专利名称：将微致动器集成于悬臂件上的方法及系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种信息记录磁盘驱动单元，更具体地涉及一种用于磁盘驱动
器的磁头折片组合(headgimbal assembly, HGA)的悬臂件及微致动器。
背景技术：
一种常见的信息存储设备是磁盘驱动系统，其使用磁性媒介来存储数据及 设置于该磁性媒介上方的可移动读写头来选择性地从磁性媒介上读取数据或将 数据写在磁性媒介上。
消费者总是希望这类磁盘驱动系统的存储容量不断增加，同时希望其读写 速度更快更精确。因此石兹盘制造商一直致力于开发具有较高存储容量的^兹盘系
间接增加磁盘的存储容量。然而，随着磁轨密度的增加，对读写头的位置控制 精度也必须相应的提高，以便在高密度磁盘中实现更快更精确的读写操作。随 着磁轨密度的增加，使用传统技术来实现更快更精确将读写头定位于磁盘上适 当的磁轨变得更加困难。因此，磁盘制造商一直寻找提高对读写头位置控制的 方式，以便利用不断增加的磁轨密度所带来的益处。
磁盘制造商经常使用的一种提高读写头在高密度盘上位置控制精度的方法 为采用第二个驱动器，也叫微致动器。该微致动器与一个主驱动器配合共同实 现对读写头的位置控制精度及速度。包含微致动器的磁盘系统被称为双驱动器 系统。
在过去曾经开发出许多用于提高存取速度及读写头在高密度磁盘的磁轨上 定位精度的双驱动器系统。这种双驱动器系统通常包括一主音圈马达驱动器及 一副微致动器，比如PZT微致动器(即压电微致动器，以下简称为压电微致动
器)。该音圏马达驱动器由伺服控制系统控制，该伺服控制系统导致驱动臂旋转， 该驱动臂上承栽读写头以便将读写头定位于存储盘上适当的石兹轨上。压电微致 动器与音圏马达驱动器配合使用共同提高存取速度及实现读写头在》兹轨上位置 的微调。音圈马达驱动器对读写头的位置粗调，而压电微致动器对读写头相对 于磁盘的位置的精调。通过两个驱动器的配合，共同实现数据在存储盘上高效 而精确的读写操作。
一种已知的用于实现对读写头位置微调的微致动器包含有压电元件。该压 电微致动器具有相关的电子装置，该电子装置可导致微致动器上的压电元件选 择性的收缩或扩张。压电微致动器具有适当的结构，使得压电元件的收缩或扩 张引起微致动器的运动，进而引起读写头的运动。相对于仅仅使用音圏马达驱 动器的石兹盘系统，该读写头的运动可以实现对读写头位置更快更^"确的调整。 这类范例性的压电微致动器揭露于许多专利中，比如名称为"微致动器及磁头
折片组合"的日本专利JP2002-133803，及名称为"具有实现位置微调的驱动器 的磁头折片组合，包含该磁头折片组合的磁盘系统及该磁头折片组合的制造方 法"的日本专利JP2002-074871。这类范例性的压电微致动器同时揭露于其它专 利中，比如美国专利第6， 671, 131及6, 700, 749。
图1及图2所示为传统的磁盘驱动单元，磁盘101安装在主轴马达102上 并由其旋转。音團马达臂104上承栽有磁头折片组合100,该磁头折片组合IOO 包括含有磁头103的微致动器105，该磁头103上安装有读写头。 一音圏马达控 制音圏马达臂104的运动，进而控制磁头103在磁盘101的表面上的磁轨之间 的移动，最终实现读写头在磁盘101上数据的读写。
图3展示了图1-2所示传统磁盘驱动单元的磁头折片组合100,其上具有双 驱动器。然而，由于音圈马达及磁头悬臂组合的固有误差，磁头103无法实现 快速而精确的位置控制，相反地，而是影响读写头精确读写磁盘上数据的性能。 为此，增加上述压电微致动器105，以便提高磁头及读写头的位置控制精度。更 具体地讲，与音圏马达比较，该压电微致动器105以更小的幅度来调整^P兹头103 的位移，以便补偿音圈马达和(或)磁头悬臂组合的共振误差。该压电微致动
器使得应用更小的磁轨间距成为可能，并且可以将磁盘系统的磁轨密度(TPI, 每英寸所舍磁轨数量)提高50%,同时可以减少磁头的寻轨时间(seeking time ) 及定位时间(settlingtime)。因此，压电微致动器105可以大幅度提高存储盘的 表面记录密度。
如图3、4所示，所述磁头折片组合100包括具有悬臂舌片108的悬臂件106。 所迷悬臂舌片108用于承栽所述压电微致动器105及磁头103。所述悬臂舌片 108的相对边上形成悬臂导线110。
参考图5，传统的压电微致动器105包括一个金属框架130。该金属框架130 包括顶支撑板132、底支撑板134及连接上述顶支撑板132与底支撑板134的两 个边臂136、 138。所述边臂136、 138的外表面分别安装用于致动(actuation) 的压电元件140、 142。所述磁头103支撑在该顶支撑板132上。
参考图4、 6，所述压电微致动器105借助所述框架130的底支撑板134而 安装到悬臂舌片108上。所述底支撑板134可通过环氧树脂158而固定到所述 悬臂舌片108上。多个连接球，比如三个电连接球150 (金球连接或锡球连接) 将压电微致动器105固定在每个压电元件140、 142侧边的悬臂导线IIO上。另 外，多个连接球，比如四个电连接球(金球连接或锡球连接)152将磁头103连 接到悬臂导线110上，以便电性连接磁头103上的读写传感器。当通过悬臂导 线IIO对所述压电元件140、 142施加电压时，压电元件140、 142膨胀或收缩 并导致侧臂136及138沿着共同的侧向方向弯曲。该弯曲导致金属框架130产 生剪切变形，即该金属框架130的形状由矩形变成平行四边形，从而导致顶支 撑板132的运动。该运动导致安装在顶支撑板132上的磁头103沿磁盘轨道运 动，以便实现精确调整读写头的位置。通过上述方式，可实现磁头位置控制的 微调。
参考图6，所述悬臂件106的负载杆160上具有与所述悬臂舌片108配合的 凸点162。所述悬臂舌片108与微致动器框架130的顶支撑板132之间形成一个 平行间隙170，从而允许所述压电微致动器105及磁头103在使用时能够自由光 滑地运动。该间隙170对于微致动器运行及磁头折片组合的性能非常重要。
在将孩史致动器105装配到悬臂件106时，维持上述平行间隙170非常困难。 由于环氧树脂158为软性材料，该环氧树脂158可以导致微致动器105产生倾 斜，比如所述悬臂舌片108与微致动器105之间的间隙170变小。所述框架倾 斜将影响磁头折片组合的性能，比如纵向倾角(pitch angle )、横向倾角(roll angle) 或微致动器与悬臂舌片之间的干涉。另外，所述框架倾斜也会影响磁头折片组 合的制造成本。
因此有必要提供一种改进的系统，以克服现有技术的不足。
发明内容
本发明一方面涉及一种磁头折片组合，其包括具有悬臂挠性件的悬臂件。 所述悬臂挠性件包括机械地形成于其上的台阶板。微致动器安装在所述悬臂挠 性件的台阶板上。所述台阶板支撑所述微致动器，从而使得在工作时所述微致 动器的顶支撑板与悬臂挠性件之间形成一个基本恒定的间隙。
本发明另一方面涉及一种磁盘驱动装置，其包括磁头折片组合、与该磁 头折片组合连接的驱动臂、磁盘及驱动该磁盘转动的旋转马达。所述磁头折片 组合包括具有悬臂挠性件的悬臂件。所述悬臂挠性件包括机械地形成于其上的 台阶板。微致动器安装在所述悬臂挠性件的台阶板上。所述台阶板支撑所述微 致动器，从而使得在工作时所述微致动器的顶支撑板与悬臂挠性件之间形成一 个基本恒定的间隙。
本发明另一方面涉及一种制造磁头折片组合的方法，其包括形成具有多 个互相连接的长形条(rowbar)的金属片，所述每个长形条具有多个互相连接的框 架单元；从所述金属片上切割出单个长形条；将所述框架单元形成微致动器框 架；将压电元件安装到所述微致动器框架；从所述单个长形条上切割出框架； 准备悬臂件的悬臂挠性件；在所述悬臂挠性件上形成台阶板；将所述框架激光 焊接到所述悬臂挠性件的台阶板上；准备所述悬臂件的基板、负栽杆及枢接件； 通过将所述基板、负载杆及柩接件互相安装起来而实现对所述悬臂件的装配； 检查所述悬臂件；及包装所述悬臂件。
本发明另一方面涉及一种制造^f兹头折片组合的方法，其包括形成具有多 个互相连接的长形条的金属片，所述每个长形条具有多个互相连接的框架单元； 从所述金属片上切割出单个长形条；将所述框架单元形成微致动器框架；从所 述单个长形条上切割出框架；准备悬臂件的悬臂挠性件；在所迷悬臂挠性件上 形成台阶板；将所述框架激光焊接到所述悬臂挠性件的台阶板；准备所述悬臂 件的基板、负栽杆及枢接件；通过将所述基板、负栽杆及枢接件互相安装起来 而实现对所述悬臂件的装配；将压电元件安装到组装后的悬臂件上的微致动器 框架上；检查所述悬臂件；及包装所述悬臂件。
通过以下的描述并结合附图，本发明将变得更加清晰，这些附图用于解释 本发明的实施例。
图1为传统磁盘驱动单元的立体图。
图2为图1所示传统^兹盘驱动单元的局部立体图。
图3为传统石兹头折片组合(head gimbal assembly, HGA)的立体图。
图4为图3所示磁头折片组合局部放大的立体图。
图5为图3所示磁头折片组合的磁头及压电微致动器的立体图。
图6为图3所示磁头折片组合的局部截面图。
图7为本发明一个实施例所述^f兹头折片组合的立体图。
图8为图7所示磁头折片组合局部放大的立体图。
图9为图8所示结构沿线9-9的剖碎见图。
图IO为图7所示磁头折片组合的分解图。
图lla-llc为立体图，展示了本发明一个实施例所述将微致动器安装到悬臂 舌片的焊接流程。
图lh-12d为立体图，展示了本发明一个实施例所述在悬臂舌片内形成台阶 板(st印plate)的制造流程。
图13展示了本发明一个实施例所述的制造流程图。
图14a-14e为一系列视图，展示了图13所示的制造流程。 图15a-15e为一系列视图，展示了图13所示的制造流程。 图16展示了本发明另一个实施例所述的制造流程图。
具体实施例方式
现在参考附图描述本发明的实施例，附图中类似的元件标号代表类似的元 件。本发明一方面对微致动器与悬臂舌片之间的平行间隙进行控制，同时利用 微致动器精确地驱动磁头。通过控制微致动器与悬臂舌片之间的平行间隙，所 述磁头折片组合的纵向静态姿势(pitch static attitude, PSA )、横向静态姿势(roll static attitude, RSA)及干涉问题得以解决。另外，制造工序得以简化且成本得 以降低。
现在描述磁头折片组合的实施例。应当注意所述微致动器安装结构可应 用于任何具有微致动器的磁盘驱动装置中，以便提高对平行间隙的控制，而不 限于附图所示的特定磁头折片组合。即本发明适用于任何领域内任何适当的含 有微致动器的设备。
图7-9为本发明一个实施例所述的具有微致动器安装结构的磁头折片组合 210。该磁头折片组合210包括压电微致动器212、磁头214及用于承栽上迷压 电微致动器212与磁头214的悬臂件216。
如图7、 IO所示，所述悬臂件216包括基板218、负载杆220、枢接件222、 挠性件224及位于该挠性件224内的悬臂导线226。该基板218由相对较硬或刚 度较好的材料比如金属形成，以便稳定地将悬臂件216固定于一个音圏马达的 驱动臂上。
所述枢接件222通过比如焊接方式安装到所述基板218与负载杆220上。 如图所示， 228。
所述负栽杆220通过比如焊4妄的方式固定在枢接件222上。所述负载杆220
上形成与所述挠性件224相互配合的凸点234 (如图9所示)。
所述挠性件224通过比如坪接方式而安装到枢接件222与负载杆220上。 所述挠性件224上具有用以将所述压电微致动器212支撑于悬臂件216的悬臂 舌片230。所述负栽杆220上的凸点234与所述悬臂舌片230配合并支撑该悬臂 舌片230。而且，所述挠性件224上具有悬臂导线226,以便将所述石兹头214及 压电微致动器212上的压电元件242、 243与一个外部控制系统电性连接起来。
在一个实施例中，所述压电微致动器212首先通过比如激光焊接的方式而 被安装到所述挠性件224的悬臂舌片230上，然后所述挠性件224被安装到其 它悬臂部件，比如基板218、负载杆220及枢接件222上。从而在所述悬臂件 216上形成集成压电微致动器212。
如图lla所示，所述压电微致动器212包括微致动器框架252及安装在该微 致动器框架252的相应边臂的压电元件242、 243。
所述微致动器框架252包括顶支撑板254、底支撑板256及连接所述顶支撑 板254与底支撑板256的边臂258、 259。所述微致动器框架252最好由金属材 料形成，然而用其它合适材料形成也可以。
所述微致动器框架252的相应边臂258、 259面向外侧的表面上安装有压电 元件242、 243。每个压电元件242、 243借助比如四个电连接球(金球焊接或锡 球焊接，GBB或SBB ) 260而与所述悬臂导线226电性连接。
如图9及lla-llc所示，所述底支撑板256具有适当结构从而将压电微致动 器框架252连接到所述悬臂件216上。具体地讲，所述悬臂件216的悬臂舌片 230上形成有台阶板(step plate)或支撑台阶(support step) 270。微致动器安装 结构215以支撑台阶的形式叠压在所述悬臂件216的悬臂舌片238上。所述底 支撑板256通过焊接方式例如激光焊接方式而安装到所迷台阶板270上。如图 lib (该图为所述挠性件224在舌片区域230的背面结构)所示，激光焊接是在 所述台阶板270的背面进行的。在上述实施例中，所述底支撑板256借助一组 激光点280，比如两个激光点而焊接到所述台阶板270上。由于是从所述挠性件
224的背面进行的，因此如图llc所示，所述压电孩史致动器212 (位于所述挠性 件224的顶侧)的顶側上没有焊接痕迹。在另一个实施例中，激光焊接也可以 在所述台阶板270的顶側上进行，该台阶板270支撑所述微致动器的底支撑板 256。这种焊接方式与背面焊接方式相同。
如图9所示，这种安装结构将所述底支撑板256与悬臂舌片230连接起来， 并且在悬臂舌片230与所述孩么致动器框架252的顶支撑板254之间形成平行间 隙290,从而允许所述压电微致动器212及》兹头214在使用时能够光滑地及自由 地移动。
图12a-12d展示了在所述悬臂舌片230内形成所述台阶板270的流程。所述 台阶板270可以通过比如沖压方式而机械地形成于所述悬臂舌片230内。例如，
所述舌片230内可以借助化学蚀刻方式而形成四个孔274。所述四个孔274有助 于形成具有理想的盒子形状或方形形状的台阶板270。然后，如图12c-12d(分
通过沖压而形成于所述悬臂舌片230上。所述台阶板270的高度可以在35-50 /rni 之间。
在上述实施例中，所述台阶板270具有大体为方形的形状。然而，所述台 阶板也可以具有其它适当形状，例如三角形、梯形、圆形或方形与圓形的组合 形状。而且，所述台阶板的成型边缘(forming edge )可以为倾斜边缘(slope edge )、 圓形边缘(round edge)等。另外，所述舌片230内可以借助化学蚀刻方式形 成多个孔，以便形成具有很好的盒子形状的台阶板270。
这种微致动器框架252的安装结构，即在所述悬臂舌片230内机械地形成 所述台阶板270，并且将所述孩史致动器框架252借助激光焊接方式而安装到所述 台阶板270上，使得在使用时所述微致动器框架252与悬臂舌片230之间维持 一个实质上恒定的间隙290。即，与环氧树脂安装方式相比较，间隙的控制得以 改善。例如通过控制所述台阶板270的高度，所述间隙的尺寸可以很容易地被
控制。另外，由于所述安装工序可以集成到悬臂件制造工序中，成本可以有效 低降低。
此外，通过控制所述平行间隙，所述磁头折片组合的纵向静态姿势、横向 静态姿势及干涉问题得以解决。因此，所述微致动器及磁头折片组合的性能得 以改善。
所述顶支撑板254将所述框架252固定到所述磁头214上。具体地讲，所 述^ 兹头214借助比如环氧树脂而安装到所述顶支撑板254。所述^f兹头214借助比 如电连接球(金球焊接或锡球焊接)266而与所述悬臂导线226电性地连接。
在工作时，例如通过在所述压电元件242、 243上经由悬臂导线226而施加 电压，令所述压电元件242、 243选择性地膨胀或收缩。所述压电^f敖致动器212 具有适当结构使得压电元件242、 243的膨胀或收缩引发上述边臂258、 259产 生运动，该边臂258、 259的运动导致顶支撑板254产生运动，该顶支撑板254 的运动又导致连接在该顶支撑板254上的磁头214产生运动。
图13、 14a-14e及15a-15e展示了本发明一个实施例所述磁头折片組合210 的制造流程的主要步骤。当流程开始后(图13中的步骤1 )， 如图14a所示， 借助例如蚀刻的方式形成包含多个由互相连接的框架单元294组成的排列292 (如长形条)的金属片291 (图13中的步骤2)。
在上述实施例中，所述金属片291包括四个互相连接的排列292，其中每个 排歹U 292包括八个互相连接的框架单元294。然而，所述金属片290也可以包括 其它适当数量的排列292及框架单元294。
接下来，如图14b所示，将单独的长形条292从所述金属片291切出(图 13中的步骤3 )。如图14c所示，每个框架单元294借助横梁298而与一个公 共基板296连接。然后，如图14d-14e所示，形成金属框架(图13中的步骤4) 并将压电元件242、 243安装到所述金属框架(图13中的步骤5)。接下来，将 单独的框架294从所述单个长形条292切出。如图所示，该单独的框架单元294 形成了上述微致动器框架252。
图13中的步骤6形成挠性件。该步骤可以包4舌通过比如蚀刻方式而形成包 括由互相连接的挠性件单元394组成的多个排列392 (比如长形条)的金属片 391 (如图15a所示)，及从所述金属片391上切割而形成单个长形条392 (如图 15b所示)。
接着，如图15c-15d所示，所述台阶板270形成于所述挠性件内，以便用于 安装框架单元297(图13中的步骤7)。然后，如图15e所示，所述框架单元294 凭借比如激光点280而借助前述方式被激光焊接到挠性件(图13中的步骤8 )。
在图13中的步骤9中将所述悬臂件的基板、负栽杆及枢接件准备好。然后， 将所述悬臂件组装起来(图13中的步骤10)。在该步骤中，所述挠性件、基板、 负载杆及枢接件借助例如激光焊接的方式而被互相装配起来。然后检查所述悬 臂件(图13中的步骤11),并且包装所述i兹头折片组合从而完成制造流程(图 13中的步骤12)
图16展示了本发明另一个实施例所述磁头折片组合210的制造流程的主要 步骤。图16所示流程与图13所示流程类似。比较而言，所述压电元件是在悬 臂件装配完毕后再被安装到金属框架上的。
本发明实施例中所述的磁头折片组合210可以应用在》兹盘驱动装置上。该 》兹盘驱动装置可以为结合图1所描述的类型。由于这些^f兹盘驱动装置的结构、 运行及组装工序为本技术领域的普通技术人员所知悉，这里省略其详细描述， 以使本发明更加清晰。
以上结合最佳实施例对本发明进行了描述，但本发明并不局限于以上揭示 的实施例，而应当涵盖各种根据本发明的本质进行的修改、等效组合。
权利要求
1.一种磁头折片组合，其包括具有悬臂挠性件的悬臂件，所述悬臂挠性件包括机械地形成于其上的台阶板；及安装在所述悬臂挠性件的台阶板上的微致动器；其中，所述台阶板支撑所述微致动器，从而使得在工作时所述微致动器的顶支撑板与悬臂挠性件之间形成一个基本恒定的间隙。
2. 根据权利要求1所述的磁头折片组合，其特征在于所述台阶板形成 于所迷悬臂挠性件的悬臂舌片上。
3. 根据权利要求1所述的磁头折片组合，其特征在于所述微致动器包 括金属框架，该金属框架包括安装于所述台阶板上的底支撑板、用于承载磁头 的顶支撑板及将所述底支撑板与顶支撑板互相连接起来的一对边臂。
4. 根据权利要求3所述的磁头折片组合，其特征在于所述底支撑板激 光焊接到所述台阶板上。
5. 根据权利要求4所述的磁头折片组合，其特征在于所述底支撑板借 助一组激光点而激光焊接到所述台阶板上。
6. 根据权利要求4所述的磁头折片组合，其特征在于所述激光焊接是 在所述台阶板的背面进行的，该背面与所述台阶板上用以支撑所述底支撑板的 顶侧相对。
7. 根据权利要求4所述的磁头折片组合，其特征在于所述激光焊接是 在所述台阶板上用以支撑所述底支撑板的顶侧上进行的。
8. 根据权利要求l所述的磁头折片组合，其特征在于所述台阶板借助 冲压方式而机械地形成于所述悬臂挠性件上。
9. 根据权利要求l所述的磁头折片组合，其特征在于所述台阶板为方 形、三角形、梯形、圆形、方形与圆形的组合形状中的任意一种形状。
10. 根据权利要求9所述的磁头折片组合，其特征在于所述悬臂挠性件 上蚀刻形成有多个用于成型所述台阶板的孔。
11. 根据权利要求l所述的磁头折片组合，其特征在于所述台阶板具有 倾斜边缘或圓形边缘。
12. 根据权利要求1所述的磁头折片组合，其特征在于所述台阶板的高 度在35-50 gm之间。
13. —种》兹盘驱动装置，其包括 磁头折片组合；与该i兹头折片组合连接的驱动臂；驱动该;兹盘转动的旋转马达； 其中所述i兹头折片组合包括具有悬臂挠性件的悬臂件，所述悬臂挠性件包括机械地形成于其 上的台阶板；及安装在所述悬臂挠性件的台阶板上的微致动器； 其中，所述台阶板支撑所述微致动器，从而使得在工作时所述微 致动器的顶支撑板与悬臂挠性件之间形成一个基本恒定的间隙。
14. 根据权利要求13所述的磁盘驱动装置，其特征在于所述台阶板形 成于所述悬臂挠性件的悬臂舌片上。
15. 根据权利要求13所述的磁盘驱动装置，其特征在于所述微致动器 包括金属框架，该金属框架包括安装于所述台阶板上的底支撑板、用于承载磁 头的顶支撑板及将所述底支撑板与顶支撑板互相连接起来的一对边臂。
16. 根据权利要求15所述的磁盘驱动装置，其特征在于所述底支撑板 激光焊接到所述台阶板上。
17. 根据权利要求16所述的磁盘驱动装置，其特征在于所述底支撑板 借助一组激光点而激光焊接到所述台阶板上。
18. 根据权利要求16所述的磁盘驱动装置，其特征在于所述激光焊接 是在所述台阶板的背面进行的，该背面与所述台阶板上用于支撑所述底支撑板 的顶侧相对。
19. 根据权利要求16所述的磁盘驱动装置，其特征在于所述激光焊接 是在所述台阶板上用于支撑所述底支撑板的顶侧上进行的。
20. 根据权利要求13所述的磁盘驱动装置，其特征在于所述台阶板借 助沖压方式而机械地形成于所述悬臂挠性件上。
21. 根据权利要求13所述的磁盘驱动装置，其特征在于所述台阶板为 方形、三角形、梯形、圓形、方形与圓形的组合形状中的任意一种形状。
22. 根据权利要求21所述的磁盘驱动装置，其特征在于所述悬臂挠性 件上蚀刻形成有多个用于成型所述台阶板的孔。
23. 根据权利要求13所述的磁盘驱动装置，其特征在于所述台阶板具 有倾斜边缘或圓形边缘。
24. 根据权利要求13所述的磁盘驱动装置，其特征在于所述台阶板的 高度在35-50/mi之间。
25. —种制it》兹头折片组合的方法，其包括 形成具有多个互相连接的长形条的金属片，所述每个长形条具有多个互相连接的框架单元；从所述金属片上切割出单个长形条； 将所述框架单元形成微致动器框架； 将压电元件安装到所述微致动器框架； 从所述单个长形条上切割出框架； 准备悬臂件的悬臂挠性件； 在所述悬臂挠性件内形成台阶板； 将所述框架激光焊接到所述悬臂挠性件的台阶板； 准备所述悬臂件的基板、负载杆及枢接件；通过将所述基板、负载杆及枢接件互相安装起来而实现对所述悬臂件的装配；检查所述悬臂件；及 包装所述悬臂件。
26. 根据权利要求25所述的方法，其特征在于形成金属片包括通过蚀 刻方式形成金属片。
27.—种制造石兹头折片组合的方法，其包括形成具有多个互相连接的长形条的金属片，所述每个长形条具有多个互相连接的框架单元；从所述金属片上切割出单个长形条； 将所述框架单元形成微致动器框架； 从所述单个长形条上切割出框架；准备悬臂件的悬臂挠性件； 在所述悬臂挠性件内形成台阶板； 将所述框架激光焊接到所述悬臂挠性件的台阶板； 准备所述悬臂件的基板、负载杆及枢接件；通过将所述基板、负载杆及枢接件互相安装起来而实现对所述悬臂件的装配；将压电元件安装到组装后的悬臂件上的微致动器框架上；检查所述悬臂件；及包装所述悬臂件。
全文摘要
一种磁头折片组合，其包括具有悬臂挠性件的悬臂件。所述悬臂挠性件包括机械地形成于其上的台阶板。微致动器安装在所述悬臂挠性件的台阶板上。所述台阶板支撑所述微致动器，从而使得在工作时所述微致动器的顶支撑板与悬臂挠性件之间形成一个基本恒定的间隙。
文档编号G11B21/10GK101114461SQ200610109068
公开日2008年1月30日 申请日期2006年7月26日 优先权日2006年7月26日
发明者姚明高, 白石一雅, 谢怡如, 黄奉安 申请人:新科实业有限公司