技术总结
本实用新型公开了一种氢氟酸生产系统，包括探测报警系统、生产反应系统、分离精制系统、冷却冷凝系统、收集存储系统、废料处理系统和包装暂存系统；所述探测报警系统包括第一有毒气体探测器、第二有毒气体探测器、第三有毒气体探测器、第四有毒气体探测器、第一防水型声光报警器、第二防水型声光报警器、第三防水型声光报警器和第四防水型声光报警器。生产反应系统、分离精制系统内、冷却冷凝系统和收集存储系统均设置有有毒气体探测器和防水型声光报警器。该氢氟酸生产系统可以探测和控制氢氟酸生产过程中的有毒气体，当探测到有毒气体时立刻报警，提醒操作人员离开，避免操作人员受到危害，保障操作人员的健康与安全。
技术研发人员：童晨;胡美艳
受保护的技术使用者：昆山晶科微电子材料有限公司
文档号码：201620930998
技术研发日：2016.08.24
技术公布日：2017.03.22