触摸面板以及制造触摸面板的方法
【技术领域】
[0001]本发明的示例性实施方式涉及触摸面板，并且更具体地，涉及触摸面板以及制造触摸面板的方法。
【背景技术】
[0002]触摸面板是能够通过将物体的触摸转换成电信号来接收信息的装置。触摸面板可被分为电阻型触摸面板、电容型触摸面板、电磁型触摸面板、表面声波(SAW)型触摸面板或者红外型触摸面板。
[0003]在制造触摸面板或使用触摸面板时，在触摸面板中可能出现静电流。静电流在感测电极和配线彼此直接接触的部分处可能击穿。
【发明内容】
[0004]本发明的示例性实施方式提供一种具有增加的可靠性的触摸面板。
[0005]本发明的示例性实施方式提供一种制造具有增加的可靠性的触摸面板的方法。
[0006]根据本发明的示例性实施方式的一方面，提供了一种触摸面板。触摸面板包括多个感测电极、多条配线以及静电放电图案。多个感测电极布置在基板上。多条配线从多个感测电极延伸。多条配线的底部表面具有与多个感测电极的底部表面相同的高度。静电放电图案电连接至多条配线。
[0007]在本发明的示例性实施方式中，触摸面板可进一步包括布置在静电放电图案与感测电极之间的绝缘层图案。静电放电图案可包括直接接触配线的第一端部以及与感测电极重叠的第二端部。
[0008]在本发明的示例性实施方式中，静电放电图案的第二端部可与配线或感测电极分开。
[0009]在本发明的示例性实施方式中，静电放电图案可布置为邻近于其中感测电极直接接触配线的部分。
[0010]在本发明的示例性实施方式中，可调整静电放电图案与感测电极的上边缘之间的距离。
[0011]在本发明的示例性实施方式中，感测电极和配线可包括多条金属纳米线。静电放电图案可包括依次堆叠的第一导电图案和第二导电图案。
[0012]在本发明的示例性实施方式中，感测电极和配线可包括多条银(Ag)纳米线。第一导电图案的电阻可低于第二导电图案的电阻。第二导电图案的抗氧化性可高于第一导电图案的抗氧化性。
[0013]在本发明的示例性实施方式中，第一导电图案可包括铜(Cu)，并且第二导电图案可包括钛(Ti)。
[0014]在本发明的示例性实施方式中，多条配线可具有第一宽度。静电放电图案可具有第二宽度。第二宽度可小于第一宽度。
[0015]在本发明的示例性实施方式中，第一宽度可在第二宽度的两倍到十倍的范围内。
[0016]在本发明的示例性实施方式中，基板可包括第一区域和围绕第一区域的至少一侧的第二区域。感测电极可布置在第一区域中。
[0017]在本发明的示例性实施方式中，配线可布置在第一区域和第二区域中。配线在第一区域中可具有第一宽度并在第二区域中具有第三宽度。第一宽度可小于第三宽度。
[0018]在本发明的示例性实施方式中，触摸面板可进一步包括布置在第二区域中的焊盘部分。第二区域可围绕第一区域的一侧。
[0019]在本发明的示例性实施方式中，感测电极可排布在可平行于基板的顶部表面的第一方向和第二方向上。配线可在第一区域中沿第一方向延伸。
[0020]在本发明的示例性实施方式中，触摸面板可进一步包括布置在基板上的相对电极。相对电极可具有平坦的形状，从而使相对电极与感测电极不重叠。
[0021]在本发明的示例性实施方式中，相对电极可在第一方向上延伸，并且多个感测电极可对应于单个相对电极。
[0022]在本发明的示例性实施方式中，相对电极的顶部表面和底部表面可具有与感测电极的顶部表面和底部表面相同的高度。
[0023]在本发明的示例性实施方式中，感测电极可排布在平行于基板的顶部表面的第一方向和第二方向上。配线可在第一区域中沿相对于第一方向倾斜的倾斜方向延伸。
[0024]在本发明的示例性实施方式中，多个静电放电图案可对应于单条配线。
[0025]根据本发明的示例性实施方式的一方面，提供了一种制造触摸面板的方法。在该方法中，在基板上形成感测电极和从感测电极延伸的配线。绝缘层图案形成为与感测电极和配线部分重叠。在绝缘层图案上形成静电放电图案。静电放电图案通过穿透绝缘层图案的接触孔接触配线。
[0026]在本发明的示例性实施方式中，形成静电放电图案可包括依次形成第一导电层和第二导电层并部分地去除第一导电层和第二导电层以形成第一导电图案和第二导电图案。第一导电层和第二导电层可覆盖感测电极和配线。第一导电层和第二导电层相对于感测电极和配线均具有蚀刻选择性。
[0027]在本发明的示例性实施方式中，形成感测电极和配线包括同时形成相对电极。相对电极可具有平坦的形状，从而使相对电极与感测电极不重叠。
[0028]根据本发明的示例性实施方式，静电放电图案可具有可小于配线的第一宽度Wl的第二宽度W2。在配线中流动的静电流可被放电到静电放电图案。例如，在静电放电图案的端部处可能会导致发生静电损坏或静电击穿。因此，静电放电图案可防止感测电极与配线之间的静电损坏或静电击穿。
【附图说明】
[0029]从下面结合附图进行的描述中，可进一步详细地理解实例实施方式，其中:
[0030]图1是示出根据本发明的示例性实施方式的触摸面板的平面图；
[0031]图2是示出根据本发明的示例性实施方式的图1的区域III的平面图；
[0032]图3是示出沿根据本发明的示例性实施方式的图2中的线IV-1V’截取的截面图；
[0033]图4是示出根据本发明的示例性实施方式的触摸面板的一部分的平面图；
[0034]图5是示出根据本发明的示例性实施方式的触摸面板的一部分的平面图；
[0035]图6是示出根据本发明的示例性实施方式的触摸面板的一部分的平面图；
[0036]图7是示出根据本发明的示例性实施方式的触摸面板的一部分的平面图；
[0037]图8是示出根据本发明的示例性实施方式的触摸面板的平面图；以及
[0038]图9至图15是示出根据本发明的示例性实施方式的制造触摸面板的方法的平面图和截面图。
【具体实施方式】
[0039]参照附图更全面地描述本发明的示例性实施方式。然而本发明可体现为很多不同的形式，并且不应被解释为限于在此阐述的实例实施方式。在附图中，为清晰起见，可放大层和区域的尺寸和相对尺寸。
[0040]将理解，当元件或层被称为“在”另一元件或层“上”、“连接至”或“耦接至”另一元件或层时，其可直接在另一元件或层上、直接连接或耦接至另一元件或层，或者可存在中间元件或层。相同或相似的参考编号在全文中可表示相同或相似的元件。
[0041]本文所用的术语仅是为了描述特定示例性实施方式的目的，而不旨在限制本发明。
[0042]在本文中，参考本发明的理想化实例和中间结构的示意性图示来描述本发明的实施方式。因而，可预期例如因制造技术和/或容差而产生的图示的形状的变化。因此，本发明的示例性实施方式不应被解释为局限于本文中示出的区域的特定形状，而是包括例如因制造而产生的形状上的偏差。
[0043]图I是示出根据本发明的示例性实施方式的触摸面板的平面图。图2是示出根据本发明的示例性实施方式的图I的区域III的平面图。图3是示出沿着根据本发明的示例性实施方式的图2中的线IV-IV’截取的截面图。
[0044]参考图I至图3，根据本发明的示例性实施方式的触摸面板可包括基板100、多个感测电极111至116、多条配线220以及焊盘部分228。触摸面板可进一步包括电连接至每条配线220的静电放电（ESD)图案240。
[0045]基板100可包括透明绝缘基板。例如，基板100可包括玻璃基板、石英基板、透明树脂基板等。
[0046]基板100可被划分成第一区域I和第二区域II。在本发明的示例性实施方式中，第一区域I可以是感测电极111至116可定位于的感测区域，并且第二区域II可以是配线220和焊盘部分228可定位于的外围区域。例如，第一区域I可暴露给触摸面板的用户，并且第二区域II可被边框（bezel)覆盖。第二区域II可围绕第一区域I的至少一侧。根据本发明的示例性实施方式，第二区域II可围绕如图I中所示的第一区域I的一侧。
[0047]多个感测电极111至116可布置在基板100上的第一区域I中。在本发明的示例性实施方式中，多个感测电极111至116可排布在基本平行于基板100的顶部表面的第一方向Dl上。因此，多个感测电极111至116可组成第一感测电极列110。此外，第一感测电极列110、第二感测电极列120和第三感测电极列130可排布在基本垂直于第一方向Dl的第二方向D2上。因此，多个感测电极列110、120和130可组成感测电极阵列。例如，感测电极阵列可包括排布在第一方向Dl和第二方向D2上的多个感测电极。
[0048]在本发明的示例性实施方式中，多个感测电极111至116可具有如图I和图2中所示的在第二方向D2上延伸的矩形形状。然而，本发明并不必限于此。例如，多个感测电极111至116可具有不同的形状。
[0049]多个感测电极111至116可以预定方式排布。在本发明的示例性实施方式中，感测电极111至116的每一个在第二方向D2上可具有相同的长度。此外，感测电极111至116的每一个可在第二方向D2上逐渐地偏移。例如，感测电极111至116的边缘可沿倾斜方向排布。可替换地，感测电极111至116