技术总结
本申请提供了薄膜的检测系统与检测方法。该检测系统包括多功能传感器、模数转换单元与控制单元，其中，多功能传感器包括三个检测单元，分别是光学检测单元、磁性检测单元与厚度检测单元，三个检测单元用于对待测膜上的各扫描点分别进行光学检测、磁性检测与厚度检测；模数转换单元的输入端与光学检测单元的输出端、磁性检测单元的输出端以及厚度检测单元的输出端电连接，模数转换单元用于将三个检测单元的输出信号分别转化为对应的数字信号；控制单元与多功能传感器以及模数转换单元电连接，用于控制多功能传感器与模数转换单元工作。该检测系统可以同时检测薄膜的三种物理量，并使得检测系统能够产生相同分辨率的不同物理特性的图像。
技术研发人员：戚务昌;林永辉;张凯
受保护的技术使用者：威海华菱光电股份有限公司
文档号码：201610657275
技术研发日：2016.08.11
技术公布日：2017.01.04