一种触摸传感器及其制作方法、触摸显示面板与流程

本申请涉及显示技术领域，尤其涉及一种触摸传感器及其制作方法、触摸显示面板。

背景技术：

目前，采用有机发光二极管的柔性显示面板为实现触控功能，通常需在显示面板的基础上贴合一层触控膜组，导致柔性显示面板不能薄化。为了实现触控式柔性显示面板的轻薄化，使用集成技术替代了传统的膜组贴合技术，目前的集成技术主要有以下两种：

一是将触控电极集成在保护膜层、偏光片或者玻璃盖板，这种方式虽然在一定程度上减薄了柔性显示产品，但对保护膜层、偏光片以及玻璃盖板的制作要求较高。

二是将触控电极集成在薄膜封装层的表面，触控电极需要经过光刻和湿法刻蚀工艺，但是光刻工艺的黄光效应等会损伤有机发光显示面板的发光层，同时湿法工艺过程中的酸性或碱性药液容易损伤薄膜封装层中的各膜层。

技术实现要素：

本发明提供一种触摸传感器及其制作方法、触摸显示面板，以实现降低触摸传感器的生产工艺难度，增强触控电极的连接可靠性，同时有效避免触控电极制作工艺对薄膜封装层各膜层材料以及有机发光显示面板中发光元件膜层材料的损伤，提高有机发光显示面板工作的可靠性。

第一方面，本发明实施例提供了一种触摸传感器，包括：基材，该基材包括多个凹槽，多个凹槽为条状，且凹槽交叉构成网格状；

第一浸润性调节层，第一浸润性调节层设置于凹槽的内壁表面；

触控电极，触控电极填充于凹槽，第一浸润性调节层位于凹槽和触控电极之间；

触控电极在溶液状态下与第一浸润性调节层的浸润角度为α，触控电极在溶液状态下与基材的浸润角度为β，其中α与β不相等；

触控电极在溶液状态下为触控电极的电极材料溶解在有机溶剂中形成的溶液。

第二方面，本发明实施例还提供了一种触摸显示面板，包括：发光元件层，覆盖发光元件层的薄膜封装层，上述触摸传感器直接形成在薄膜封装层表面。

第三方面，本发明实施例还提供了一种触摸传感器的制作方法，包括：形成基材；

在所述基材的表面形成多个凹槽，所述凹槽为条状，所述凹槽交叉构成网格状；

形成第一浸润性调节层，所述第一浸润性调节层形成于所述凹槽的内壁表面；

触控电极，所述触控电极填充于所述凹槽，所述第一浸润性调节层位于所述凹槽和所述触控电极之间；

所述触控电极在溶液状态下与所述第一浸润性调节层的浸润角度为α，所述触控电极在溶液状态下与所述基材的浸润角度为β，其中α与β不相等；

所述触控电极在溶液状态下为所述触控电极的电极材料溶解在有机溶剂中形成的溶液。

本发明实施例通过提供一种触摸传感器及其制作方法、触摸显示面板，在触摸传感器的基材上设置凹槽，将触控电极形成在凹槽内，并且在形成触控电极之前，在凹槽的内壁设置第一浸润性调节层，通过将触控电极在溶液状态下与所述第一浸润性调节层的浸润角度与触控电极在溶液状态下与所述基材的浸润角度设置不相等，使得触控电极在溶液状态下对凹槽和基材表面具有不同的浸润特性，对触控电极的形成能够实现更好的控制，降低了触控电极的制作难度，增强了触控电极工艺稳定性，并且使得触控电极在凹槽内均匀铺展，大大降低了触控电极的断线可能性，从而提高触控电极的触控可靠性。

附图说明

图1A为本发明实施例提供的一种触摸传感器的俯视图；

图1B为图1A沿AA的截面图；

图2A为本发明实施例提供的触控电极在溶液状态下与所述第一浸润性调节层的浸润角度α的示意图；

图2B为本发明实施例提供的触控电极在溶液状态下与基材的浸润角度β的示意图；

图3A为本发明实施例提供的一种凹槽的示意图；

图3B为本发明实施例提供的另一种凹槽的示意图；

图3C为图3B沿AA的截面图；

图4为本发明实施例提供又一种凹槽示意图；

图5为本发明实施例提供的一种触摸显示面板；

图6为本发明实施例提供的另一种触摸显示面板；

图7是本发明实施例提供的一种触摸传感器的制作方法流程示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明，而非对本发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部结构。并且为了更加清楚的进行说明，不同附图之间延用了相同的附图标记。

本发明实施例提供了一种触摸传感器，包括：基材，该基材包括多个凹槽，多个凹槽为条状，且凹槽交叉构成网格状；

第一浸润性调节层，第一浸润性调节层设置于凹槽的内壁表面；

触控电极，触控电极填充于凹槽，第一浸润性调节层位于凹槽和触控电极之间；

触控电极在溶液状态下与第一浸润性调节层的浸润角度为α，触控电极在溶液状态下与基材的浸润角度为β，其中α与β不相等；

触控电极在溶液状态下是指触控电极的电极材料溶解在溶剂中形成的溶液状态，可选的溶剂可以为有机溶剂，有机溶剂可以为乙基纤维素、硝酸纤维素、聚醋酸乙烯、酮树脂、聚酞胺树脂中的一种或者几种，需要说明的是，这里所述的触控电极在溶液状态下，下文中称之为“电极材料溶液”。

通常，触摸传感器的触控电极直接形成于触摸传感器基底的表面，触控电极的材料包括透明氧化铟锡，而在柔性显示面板中，为了增加触控电极的耐弯折性能会采用具有良好可挠性和较低阻抗的金属网格电极，对于金属网格的制作工艺可以采用直接以金属油墨加以网印的方式。也可以在基底薄膜上涂布整面金属，再透过黄光微影制程，洗去多余成分而产生网格。无论哪一种方式，如果将金属网格电极直接形成在有机发光显示面板内部，上述制程都会对发光元件造成不良影响。

本发明实施例采用喷墨打印的方式将触控电极形成在基材上的凹槽内，触控电极的电极材料可以为金属，将触控电极的电极材料溶解在有机溶剂内形成触控电极的电极材料溶液，然后将电极材料溶液喷印至基材的凹槽内，进入凹槽内的液体沿着凹槽的内壁快速流动，形成均匀的电极形状，而后固化，有机溶剂挥发，从而形成触控电极。本发明的实施例中，在将电极材料溶液喷印至凹槽之前，在凹槽的内壁设置第一浸润性调节层，第一浸润性调节层能够调节电极材料溶液与凹槽的浸润性，从而调控电极材料溶液在凹槽内的流速和铺展均匀性，保证形成的触控电极的均一性，降低了触控电极断线的可能，并且使得各个的触控电极具有均匀的阻抗，提升触摸传感器的触摸性能。

下面将结合附图对本发明实施例进行详细的说明，图1A为本发明实施例提供的一种触摸传感器的俯视图，图1B为图1A沿AA的截面图，图2A和图2B分别为本发明实施例提供的触控电极在溶液状态下与所述第一浸润性调节层的浸润角度α的示意图以及触控电极在溶液状态下与基材的浸润角度β的示意图。需要说明的是，图1A仅仅示出了四个触控电极，这只是示例性的说明，并且省去了触控电极连接线等结构。

如图1A和图1B所示，触摸传感器包括基材100，基材100包括多个凹槽101，凹槽101为条状，并且多个凹槽101交叉形成网格状，触控电极102填充于凹槽101，由于触控电极102形成在凹槽101内，所以多个交叉的凹槽内填充的触控电极相互之间电连接，形成一个用于检测触摸位置的触控电极，凹槽101的交叉方式与需要的触控电极的形状相关，如图1A示出了五条沿着第一方向X延伸的凹槽和五条沿着第二方向Y延伸的凹槽相互交叉，组成一个用于位置检测的触摸电极的形状，但是本发明并不限定凹槽交叉形成的形状，也不限定交叉的凹槽的数目。触控电极102可以为自容式触控电极，也可以为互容式触控电极，当触控电极102为互容式触控电极，触控电极102包括触控驱动电极和触控检测电极，以实现触摸位置的检测，本发明对此不作限定。

参见图1B，触摸传感器还包括第一浸润性调节层103，第一浸润性调节层103设置于凹槽101的内壁表面，位于凹槽101和触控电极102之间，如图2A和图2B所示，触控电极在溶液状态下与第一浸润性调节层103的浸润角度为α，触控电极在溶液状态下与基材100的浸润角度为β，其中α与β不相等，这里浸润角度的测量基于相同的环境条件下。可选的，α小于β，可以通过设置第一浸润性调节层103的材料或者通过对基材100的表面进行表面处理的方式使得α小于β。

需要说明的是物质的表面浸润性是指一种液体保持与一个固体表面接触的能力，这个表面接触能力体现在液体与固体表面之间的浸润角度，浸润角度越小，说明液体与固体表面的接触能力越强，液体在固体表面更容易铺展，在这里，参考图2A，浸润角度定义为：气、液、固三相交点O处所作的气-液界面的切线T1与穿过液体的固-液交界线T2之间的夹角，当α小于β，触控电极在溶液状态下与第一浸润性调节层103的表面浸润性会好于与基材100表面的浸润性，这样设置的好处是：一方面，当进行喷印电极材料溶液时，电极材料溶液如若喷射至凹槽外部，由于电极材料溶液对基材的浸润性差于对凹槽内的第一浸润性调节层，因而凹槽外部的电极材料溶液具有向凹槽内流动的趋势，从而保证了触控电极在工艺制程中可靠性。另一方面，由于电极材料溶液对第一浸润性调节层具有好的浸润性，因而电极材料溶液能够在凹槽内部均匀铺展开，从而提高了触控电极的均匀性，保证了触摸传感器具有良好的触摸性能。

可选的，触控电极在溶液状态下与所述第一浸润性调节层的浸润角度α与触控电极在溶液状态下与基材的浸润角度β的大小关系满足：

0°≤α≤30°，60°≤β≤180°

当0°≤α≤30°，电极材料溶液在第一浸润性调节层表面能够良好铺展，当60°≤β≤180°，电极材料溶液在基材表面容易流动。可选的，

0°≤α≤10°，90°≤β≤180°

当0°≤α≤10°电极材料溶液在第一浸润性调节层的表面能够接近完全浸润，当90°≤β≤180°，电极溶液材料在基材的表面不浸润或完全不浸润，并且此时电极溶液材料在第一浸润性调节层表面和基材表面具有差异显著的浸润关系，触控电极可以采用将电极材料溶液在整个基材表面进行整面喷涂的方式进行制作，由于电极材料溶液在第一浸润性调节层表面和基材表面具有差异显著的浸润关系，喷涂到基材表面的电极材料溶液的液滴会由于对基材的不浸润而选择性流动流入凹槽内部，从而形成特定图案的触控电极，这大大降低了工艺的复杂度。

可选的，第一浸润性调节层103覆盖在凹槽的整个内壁表面，这样能够使得电极材料溶液在整个凹槽内进行均匀的铺展，一方面增加了触摸传感器的表面平整度，另一方面增加了触控电极在凹槽内部的均匀性，降低了触摸电极的断线概率。

继续参考图1B，凹槽101的深度d1小于基材100的厚度D，第一浸润性调节层的厚度d2小于凹槽101的深度d1。凹槽101的深度d1小于基材的厚度D，凹槽102不会贯穿基材100，从而使基材100更好的承载触控电极，第一浸润性调节层的厚度d2小于凹槽101的深度d1保证第一浸润性调节层103不会填满凹槽，从而使触控电极形成于凹槽内，使触摸传感器具有更好的平整性。可选的，基材的厚度为：1～50μm，凹槽的深度为：0.5～8μm，第一浸润性调节层的厚度为：0.01～1μm。

图3A为本发明实施例提供的一种凹槽的示意图，图3B为本发明实施例提供的另一种凹槽的示意图，图3C为图3B沿AA的截面图，如图3A和图3B所示，凹槽102具有沿所述凹槽的条状延伸方向延伸的侧壁101a，侧壁101a为弧面。本实施例中，将凹槽101的侧壁101a设置为弧面，第一浸润性调节层设置于凹槽的内壁表面，第一浸润性调节层具有和凹槽的内壁相同形状的弧面，具有弧面形状的凹槽可以有效减小对流动在内部的电极材料溶液的压强，凹槽弧面的倾斜角度使凹槽侧壁对电极材料溶液的压力产生了分量，减小了流体对凹槽的直接冲击，从而降低了压差阻力，进而可以有效的减小流体的阻力，加快了电极材料溶液的流动，更有利于电极材料溶液在凹槽内铺展开来。

可选的，如图3C所示，所述弧面具有多个第一切面(如图中S1、S2……Sn)，所述多个第一切面沿所述凹槽底部至凹槽顶部的斜率k1、k2、……kn逐渐减小。

即：k1>k2>…>kn。

当多个第一切面沿所述凹槽底部至凹槽顶部的斜率k1、k2、……kn满足上述条件，凹槽侧壁的弧面向凹槽顶部的方向凸出，此时凹槽的侧壁对流动在凹槽内部的液体的压差阻力最小，设置在凹槽内部的第一浸润性调节层103保证了电极材料溶液的铺展均匀性，而凹槽侧壁的弧面则最大限度的增加了电极材料溶液在凹槽内的流动性，从而保证触控电极的工艺可靠性。

如图3C所示，凹槽101的侧壁101a的个数为两个，两个凹槽侧壁101a在凹槽101的底部交叠，使得形成的凹槽底部不为平面，形成在凹槽的侧壁101a表面的第一浸润性调节层103在各个位置对电极材料溶液的压力都具有分解量，从而进一步的降低了凹槽的侧壁对电极材料溶液的阻力，增强电极材料溶液在凹槽101内部的流动性。

可选的，在本发明的实施例中，第一浸润性调节层103覆盖凹槽101的整个内壁表面，由于第一浸润性调节层103对滴入凹槽内的电极材料溶液具有浸润性调节作用，当第一浸润性调节层103覆盖在整个凹槽的内壁表面，电极材料溶液在凹槽内的部分会具有良好而均匀的铺展性或者流动性。可以理解的是，本发明的实施例还可以是第一浸润性调节层103覆盖凹槽101的部分内壁表面，本发明对此不作限定。

第一浸润性调节层103的材料可以为无机物，当第一浸润性调节层103的材料为无机物，第一浸润性调节层与电极材料溶液具有良好的浸润性，电极材料溶液在第一浸润性调节层103的表面流动时，电极材料溶液能够在第一浸润性调节层103的表面均匀铺展，示例性的，无机物可以为氮化硅、氧化硅、氮氧化硅、氧化铝或者二氧化钛中的至少一种。第一浸润性调节层的材料还可以是有机物，当第一浸润性调节层的材料为有机物，第一浸润性调节层与电极材料溶液浸润性较差，此时，电极材料溶液能够在第一浸润性调节层103的表面快速流动，有利于触控电极的工艺制程，示例性的，有机物包括聚四氟乙烯、全氟烷氧基烷、全氟乙烯丙烯共聚物、乙烯-四氟乙烯共聚物、聚偏二氟乙烯、聚氯三氟乙烯、乙烯-三氟乙烯共聚物、聚四氯乙烯-全氟间二氧杂环戊稀共聚物以及聚氟乙烯中的至少一种。

图4为本发明实施例提供又一种凹槽示意图，如图4所示，在凹槽101的内壁表面还设置有第二浸润性调节层104，第一浸润性调节层103与第二浸润性调节层104不完全交叠，触控电极在溶液状态下与第二浸润性调节层104的浸润角度为α1，触控电极在溶液状态下与第一浸润性调节层103的浸润角度为α，其中，α1与α不相等。本实施例的触控电极在溶液状态下与第一浸润性调节层103和第二浸润性调节层104的浸润角度不同，能够同时实现对电极材料溶液流动性和铺展性的调节。

具体的，当液体与固体物质表面具有较小的浸润角度，液体能够在固体物质表面均匀铺展，即具有良好的铺展性。而当液体与固体物质表面具有较大的浸润角度，即液体与固体物质表面不容易相容，此时，液体在固体物质表面具有良好的流动性。本实施例将具有浸润角度差异的两种浸润性调节层同时设置于一个凹槽内，既能够使电极材料溶液在凹槽内部具有良好的铺展性，又能够加快电极材料溶液在凹槽内部的流动性，良好的流动性降低了触控电极的工艺难度，同时由于较强的流动性，在局部滴入的电极材料溶液能够快速流散开来均匀铺展，增强了触控电极的整体均均一性。当电极材料溶液在第一浸润性调节层103和第二浸润性调节层104的表面具有较大的浸润角度差异，第一浸润性调节层103和第二浸润性调节层104对电极材料溶液的流动性和铺展性具有好的调节作用。

触控电极在溶液状态下与第一浸润性调节层103的浸润角度α的数值范围为：0°≤α≤30°，同时，触控电极在溶液状态下与第二浸润性调节层104的浸润角度α1的数值范围为：60°≤α1≤180°。当0°≤α≤30°，电极材料溶液在第一浸润性调节层103表面能够良好铺展，当60°≤α1≤180°，电极材料溶液在第二浸润性调节层104表面表面容易流动。

触控电极在溶液状态下与第一浸润性调节层103的浸润角度α的数值范围为：0°≤α≤10°，同时，触控电极在溶液状态下与第二浸润性调节层104的浸润角度α1的数值范围为：90°≤α1≤180°。当0°≤α≤10°，电极材料溶液第一浸润性调节层的表面能够接近完全浸润，铺展性最好，当90°≤α1≤180°，电极溶液材料在第二浸润性调节层104的表面不浸润或完全不浸润，流动性最好。需要说明的是，当触控电极在溶液状态下与第一浸润性调节层103的浸润角度小于与第二浸润性调节层104的浸润角度，第二浸润性调节层可以是与基材相同的材料，触控电极在溶液状态下与基材的浸润角度可以与第二浸润性调节层104的浸润角度相同或者大体相同。

当触控电极在溶液状态下与第一浸润性调节层103的浸润角度小于与第二浸润性调节层104的浸润角度，第一浸润性调节层的材料可以为无机物，第二浸润性调节层的材料可以为有机物。当触控电极在溶液状态下与第一浸润性调节层103的浸润角度大于与第二浸润性调节层104的浸润角度，第一浸润性调节层的材料可以为有机物，第二浸润性调节层的材料可以为无机物。无机物包括氮化硅、氧化硅、氮氧化硅、氧化铝或者二氧化钛中的至少一种，有机物包括聚四氟乙烯、全氟烷氧基烷、全氟乙烯丙烯共聚物、乙烯-四氟乙烯共聚物、聚偏二氟乙烯、聚氯三氟乙烯、乙烯-三氟乙烯共聚物、聚四氯乙烯-全氟间二氧杂环戊稀共聚物以及聚氟乙烯中的至少一种。

如图4所示，第一浸润性调节层103和第二浸润性调节层104共同将凹槽101的内壁表面覆盖，第一浸润性调节层103和第二浸润性调节层104的厚度相同，图4示出了第一浸润性调节层103设置于凹槽底部，第二浸润性调节层设置于凹槽两边的侧壁，本实施例可选的实施方式中，还可以是第二浸润性调节层104设置于凹槽底部，第一浸润性调节层103设置于凹槽两边侧壁，或者第一浸润性调节层103和第二浸润性调节层104交错设置于凹槽的内壁表面，本发明对此不作限定，通过同时设置第一浸润性调节层和第二浸润性调节层的方式，能够实现对电极材料溶液在凹槽内部流动性和铺展性的调节，保证了形成触控电极的稳定性。

本发明的实施例中，基材的材料可以为有机物，基材可以通过喷墨打印的方式形成，基材表面的凹槽在形成基材的过程中同时形成。

图5为本发明实施例提供的一种触摸显示面板，包括上述任一一种触摸传感器，触摸显示面板可以为有机发光显示面板，包括有机发光器件110，覆盖有机发光器件110的薄膜封装层111，触摸传感器TS直接形成于薄膜封装层111的表面。

本实施例提供的触摸显示面板可以为有机发光二极管显示面板，触摸显示面板包括基底120，基底120可以为柔性基底。柔性基底可以由具有柔性的任意合适的绝缘材料形成。例如，柔性基底可以由诸如聚酰亚胺(PI)、聚碳酸酯(PC)、聚醚砜(PES)、聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)、多芳基化合物(PAR)或玻璃纤维增强塑料(FRP)等聚合物材料形成。柔性基底可以是透明的、半透明的或不透明的。柔性基底使得触摸显示面板能够实现弯曲、卷曲和可折叠等柔性显示。

缓冲层121位于柔性基底上，缓冲层121可以覆盖柔性基底的整个上表面。在一个实施例中，缓冲层包括无机层或有机层。例如，缓冲层可以由从诸如氧化硅(SiOx)、氮化硅(SiNx)、氮氧化硅(SiOxNy)、氧化铝(AlOx)或氮化铝(AlNx)等的无机材料或者诸如压克力(acryl)、聚酰亚胺(PI)或聚酯等的有机材料中选择的材料形成。缓冲层121可以包括单层或多个层。缓冲层阻挡氧和湿气，防止湿气或杂质通过柔性基底扩散，并且在柔性基底的上表面上提供平坦的表面。

薄膜晶体管TFT(Thin Film Transistor)位于缓冲层121上。本发明实施例以顶栅型的薄膜晶体管TFT为例进行的结构说明。

薄膜晶体管TFT包括位于缓冲层121上的半导体有源层122，半导体有源层122包括通过掺杂N型杂质离子或P型杂质离子而形成的源极区域122a和漏极区域122b。在源极区域122a和漏极区域122b之间的区域是其中不掺杂杂质的沟道区域122c。

半导体有源层122可以通过非晶硅的结晶使非晶硅改变为多晶硅而形成。

为了使非晶硅结晶，可以利用诸如快速热退火(RTA)法、固相结晶(SPC)法、准分子激光退火(ELA)法、金属诱导结晶(MIC)法、金属诱导横向结晶(MILC)法或连续横向固化(SLS)法等各种方法。

栅绝缘层123包括诸如氧化硅、氮化硅或金属氧化物的无机层，并且可以包括单层或多个层。

栅电极124位于栅绝缘层123上的特定区域中。栅电极124可以包括金(Au)、银(Ag)、铜(Cu)、镍(Ni)、铂(Pt)、钯(Pd)、铝(Al)、钼(Mo)或铬(Cr)的单层或多层，或者诸如铝(Al):钕(Nd)合金、钼(Mo):钨(W)合金的合金。

层间绝缘层125位于栅电极124上。层间绝缘层125可以由氧化硅或氮化硅等的绝缘无机层形成。可选择地，层间绝缘层可以由绝缘有机层形成。

源电极126和漏电极127位于层间绝缘层125上。源电极126和漏电极127分别通过接触孔电连接(或结合)到源极区域和漏极区域，接触孔是通过选择性地去除栅绝缘层和层间绝缘层而形成的。

钝化层128位于源电极和漏电极上。钝化层128可以由氧化硅或氮化硅等的无机层形成或者由有机层形成。

平坦化层129位于钝化层128上。平坦化层129包括压克力、聚酰亚胺(PI)或苯并环丁烯(BCB)等的有机层，平坦化层129具有平坦化作用。

有机发光器件形成在薄膜晶体管TFT上。

薄膜封装层位于有机发光器件上。在一个实施例中，薄膜封装层保护发光层和其它薄层免受外部湿气和氧等的影响。

通常，直接形成于触摸显示面板内部的触摸传感器通过蒸镀、刻蚀的工艺形成，上述工艺中包括清洗等湿法制程，需要薄膜封装层具有优良的阻隔水汽和氧气的能力，才能够保证湿法制程不会对薄膜封装层内部的有机发光器件造成影响，这无疑具有很高的工艺难度。本发明所提供的触摸传感器TS的结构可以通过喷墨打印的方式形成，因而当触摸传感器TS直接形成于薄膜封装层的表面，对发光元件层不会造成影响，降低了对薄膜封装层封装性能的要求。触摸传感器TS具有包括多个凹槽的基材，凹槽为条状，多个凹槽交叉构成网格状，触控电极填充于凹槽，并且凹槽和触控电极之间具有第一浸润性调节层，第一浸润性调节层设置于凹槽和触控电极之间。触控电极通过喷墨打印的方式形成于凹槽的内部，第一浸润性调节层能够调节在溶液状态下的触控电极在凹槽内部的流动性和铺展性，所形成的触控电极具有良好的工艺稳定性。由于触控电极形成于凹槽内，触摸传感器TS的表面具有良好的平整性，为触摸显示面板的后续膜层制备工艺提供了有利条件。并且基材由于具有多个凹槽，增强了触摸传感器的耐弯折性能，有利于触摸显示面板的柔性应用。

通常触控电极选用金属材料，本发明实施例通过将具有上述结构的触摸传感器TS直接形成于薄膜封装层的表面，能够降低触摸显示面板的整体厚度，实现显示面板与触摸传感器的集成，并且形成于薄膜封装层之上的触摸传感器TS位于触摸显示面板的圆偏光片和发光元件层之间，能够降低外部环境光对金属触控电极的反射，减小图形可见的现象。

图6为本发明实施例提供的另一种触摸显示面板，与图5示出的实施方式不同的是，薄膜封装层111包括至少一层有机层111a和至少两层无机层111b，有机层111a位于两层无机层111b之间，触摸传感器TS的基材为有机层111a。本发明的实施例将触控电极设置在薄膜封装层内，有机层复用为触摸传感器的基材，一方面可以避免外界水汽以及氧气等对触控电极的腐蚀，另一方面最大程度的降低了触摸显示面板的厚度，符合轻薄化的发展趋势。并且触控电极设置在薄膜封装层的一有机层的第一凹槽结构内，因此可以显著降低触控电极在弯折过程中断裂的风险。

本发明还提供了一种触摸传感器的制作方法，图7是本发明实施例提供的一种触摸传感器的制作方法流程示意图；如图7所示，所述制作方法包括：

S01：形成基材100；

在所述基材100的表面形成多个凹槽101，所述凹槽101为条状，所述凹槽101交叉构成网格状；

S02：形成第一浸润性调节层103，所述第一浸润性调节层103形成于所述凹槽101的内壁表面；

S03：形成触控电极102，所述触控电极102填充于所述凹槽101，所述第一浸润性调节层103位于所述凹槽101和所述触控电极102之间；

所述触控电极102在溶液状态下与所述第一浸润性调节层103的浸润角度为α，所述触控电极102在溶液状态下与所述基材100的浸润角度为β，其中α与β不相等。

在步骤S01中，形成基材100以及基材100表面的凹槽101可以采用喷墨打印的方式同时形成，将基材100的材料溶解于溶剂中形成基材的墨滴溶液，将墨滴溶液进行喷射，对喷射出的墨滴溶液进行固化，从而形成基材和凹槽，可以通过控制喷射出的墨滴溶液的墨滴大小以及控制墨滴溶液的固化时间来控制形成的凹槽的形状和深度。采用喷墨打印的方式能够自由灵活的控制所形成的基材的厚度、凹槽的形状、凹槽的间距等，且一次工艺形成，不需要经过蒸镀、刻蚀的多道工艺。

在步骤S02中，形成第一浸润性调节层103的步骤包括：在基材100的表面形成整面第一浸润性调节层，对整面第一浸润性调节层进行刻蚀，使第一浸润性调节层形成于凹槽101内。

在步骤S03中，形成所述触控电极的步骤包括：将所述触控电极的材料溶解在所述有机溶剂中形成触控电极的电极材料溶液，使用喷墨打印的方式将所述触控电极材料溶液喷射到所述凹槽内。

通常，触摸传感器的触控电极直接形成于触摸传感器基底的表面，触控电极的材料包括透明氧化铟锡，而在柔性显示面板中，为了增加触控电极的耐弯折性能会采用具有良好可挠性和较低阻抗的金属网格电极，对于金属网格的制作工艺可以采用直接以金属油墨加以网印的方式。也可以在基底薄膜上涂布整面金属，再透过黄光微影制程，洗去多余成分而产生网格。无论哪一种方式，如果将金属网格电极直接形成在有机发光显示面板内部，上述制程都会对发光元件造成不良影响。

本发明实施例采用喷墨打印的方式将触控电极形成在基材上的凹槽内，凹槽可以为条状凹槽，并且多个条状凹槽相互交叉形成网格状，相互交叉的凹槽的数目和交叉所形成的网格的形状取决于希望能成的一个用于触摸位置检测的触控电极的形状。触控电极的电极材料可以为金属，可选的，可以为金、银或者铜等金属材料。有机溶剂为：乙基纤维素、硝酸纤维素、聚醋酸乙烯、酮树脂、聚酞胺树脂中的一种。将触控电极的电极材料溶解在有机溶剂内形成触控电极的电极材料溶液，然后将电极材料溶液喷印至基材的凹槽内，可以将电极材料溶液在凹槽交叉的区域进行喷印，进入凹槽内的液体沿着凹槽的内壁快速流动，形成均匀的电极形状，而后固化，有机溶剂挥发，从而形成触控电极。

本发明的实施例中，在将电极材料溶液喷印至凹槽之前，在凹槽的内壁形成第一浸润性调节层，第一浸润性调节层能够调节电极材料溶液与凹槽的浸润性，从而调控电极材料溶液在凹槽内的流速和铺展均匀性，保证形成的触控电极的均一性，降低了触控电极断线的可能，并且使得各个的触控电极具有均匀的阻抗，提升触摸传感器的触摸性能。

第一浸润性调节层103的材料可以为无机物，当第一浸润性调节层103的材料为无机物，第一浸润性调节层与电极材料溶液具有良好的浸润性，电极材料溶液在第一浸润性调节层103的表面流动时，电极材料溶液能够在第一浸润性调节层103的表面均匀铺展，示例性的，无机物可以为氮化硅、氧化硅、氮氧化硅、氧化铝或者二氧化钛中的至少一种。第一浸润性调节层的材料还可以是有机物，当第一浸润性调节层的材料为有机物，第一浸润性调节层与电极材料溶液浸润性较差，此时，电极材料溶液能够在第一浸润性调节层103的表面快速流动，有利于触控电极的工艺制程，示例性的，有机物包括聚四氟乙烯、全氟烷氧基烷、全氟乙烯丙烯共聚物、乙烯-四氟乙烯共聚物、聚偏二氟乙烯、聚氯三氟乙烯、乙烯-三氟乙烯共聚物、聚四氯乙烯-全氟间二氧杂环戊稀共聚物以及聚氟乙烯中的至少一种。

注意，上述仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本发明不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本发明的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本发明进行了较为详细的说明，但是本发明不仅仅限于以上实施例，在不脱离本发明构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。