专利名称：半导体制造设备管理系统中设备的事故状态控制方法
技术领域：
本发明涉及对设置于半导体制造设备管理系统中的设备的事故状态进行控制的方法，特别是涉及恢复在线通信之后，通过事故状态监视模块，对设置于半导体制造设备管理系统中的设备的事故状态进行自动控制的方法。该方法能够预先防止意外的运行问题。
通常，通过高精度工艺来制造半导体器件。为此高精度工艺，在半导体生产线设置高功能设备。
由操作者通过管理系统对各设备的运行进行精心地监控，以便可以提高设备的运行效率。
如
图1所示，半导体制造设备3设置于生产线上。各批产品(lot)10被引入设备3中以进行处理。
通过与设备3在线连接的操作者接口个人计算机(O/I PC)2，操作者对各设备的运行进行精心地监控。
设备3通过设备服务器(未示出)分别与主机1在线连接。主机1与O/I PC2在线连接。
一旦操作者把基本制造数据，例如将要在设备3中处理的各批产品10的标识(ID)，设备3对各批产品10进行处理的标识，通过O/I PC2输入主机1，主机1根据输入的基本制造数据，从其数据库检索对各批产品10处理所用的适当处理条件数据。
之后，操作者检验处理条件数据，输入开始处理指令或终止处理指令。然后，通过将其快速推入或推出设备3对各批产品10进行处理。
如果在对各批产品10的处理期间，设备3中发生任何事故情况例如操作故障，则设备3立即把其中发生的事故情况通知主机1。然后主机1通过O/IPC2通知操作者设备3处于事故状态，以使设备3的事故状态能够立即恢复至正常状态。
但是，这种传统的管理系统存在几个问题。
其一，在主机1与设备3之间的在线通信被中断一定的时间量并恢复的情况下，主机1与设备3之间的数据传输被切断。因此，主机1所识别的设备3的事故状态是在线通信恢复之前的事故状态。然而，在线通信恢复之后的事故状态不能被主机1准确地识别。
其二，恢复在线通信之后，在被主机1错误识别的设备3的事故状态通过O/I PC2传输至操作者的情况下，会发生意外的操作问题。
其三，恢复在线通信之后，操作者应一个一个地检查设备，准确地识别设备中是否发生事故情况。这导致操作者的工作负担增加。
因此，本发明的目的在于在主机与设备之间的在线通信被中断一定的时间量并恢复之后，通过准确地实时识别设备的事故状态，预先防止意外的运行问题。
本发明的另一目的在于在恢复在线通信之后，通过自动地控制设备的事故状态而无需操作者做任何检查工作，来明显地减少操作者的工作负担。
为了实现上述目的和其他优点，对在半导体制造设备管理系统中设置的设备的事故状态进行控制的方法，包括以下步骤确定主机与设备之间的在线通信是否已恢复，如果确定在线通信已恢复，则从已恢复在线通信的设备中接收事故状态数据；检索事故状态数据，并确定已恢复在线通信的设备是否处于报警状态；如果确定已恢复在线通信的设备处于报警状态，则确定该报警状态是否是临界状态；如果确定该报警状态是临界状态，则改变已恢复在线通信的设备的可变标识的密钥值，把具有改变后的密钥值的可变标识加载于设备控制信息上，把其上加载了具有改变后的密钥值的可变标识的设备控制信息下载给已恢复在线通信的设备，从而关闭已恢复在线通信的设备；如果确定该报警状态不是临界状态，则确定是否输入了用于把各批产品引入已恢复在线通信的设备的信号，如果输入了该信号，则把报警信息下载给O/IPC。
设备控制信息更可取的是流函数信息。
设备控制信息更可取的是S2F21或S2F41。
可变标识更可取的是设备恒定标识(ECID)。
因此，即使主机与设备之间的在线通信被中断一定的时间量并恢复之后，也可以准确地控制半导体制造设备管理系统中设置的设备的事故状态。
通过参考附图具体说明优选实施例，将可进一步了解本发明的上述目的和其他优点。
图1是传统的半导体制造设备管理系统的示意图。
图2是体现本发明的半导体制造设备管理系统的示意图。
图3是根据本发明的对在半导体制造设备管理系统中设置的设备的事故状态进行控制的方法的流程图。
以下将参考附图更全面地说明本发明，图中展示了本发明的优选实施例。但是，本发明可以按许多不同的方式来体现，并不限于按这里给出的实施例来构成；而是提供这些实施例以便彻底和完整地公开本发明，使本领域的技术人员全面了解本发明的范围。
如图2所示，主机1包括事故状态监视模块20，在主机与设备之间的在线通信被中断一定的时间量并恢复之后，监视从设备3加载的事故状态数据。
当事故状态监视模块20安装于主机1时，设备3还设置有操作者通知的功能，以便可以把设备3的事故状态实时通知给事故状态监视模块20。
事故状态监视模块20把设备3的事故状态通知操作者或者关闭设备3，防止各批产品10引入处于事故状态的设备3。
参见图3，以下将更具体地说明根据本发明的对在半导体制造设备管理系统中设置的设备的事故状态进行控制的方法。首先，事故状态监视模块20确定主机1与设备3之间的在线通信是否恢复(S11)。
如果确定在线通信未恢复，则事故状态监视模块20终止控制工艺流程。
另外，如果确定恢复了在线通信，则事故状态监视模块20通过设备服务器实时接收从设备3加载的事故状态数据(S12)。结果，恢复在线通信之后可以由事故状态监视模块20立即识别设备3的事故状态。
然后，事故状态监视模块20检索事故状态数据，确定设备3是否处于报警状态(S20)。
如果确定设备3未处于报警状态而是处于运载状态，则重复步骤S12，随后再执行步骤S20。可以重复此循环直至在步骤S20的过程中发现设备3处于报警状态。
另外，如果确定设备3处于报警状态，则事故状态监视模块20确定报警状态是否是临界状态，识别设备3的不稳定程度(S30)。
如果确定报警状态是临界状态，即设备处于极为不稳定状态，则事故状态监视模块20把此确定信息传送至主机1。然后主机1把设备3的可变标识的密钥值改变为关闭状态，以彻底防止设备执行处理(S41)。
由主机1改变的可变标识最好是能够改变设备3状态的设备恒定标识(ECID)。
具有由主机1改变的密钥值的可变标识被传送至事故状态监视模块20。事故状态监视模块20从主机1接收具有改变后的密钥值的可变标识，把可变标识加载于设备控制信息上，通过设备服务器把设备控制信息下载于设备3(S42)。当设备控制信息下载于设备3时，立即关闭设备3。
在传统的管理系统中，仅在恢复在线通信之前主机1才能识别设备的事故状态。但是，在恢复在线通信之后主机1不能准确地识别设备3的事故状态。因此，即使设备3处于事故状态，主机1也允许设备3进行正常的工艺处理。结果，会发生意外的运行问题。
但是，根据本发明，即使恢复在线通信后，主机1通过事故状态监视模块20可以准确地识别设备3的事故状态。当确定设备3处于报警状态，特别是处于临界状态时，主机1关闭设备3，防止处于临界状态的设备3进行工艺处理。因此，可以预先防止与处于事故状态的设备的处理性能相关的意外运行问题。
从事故状态监视模块20下载于设备3的设备控制信息是允许平稳通信的流函数信息。
设备控制信息的流函数形状最好是适合于标准的S2F21或S2F41。例如，事故状态监视模块20按如下方式关闭设备3。事故状态监视模块20通过主机1接收具有改变后密钥值、关闭状态的ECID，把ECID加载于流函数、S2F21或S2F41。具有密钥值、关闭状态加载于其上的的ECID的流函数信息、S2F21或S2F41下载于设备3。结果，根据ECID的改变后的密钥值，设备3的状态快速地改变为关闭状态。因此，可以预先防止意外的运行问题。
如果确定设备3的报警状态不是临界状态，而只是不稳定状态，事故状态监视模块20确定是否将用于引入一批产品的信号输入O/I PC2(S51)。
如果确定用于引入一批产品的信号未输入O/I PC2，事故状态监视模块20确定操作者尚未进行工艺处理，则终止控制工艺流程。
另外，如果确定用于引入一批产品的信号已输入O/I PC2，事故状态监视模块20确定操作者准备把一批产品10引入处于事故状态的设备3，则下载带文本的报警信息，以便操作者可以肉眼识别设备3的事故状态(S52)。例如，事故状态监视模块20把设备3的事故状态处理成文本数据，用下载带文本数据的报警信息给O/I PC2，例如“设备处于报警状态。请停止把该批产品推进设备”，以便操作者可以识别设备3的事故状态，对该情况采取适当的行动。因此，操作者可以防止把一批产品10意外地引入处于事故状态的设备3。
在传统的管理系统中，在恢复在线通信之后主机1误解设备3的事故状态，并通过O/I PC2传送错误的事故状态数据给操作者的情况下，操作者的错误操作会引发意外的运行问题。
此外，恢复在线通信后，操作者应一个接一个地检查设备3，以便准确地识别各个设备3的事故状态。这导致操作者的工作负担明显增加。
但是，根据本发明，当设备处于报警状态时，主机1通过事故状态监视模块20可以准确地识别设备3的事故状态，当通过O/I PC2输入了用于把一批产品10引入设备3的信号时，显示报警信息以提醒操作者注意。从而，可以防止意外的运行问题。
此外，根据本发明，通过事故状态监视模块20可以自动地控制恢复在线通信后的设备3的事故状态，而无须操作者的任何检查工作。这导致明显减少操作者的工作负担。
报警信息的形成可以由O/I PC2改变。
之后，事故状态监视模块20重复上述步骤，从而有效地控制设备3的事故状态。
如上所述，根据本发明，恢复在线通信后通过事故状态监视模块可以自动地控制设备的事故状态。从而可以防止意外的运行问题。
本发明可以应用于设置在生产线上并需要预定控制而无任何效率的降低的半导体制造设备。
以上参考实施例已对本发明做了说明。但是，按照上述说明显然本领域的技术人员可以做出许多替换、改进和变形。因此，本发明包含处于权利要求书的精髓和范围内的所有这些替换、改进和变形。
如上所述，在对设置于半导体制造设备管理系统中的设备事故状态进行控制方法中，在主机中包括预定的事故状态监视模块，通过事故状态监视模块实时地识别设备的事故状态。从而可以防止意外的运行问题。此外，通过事故状态监视模块可以自动地控制恢复在线通信后的设备的事故状态，而无须操作者的任何检查工作。由此明显减少了操作者的工作负担。
权利要求
1．一种对在半导体制造设备管理系统中设置的设备的事故状态进行控制的方法，包括以下步骤确定是否已恢复主机与所述设备之间的在线通信，如果确定所述在线通信已恢复，则从已恢复在线通信的所述设备中接收事故状态数据；检索所述事故状态数据，并确定已恢复在线通信的所述设备是否处于报警状态；如果确定已恢复在线通信的所述设备处于所述报警状态，则确定所述报警状态是否是临界状态；如果确定所述报警状态是所述临界状态，则改变已恢复在线通信的所述设备的可变标识的密钥值，把具有所述改变后的密钥值的所述可变标识加载于设备控制信息上，把其上加载了具有所述改变后的密钥值的所述可变标识的所述设备控制信息下载给已恢复在线通信的所述设备，从而关闭已恢复在线通信的所述设备；如果确定所述报警状态不是所述临界状态，则确定是否输入了用于把各批产品引入已恢复在线通信的所述设备的信号，如果输入了所述信号，则把报警信息下加给O/I PC。
2．根据权利要求1的方法，其特征在于，所述设备控制信息是流函数信息。
3．根据权利要求2的方法，其特征在于，所述设备控制信息是S2F21或S2F41。
4．根据权利要求1的方法，其特征在于，所述可变标识是设备恒定标识(ECID)。
全文摘要
一种对在半导体制造设备管理系统中设置的设备的事故状态进行控制的方法。在主机与设备之间的在线通信被中断一定的时间量并恢复之后,通过安装在主机的事故状态监视模块,可以实时地识别并自动地控制在半导体制造设备管理系统中设置的设备的事故状态,无需操作者做任何检查工作。结果,可以预先防止意外的运行问题,并明显地减少操作者的工作负担。
文档编号G05B9/02GK1223466SQ98116070
公开日1999年7月21日 申请日期1998年7月16日 优先权日1998年1月14日
发明者金成根, 朴种和 申请人:三星电子株式会社