专利名称：在半导体制造设备控制系统中控制设备单元状态的方法
技术领域：
本发明涉及在半导体制造设备控制系统中对设备单元状态进行控制的方法，特别是这样的在半导体制造设备控制系统中对设备单元状态进行控制的方法，其中单元状态变化监视模块包括在主计算机中，由此可以防止实际的单元状态数据与存储于主计算机中的单元状态数据之间不一致。因而，可以明显地提高在控制设备生产率上的整体效率。
通常，通过高精度工艺来制造半导体器件。为了此高精度工艺，在半导体生产线设置高功能设备。
由操作者通过控制系统对各设备的运行进行精心地监视，以便可以提高生产线上的操作效率。
这种传统的控制系统以框图的形式展示于
图1。
如图1所示，半导体制造设备3设置于生产线上。各批产品10被引入设备3中以进行处理。
设备3通过设备服务器(未示出)与主机1在线连接。主机1与操作者接口PC(O/I PC)2在线连接。操作者通过O/I PC2通知主机1开始对各批产品10的处理。
当主机1被通知开始对各批产品10进行处理时，主机1立即把现有的适当工艺条件例如处理时间量、处理温度等下载给设备3。结果，设备3可以在适当的条件下对各批产品10进行处理。
此时，设备3运行其辅助单元例如加载口和卸载口(未示出)、处理室4等，以根据下载的处理条件进行处理。
在这种传统的半导体制造设备控制系统中，当多个室4中的第一室4a处于其停载状态而且只有第二室4b处于其运载状态，因而第一室4a的状态需要从停载状态改变为运载状态时，操作者对设备3的监视器(未示出)进行直接工作。结果，使第一室4a的状态恢复至正常状态，即运载状态，并通过O/I PC2改变存储于主机1的第一室的状态数据。
之后，主机1继续在其数据库中存储设备3各个单元状态的变化。
但是，这种传统的控制系统存在几个问题。
其一，各单元状态经常变化，传统的控制系统的主机不能实时识别这些变化。这导致存储于主机数据库的单元状态数据与各单元的实际单元状态数据之间不一致。
其二，由于存储的单元状态数据与实际的单元状态数据之间不一致，主机不能准确地了解各单元的运行状态。结果，无法立即控制设备。
其三，在从主机收集到错误的单元状态数据的这种情况下，操作者可能会错误地计算设备的运行速率，并且把错误计算的运行速率反映至后续工艺。这样会导致对设备整个生产率的不准确控制。
其四，通过操作者对设备监视器的直接工作来改变单元状态。这样会导致控制设备的效率降低。
因此，本发明的目的在于提供一种在半导体制造设备中对各单元状态进行控制的方法，其中，通过利用包括在主机中的单元状态变化监视模块，对单元状态的变化实时地识别和控制，能够防止存储于主机的单元状态与实际的单元状态之间不一致。
本发明的另一目的在于提供一种在半导体制造设备中通过主机对各单元状态进行准确控制的方法，其中，利用单元状态变化监视模块准确地识别实际的单元状态，并根据识别的实际单元状态快速地更新存储于主机的单元状态。
本发明的又一目的在于提供一种在半导体制造设备中对各单元状态进行控制的方法，通过从主机收集与设备的实际单元状态一致的数据，能够准确地控制设备的整体生产率。
本发明的再一目的在于提供一种在半导体制造设备中对各单元状态进行控制的方法，通过使利用主机的间接计算工作来改变单元状态成为可能，能够明显提高控制设备的整体效率。
为了实现上述目的和其它优点，在半导体制造设备中对各单元状态进行控制的方法，包括以下步骤当单元中发生预定的状态变化时，从设备接收单元的实际单元状态数据；从存储于数据库的状态数据中第一次搜索对应于该单元R存储的单元状态数据；比较实际的单元状态数据和存储的单元状态数据，并确定实际的单元状态数据中是否发生预定的变化；如果确定实际的单元状态数据中未发生预定变化，则继续接收实际单元状态数据，如果确定实际的单元状态数据中已发生预定变化，则根据实际单元状态数据的内容第一次更新存储的单元状态数据的内容。
在第一次更新存储的单元状态数据内容的步骤之后，该方法最好还包括以下步骤确定是否输入了用于引入产品的预定信号；如果确定未输入用于引入产品的信号，则终止控制流程，如果确定输入了用于引入产品的信号，则识别引入了产品的单元，第二次搜索对应于该单元的存储的单元状态数据，并确定该单元是否处于其停载状态；如果确定该单元未处于其停载状态，则终止控制流程，如果确定该单元处于其停载状态，则显示预定的警告信息，停止处理。
在第一次更新存储的单元状态数据内容的步骤之后，该方法最好还包括以下步骤确定是否输入了用于计算设备的运行速率的预定信号；如果确定未输入用于计算设备的运行速率的预定信号，则终止控制流程；如果确定输入了用于计算设备的运行速率的预定信号，则第三次搜索存储的单元状态数据，收集存储的单元状态数据，并输出对应于用存储的单元状态数据计算的设备运行速率的预定信息。
在第一次更新存储的单元状态数据内容的步骤之后，该方法最好还包括以下步骤确定是否输入了预定的单元状态改变数据；如果确定未输入预定的单元状态改变数据，则终止控制流程；如果确定输入了预定的单元状态改变数据，则根据设备单元状态改变数据的内容，第二次更新存储的单元状态数据内容，把设备单元状态改变数据下载给设备。
因此，根据本发明，根据实际单元状态数据的变化适当地更新存储于主机的单元状态数据内容。
通过参考附图对优选实施例的具体说明，将可进一步了解本发明的上述目的和其它优点，附图中图1是传统的半导体制造设备控制系统的概略图。
图2是用于实施本发明的半导体制造设备控制系统的概略图。
图3是在本发明的半导体制造设备控制系统中控制设备单元状态的方法流程图。
图4是本发明的第一实施例的流程图。
图5是本发明的第二实施例的流程图。
图6是本发明的第三实施例的流程图。
以下将参考展示了本发明优选实施例的附图更全面地说明本发明。但是，本发明可以按许多不同的方式来体现，并不限于按这里给出的实施例来构成；而是提供这些实施例以便彻底和完整地公开本发明，使本领域的技术人员全面了解本发明的范围。
图2是用于实施本发明的半导体制造设备控制系统的概略图。
如图2所示，主计算机1包括单元状态变化监视模块20，用于通过设备服务器3监视从设备3加载的单元状态的变化，并根据监视到的变化更新存储于主计算机1的数据库中的单元状态数据。结果，当设备3的单元状态发生任何变化时，可立即更新存储的单元状态数据。
之后，当产品引入单元时，主机1立即通知设备3的单元状态的操作者。从而可以防止当产品以其停载(down)状态引入单元时产生的问题。
另一方面，图3是在根据本发明的控制系统中控制半导体制造设备的单元状态的方法的流程图。图4是本发明的第一实施例的流程图。图5是本发明的第二实施例的流程图。图6是本发明的第三实施例的流程图。
如图3所示，在控制系统中对半导体制造设备3的单元的状态进行控制的方法，包括以下步骤当单元中发生预定的状态变化时，从设备3接收单元的实际单元状态数据(S10)；从存储于数据库的状态数据中，第一次搜索对应于该单元的存储的单元状态数据(S20)；对比实际的单元状态数据和存储的单元状态数据，并确定实际单元状态数据中是否发生了预定变化(S30)；如果确定实际单元状态数据中未发生预定变化，则继续接收实际单元状态数据，如果确定实际单元状态数据中发生了预定变化，则根据实际单元状态数据的内容，第一次更新所存储的单元状态数据的内容(S40)。
以下将具体说明本发明的各步骤。
首先，当设备3中发生预定的状态变化时，例如当操作者改变单元状态时，单元状态变化监视模块20按如下方式接收与单元相关的实际单元状态数据，即模块20实时监视设备3中的单元状态，或者设备3报告其单元状态(S10)。结果，设备3的各单元状态中的变化可以由单元状态变化监视模块20实时地立即识别。
之后，监视模块20从存储于主机1的数据库的单元状态数据中，第一次搜索对应于设备3的单元的存储的单元状态数据(S20)，确定第一次搜索的存储的单元状态数据与接收的实际单元状态数据之间是否存在任何不一致，即实际单元状态数据中是否发生变化(S30)。
此时，如果存储的单元状态数据与实际单元状态数据之间不存在不一致，则模块20从步骤S30返回上述初始步骤S10，继续接收实际单元状态数据。
另外，如果存储的单元状态数据与实际的单元状态数据不相同，并确定接收的实际单元状态数据中发生了任何变化，则模块20根据实际单元状态数据的内容，第一次更新存储的单元状态数据的内容(S40)。因此，存储的单元状态数据的内容根据实际的单元状态数据的内容适当地变化。
例如，如果实际的单元状态数据的内容是设备3的第1室4a处于其运载(run)状态，而且其第2室4b处于其停载状态，而存储的单元状态数据的内容是设备3的第1和第2室4a和4b两者均处于其运载状态，则模块20根据实际的单元状态数据的内容更新存储的单元状态数据的内容，其方式是把存储的单元状态数据的内容改变为设备3的第1室4a处于其运载状态，而其第2室4b处于其停载状态。结果，可以消除存储的单元状态数据与实际单元状态数据之间的不一致，之后主机1可以精确地立即控制设备3。
如上所述，在半导体制造设备控制系统中对设备单元状态进行控制的方法，通过由主机实时识别设备3的单元状态的变化，根据识别的变化立即更新存储的单元状态数据，可以防止设备3的实际的单元状态与存储的单元状态之间的不一致。
参见图4，根据本发明的单元状态控制方法的第一实施例，在第一次更新所存储的单元状态数据的内容的步骤S40之后，还包括以下步骤确定用于引入产品的信号是否输入到O/I PC2中(S51)；如果确定未输入用于引入产品的信号，则终止控制流程；如果确定输入了用于引入产品的信号，则识别引入了产品的单元(S52)，第二次搜索对应于该单元的存储的单元状态数据(S53)，并确定该单元是否处于其停载状态(S54)；如果确定该单元未处于其停载状态，则终止控制流程；如果确定该单元处于其停载状态，则显示警告信息(S55)并停止处理(S56)。
以下将更详细地说明根据本发明的单元状态控制方法的第一实施例的各个步骤。
首先，步骤S40之后，主机1确定是否通过O/I PC2输入了用于引入一批产品(lot)10的信号(S51)。
如果确定未通过O/I PC2输入用于引入一批产品10的信号，则主机1终止上述控制流程。
另外，如果确定通过O/I PC2输入了用于引入一批产品10的信号，则主机1识别设备3中的哪一个单元将要引入一批产品10(S52)。
之后，主机1从存储于数据库的单元状态数据中，第二次搜索对应于将引入一批产品10的单元的存储的单元状态数据，确定要引入一批产品10的该单元是否处于其停载状态(S53和S54)。
如果确定该单元未处于其停载状态，则主机1终止上述控制流程，以便一批产品10能够在该单元中适当地处理。
另外，如果确定该单元处于其停载状态，则主机1通过O/I PC2显示警告信息并控制整个系统停止该处理(S55和S56)。因此，可以克服当一批产品10引入其处于停载状态的单元时产生的问题。
例如，当操作者通过O/I PC2输入用于把一批产品10引入处于其停载状态的第二室4b的信号时，主机1通过搜索数据库立即识别第二室4b的状态为停载状态，并把警告信息如“第二室处于其停载状态”下载给O/I PC2。然后，主机1控制整个系统停止处理。结果，可以防止处于其停载状态的第二室4b中的处理的进行，操作者可以采取适当的行动改变停载状态。
如上所述，在本发明的第一实施例中，可以防止一批产品10引入处于其停载状态的单元，因而可以预先防止一批产品10被引入停载状态的单元时会发生的操作失败。
参见图5，根据本发明的单元状态控制方法的第二实施例，在第一次更新存储的单元状态数据内容的步骤S40之后，还包括以下步骤确定是否输入了用于计算设备3的运行速率的信号(S61)；如果确定未输入用于计算设备3的运行速率的信号，则终止控制流程；如果确定输入了用于计算设备3的运行速率的信号，则第三次搜索存储的单元状态数据，并且输出预定的用存储的单元状态数据计算的运行速率信息(S62和S63)。
以下将具体说明根据本发明的单元状态控制方法的第二实施例的各个步骤。
首先，在步骤S40之后，主机1确定是否通过O/I PC2输入了用于计算设备3的运行速率的信号(S61)。
如果确定未通过O/I PC2输入用于计算设备3的运行速率的信号，则主机1终止控制流程。
另外，如果确定通过O/I PC2输入了用于计算设备3的运行速率的信号，主机1确定操作者想要知道设备3的运行速率，则第三次搜索存储于数据库的单元状态数据，收集存储的单元状态数据，把包含存储的单元状态数据的计算后的设备运行速率信息输出给O/I PC2(S62和S63)。结果，操作者可以准确地注意到设备的运行速率。
在传统的方法中，收集与实际单元状态数据不同的存储单元状态数据，用与实际状态不同的数据计算设备3的运行速率。结果，不能准确控制设备3的整体生产率。
例如，如果在以下条件下，即虽然设备3的第二室4b实际处于停载状态，但主机1却错误地了解为运载状态，输入了用于计算设备3的运行速率的信号，则主机1计算设备3的运行速率为50％，这是因为主机1确定在具有100％室运行速率的设备中仅处理了50％的产品。
然而，根据本发明，主机1包括与实际的单元状态数据相同的存储的单元状态数据。因此，当操作者命令主机1输出设备的运行速率时，主机1输出用存储的单元状态数据计算的准确运行速率。结果，准确计算的运行速率可以适当地反映在后续工艺中，可以准确地控制设备3的生产率。
例如，如果设备3的第二室4b处于其停载状态，则主机1准确地识别第二室的状态为停载状态。因此，输入用于计算运行速率的信号时，主机1计算运行速率为100％，这是因为主机确定两个室4a和4b中仅有一个室4a处理了50％的产品。因此，操作者可以对后续工艺反映具有准确内容的数据，从而可以适当地控制设备3的整体生产率。
参见图6，根据本发明的单元状态控制方法的第三实施例，在第一次更新所存储的单元状态数据的内容的步骤S40之后，还包括以下步骤确定是否通过O/I PC2输入了单元状态改变数据(S71)；如果确定未通过O/I PC2输入单元状态改变数据，则终止控制流程；如果确定通过O/I PC2输入了单元状态改变数据，则第二次更新对应于设备单元状态改变数据内容的所存储的单元状态数据内容，并且把设备单元状态改变数据下载给设备3(S72和S73)。
以下将详细说明根据本发明的第三实施例的各个步骤。
首先，在步骤S40之后，主机1确定是否通过O/I PC2输入了设备单元状态改变数据(S71)。
如果确定未通过O/I PC2输入设备单元状态改变数据，则主机1确定操作者不想间接地遥控设备3，并且终止控制流程。
另外，如果确定已通过O/I PC2输入了设备单元状态改变数据，则主机1确定操作者想要间接地遥控设备3，并且接收设备单元状态改变数据。然后，主机1根据设备单元状态改变数据内容，第二次更新存储于其数据库中的单元状态数据内容(S72)。因此，根据操作者输入的设备单元状态改变数据，适当地改变存储的单元状态数据内容。
之后，主机1把设备单元状态改变数据下载给设备3(S73)。结果，根据操作者通过O/I PC2输入的设备单元状态改变数据，适当地改变设备3的单元状态。
例如，如果操作者通过O/I PC2输入了具有“使第一室4a的状态从运载状态改变为停载状态”的内容的设备单元状态改变数据，则设备3通过主机1接收设备单元状态改变数据，把第一室4a的状态从运载状态改变为停载状态。结果，第一室4a的状态立即从运载状态改变为停载状态。
传统方法中，操作者要通过设备监视器改变单元状态。结果明显地降低了设备的整体效率。
另一方面，根据本发明，操作者可以通过与主机1在线连接的O/I PC2，借助间接地遥控设备3的单元状态，改变设备3的单元状态。结果，可以明显地提高设备的总体效率。
此外，根据本发明，根据操作者输入的单元状态改变数据的内容，改变存储于主机1的单元状态数据。因此，当计算设备的运行速率时，可以收集准确存储的单元状态数据，该数据与也根据单元状态改变数据改变的实际单元状态数据相同。
例如，如果借助操作者通过O/I PC2的遥控，把第一室4a的状态从运载状态改变为停载状态，如上所述，则主机1根据这种情况，把第一室4a的存储的单元状态数据从运载状态改变为停载状态。结果，当计算运行速率时，可以收集准确的数据。因此，可以防止传统方法中会产生的设备生产率控制上的问题。
之后，主机1通过用于检验单元状态变化的单元状态变化监视模块20，反复进行上述步骤，从而可以有效地控制整个设备。
如上所述，在本发明中，利用单元状态变化监视模块，可以防止设备的实际单元状态数据与主机中存储的单元状态数据之间的不一致。从而可以明显地提高在控制生产率上的总体效率。
本发明可以应用于要求预定控制的各种半导体制造设备。
以上参考上述实施例已经说明了本发明。但是，按照上述说明显然许多替换、改进和变型对于本领域的技术人员来说是显而易见的。因此，本发明包括落入权利要求书的精髓和范围之内的所有这些替换、改进和变型。
如上所述，在主机中包括预定的单元状态变化监视模块的半导体制造设备控制系统中，对设备单元状态进行控制的方法中，通过单元状态变化监视模块实时地识别和控制单元状态的变化。从而，其一，可以防止存储于主机的单元状态与设备实际的单元状态之间的不一致。其二，通过主机可以准确地控制设备。其三，可以准确地控制设备整体生产率。其四，即使通过主机间接计算作业也可以改变设备单元状态，从而可以明显提高设备控制上的整体效率。
权利要求
1．一种在半导体制造设备控制系统中对设备各单元状态进行控制的方法，包括以下步骤当所述单元中发生预定的状态变化时，从所述设备接收单元的实际单元状态数据；第一次从存储于数据库的状态数据中搜索对应于所述单元的存储的单元状态数据；对比所述实际的单元状态数据和所述存储的单元状态数据，并确定所述实际单元状态数据中是否发生预定的变化；以及如果确定所述实际的单元状态数据中未发生所述预定变化，则继续接收所述实际的单元状态数据，如果确定所述实际的单元状态数据中发生了所述预定变化，则根据所述实际的单元状态数据的所述内容第一次更新所述存储的单元状态数据的所述内容。
2．根据权利要求1的方法，其中在所述第一次更新所述存储的单元状态数据的所述内容的步骤之后，还包括以下步骤确定是否输入了用于引入产品的预定信号；如果确定未输入用于引入产品的所述预定信号，则终止控制流程，如果确定输入了用于引入产品的所述预定信号，则识别引入了所述产品的所述单元，第二次搜索对应于所述单元的存储的单元状态数据，并确定所述单元是否处于其停载状态；如果确定所述单元未处于其停载状态，则终止所述控制流程，如果确定所述单元处于其停载状态，则显示预定的警告信息，停止处理。
3．根据权利要求1的方法，其中在所述第一次更新所述存储的单元状态数据的所述内容的步骤之后，还包括以下步骤确定是否输入了用于计算所述设备的运行速率的预定信号；如果确定未输入用于计算设备的运行速率的所述预定信号，则终止控制流程；如果确定输入了用于计算设备的运行速率的所述预定信号，则第三次搜索所述存储的单元状态数据，用所述第三次搜索的存储的单元状态数据计算所述设备的所述运行速率，输出所述设备的所述运行速率的预定信息。
4．根据权利要求1的方法，其中在所述第一次更新所述存储的单元状态数据的所述内容的步骤之后，还包括以下步骤确定是否输入了预定的设备单元状态改变数据；如果确定未输入所述预定的设备单元状态改变数据，则终止控制流程；如果确定输入了所述预定的设备单元状态改变数据，则根据所述设备单元状态改变数据的内容，第二次更新所述存储的单元状态数据的所述内容，把所述设备单元状态改变数据下载给所述设备。
全文摘要
一种在半导体制造设备控制系统中对设备单元状态进行控制的方法,其中,用于检测单元状态变化的预定单元状态变化监视模块包括在主机中。通过单元状态变化监视模块实时地识别和控制单元状态的变化。结果,可以防止存储于主机的单元状态数据与实际的单元状态数据之间的不一致。通过主机可以准确地控制设备。可以准确地控制设备整体生产率。即使通过主机间接计算作业也可以改变设备状态,从而可以明显提高设备控制上的整体效率。
文档编号G06Q50/04GK1224183SQ9810986
公开日1999年7月28日 申请日期1998年6月8日 优先权日1997年12月26日
发明者金成根, 金泰滢 申请人:三星电子株式会社