悬臂件及具有该悬臂件的磁头折片组合、硬盘驱动器的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及信息记录磁盘驱动单元,尤其涉及一种具有静电放电(electrostaticdischarge, ESD)保护结构的悬臂件、具有该悬臂件的磁头折片组合(head gimbalassembly, HGA)及硬盘驱动器。
【背景技术】
[0002]硬盘驱动器是常见的信息存储设备。图la为一典型硬盘驱动器100的示意图。其包括安装于一主轴马达102上的一系列可旋转磁盘101,磁头悬臂组合(head stackassembly, HSA)130。HSA 130包括至少一马达臂104和一 HGA150。典型地，设置一音圈马达(spindling voice-coil motor, VCM)(图未示)以控制马达臂104的动作。
[0003]参考图lb，HGA 150包括嵌有读/写传感器(图未示)的磁头103以及支撑该磁头103的悬臂件190。当硬盘驱动器运作时，主轴马达102使得磁盘101高速旋转，而磁头103因磁盘101旋转而产生的气压而在磁盘101上方飞行。该磁头103在音圈马达的控制下，在磁盘101的表面以半径方向移动。对于不同的磁轨，磁头103能够从磁盘表面上读取数据或将数据写进磁盘101。
[0004]图lc展不了一种传统悬臂件，该悬臂件190包括负载杆106、基板108、绞接件107以及挠性件105，以上元件均装配在一起。
[0005]负载杆106通过绞接件107连接在基板108上。在负载杆106上形成一固定孔112，用以使负载杆106与挠性件105对齐。而且，为增加挠性件105整体结构的强度，负载杆106与挠性件105焊接在一起。
[0006]基板108用作增强整个HGA的结构刚度。基板108的一端形成安装孔113，用以将整个HGA安装至马达臂104 (参考图la);在基板108的另一尾端形成另一个孔110，用以将形成在绞接件107上的孔110’和形成在挠性件105上的孔110”对齐。绞接件107在其一末端对应基板108的安装孔113形成有一安装孔113’，且该绞接件107通过相互对齐的安装孔113’及113将其安装在基板108上。绞接件107局部安装到基板108上，并使安装孔110、113彼此对齐。绞接件107和基板108可以通过激光焊接一起，焊接点分布于绞接件107的细点109处。两个台阶115 —体形成于绞接件107邻近安装孔113’一端的两侧，以连接到挠性件105上。
[0007]挠性件105穿过绞接件107和负载杆106。该挠性件105具有邻近绞接件107的近端119和邻近负载杆106的远端118。一定位孔112’设于挠性件105的远端118处，并与负载杆106的定位孔112对齐，以提高组装精确度。一悬臂舌片116设置在挠性件105的远端118处，以支撑磁头103。
[0008]如图1d所示，该挠性件105具有一前部121及与该前部121相对的尾部122，该前部121设于临近悬臂舌片116处。如图所示，柔性电路120沿挠性件105的长度方向设置在其上。具体地，该柔性电路120起始于前部121并终结于尾部122。悬臂舌片116上形成多个连接触点117，用以连接磁头103。柔性电路120的一端与连接触点117连接，另一端电连接到前置放大器(图未示)。一般情况下，该延伸至连接触点117的柔性电路120分别包括一对读线路123、写线路124及热线路125。该柔性电路均在尾部122与若干终端触点126接合。
[0009]众所周知，静电放电(electrostatic discharge,ESD)会在磁盘驱动器的制造、组装、测试以及运输的任何过程中产生，尤其是在磁阻型磁头、磁头折片组合、E型块组合、磁盘驱动器的制造，以及元件的电性测试和转移运输过程。鉴于此，在形成磁盘驱动器的每一个阶段，都会采用各种手段或设备来控制ESD水平，以防止ESD损坏读元件，特别是在磁头折片组合阶段。这是由于现有的磁阻型磁头的尺寸变得越来越小，因此其承受的ESD阈值会更低；而且磁头折片组合中没有ESD保护的芯片。
[0010]传统的ESD保护结构通常需要额外的材料及额外的工序，例如，在电路和电之间采用表面安装技术(SMT)释放电阻以释放电路上的静电荷；或在电路和传导衬底之间形成ESD耗散性聚酰亚胺(PI)以释放电路上的静电荷；或在挠性件的绝缘层外表面覆盖耗散性/传导性聚合物涂层以降低读线路上静电感应电压，防止ESD损害。然而，这些结构复杂，需要较多额外材料及额外工序，往往增加制造成本。
[0011]因此，亟待一种具有改进的ESD保护结构的悬臂件、磁头折片组合以及硬盘驱动器以克服上述缺陷。
[0012]引用文献:
[0013]US 2002/0154454A1, Oct.24, 2002,发明人 Kupinski 等人；
[0014]US 2006/0187587A1, Aug.24，2006，发明人 Arai 等人；
[0015]US 6, 801, 402B1, Oct.5, 2004,发明人 Subrahmanyam 等人；
[0016]US 7，692，899B2, Apr.6，2010，发明人 Arai 等人；
[0017]US 8，218，267B2, Jul.10，2012，发明人 Arai 等人.
【发明内容】
[0018]本发明的一个目的在于提供一种具有ESD保护结构的悬臂件，其可降低在磁盘驱动器的制造过程中每个阶段发生的ESD损害，降低制造成本，并提高悬臂件互连线的电性倉泛。
[0019]本发明的另一目的在于提供一种具有悬臂件的磁头折片组合(HGA)，其可降低在磁盘驱动器的制造过程中每个阶段发生的ESD损害，降低制造成本，并提高悬臂件互连线的电性能。
[0020]本发明的又一目的在于提供一种硬盘驱动单元，其可降低在磁盘驱动器的制造过程中每个阶段发生的ESD损害，降低制造成本，并提高悬臂件互连线的电性能。
[0021]为实现上述目的，本发明提供一种适用于磁头折片组合的悬臂件，包括挠性件，所述挠性件包括接地的传导衬底、形成于所述传导衬底之上的介质层；以及多个柔性电路，所述柔性电路形成于所述介质层上并从所述挠性件的前部延伸至尾部，所述柔性电路至少包括一对读线路；其中，所述读线路上的预定位置上形成有至少一过孔，以将所述读线路电性连接到所述传导衬底层上，所述传导衬底层被部分刻蚀。
[0022]在本发明的一个实施例中，所述传导衬底层包括衬底主体、至少一衬底部分，以及形成与所述衬底主体和所述衬底部分之间的至少一开槽，其中所述衬底部分位于所述过孔之下方并通过所述过孔内的传导材料与所述读线路电性连接。
[0023]较佳地，所述衬底部分通过刻蚀所述传导衬底而形成，刻蚀完成后所述开槽内保留具有预定电阻值的耗散性薄膜，以在所述预定电阻值内使所述衬底部分与所述衬底主体电性连接。
[0024]较佳地，所述预定电阻值的范围是1.0E+4?1.0E+llOhmSc
[0025]较佳地，还包括覆盖于所述柔性电路之上的绝缘覆盖层。
[0026]一种磁头折片组合包括磁头以及用于支撑所述磁头的悬臂件。所述悬臂件包括:挠性件，所述挠性件包括接地的传导衬底、形成于所述传导衬底之上的介质层；以及多个柔性电路，所述柔性电路形成于所述介质层上并从所述挠性件的前部延伸至尾部，所述柔性电路至少包括一对读线路；其中，所述读线路上的预定位置上形成有至少一过孔，以将所述读线路电性连接到所述传导衬底层上，所述传导衬底层被部分刻蚀。
[0027]在本发明的一个实施例中，所述传导衬底层包括