)的WIP状况，在确信St印7的产能在72小时之内能完成st印2到st印7之间的WIP后，操作员在MES中手工派工(Manualdispatch)跳过Stepl的虚拟(Dummy)站点,执行step2的工序。这里,在半导体生产线中，各设备确定未完成的晶圆产品，简称为在制品(Work in Process, WIP)。
[0003]上述举例中，St印2为开始站点，St印7为结束站点。St印7的产能、St印7上的WIP量以及从Step2到Step7的安全系数(Safe Ratio),由Step7的操作员通知Stepl的操作员。其他站点上的WIP量由各自站点的操作员通知St印I的操作员。因此，现有技术的派工方法为手工派工方法，具体可以为:
[0004]—批在制品到达Dummy站点后,操作员从MES中获取Dummy站点中Q-Time的信息，根据结束站点的产能、Q-Time以及安全系数，计算安全存量，如果安全存量超过从开始站点到结束站点上的WIP总量，则手工指示MES跳过Dummy站点执行后续站点工序。如果安全存量未超过从开始站点到结束站点上的WIP总量,则不会开始执行后续站点工序。
[0005]现有技术中，并不是每个操作员都能及时地做出正确判断，导致生产周期变长；同时手工派工也带来一定程度的误操作风险，例如，操作员出现失误，在安全存量未超过从开始站点到结束站点上的WIP总量时,仍然手工指示MES跳过Dummy站点执行后续站点工序。通常在整个晶圆制造流程中，还有很多这样的Drnnmy站点。因此,如何改进Drnnmy站点机制，以改善个人判断和手工派工所带来的风险，成为需要解决的重要问题。
【发明内容】
[0006]有鉴于此，本发明要解决的技术问题是:如何快速准确地跳过Dummy站点。
[0007]为解决上述技术问题，本发明的技术方案具体是这样实现的:
[0008]一种半导体制造控制方法，应用于实时派工系统中，该方法包括:预先在实时派工系统中建立实时派工数据库，该数据库包括:开始站点和结束站点参数；该方法还包括:
[0009]A、一批在制品到达虚拟站点后，从制造执行系统中获取该虚拟站点中设定队列时间的信息，确定虚拟站点中包含设定队列时间信息；
[0010]B、从制造执打系统中犾取该批在制品的开始站点和结束站点；[0011]C、与实时派工数据库进行比较，如果实时派工数据库中包含与该批在制品对应的开始站点和结束站点值，则判断该批在制品是否满足跳站条件，如果满足，则指示制造执行系统跳过虚拟站点执行后续站点工序。
[0012]所述实时派工数据库还包括:结束站点的产能，以及从开始站点到结束站点的安全系数，当虚拟站点中的设定队列时间为最大允许等待时间时，则步骤C中判断该批在制品是否满足跳站条件的方法为:根据结束站点的产能、设定队列时间以及从开始站点到结束站点的安全系数，计算安全存量，如果安全存量超过从开始站点到结束站点上的在制品总量，则确认该批在制品满足跳站条件。
[0013]如果安全存量未超过从开始站点到结束站点上的在制品总量，则确认该批在制品不满足跳站条件，流程结束。
[0014]所述安全存量为结束站点的产能*设定队列时间*从开始站点到结束站点的安全系数；所述表示乘号。
[0015]所述从开始站点到结束站点上的在制品总量的获取方法为:从制造执行系统上获取从开始站点到结束站点每个站点上的在制品量，并计算每个站点上的在制品量的和。
[0016]所述结束站点的产能为该站点所有机台和的单位时间产能。
[0017]当虚拟站点中的设定队列时间为最小等待时间时，则步骤C中判断该批在制品是否满足跳站条件的方法为:判断实际等待时间是否大于设定队列时间，如果大于，则确认该批在制品满足跳站条件；所述实际等待时间为从制造执行系统上获取的开始站点开始工作的最小实际等待时间。
[0018]该方法进一步包括:当制造执行系统的虚拟站点中不包含设定队列时间的信息时，则流程结束。
[0019]所述实时派工数据库还包括产品型号，在步骤A和步骤B之间，该方法进一步包括:从制造执行系统获取该批在制品对应的产品型号，与实时派工数据库进行比较，如果实时派工数据库中包含与该批在制品对应的产品型号，则执行步骤B，否则流程结束。
[0020]该方法进一步包括:如果实时派工数据库中不包含与该批在制品对应的开始站点和结束站点，则流程结束。
[0021]由上述的技术方案可见，本发明实施例建立实时派工(Real Time Dispatch, RTD)系统，在实时派工系统中建立实时派工数据库，预先存储结束站点的产能，开始站点和结束站点，以及从开始站点到结束站点的安全系数。然后由实时派工系统判断到达Dummy站点的在制品是否满足跳站条件，如果满足，则指示MES跳过Dummy站点执行后续站点工序。与现有技术技术相比，本发明通过实时派工系统实现自动派工，不需要操作人员手工派工，能够在一批在制品到达Drnnmy站点时,快速准确地跳过Drnnmy站点。
【专利附图】
【附图说明】
[0022]图1为MES的显示示意图。
[0023]图2为本发明半导体制造控制方法的流程示意图。
[0024]图3为本发明第一实施例半导体制造控制方法的流程示意图。
[0025]图4为本发明第二实施例半导体制造控制方法的流程示意图。【具体实施方式】
[0026]为使本发明的目的、技术方案、及优点更加清楚明白，以下参照附图并举实施例，对本发明进一步详细说明。
[0027]本发明的核心思想是:建立实时派工系统，在实时派工系统中建立实时派工数据库，预先存储结束站点的产能，开始站点和结束站点，以及从开始站点到结束站点的安全系数。然后由实时派工系统判断到达Dummy站点的在制品是否满足跳站条件，如果满足，则指示MES跳过Dummy站点执行后续站点工序。与现有技术相比,本发明通过实时派工系统实现自动派工，不需要操作人员手工派工，能够在一批在制品到达Du_y站点时，快速准确地跳过Drnnmy站点。
[0028]本发明半导体制造控制方法的流程示意图如图2所示，其包括以下步骤:
[0029]步骤21、预先在实时派工系统中建立实时派工数据库，该数据库包括:开始站点和结束站点参数；
[0030]步骤22、一批在制品到达虚拟(Dmnmy)站点后，从MES中获取该Drnnmy站点中Q-Time的信息,确定Dummy站点中包含Q-Time信息；
[0031]一批在制品包括多片未完成制造的晶圆，每批在制品的晶圆数量是一定的，而且相同，例如，一般一批晶圆的数量为25片。
[0032]步骤23、从MES中获取该批在制品的开始站点和结束站点；
[0033]步骤24、与实时派工数据库进行比较，如果实时派工数据库中包含与该批在制品对应的开始站点和结束站点值，则判断该批在制品是否满足跳站条件，如果满足，则指示MES跳过Dummy站点执行后续站点工序。
[0034]其中，步骤22中确定Dummy站点中包含Q-Time信息,也就可以确定是哪种Q-Time模式。Q-Time分为两种模式，一种为最大允许等待时间，即至少在多长时间内完成一个站点到其他站点的工序。一种为最小等待时间，即要开始一个站点的工序至少要等待多长时间。因此，当Dummy站点中的Q-Time为最大允许等待时间时,所述实时派工数据库还包括:结束站点的产能，以及从开始站点到结束站点的安全系数，则步骤24中判断该批在制品是否满足跳站条件的方法为:根据结束站点的产能、Q-Time以及从开始站点到结束站点的安全系数，计算安全存量，如果安全存量超过从开始站点到结束站点上的在制品总量，则确认该批在制品满足跳站条件。当Dummy站点中的Q-Time为最小等待时间时,贝U步骤24中判断该批在制品是否满足跳站条件的方法为:判断实际等待时间是否大于Q-Time，如果大于，则确认该批在制品满足跳站条件；Q-Time在两种模式下都是设定值，而实际等待时间为从MES上获取的开始站点开始工作的最小实际等待时间。
[0035]以下结合具体站点工序对本发明的方法进行详细说明。仍然以图1为例。预先在实时派工数据库中存储结束站点St印7的产能，开始站点St印2，结束站点St印7，从St印2至St印7的安全系数为0-1中的某一数值。其中，一个站点可能存在多台机台，St印7的产能为该站点所有机台和的单位时间产能，单位为晶圆片数每小时。从St印2至Step7的安全系数，可以根据操作员的经验进行定义，如果站点机台在Q-Time (72小时)内出现故障的几率比较高，则安全系数较低，反之，安全系数较高。理想情况下，各个站点机台在Q-Time内都正常工作，没有故障发生，这样从St印2至Step7的安全系数等于I。本发明第一实施例半导体制造控制方法流程示意图如图3所示，其包括以下步骤:[0036]实时派工数据库建立完成后，接下来执彳丁步骤31、在制品到达Dummy站点后，从MES中获取该Dummy站点中Q-Time的信息，本实施例中Q-Time为最大允许等待时间。如果MES的Dummy站点中不包含Q-Time的信息时，则流程结束。确定该Dummy站点中包含Q-Time信息后，执行步骤32 ；
[0037]步骤32、从MES中获取该批在制品的开始站点St印2和结束站点St印7 ；
[0038]步骤33、与已建立的实时派工数据库进行比较，找到对应的开始站点St印2和结束站点St印7后执行步骤34 ;如果实时派工数据库中没有存储开始站点St印2和结束站点St印7，则流程结束。
[0039]步骤34、根据结束站点St印7的产能、Q-Time72小时以及从St印2到St印7的安全系数，计算安全存量，其中，安全存量为St印7的产能*72小时*从St印2到St印7的安全系数。
[0040]安全存量是一个计算出来的既定值，将实际站点上的在制品量与这个设定值相比较，如果超出这个设定值，说明站点能力有限，不能完成任务。在该实施例中，如果安全存量超过从Step2到St印7上的在制品总量，说明在72小时内，St印7的产能完全能够处理完从Step2到Step7上的 在制品量,从而确认该批在制品满足跳站条件，指示MES跳过Dummy站点执行Step2的工序。如果安全存量未超过从St印2到St印7上的在制品总量，说明该批在制品还不能开始进入开始站点Step2，需要等待一定时间，从而确认该批在制品不满足跳站条件，流程结束。其中，从Step2到St印7上的在制品总量的获取方法为:从MES上获取从St印2到St印7每个站点上的在制品量，并计算每个站点上的在制品量的和。
[0041]至此，本发明第一实施例的半导体制造控制方法流程结束。上述各个步骤中流程结束指的是将该批在制品保留在Dummy站点中，不作任何处理，等待后续人工进行另外操作处理。
[0042]另外，每批在制品都有对应的产品型号(Product-1D)，这一数据也会在实时派工数据库中进行相应记录，不同的产品型号对应数据库不同的内容，因此在本发明第二实施例中，预先在实时派工数据库中存储结束站点Step7的产能，开始站点Step2，结束站点Step7，从St印2至Step7的安全系数为0_1中的某一数值，以及对应的产品型号。本实施例中Q-Time为最小等待时间，所以实时派工数据库中的结束站点Step7的产能，以及从Step2至Step7的安全系数在本实施例的实时派工数据库中仅是保存，不会在下面步骤中应用到。本发明第二实施例半导体制造控制方法流程示意图如图4所示，其包括以下步骤:
[0043]步骤41、在制品到达Dummy站点后,从MES中获取该Dummy站点中Q-Time的信息，本实施例中Q-Time为最小等待时间，例如开始Step2至少需要等待的时间I小时。如果MES的Dummy站点中不包含Q-Time的信息时,则流程结束。确定该Dummy站点中包含Q-Time信息后，执行步骤42 ；
[0044]步骤42、从MES获取该批在制品对应的产品型号，与已建立的实时派工数据库进行比较，找到实时派工数据库中包含与该批在制品对应的产品型号，则执行步骤43，否则流程结束。
[0045]步骤43、从MES中获取该批在制品的开始站点St印2和结束站点St印7 ；
[0046]步骤44、与已建立的实时派工数据库进行比较，找到对应的开始站点St印2和结束站点St印7后执行步骤45 ;如果实时派工数据库中没有存储开始站点St印2和结束站点St印7，则流程结束。
[0047]步骤45、判断实际等待时间是否大于Q-Timel小时，如果大于，则确认该批在制品满足跳站条件，指示MES跳过Dummy站点执行Step2的工序。如果实际等待时间小于Q-Timel小时，则确认该批在制品不满足跳站条件，流程结束。所述实际等待时间为从MES上获取的开始站点Step2开始工作的等待时间。
[0048]至此，本发明第二实施例的半导体制造控制方法流程结束。
[0049]经过本发明的半导体制造控制方法，由实时派工系统获取信息，进行WIP状况的计算，进而判断是否满足跳站条件，使得Du_y站点不再需要操作人员判断计算产能和WIP状况，不再需要手工派工，从而实现了快速准确地跳过Du_y站点。
[0050]以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并非用于限定本发明的保护范围。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换以及改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
【权利要求】
1.一种半导体制造控制方法，应用于实时派工系统中，该方法包括:预先在实时派工系统中建立实时派工数据库，该数据库包括:开始站点和结束站点参数；该方法还包括: A、一批在制品到达虚拟站点后，从制造执行系统中获取该虚拟站点中设定队列时间的信息，确定虚拟站点中包含设定队列时间信息； B、从制造执彳丁系统中犹取该批在制品的开始站点和结束站点； C、与实时派工数据库进行比较，如果实时派工数据库中包含与该批在制品对应的开始站点和结束站点值，则判断该批在制品是否满足跳站条件，如果满足，则指示制造执行系统跳过虚拟站点执行后续站点工序。
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述实时派工数据库还包括:结束站点的产能，以及从开始站点到结束站点的安全系数，当虚拟站点中的设定队列时间为最大允许等待时间时，则步骤C中判断该批在制品是否满足跳站条件的方法为:根据结束站点的产能、设定队列时间以及从开始站点到结束站点的安全系数，计算安全存量，如果安全存量超过从开始站点到结束站点上的在制品总量，则确认该批在制品满足跳站条件。
3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，如果安全存量未超过从开始站点到结束站点上的在制品总量，则确认该批在制品不满足跳站条件，流程结束。
4.如权利要求 3所述的方法，其特征在于，所述安全存量为结束站点的产能*设定队列时间*从开始站点到结束站点的安全系数；所述表示乘号。
5.如权利要求4所述的方法，其特征在于，所述从开始站点到结束站点上的在制品总量的获取方法为:从制造执行系统上获取从开始站点到结束站点每个站点上的在制品量，并计算每个站点上的在制品量的和。
6.如权利要求5所述的方法，其特征在于，所述结束站点的产能为该站点所有机台和的单位时间产能。
7.如权利要求1所述的方法，其特征在于，当虚拟站点中的设定队列时间为最小等待时间时，则步骤C中判断该批在制品是否满足跳站条件的方法为:判断实际等待时间是否大于设定队列时间，如果大于，则确认该批在制品满足跳站条件；所述实际等待时间为从制造执行系统上获取的开始站点开始工作的最小实际等待时间。
8.如权利要求1-7任一项所述的方法，其特征在于，该方法进一步包括:当制造执行系统的虚拟站点中不包含设定队列时间的信息时，则流程结束。
9.如权利要求8所述的方法，其特征在于，所述实时派工数据库还包括产品型号，在步骤A和步骤B之间，该方法进一步包括:从制造执行系统获取该批在制品对应的产品型号，与实时派工数据库进行比较，如果实时派工数据库中包含与该批在制品对应的产品型号，则执行步骤B，否则流程结束。
10.如权利要求9所述的方法，其特征在于，该方法进一步包括:如果实时派工数据库中不包含与该批在制品对应的开始站点和结束站点，则流程结束。
【文档编号】G06Q50/04GK104021499SQ201310065198
【公开日】2014年9月3日 申请日期:2013年3月1日 优先权日:2013年3月1日
【发明者】谭小兵, 高磊, 李晔, 刘群燕, 赵晨 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司