触摸屏面板和用于制造触摸屏面板的方法

文档序号:10697480阅读:345来源:国知局
触摸屏面板和用于制造触摸屏面板的方法
【专利摘要】本申请公开了触摸屏面板和用于制造触摸屏面板的方法。触摸屏面板包括基板、感测电极、连接线以及金属覆盖层,其中基板包括主动区和位于主动区外围的非主动区,感测电极设置在主动区中,连接线设置在非主动区中并电连接至感测电极,以及金属覆盖层设置在主动区和非主动区之间的接触区中,其中感测电极包括设置在基板上作为导体层的第一外敷层和设置在第一外敷层上的第二外敷层,并且连接线包括第一外敷层、第二外敷层、以及设置在第二外敷层上的金属线层。
【专利说明】
触摸屏面板和用于制造触摸屏面板的方法
[0001] 相关申请的交叉引用
[0002] 本申请要求于2015年4月20日提交的第10-2015-0055384号韩国专利申请的优先 权和权益,为了所有目的,该韩国专利申请通过引用并入本文,如同其在本文中完全阐述。
技术领域
[0003] 示例性实施方式设及触摸屏面板和用于制造触摸屏面板的方法。更具体地,示例 性实施方式设及具有高柔性和高可靠性的触摸屏面板W及用于制造触摸屏面板的方法。
【背景技术】
[0004] 触摸屏面板是输入设备,通过触摸屏面板,可利用用户的手或物体通过选择在显 示设备等的屏幕上显示的指令内容而输入用户指令。触摸屏面板可替代连接至图像显示设 备的单独的输入设备(诸如键盘或鼠标),从而逐渐延伸了其应用领域。
[0005] 触摸屏面板可分成电阻膜型、光学感测型、电容型等。电容型可分成自电容型和互 电容型。自电容型可实现悬停和多点触控功能。在自电容型触摸屏面板中,可在基板的一个 表面上形成彼此间隔开的导电感测电极,并且每个导电感测电极可对应于具体的位置信 息。因此,当用户的手或物体与触摸屏面板接触时,可W检测到感测电极的电容的变化,从 而计算触摸位置。传统的自电容型触摸屏面板可包括电极线。每个电极线可布置在感测电 极之间并连接至相应的感测电极。
[0006] 在触摸屏面板中,通过使用由金属纳米粒子(例如,银纳米线(AgNW))或导电的透 明氧化物(例如,铜锡氧化物(IT0))构成的混合层,可形成感测电极,并且通过使用金属(诸 如铜(Cu)),可形成金属线和桥。在感测电极、金属线和桥之上可形成纯化层。然而,由于纯 化层的焊盘部和扇出部处的高的透湿性,导致其中的铜金属线可能被腐蚀。此外,在高柔性 设备中,铜可能不具有充足的柔性,使得在金属线中可产生裂缝并且可增大其电阻。高柔性 材料(诸如侣(A1))可用来替代铜,但是在触摸屏面板的制造过程期间可发生工艺缺陷(诸 如侣层的升起)。
[0007] 在【背景技术】部分中公开的上述信息仅用于增强对发明构思的背景的理解,并因此 其可能包含不是形成在该国中已经为本领域普通技术人员所知的现有技术的信息。

【发明内容】

[000引示例性实施方式提供了具有高柔性和高可靠性的触摸屏面板及制造触摸屏面板 的方法。
[0009] 其他方面将在W下详细描述中阐述,并且部分将从公开内容中显而易见,或可W 通过发明构思的实践而了解。
[0010] 示例性实施方式公开了触摸屏面板,该触摸屏面板包括:基板,包括主动区 (active area)、位于主动区外围的非主动区(non-active area)、W及位于主动区和非主 动区之间的接触区;感测电极,设置在主动区中;连接线,设置在非主动区和接触区中并电 连接至感测电极;w及金属覆盖层,设置在接触区中,其中感测电极包括设置在基板上作为 导体层的第一外敷层和设置在第一外敷层上的第二外敷层,并且连接线包括第一外敷层、 第二外敷层、W及设置在第二外敷层上的金属线层,并且金属覆盖层通过接触区中用于暴 露第一外敷层中的接触孔将金属线层禪接至第一外敷层。
[0011] 示例性实施方式还公开了用于制造触摸屏面板的方法,该方法包括:在基板上形 成包括导电材料的第一外敷层,基板包括主动区、位于主动区外围的非主动区、W及位于主 动区和非主动区之间的接触区;在第一外敷层上形成第二外敷层;通过图案化第一外敷层 和第二外敷层,在主动区中形成感测电极并且在非主动区和接触区中形成连接线;在第二 外敷层上形成金属线层,该金属线层与非主动区和接触区中的连接线对应;通过图案化第 二外敷层,在接触区中形成接触孔W暴露第一外敷层;W及在接触孔中形成金属覆盖层,其 中金属覆盖层通过接触区中的接触孔将金属线层禪接至第一外敷层。
[0012] 在根据示例性实施方式的触摸屏面板中,覆盖层可在高溫度和高湿度的环境下形 成在金属线之上,从而提高可靠性。此外,第二外敷层形成在主动区的上部处W防止由导体 形成的第一外敷层氧化,从而进一步提高可靠性。此外,导电的氧化层可W不形成在主动区 中,运可W改善触摸屏面板的光学特性。
[0013] 前面的一般性描述和W下详细的描述是示例性和说明性的并且旨在提供对要求 保护的主题的进一步说明。
【附图说明】
[0014] 附图示出了发明构思的示例性实施方式,并且与描述一起用于解释发明构思的原 理,其中附图被包括W提供对发明构思的进一步的理解并且包含于本说明书中且组成本说 明书的一部分。
[0015] 图1为根据示例性实施方式的触摸屏面板的平面图。
[0016] 图2为沿图1的触摸屏面板的线Ι-Γ截取的剖视图。
[0017] 图3A、图3B、图3C、图3D和图3E为示出图1的触摸屏面板的制造过程的过程视图。
[0018] 图4为根据示例性实施方式的触摸屏面板的平面图。
[0019] 图5为图4的触摸屏面板的局部放大平面图。
[0020] 图6为沿图5中的线ΙΙ-ΙΓ截取的剖视图。
[0021] 图7A、图7B、图7C、图7D和图7E为示出图4的触摸屏面板的制造过程的过程视图。
[0022] 图8是示出根据示例性实施方式的触摸屏面板所应用到的显示设备的剖视图。
【具体实施方式】
[0023] 在W下描述中,为了说明的目的,阐述了大量具体细节W提供对各示例性实施方 式的全面理解。然而,显而易见的是,各示例性实施方式可W在不具有运些具体细节或具有 一个或多个等同布置的情况下实践。在其他情况下,W框图形式示出公知的结构和设备W 避免不必要地模糊各示例性实施方式。
[0024] 在附图中,为了清楚和描述的目的,可W放大层、膜、面板、区域等的尺寸和相对尺 寸。此外,相同的参考数字表示相同的元件。
[0025] 当元件或层被称为"位于"另一元件或层"上"、"连接至"另一元件或层或者"禪接 至"另一元件或层时,该元件或层可w直接位于另一元件或层上、直接连接至另一元件或层 或者直接禪接至另一元件或层,或者可存在介于中间的元件或层。然而,当元件或层被称为 "直接位于"另一元件或层"上"、"直接连接至"另一元件或层、或者"直接禪接至"另一元件 或层时,则不存在介于中间的元件或层。为了本公开的目的/'Χ、γ和Z中的至少一个"和"从 由X、Υ和Ζ组成的组中选择的至少一个"可被理解为仅有X、仅有Υ、仅有Ζ、或X、Υ和Ζ中的两个 或更多个的任意组合,诸如例如ΧΥΖ、ΧΥΥ、ΥΖ和ΖΖ。在全文中,相同的数字表示相同的元件。 如本文中使用的,术语"和/或"包括相关联的所列项目中的一个或多个的任何和全部组合。
[0026] 虽然术语第一、第二等在本文中可用于描述各种元件、部件、区域、层和/或部分, 但是运些元件、部件、区域、层和/或部分不应受运些术语限制。运些术语用于将一个元件、 部件、区域、层和/或部分与另一元件、部件、区域、层和/或部分区分开。因此,在不背离本公 开的教导的情况下,下面所讨论的第一元件、部件、区域、层和/或部分可被称为第二元件、 部件、区域、层和/或部分。
[0027] 诸如,"在 之下(beneath )"、"在......下方化61〇讯)"、"下(1〇讯61')"、"在......上 方(above)"、"上(upper)"等的空间相对术语可在本文中为了描述的目的而使用,并因此描 述如附图中所示的一个元件或特征与另外的元件或特征的关系。除了附图中所描绘的方向 W外,空间相对术语旨在包括装置在使用、操作和/或制造时的不同方向。例如,如果附图中 的装置被翻转,则被描述为在其它元件或特征"下方"或"之下"的元件或特征随后将定向为 在其它元件或特征"上方"。因此,示例性术语"在……下方"可W包括在……上方和在…… 下方两种方向。此外,设备可其它方式定向(例如,旋转90度或者处于其它方向),并且 同样地,相应地解释本文中所使用的空间相对描述语。
[0028] 本文中使用的术语是为了描述特定实施方式的目的,并不旨在成为限制。除非上 下文另外明确地指示,否则如本文中所使用的,单数形式"一个(a)"、" 一个(an)"和"该 (the)"还旨在包括复数形式。此外,当在本说明书中使用时,术语"包括(comprises)"、"包 括(comprising)"、"包括(includesΓ和/或"包括(including)"指定所叙述的特征、整体、 步骤、操作、元件、部件和/或它们的组的存在,但是不排除一个或多个其他特征、整体、步 骤、操作、元件、部件和/或它们的组的存在或增加。
[0029] 除非另外地定义,否则本文中所使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)具有 与本公开作为其一部分的领域内的普通技术人员通常所理解的含义相同的含义。除非本文 明确地定义,否则术语(诸如在常用词典中所定义的术语)将被解释为具有与其在相关领域 的上下文中的含义一致的含义,并且将不W理想化的或过于正式的意义进行解释。
[0030] 图1为根据示例性实施方式的触摸屏面板的平面图。图2为沿图1的触摸屏面板的 线Ι-Γ截取的剖视图。图3A、图3B、图3C、图3D和图3E为示出图1的触摸屏面板的制造过程的 过程视图。
[0031] 参照图1、图2、图3A、图3B、图3C、图3D和图3E,根据本示例性实施方式的触摸屏面 板包括基板10、感测电极20W及电连接至感测电极20的连接线30,其中基板10被分成主动 区AA、位于主动区AA外围的非主动区NA、W及在主动区AA与非主动区NA之间的接触区CA。
[0032] 根据本示例性实施方式的触摸屏面板可应用在显示设备中,诸如液晶显示设备或 有机发光显示设备。
[0033] 基板10被分成主动区AA、非主动区NAW及接触区CA,其中在主动区AA上显示图像, 非主动区ΝΑ位于主动区AA的外围,W及接触区CA在主动区AA与非主动区ΝΑ之间。主动区AA 可W是检测触摸位置并显示图像的区域。相应地,主动区AA可与在设置于触摸屏面板下方 的显示面板(未示出)中设置的像素重叠。非主动区NA可W是不会有图像在其上显示的非显 示区。感测电极20可设置在主动区AA中,并且连接线30可设置在非主动区NA中。
[0034] 基板10可包括具有高热阻和耐化学性的透明材料。根据示例性实施方式,基板10 可具有柔性。例如,基板10可W是由W下材料中的至少一个形成的薄膜基板,即聚对苯二甲 酸乙二醇醋(PET)、聚碳酸醋(PC)、丙締、聚甲基丙締酸甲醋(PMMA)、^乙酷纤维素(TAC)、聚 酸讽(PES)和聚酷亚胺(PI)。此外,常用的玻璃或钢化玻璃可W用作基板10。
[0035] 基板10上的感测电极20可W是导电的图案,并且可W均匀分布和布置在基板10的 主动区AA中。
[0036] 根据本示例性实施方式的触摸屏面板可W是自电容型,并且具有在其中感测电极 20分别电连接至相应的连接线30的结构。连接线30延伸至穿过主动区AA和接触区CA的扇出 部和非主动区NA中的焊盘部。
[0037] 感测电极20可W是布置在点阵结构中的四边形图案。然而,感测电极20的形状可 变化,包括多边形(诸如菱形、Ξ角形或六边形)、圆形、楠圆形等。
[0038] 参照图3A和图3B,通过使用导电材料在基板10上形成第一外敷层21、通过使用绝 缘材料在第一外敷层21上形成第二外敷层22,然后通过湿法刻蚀或干法刻蚀图案化第一外 敷层21和第二外敷层22,形成根据本示例性实施方式的感测电极20。运里,诸如银纳米线 (AgNW)的金属纳米线可W用作第一外敷层21的导电材料。第一外敷层21的厚度可具有本领 域中的正常范围。
[0039] 丙締酸基或娃树脂基的单体可用作第二外敷层22的绝缘材料,并且第二外敷层22 的厚度可W在大约50nm至大约扣m的范围内。可W在主动区AA中覆盖第二外敷层22W增加 可靠性。
[0040] 通过使用导电材料在基板10上形成第一外敷层21、通过使用绝缘材料在第一外敷 层21上形成第二外敷层22、在第二外敷层22上形成金属线层31、在金属线层31之上形成金 属覆盖层32,然后通过干法刻蚀图案化金属覆盖层32,形成非主动区NA中的连接线30。
[0041] 如图3A和图3B所示,非主动区NA中的第一外敷层21和第二外敷层22通过与主动区 AA中的第一外敷层21和第二外敷层22相同的工艺被沉积和图案化。因而,非主动区NA中的 第一外敷层21和第二外敷层22图案化为连接线30。
[0042] 参照图3C,然后通过在第二外敷层22上设置金属线层31(诸如铜或侣),可形成非 主动区NA中的连接线30。侣可W是在其上部处可具有高柔性的布线金属。侣的厚度可W为 大约500 A至2000 1。众所周知,侣可具有优良的弯曲性能,即使当应用到可折叠的高柔 性设备时也是如此。然而,侣在制造过程中和在导体层(诸如银纳米线(AgNW))的选择性刻 蚀时,可能较为脆弱。根据本示例性实施方式,感测电极20可包括第二外敷层22,并因此,可 W在不会导致诸如升起的缺陷的情况下使用侣。
[0043] 参照图3D,然后通过刻蚀基板10上的第二外敷层22,在主动区AA与非主动区NA之 间的接触区CA中形成接触孔23。在运种情况下,可使用半色调掩模。
[0044] 参照图3E,然后在接触孔23和金属线层31之上,更具体地在对应于焊盘部的金属 线层31之上形成金属覆盖层32, W给接触孔23和金属线层31提供可靠性。通过使用铜锡氧 化物(ΙΤΟ)或铁(Ti)基耐腐蚀合金,金属覆盖层32可具有大约500 A或更大的厚度,更具体 地具有大约沸0 A至700 A的厚度。金属覆盖层32可通过接触孔23将金属线层31禪接至 第一外敷层21。
[0045] 根据上述的触摸屏面板的结构,当诸如用户的手指或触控棒的接触物体接触触摸 屏面板时,基于触摸位置的电容的变化可经由感测电极20、连接线30W及焊盘部(未示出) 传输到驱动电路。电容的变化可由X和Y输入处理电路(未示出)转换成电信号,从而检测触 摸位置。
[0046] 图4为根据示例性实施方式的触摸屏面板的平面图。图5为图4的触摸屏面板的局 部放大平面图。图6为沿图5中的线ΙΙ-ΙΓ截取的剖视图。图7A、图7B、图7C、图7D和图7E为示 出图4的触摸屏面板的制造过程的过程视图。
[0047] 在图4至图7E中,与参照图1至图3E所示出的触摸屏面板的部件具有相同参考数字 的部件可参照上述公开内容,因而将省略其重复描述。
[004引根据本示例性实施方式的感测电极20包括第一感测电极20a和第二感测电极20b。 第一感测电极20a和第二感测电极20b分别交替地布置,W沿彼此不同的方向连接。第一感 测电极20a可沿列方向D1(竖直方向)彼此连接,并且第一感测电极20a的列线可分别连接至 连接线30。第二感测电极20b可沿行方向D2(水平方向)彼此连接,并且第二感测电极20b的 行线可分别连接至连接线30。相邻的第二感测电极20b可通过桥图案BP彼此电连接。
[0049] 参照图7A和图7B,通过使用导电材料在基板10上形成第一外敷层21、通过使用绝 缘材料在第一外敷层21上形成第二外敷层22,然后通过湿法刻蚀或干法刻蚀图案化第一外 敷层21和第二外敷层22,形成感测电极20。
[0050] 诸如银纳米线(AgNW)的金属纳米线可W用作第一外敷层21的导电材料。第一外敷 层21的厚度可具有本领域中的正常范围。丙締酸基或娃树脂基的单体可用作第二外敷层22 的绝缘材料,并且第二外敷层22的厚度可W在大约50nm至大约扣m的范围内。第二外敷层22 可W覆盖在主动区AA中,从而提高可靠性。
[0051] 根据本示例性实施方式的感测电极20中的每个可具有菱形形状。然而,感测电极 20的形状、材料和结构可W变化。
[0052] 连接线30可将W线为单元的第一感测电极20a和第二感测电极20b连接至外部驱 动电路(未示出)。例如,连接线30可W分别电连接至第一感测电极20a的列线和第二感测电 极20b的行线,W通过焊盘部(未示出)将第一感测电极20a和第二感测电极20b连接至诸如 位置检测电路的外部驱动电路。连接线30布置在触摸屏面板100之外的非主动区NA中,W避 免与主动区AA重叠。
[0053] 非主动区NA中的连接线30包括第一外敷层21、第二外敷层22W及金属线层31,其 中第一外敷层21设置在基板10上作为导体层,第二外敷层22由绝缘材料形成在第一外敷层 21上,并且金属线层31位于第二外敷层22上。
[0054] 参照图7A和图7B,非主动区NA中的连接线30的第一外敷层21和第二外敷层22通过 与主动区AA中的第一外敷层21和第二外敷层22相同的工艺被沉积和图案化。因而,非主动 区NA中的第一外敷层21和第二外敷层22图案化为连接线30。
[0055] 参照图7C,然后在第二外敷层22上形成金属线层31,然后通过干法刻蚀而图案化 金属线层31,从而形成连接线30。
[0056] 参照图7D,然后有机层40设置在主动区AA中的感测电极20的第二外敷层22和非主 动区NA中的连接线30的金属线层31上。在主动区AA与非主动区NA之间的接触区CA中刻蚀有 机层40和第二外敷层22,从而形成接触孔23。
[0057] 参照图7E,然后金属覆盖层32设置在接触孔23中。在根据本示例性实施方式的触 摸屏面板100中,第一感测电极20a和第二感测电极20b形成在同一层中,并且感测电极20包 括将两个相邻的第二感测电极20b彼此电连接的桥图案BP。与在接触孔23中形成金属覆盖 层32的过程类似,通过在将布置桥图案BP的两个端部刻蚀有机层40和第二外敷层22形成孔 24和25,然后在对应于桥图案BP的有机层40之上形成金属覆盖层32,而可形成桥图案BP。
[0058] 有机层40可设置在第一感测电极20a与桥图案BP之间并使第一感测电极20a与桥 图案BP绝缘。
[0059] 桥图案BP可由透明电极材料或不透明的低电阻金属材料形成。可调节桥图案BP的 宽度、厚度或长度W防止从外界可看到桥图案BP。根据示例性实施方式,桥图案BP可在对角 线方向倾斜,使得可W进一步防止从外界可看到桥图案BP。
[0060] 通过使用铜锡氧化物(IT0)或铁(Ti)基耐腐蚀合金,金属覆盖层32可具有大约 500 A或更大的厚度,更具体地具有大约500 A至700 A的厚度。
[0061] 根据示例性实施方式的触摸屏面板100可应用到各种显示设备。图8示出了根据示 例性实施方式的触摸屏面板所应用到的显示设备的一部分。
[0062] 参照图8,显示设备具有包括显示层120、封装基板130、感测电极W及连接线的结 构,其中显示层120形成在薄膜晶体管(TFT)背板110上,封装基板130形成在显示层120上, 感测电极在封装基板130上形成有第一外敷层141和第二外敷层142, W及连接线在封装基 板130上形成有第一外敷层141、第二外敷层142、金属线层143和金属覆盖层144。盖基板160 通过光学透明粘合剂150粘附在该结构上。
[0063] 显示层120可W是有机发光层或液晶层。当显示层120包括有机发光层时,发光度 可W基于来自TFT背板110的电流而变化。相应地,显示给用户的图像的亮度可W取决于有 机发光层的发光度而变化。当显示层120包括液晶层时,液晶的布置可W通过来自TFT背板 110的电压而变化。相应地,从背光(未示出)生成并穿过偏振片(未示出)的光的偏振度可取 决于液晶的布置而变化。当具有变化的偏振度的光经由另一偏振片(未示出巧Ij达用户时, 显示给用户的图像的亮度可W变化。
[0064] 此外,根据示例性实施方式的触摸屏面板可应用到嵌入单元(in-cell)结构。在运 种情况下,触摸屏面板还可包括有机发光层和薄膜封装层。
[0065] 虽然已在本文中描述了某些示例性实施方式和实现,但是其他实施方式和修改将 从本描述中显而易见。因此,发明构思不限于运样的示例性实施方式,而是被限制到提出的 权利要求和各种显而易见的修改W及等同布置的更宽的范围。
【主权项】
1. 一种触摸屏面板,包括: 基板,包括主动区、位于所述主动区外围的非主动区、以及位于所述主动区与所述非主 动区之间的接触区; 感测电极,设置在所述主动区中; 连接线,设置在所述非主动区和所述接触区中并且电连接至所述感测电极;以及 金属覆盖层,设置在所述接触区中, 其中: 所述感测电极包括: 第一外敷层,设置在所述基板上作为导体层;以及 第二外敷层,设置在所述第一外敷层上; 所述连接线包括: 所述第一外敷层; 所述第二外敷层;以及 金属线层,设置在所述第二外敷层上,以及 所述金属覆盖层通过所述接触区中用于暴露所述第一外敷层中的接触孔将所述金属 线层耦接至所述第一外敷层。2. 如权利要求1所述的触摸屏面板,其中,所述感测电极分别连接至所述连接线。3. 如权利要求1所述的触摸屏面板,其中,所述感测电极包括: 第一感测电极,设置在第一方向上; 第二感测电极,设置在与所述第一方向相交的第二方向上;以及 桥图案,电连接两个相邻的第一感测电极。4. 如权利要求1所述的触摸屏面板,还包括设置在所述主动区中的所述第二外敷层和 所述非主动区中的所述金属线层上的有机层。5. 如权利要求2所述的触摸屏面板,其中,所述金属覆盖层还设置在对应于焊盘部的所 述金属线层上。6. 如权利要求3所述的触摸屏面板,其中,所述桥图案包括设置在所述第一外敷层上的 所述金属覆盖层。7. 如权利要求1所述的触摸屏面板,其中,所述第一外敷层包括金属纳米线层。8. 如权利要求1所述的触摸屏面板,其中: 所述第二外敷层包括丙烯酸基或硅树脂基的单体;以及 所述第二外敷层的厚度在50nm至5μηι的范围内。9. 如权利要求1所述的触摸屏面板,其中,所述金属线层包括铜或铝。10. 如权利要求1所述的触摸屏面板,其中: 所述金属覆盖层包括铟锡氧化物(ΙΤΟ)或钛(Ti)基耐腐蚀合金;以及 所述金属覆盖层的厚度等于或大于50011. 如权利要求1所述的触摸屏面板,还包括薄膜晶体管背板, 其中,所述基板设置在所述薄膜晶体管背板上。12. -种用于制造触摸屏面板的方法,所述方法包括: 在基板上形成包括导电材料的第一外敷层,所述基板包括主动区、位于所述主动区外 围的非主动区、以及位于所述主动区与所述非主动区之间的接触区; 在所述第一外敷层上形成第二外敷层; 通过图案化所述第一外敷层和所述第二外敷层,在所述主动区中形成感测电极并且在 所述非主动区和所述接触区中形成连接线; 在所述第二外敷层上形成金属线层,所述金属线层与所述非主动区和所述接触区中的 所述连接线对应; 通过图案化所述第二外敷层,在所述接触区中形成接触孔以暴露所述第一外敷层;以 及 在所述接触孔中形成金属覆盖层, 其中,所述金属覆盖层通过所述接触区中的所述接触孔将所述金属线层耦接至所述第 一外敷层。13. 如权利要求12所述的方法,其中,所述金属覆盖层还设置在对应于焊盘部的所述金 属线层上。14. 如权利要求12所述的方法,还包括在形成所述金属线层之后,在所述主动区中的所 述第二外敷层上和所述非主动区中的所述金属线层上形成有机层。15. 如权利要求12所述的方法,其中,所述第一外敷层的所述导电材料包括金属纳米 线。
【文档编号】G06F3/044GK106066726SQ201610249831
【公开日】2016年11月2日
【申请日】2016年4月19日 公开号201610249831.1, CN 106066726 A, CN 106066726A, CN 201610249831, CN-A-106066726, CN106066726 A, CN106066726A, CN201610249831, CN201610249831.1
【发明人】赵先行, 金载能, 朴成均, 崔祥圭, 金暻鍱, 曺基铉
【申请人】三星显示有限公司
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