专利名称：：磁盘驱动设备和用于该磁盘驱动设备的磁头组件的制作方法
技术领域：
：本发明涉及一种磁盘驱动设备和一种用于该磁盘驱动设备的磁头组件。更具体地说，本发明涉及一种校正磁头错位的技术，该磁头错位由用来支撑磁头的磁头支撑单元的扭转振动造成。
背景技术：
：有已知的磁盘驱动器设备，该磁盘驱动设备使用各种类型的介质，如光盘、磁光盘、及软磁盘。在这些设备中，硬盘驱动器(HDD)被广泛地用作计算机存储器，并且成为当前计算机系统的必备存储器之一。HDD不仅用于计算机系统，而且也作为可移动存储器用于运动画面记录和再现设备、汽车导航系统、数字摄影机。HDD的使用因为优良的特性正在日益扩展。HDD包括磁盘，用来存储数据；磁头滑动器，用来在磁盘上读取或写入数据；及执行器，用来把磁头滑动器移动到磁盘上的指定位置。执行器由音圈电动机驱动。执行器以旋转轴为中心旋转，以在转动的磁盘上沿径向方向移动磁头滑动器。磁头滑动器包括滑动器、和在滑动器表面上形成的磁头元件。磁头元件包括记录元件，用来根据在磁盘上存储的数据把电信号转换成磁场；和/或读取传感器，用来把来自磁盘的磁场转换成电信号。执行器包括弹性悬架；和用来固定悬架的托臂。磁头滑动器紧固到悬架上。磁头滑动器由执行器支撑，并且在转动的磁盘上以指定间隙浮动。执行器的振动降低用来定位磁头滑动器的精度。执行器由于HDD本身的振动或磁盘转动造成的HDD中的空气流动而振动。为了解决这个问题，这里提出减小由紊流造成的执行器振动的技术(例如，见专利文献1)。JP-ANo.272974/200
发明内容执行器振动可分类成诸如水平摆动(摇摆)、扭动(扭转)、及竖直摆动(弯曲)之类的模式。水平方向与磁盘的记录表面(主平面)相平行。竖直方向与磁盘的记录表面相垂直。摇摆模式移动磁头偏离磁盘上的磁道，并因此大大地影响定位控制。为了解决这个问题，进行增大水平刚性或使执行器周围的空气流动平稳的尝试。扭转模式意味着托臂扭动。托臂以其刚性中心为中心旋转。由于磁头元件定位在刚性中心外，所以磁头位置根据旋转水平地偏离。为了解决这个问题，类似于摇摆模式，也进行增大刚度或使空气流动平稳的尝试。弯曲模式意味着托臂向其薄弱部分弯曲。在弯曲模式中，磁头元件(磁头滑动器)在执行器的纵向方向上，即在磁头滑动器与旋转轴之间调节的方向上运动和振动。由于振动方向(运动方向)近似与磁道相平行，所以弯曲模式比上述两种振动模式对磁头位置精度具有较小影响。当TPI(磁道每英寸)变高时，更需要不仅减小摇摆和扭动模式而且也减小弯曲模式。由于刚性已经被证实是高的，所以通过采取上述对策可改进摇摆或扭动模式。然而，最近，弯曲模式日益构成定位精度降低的重要部分。在磁头元件与磁道之间的角度随记录表面上的位置而变。角度一般由倾斜角限定。倾斜角由把磁头元件与旋转轴中心相连接的线和磁道的切线方向调节。典型地，倾斜角在记录表面的中心附近是O。倾斜角的绝对值向内周缘和外周缘增大。在倾斜角是0的位置处，倾斜角方向(倾斜角的正或负)依据内周缘侧和外周缘侧而颠倒。当磁头元件前后震动时，倾斜角在离开-磁道的方向上，即在径向方向上，产生振动分量。对于弯曲模式也需要采取校正措施，以便实现当前要求的高TPI。然而，HDD在高度方向(相对于记录表面的法线方向)上具有严格的约束条件。难以通过增加托臂的厚度来提高抵抗弯曲模式的刚性。增加托臂的厚度也增加其体积，并且大大地影响执行器的平衡或动态特性。根据本发明实施例的一种磁盘驱动设备包括电动机，它转动用来存储数据的磁盘；磁头，它访问转动的磁盘；及磁头支撑单元，它支撑磁头，并且在磁盘的记录表面上方移动磁头。磁头支撑单元具有扭转振动模式，并且相对于记录表面的法线在沿磁盘径向方向的倾斜方向上至少在记录表面上方的部分位置处扭转地振动，以便至少减小沿磁盘的径向方向的磁头振动分量。由于磁头支撑单元以这种方式扭转地振动，所以可改进磁头定位精度。根据优选例子，磁头支撑单元相对于记录表面的法线在沿磁盘的径向方向的倾斜方向上至少在记录表面的中部外的区域中的部分位置处扭转地振动，以便减小沿磁盘的径向方向的磁头振动分量。可以有效地抑制磁头定位精度在引起大振动的外周缘处变差。磁头支撑单元绕旋转轴旋转。倾斜角可以在记录表面上从最内磁道向最外磁道变化。在这样的情况下，离开记录表面的扭转方向优选地从法线向外周缘倾斜。靠近记录表面的扭转方向优选地从法线向内周缘倾斜。可以有效地抑制磁头定位精度在引起巨大振动的外周缘处变差。磁头支撑单元优选地绕旋转轴旋转，并且从旋转轴向磁头扭转。这使得有可能借助于简单的方法调节扭动方向。倾斜角可以在记录表面上从最内磁道向最外磁道变化。在这样的情况下，磁头支撑单元优选地扭转以致向外周缘倾斜。可以有效地抑制磁头定位精度在引起巨大振动的外周缘处变差。磁头支撑单元可以包括悬架，用来支撑磁头；和托臂，它把悬架与旋转轴相连接，并且沿从旋转轴到磁头的方向扭转。优选的是，扭转方向相对于法线的角度在0.05°与0.51。之间的范围中。这使得有可能有效地改进磁头定位精度。根据本发明另一个实施例的一种磁盘驱动设备包括磁头，它访问转动的磁盘；和磁头支撑单元，它支撑磁头，绕旋转轴旋转，及在磁盘的记录表面上方移动磁头。磁头支撑单元沿从旋转轴到磁头的方向扭转，并且相对于记录表面的法线在沿磁盘的径向方向的倾斜方向上扭转地振动。倾斜角可以在记录表面上从最内磁道向最外磁道变化。在这样的情况下，优选的是，磁头支撑单元包括悬架，用来支撑磁头；和托臂，它把悬架与旋转轴相连接，并且沿从旋转轴到磁头的方向扭转，使得托臂向外周缘倾斜。根据本发明其它实施例的一种磁头组件包括磁头，它访问用来存储数据的磁盘；和磁头支撑单元，它支撑磁头，绕旋转轴旋转，及在磁盘的记录表面上方移动磁头。磁头支撑单元具有扭转振动模式，并且相对于记录表面的旋转轴方向在沿磁盘的径向方向的倾斜方向上至少在记录表面上方的部分位置处扭转地振动，以便至少减小沿磁盘的径向方向的磁头振动分量。由于磁头支撑单元以这种方式扭转地振说明书第5/16页动，所以可改进磁头定位精度。本发明可抑制磁头位置精度由于磁头支撑单元的扭转振动而变差。图1是俯视图，示意地表示根据实施例的硬盘的整体构造；图2是立体图，示意地表示根据实施例具有执行器和磁头滑动器的磁头组件的例子；图3示意性地示出根据实施例的托臂和悬架的扭转振动；图4示意地表示根据实施例在倾斜角与磁头振动之间的关系；图5示意地表示根据实施例从磁头滑动器观察的扭转的托臂、悬架、及磁头滑动器；图6示意地表示根据实施例由包括托臂和悬架的执行器臂的扭转振动造成的磁头滑动器的振动和位移；图7表示根据实施例在顶部和底部处具有扭转托臂的HDD的例子；图8表示根据实施例具有其厚度沿径向变化的扭转的托臂和其它托臂的HDD的例子；及图9表示根据实施例在铰链的倾斜角与磁头位置位移之间的测定关系。具体实施例方式如下描述本发明的可应用实施例。为了解释清楚，如下描述和附图按需要省略和简化。在附图中，相同部分或元件由相同附图标记表示。为了解释清楚，按需要省略元件的重复描述。下面把硬盘驱动器(HDD)用作磁盘驱动器设备的例子描述本发明的优选实施例。根据实施例的执行器提供有扭转振动模式。根据实施例的HDD相对于记录表面的法线沿磁盘的径向方向倾斜扭转振动方向。这可改进在脱离磁道方向上的磁头位置精度。参照图1，如下描述根据本发明的HDD的整体构造。图1是俯视图，示意地表示根据实施例的HDD100的整体构造。图1表示当执行器定位成活动时HDD100的状态。磁盘101是用来存储数据的磁盘的例子，并且是永久的。磁性层被磁化以记录数据。底座102紧固到盖(未示出)上，该盖借助垫片(未示出)用来封闭底座102的顶部开口。以这种方式，作为包装的例子的盘外壳被构造，并且可包含HDD100的构成元件。夹具104把磁盘101紧固到主轴电动机103上。磁盘101由紧固到底座102的底部上的主轴电动机103以指定角速率(速度)转动地驱动。作为磁头的例子的磁头滑动器105访问磁盘101。磁头滑动器105包括磁头元件、和磁头元件紧固到其上的滑动器。磁头元件包括读取元件和写入元件。读取元件通过把数据转换成电信号从磁盘101的记录表面读取磁性数据。写入元件使用电信号产生磁场，并且把磁性数据写在记录表面上。执行器106保持和移动磁头滑动器105。执行器106由旋转轴107以可旋转的方式支撑，并且包括音圈电动机(VCM)109，该音圈电动机作为驱动机构用来旋转该执行器。执行器106在其末端处设有磁头滑动器105。执行器106包括从末端按悬架IIO、托臂lll、及线圈支架112的顺序连接的构件。磁头滑动器105紧固到与记录表面对应的悬架110的表面上。本说明书使用磁头悬架组件(HGA)的术语来指示悬架UO和磁头滑动器105的组件。线圈支架112支撑平线圈113。平线圈113夹在上部定子磁体保持板114与下部定子磁体保持板(未示出)之间。斜面115定位成靠近磁盘101的外边缘。当磁盘101停止转动时，斜面115提供停靠位置，用来从磁盘101的表面上方卸载磁头滑动器105。接片116形成在悬架110的末端处，并且在加载/卸载操作期间在斜面115上滑动。当数据从磁盘101读取或写入到其上时，执行器106把磁头滑动器105移动到转动磁盘101的记录表面中的数据区域上方。旋转执行器106使磁头滑动器105沿磁盘101的记录表面的径向方向运动。当在与磁盘101相对的滑动器的ABS(空气承载表面)上产生力并且与悬架110的压力相平衡时，磁头滑动器105以指定间隙在磁盘101上方浮动。迹线122固定到执行器106上，并且传输来自磁头滑动器105的信号。迹线122的一端连接到磁头滑动器105上，并且其另一端连接到包括前置放大器IC123的FPC"3上。迹线122在磁头滑动器105与前置放大器IC123之间传输信号。FPC143根据电路连接经连接器147连接到安装在底座102的后部的控制电路基片(未示出)上。FPC143在控制电路与前置放大器IC123之间传输信号。在控制电路基片上的控制电路控制HDD100的操作，并且处理其信号。图2是立体图，示意地表示根据实施例的磁头组件的例子。磁头组件设有执行器106和磁头滑动器105。在这个例子中的磁头组件包括四个托臂llla至llld和六个HGA。磁头组件包括六个悬架110a至110f、和固定到悬架110a至110f上的磁头滑动器105a至105f。就是说，HDDIOO在托臂llla至llld之间设有三个磁盘。当磁头滑动器的任何一个被描述或者磁头滑动器被综合地描述时，如下描述使用没有字母后缀的磁头滑动器105的标记。这同样适用于悬架和托臂。托臂llla至llld在悬架110a至110f与旋转轴107之间沿纵向方向延伸，并且把它们彼此连接。在这个例子中，托臂llla至llld连续地形成有用来保持旋转轴107的旋转轴接受器108并且借助于铆接连接到悬架110a至110f上。可选择地，可以使用其它已知结构。悬架110a至110f的每一个具有铰链361。在图2中，为了解释容易附图标记仅赋予悬架110f。铰链361具有孔362以减弱其刚性。杆状金属层363a和363b沿旋转方向提供在孔362的两侧处，并且起弹簧的作用用来产生逆着由磁盘101的转动引起的空气流施加到磁头滑动器105上的浮力的负压力。在图2中的特性点是托臂llla是扭转的。图2呈现作为磁盘101的内周缘的近侧和作为其外周缘的远侧。托臂llla被扭转成向围绕纵向方向(即从旋转轴107到磁头滑动器105的方向)的外周缘倾斜。扭转角从旋转轴107到在末端处的磁头滑动器105a逐渐增大。悬架110a根据托臂llla的扭转向外周缘倾斜。现在参照图3，如下描述执行器106的扭转振动、和根据扭转振动的磁头滑动器105的振动。托臂111构造成在旋转轴方向(HDD100的竖直方向)上比在纵向方向上薄，该纵向方向与在旋转方向上的宽度和在与记录表面相平行的表面上的旋转方向近似相垂直。托臂111具有引起向较薄方向上弯曲的弯曲模式。这种振动耦合到悬架110在铰链361处弯曲以振动的振动模式。托臂111和悬架110的共同组件示范用来支撑磁头的磁头支撑单元，并且由于耦合产生扭转振动。图3表示在根据耦合的扭转振动模式中的主振动。扭转振动的主振动引起巨大振动，并且因此产生磁头滑动器105的巨大位移。这种主振动下面将描述为扭转振动。扭转振动包括在托臂llla的根部处，即在与旋转轴接受器108的接合处的节点。扭转振动在参照磁盘101的记录表面定位成靠近托臂111的末端的铰链361处或其附近产生最大振幅。扭转振动使托臂111和悬架110的长度在纵向方向上恒定。磁头滑动器105在托臂111的纵向方向上，即在磁头滑动器105与旋转轴107(或旋转轴接受器108)之间调节的方向上，前后振动。正压力和负压力作用在通过ABS浮动的磁头滑动器105与磁盘101的记录表面之间。磁头滑动器105保持其浮动高度和倾斜恒定，以致由记录表面限制。磁头滑动器105平行于记录表面振动，而没有在记录表面的法线方向上振动。扭转振动的最大振幅允许磁头滑动器105最靠近地移动到旋转轴107。其最小振幅0允许磁头滑动器105从旋转轴107最远离地移动开。倾斜角存在于磁头滑动器105(磁头元件)与在记录表面上沿切线方向的磁道之间，并且随记录表面上的径向位置而变。倾斜角的存在依据记录表面上的径向位置相对于磁道的切线方向改变磁头滑动器105的振动方向。就是说，在磁头滑动器105的振动中，径向位置改变径向方向分量(脱离磁道分量)的大小。这将参照图4解释。图4(a)、4(b)、及4(c)示意地分别表示倾斜角与外周缘(0D)、中部周缘(MD)、及内周缘(ID)处的磁头振动之间的关系。附图提供从磁头滑动器观察的记录表面的视图。附图的顶部与执行器106的末端相对应。倾斜角形成在如下之间在磁头元件与旋转轴中心之间调节的方向；和在磁道上的磁头位置处的切线方向。图4(a)至4(c)表示作为例子的读取元件151。由实线描绘的位置与扭转振动的振幅0相对应。由虚线描绘的位置与引起扭转振动的最大振幅的状态相对应。Dl描绘磁道的切线方向。D2描绘把旋转轴中心与读取元件151相连接的方向。在方向Dl与D2之间的角度J3等效于倾斜角。当托臂111如参照图2描绘的那样不产生扭转时，磁头滑动器105的振动方向，即读取元件151的振动方向，与方向D2—致。在图4的例子中，在如图4B所示的中部周缘中的指定位置处倾斜角为0。HDDIOO典型地设计成提供一位置，该位置在记录表面的中部处提供倾斜角0。其目的在于减小记录表面上倾斜角的最大绝对值。倾斜角定向(正的和负的)随跨过与倾斜角0相对应的位置的外和内周缘而变。明确地说，相对于切线方向Dl的方向D2从外周缘到内周缘逆时针地变化。切线方向Dl匹配与如图4(b)中所示的倾斜角O相对应的径向位置处的读取元件151的振动方向D2。就是说，读取元件151仅在切线方向(周缘方向)上振动，并且不包含在径向方向上的振动分量。读取元件151在振动时保持位于磁道上的状态。然而，如图4(a)所示，当读取元件151在外周缘区域处振动时，振动不仅包含在切线方向Dl上的振动分量，而且也包含沿着与切线方向Dl相垂直的径向方向向内周缘的振动分量。朝向内周缘产生脱离磁道的分量，从而振动的余弦分量与磁道相平行，并且其正弦分量与磁道相垂直。相反，如图4(c)所示，读取元件151的振动包含再内周缘区域处向着外周缘的振动分量。读取元件151的振动不仅包含在切线方向Dl上的振动分量，而且也包含在与切线方向Dl相垂直的径向方向上向着外周缘的振动分量。脱离磁道的分量向着外周缘产生，使得振动的余弦分量与磁道相平行，并且其正弦分量与磁道相垂直。在图2中的执行器106具有扭转的托臂llla。由于托臂llla是扭转的，所以悬架110a的铰链361相应地相对于记录表面倾斜。扭转振动方向相对于记录表面的法线方向倾斜。图5(a)和5(b)示意地表示从磁头滑动器105a观察的扭转的托臂llla、悬架110a、及磁头滑动器105a。图5(a)表示执行器106停泊在斜面115上并且磁头滑动器105a定位成脱离磁盘101的记录表面的状态。图5(b)表示磁头滑动器105a在磁盘101的记录表面上方浮动的状态。如图5(a)和5(b)中所示，托臂llla扭转使得扭转从旋转轴107到在末端处的磁头滑动器105a逐渐增大。该扭转向外周缘倾斜。就是说，该扭转倾斜使得与磁盘相对的托臂llla的表面面向内周缘。当沿可运动方向的横截面观察时，向着外周缘的悬架110a的边缘(托臂llla)比其向着内周缘的边缘更靠近记录表面。在这个例子中，悬架110a是平的，而不是扭转的。如图5(a)中所示，当执行器106停泊在斜面115上时，磁头滑动器105a根据托臂llla的扭转相对于磁盘101的记录表面倾斜。如图5(b)中示范的那样，当磁头滑动器105a在记录表面上浮动时，磁头滑动器105a保持角度对于记录表面被调整。如以上提到的那样，正和负压力存在于磁头滑动器105a与记录表面之间。磁头滑动器105a和记录表面的ABS保持按照控制浮动高度确定的角度。参照图6(a)和6(b)，如下描述由托臂llla和悬架110a组成的执行器臂的扭转振动所引起的磁头滑动器105a的振动和位移。图6(a)表示由托臂llla和悬架110a组成的执行器臂的扭转振动。当执行器臂扭转地振动时，磁头滑动器105a振动从而向外周缘运动。图6(a)示意地表示与最大扭转振幅和最小扭转振幅相对应的磁头滑动器105的位置。磁头滑动器105在图中表示的位置之间振动。扭转方向，即移动铰链361的方向，离开记录表面(上)或接近记录表面(下)。在两种情况下，磁头滑动器105a几乎类似地动作。振幅根据离开和接近记录表面的方向可能相同或可能不同。扭转方向相对于记录表面的法线倾斜。图6(b)表示从执行器106的末端沿磁道的切线方向观察的磁头滑动器105的振动。扭转方向相对于法线方向D3沿着离开记录表面的方向向外周缘倾斜。相反，扭转方向相对于法线方向D3沿着接近记录表面的方向向内周缘倾斜。在图6(b)中，oc表示扭转方向相对于记录表面的法线方向D3在两个方向上的倾斜角。由于托臂llla的扭转向磁盘的内周缘移动磁头滑动器侧上的铰链361的表面，所以磁头滑动器105a如图6(a)和6(b)中所示那样振动。磁头滑动器105a的振动方向包含沿磁盘101的径向方向向着外周缘定向的分量。如以上参照图4(a)提到的那样，托臂llla可能不扭转。就是说，托臂llla和悬架110a的扭转方向可匹配记录表面的法线方向。在这样的情况下，磁头滑动器105在外周缘区域中振动以便运动到内周缘。另一方面，磁头滑动器105a的振动方向包含向外周缘定向的分量。结果，可以补偿磁头滑动器105a沿脱离磁道方向的振动的全部或部分。对于磁头滑动器105a在径向方向上在任何径向位置处，提供振动分量的相等比率。磁头滑动器105a的振动包含独立于径向位置的磁道的切线方向分量和径向方向分量的恒定比率。如图4(c)中所示，特别是在内周缘区域中，磁头滑动器105a可增加脱离磁道的振动。振动振幅在径向方向上在与外周缘区域中的振动的较小的脱离磁道的分量相对应的径向位置处也可增加。重要的是，减小记录表面上方的最大的脱离磁道的振动。减小脱离磁道的振动可整体提高磁头定位精度。托臂1H和悬架iio的扭转振动典型地向外周缘增大。这是因为磁盘101的转速增大，并且由气流造成的扭转振动向外周缘增大。在由于上部和下部磁盘之间的压力差而出现强气流紊流的磁盘101的边缘处，扭转振动增大较大。因此，优选的是，调整扭转方向倾斜度，以致减小定位到外周缘区域上的磁头从记录表面中部向外，特别是向着最外磁道的位移。在设计阶段，例如，改变扭转方向倾斜度可求出用来减小记录表面上方的最大的脱离磁道的量(峰值)的值。托臂llla的扭转可调整到该值。当扭转方向与内周缘内的法线方向相平行时，磁头位置可被最大地移动。在这样的情况下，托臂llla的扭转可以调整到与上述方向相反的扭转方向。实际上，除扭转振动之外的振动分量影响HDD，并且降低磁头位置精度。通过调整扭转方向可确定最佳倾斜度，从而抑制磁头位置精度由于这些位移而下降。在图2的例子中，只有在顶盖侧处的顶部托臂llla被扭转。优选的是，类似地扭转其它托臂111，并且相对于记录表面的法线方向沿径向方向倾斜扭转方向。图7表示扭转顶部托臂llla和底部托臂llld(在底座102的所述侧)的例子。类似于托臂llla，托臂llld沿这样的方向扭转使得铰链361相对于记录表面面对内周缘。中间托臂lllb在其两个表面上设有磁头滑动器105b和105c。中间托臂lllc在其两个表面上设有磁头滑动器105d和105e。扭转托臂111对磁头滑动器105不能产生影响。如图7中所示，中间托臂lllb和Ulc不被扭转，并且调整成使得扭转方向面对记录表面的法线方向。由于磁盘旋转引起的气流的影响，扭转振动在位于端部的顶部托臂llla和底部托臂llld上比在中间托臂lllb和lllc上大。因此，优选的是，对于托臂llla和llld都应用本实施例的措施。扭转托臂111是一种优选方法，因为如上所述，简单处理方法可用来调整托臂Ul和悬架110的扭转方向。明确地说，夹具用来扭转水平托臂111。然后可连接悬架110以制造上述执行器-磁头组件。另一种方法可以用来调整扭转方向。例如，如图8中所示，托臂111的厚度可在径向方向上变化，以调整刚性。以这种方式，可调整扭转方向。在图8的例子中，中间托臂lllb和lllc从外周缘到内周缘逐渐变薄。悬架110连接到托臂111上，使得向着外周缘的悬架110的边缘变得更靠近记录表面。悬架110和磁头滑动器105相对于记录表面向外周缘倾斜。扭转方向可如以上提到的那样调整。以这种方式，调整托臂111的厚度可单独地调整连接到托臂111的两个表面上的悬架110的倾斜度。而且，调整托臂111的刚性可改变扭转方向。特定例子包括调整平衡孔位置或尺寸、平衡孔的数量、或连接加强部件。以这种方式，通过根据托臂111的位置改变刚性可调整扭转方向。我们根据如图7中所示的实施例制造HDD，并且测量悬架110，即铰链361的倾斜角与磁头位置位移之间的关系。图9表示测量结果。倾斜角在从最内周缘到最外周缘把数据记录区域划分成近似3:7的位置处变为0。在图9中，Y轴表示铰链361相对于记录表面的倾斜度；X轴表示位置误差信号(PES)。PES由从读取元件151读取的伺服数据计算得，并且代表相对于目标位置的位移量。正角度表示向内周缘倾斜，并且负角度表示向外周缘倾斜。因此，在图7中的倾斜度由负值代表。根据实际测量值，优选的倾斜度在0.05°与0.51。之间的范围中。更优选的倾斜度在0.09。与0.34。之间的范围中。进一步更优选的倾斜度在O.IT与0.26。之间的范围中。在图9中的曲线表示与由虚线描绘的平均线相对应的-0.17°的截距。这意味着，0.17。的倾斜度使位置误差(PES)在记录表面上的最外磁道处是0。在上述范围中的值分别对应于0.17。的三分之一和三倍、0.17。的一半和两倍、及0.17°的2/3和1.5倍。如以上提到的那样，最外周缘引起最大扭转振动。当该位置的值用作基准，并且保持在上述范围中时，在整个记录表面上可平均地抑制磁头振动。例如，当旋转轴接受器108具有与记录表面相平行的底部(底座固定表面)时，可以相对于执行器106本身的表面测量角度。由于上述实施例根据执行器形状调整扭转方向，所以扭转方向在任何径向位置处不变。另一方面，诸如压电元件之类的元件的使用可根据径向位置动态地改变扭转方向。在这种情况下，压电元件提供在托臂111的记录表面侧上或在其相反侧上。来自控制电路的信号允许压电元件在旋转方向(径向方向)上延长和收縮，使托臂111扭转。这使得有可能改变悬架iio的倾斜度，即在扭转方向上的倾斜度。例如，当延长和收縮压电元件的量根据磁道变化时，有可能对于任何磁道减小振动的脱离磁道的分量。虽然己经描述了本发明的特定优选实施例，但应当清楚地理解，本发明不限于这些实施例。本领域的技术人员可容易地改变、添加、及替换上述实施例中的元件，而不脱离本发明的精神和范围。例如，本发明可应用于使用其它类型盘的设备。本发明也可应用于设计成总是具有恒定的倾斜角定向的HDD。附图标记说明<table>tableseeoriginaldocumentpage19</column></row><table>115:斜面116:接片123:前置放大器IC143:FPC122:迹线361:铰链362:铰链孔363:杆状金属层权利要求1.一种磁盘驱动设备，包括电动机，它转动用来存储数据的磁盘；磁头，它访问转动的磁盘；及磁头支撑单元，它支撑磁头，并且在磁盘的记录表面上方移动磁头，其中，磁头支撑单元具有扭转振动模式，并且相对于记录表面的法线在沿磁盘的径向方向的倾斜方向上至少在记录表面上方的部分位置处扭转地振动，以便至少减小沿磁盘的径向方向的磁头振动分量。2.根据权利要求1所述的磁盘驱动设备，其中，所述磁头支撑单元相对于记录表面的法线在沿磁盘的径向方向的倾斜方向上至少在记录表面的中部外的区域中的部分位置处扭转地振动，以便减小沿磁盘的径向方向的磁头振动分量。3.根据权利要求1所述的磁盘驱动设备，其中，所述磁头支撑单元绕旋转轴旋转；其中，倾斜角在记录表面上从最内磁道向最外磁道变化；及其中，离开记录表面的扭转方向从法线向外周缘倾斜，并且靠近记录表面的扭转方向从法线向内周缘倾斜。4.根据权利要求1所述的磁盘驱动设备，其中，所述磁头支撑单元绕旋转轴旋转，并且从旋转轴向磁头扭转。5.根据权利要求4所述的磁盘驱动设备，其中，倾斜角在记录表面上从最内磁道向最外磁道变化；并且其中，所述磁头支撑单元扭转以便向外周缘倾斜。6.根据权利要求4所述的磁盘驱动设备，其中，所述磁头支撑单元包括悬架，用来支撑磁头；和托臂，它把悬架与旋转轴相连接，并且沿从旋转轴到磁头的方向扭转。7.根据权利要求1所述的磁盘驱动设备，其中，扭动方向相对于法线的角度在0.05。与0.51。之间变动。8.—种磁盘驱动设备，包括磁头，它访问转动的磁盘；和磁头支撑单元，它支撑磁头，绕旋转轴旋转，及在磁盘的记录表面上方移动磁头，其中，所述磁头支撑单元沿从旋转轴到磁头的方向扭转，并且相对于记录表面的法线在沿磁盘的径向方向的倾斜方向上扭转地振动。9.根据权利要求8所述的磁盘驱动设备，其中，倾斜角在记录表面上从最内磁道向最外磁道变化；并且其中，所述磁头支撑单元包括悬架，用来支撑磁头；和托臂，它把悬架与旋转轴相连接，并且沿从旋转轴到磁头的方向扭转，以便托臂向外周缘倾斜。10.根据权利要求8所述的磁盘驱动设备，其中，扭动方向相对于法线的角度在0.05°与0.51。之间变动。11.一种磁头组件，包括磁头，它访问用来存储数据的磁盘；和磁头支撑单元，它支撑磁头，绕旋转轴旋转，及在磁盘的记录表面上方移动磁头，其中，磁头支撑单元具有扭转振动模式，并且相对于记录表面的旋转轴方向在沿磁盘的径向方向的倾斜方向上至少在记录表面上方的部分位置处扭转地振动，以便至少减小沿磁盘的径向方向的磁头振动全文摘要需要抑制磁头位置精度由于磁头支撑单元的扭转振动而降低。根据本发明的实施例，执行器106具有扭转的托臂111a。悬架110a根据托臂111a的扭转被倾斜。当托臂111a和悬架110a扭转地振动时，振动方向根据扭转相对于记录表面的法线方向倾斜。这种技术减小由磁头滑动器105引起的并且依赖于倾斜角与扭转振动方向之间的关系的脱离磁道的位移的峰值。文档编号G11B21/02GK101097762SQ200710127838公开日2008年1月2日申请日期2007年6月29日优先权日2006年6月29日发明者佐佐木正和,早川贤,茶碗谷健,铃木健治申请人:日立环球储存科技荷兰有限公司