专利名称：Tcp处理装置以及在该装置中的位置不正补正方法
技术领域：
本发明涉及在试验作为IC器件的1种的TCP(Tape CarrierPackage带状载体封装)和COF(Chip On Film)(以下，把用TCP、COF、其他TAB(Tape Automated Bonding)安装技术制造的器件统称为“TCP”)中使用的TCP处理装置，以及TCP处理装置的TCP和接触单元的位置补正方法。
背景技术：
在IC器件等的电子产品的制造过程中，需要试验最终制作的IC器件和在其中间阶段的器件等的性能和功能的电子零件试验装置，在TCP时，使用TCP用试验装置。
TCP用的试验装置一般由试验主体、试验头、TCP处理装置(以下有时称为“TCP信息处理器”)构成。该TCP信息处理器具备这样的功能传送在带子(假设还包含薄膜的概念。下同。)上形成有多个TCP的承载带，在与试验头电连接的探针卡的探针上按压承载带，使探针接触TCP的外部端子，据此顺序把多个TCP交付试验。
为了使用这样的TCP信息处理器高效率地正确地进行试验，需要使TCP的外部端子和探针卡的各探针可靠接触。
以往，作为TCP和探针的对位法，已知有使承载带和推进器以及夹板或者接触加压器一同在XY方向上移动的方法(实公平6-2271号公报，特开平9-92695号公报、特开平8-29484号公报)，和使探针卡在XY方向上移动的方法(特开平10-185996号公报，特开2002-181888号公报)。
但是，只在这样的XY方向上的2轴控制中，不一定能正确地进行TCP和探针的对位，发生接触不良的情况不少。特别是随着将来的器件的多脚·窄芯片化，能预见这种接触不良的发生频度增大。
另一方面，在特开2002-181889号公报中，记载了通过把安放在旋转载台上的探针卡相对TCP只旋转补正角度θ，补正TCP和探针卡的角度偏差的发明。
但是，在特开2002-181889号公报中记载的发明因为终归是在初始设定时使探针卡旋转进行对位，所以当在TCP试验装置的实际运行中产生了TCP与探针卡的偏离时或者初始设定本身的不正确在TCP试验装置的实际运行中被发现时就没有办法解决。
发明内容
鉴于上述问题的存在，本发明的目的在于提供一种能正确地进行TCP与接触单元的对位，减少接触不良发生的TCP处理装置和TCP处理装置的位置不正(位置偏离)补正方法。
为了实现上述目的，第1，本发明提供一种TCP处理装置，它传送在带子上形成多个TCP的承载带，在与试验头电连接的接触单元上按压承载带，通过使TCP的外部端子与上述接触单元接触，能顺序试验多个TCP，其特征在于具备能使按压在上述接触单元上的承载带围绕其垂直轴旋转移动的带垂直轴旋转装置(1)。
在本说明书中的“接触单元”中，假设包含连接TCP的外部端子的连接端子(例如，探针)本身，和配备有这样的连接端子的部件(例如探针卡)双方的概念。
如果采用上述发明(1)，则通过用带垂直轴旋转装置使承载带围绕垂直轴旋转移动，进行围绕垂直轴移位的TCP与接触单元的对位，能减少接触不良的发生。
上述发明(1)的TCP处理装置理想的是还包括能使按压在上述接触单元上的承载带在其平面方向移动的带平面移动装置(2)。
如果采用上述发明(2)，则通过用带垂直轴旋转装置和/或带平面移动装置使承载带围绕垂直轴旋转移动和/或在平面方向上移动，可靠地进行TCP与接触单元的对位，能减少接触不良的发生。
在上述发明(2)中，上述带垂直轴旋转装置和/或上述带平面移动装置理想的是与把承载带按压在上述接触单元上的按压装置一起，使承载带围绕垂直轴旋转移动和/或在平面方向上移动(3)。
而且，在此所说的“按压装置”不仅按压承载带，还能具有保持承载带的功能。
如果采用上述发明(3)，则不发生承载带和按压它的按压装置间的位置不正。
上述发明(2，3)的上述TCP处理装置理想的是还包括能取得TCP与上述接触单元的位置不正信息的位置不正信息取得装置，根据由上述位置不正信息取得装置取得的位置不正信息来驱动上述带垂直轴旋转装置和/或上述带平面移动装置，自动补正上述位置不正(4)。
在本说明书中的“位置不正信息”中，假设包含位置不正的方向(X·Y·θ)以及位置不正的量。
作为位置不正信息取得装置，例如能列举拍摄承载带以及接触单元的照相机和图像处理装置的组合等。
如果采用上述发明(4)，则不管操作员的技能等如何，都能自动地正确补正TCP和接触单元的位置不正。
第2，本发明提供一种TCP处理装置，它传送在带上形成有多个TCP的承载带，在与试验头电连接的接触单元上按压承载带，通过把TCP的外部端子与上述接触单元连接，能把多个TCP交付试验，其特征在于，包括，能取得TCP与上述接触单元的位置不正信息的位置不正信息取得装置；能使上述接触单元围绕其垂直轴旋转移动的接触单元垂直轴旋转装置，在实际运行中(不是在初始设定，实际上是为了进行试验而在运行的过程中)，根据由上述位置不正信息取得装置取得的位置不正信息来驱动上述接触单元垂直轴旋转装置，使上述接触单元围绕垂直轴旋转移动，自动补正上述位置不正(5)。
如果采用本发明(5)，则在TCP处理装置的执行中，因为通过用接触单元垂直轴旋转装置使接触单元围绕垂直轴旋转移动，能对每个被试验TCP进行在围绕垂直轴移位的被试验TCP与接触单元的对位，所以能显著减少接触不良的发生。
上述发明(5)的TCP处理装置理想的是还包括能使上述接触单元在其平面方向上移动的接触单元平面移动装置，在实际运行中，根据由上述位置不正信息取得装置取得的位置不正信息来驱动上述接触单元垂直轴旋转装置和/或上述接触单元平面移动装置，使上述接触单元围绕垂直轴旋转移动和/或在平面方向上移动，自动补正上述位置不正(6)。
如果采用本发明(6)则在TCP处理装置的实际运行中，因为通过用接触单元垂直轴旋转装置和/或接触单元平面移动装置使接触单元围绕垂直轴旋转移动和/或在平面方向上移动，能对每个被试验TCP可靠地进行被试验TCP与接触单元的对位，所以能显著减少接触不良的发生。
第3，本发明提供一种TCP处理装置，它传送在带上形成有多个TCP的承载带，在与试验头电连接的接触单元上按压承载带，通过使TCP的外部端子与上述接触单元连接，能把多个TCP依次交付试验，其特征在于，包括，能取得TCP与上述接触单元的位置不正(位置偏离)的信息的位置不正信息取得装置；能使按压在上述接触单元上的承载带围绕其垂直轴旋转移动的带垂直轴旋转装置；能使上述接触单元围绕该垂直轴旋转移动的接触单元垂直轴旋转装置，当用上述位置不正信息取得装置取得的位置不正量(位置偏离量)比规定值大时或者在大于等于规定值时，驱动上述接触单元垂直轴旋转装置，使上述接触单元围绕垂直轴旋转移动，当上述位置不正量在小于等于规定值时或者满足规定值时，通过驱动上述带垂直轴旋转装置使上述承载带围绕垂直轴旋转移动，自动补正上述位置不正(7)。
如果采用上述发明(7)，则通过驱动带垂直轴旋转装置或者接触单元垂直轴旋转装置，进行围绕垂直轴移位的TCP与接触单元的对位，能减少接触不良的发生。
在此，在TCP处理装置的构造上，和使具备有多个与试验主体联系的软线的接触单元移动的接触单元垂直轴旋转装置相比，带垂直轴旋转装置能在短时间进行位置不正补正。但是，带垂直轴旋转装置因为使由导片滑轮和链轮等支撑的承载带移动，所以如果其移动量大则在承载带上产生应力，有可能损伤承载带上的TCP(特别是舌簧或者试验衬垫)和承载带本身(特别是链轮的爪进入的孔穴部分或者其周边部分)。
因此，如果采用上述发明(7)，则在位置不正量大时，驱动接触单元垂直轴旋转装置防止TCP和承载带的损伤，在位置不正小时，驱动带垂直轴旋转装置，能缩短位置不正补正的时间，进而缩短生产节拍时间。
上述发明(7)的TCP处理装置理想的是还包括能使按压在上述接触单元上的承载带在其平面方向上移动的带平面移动装置；能使上述接触单元在其平面方向上移动的接触单元平面移动装置，当由上述位置不正信息取得装置取得的位置不正量比规定值大时或者在大于等于规定值时，驱动上述接触单元垂直轴旋转装置和/或上述接触单元平面移动装置，使上述接触单元围绕垂直轴旋转移动和/或在平面方向上移动，当上述位置不正量在小于等于规定值时或者不足规定值时，驱动上述带垂直轴旋转装置和/或上述带平面移动装置，通过使上述承载带围绕垂直轴旋转移动和/或在平面方向上移动，自动补正上述位置不正(8)。
如果采用上述发明(8)，则通过用带垂直轴旋转装置和/或带平面移动装置，或者接触单元垂直轴旋转装置和/或接触单元平面移动装置，使承载带或者接触单元围绕垂直轴旋转移动和/或在平面方向上移动，可靠地进行TCP与接触单元的对位，能减少接触不良的发生。另外，如果采用上述发明(8)，则当位置不正量大时，驱动接触单元垂直轴旋转装置和/或接触单元平面移动装置，防止TCP和承载带的损伤，当位置不正量小时，驱动带垂直轴旋转装置和/或带平面移动装置能缩短位置不正的补正的时间，进而缩短生产节拍时间。
第4，本发明提供一种TCP处理装置的位置不正补正方法，是传送在带上形成有多个TCP的承载带，在与试验头电连接的接触单元上按压承载带，通过使TCP的外部端子与上述接触单元接触，能把多个TCP依次交付试验的TCP处理装置中的TCP与上述接触单元的位置不正补正方法，其特征在于，通过使按压在上述接触单元上的承载带围绕其垂直轴旋转移动来补正TCP与上述接触单元的位置不正(9)。
如果采用上述发明(9)，则通过使承载带围绕垂直轴旋转移动，进行围绕垂直轴移位的TCP与接触单元的对位，能减少接触不良的发生。
第5，本发明提供一种TCP处理装置的位置不正补正方法，是传送在带上形成有多个TCP的承载带，在与试验头电连接的接触单元上按压承载带，通过使TCP的外部端子与上述接触单元接触，能把多个TCP依次交付试验的在处理装置中的TCP与上述接触单元的位置不正补正方法，其特征在于，通过使按压在上述接触单元上的承载带围绕其垂直轴旋转移动和/或在其平面方向上移动，补正TCP与上述接触单元的位置不正(10)。
如果采用上述发明(10)，则通过使承载带围绕垂直轴旋转移动和/或在平面方向上移动，可靠地进行TCP与接触单元的对位，能减少接触不良的发生。
第6，本发明提供一种TCP处理装置的位置不正补正方法，是传送在带上形成有多个TCP的承载带，在与试验头电连接的接触单元上按压承载带，通过使TCP的外部端子与上述接触单元接触，能把多个TCP依次交付试验的TCP处理装置中的TCP与上述接触单元的位置不正补正方法，其特征在于，取得TCP与上述接触单元的位置不正的信息，根据上述取得的位置不正信息，通过使按压在上述接触单元上的承载围绕其垂直轴旋转移动，补正上述位置不正(11)。
如果采用上述发明(11)，则通过根据取得的位置不正信息使承载带围绕垂直轴旋转移动，能可靠补正围绕垂直轴移位的TCP和接触单元的位置不正。
第7，本发明提供一种TCP处理装置的位置不正补正方法，它是传送在带上形成有多个TCP的承载带，在与试验头电连接的接触单元上按压承载带，使TCP的外部端子与上述接触单元接触，据此能把多个TCP依次交付试验的TCP处理装置的TCP与上述接触单元的位置不正补正方法，其特征在于，取得TCP与上述接触单元的位置不正的信息，根据上述取得的位置不正信息，通过使按压在上述接触单元上的承载带围绕该垂直轴旋转移动和/或在其平面上移动，补正上述位置不正(12)。
如果采用上述发明(12)，则通过根据已取得的位置不正信息使承载带围绕垂直轴旋转移动和/或在平面方向上移动，能可靠补正TCP和接触单元的位置不正。
第8，本发明提供一种TCP处理装置的位置不正补正方法，它是传送在带上形成有多个TCP的承载带，在与试验头电连接的接触单元上按压承载带，使TCP的外部端子与上述接触单元接触，据此能把多个TCP依次交付试验的TCP处理装置的TCP与上述接触单元的位置不正补正方法，其特征在于，在TCP处理处理装置的实际运行中，取得TCP与上述接触单元的位置不正信息，根据上述取得的位置不正信息，使上述接触单元围绕垂直轴旋转移动，补正上述位置不正(13)。
如果采用上述发明(13)，则通过在TCP处理装置的运行中使接触单元围绕垂直轴旋转移动，因为能对每个被试验TCP进行围绕垂直轴移位的被试验TCP与接触单元的对位，所以能显著减少接触不良的发生。
第9，本发明提供一种TCP处理装置的位置不正补正方法，它是传送在带上形成有多个TCP的承载带，在与试验头电连接的接触单元上按压承载带，使TCP的外部端子与上述接触单元接触，据此能把多个TCP依次交付试验的TCP处理装置的TCP与上述接触单元的位置不正补正方法，其特征在于，在TCP处理装置的实际运行中，取得TCP与上述接触单元的位置不正信息，根据上述已取得的位置不正信息，通过使上述接触单元围绕垂直轴旋转移动和/或在其平面方向上移动，补正位置不正(14)。
如果采用上述发明(14)，则在TCP处理装置的实际运行中，通过使接触单元围绕垂直轴旋转移动和/或在平面方向上移动，因为能对每个被试验TCP可靠进行被试验TCP与接触单元的对位，所以能显著减少接触不良的发生。
第10，本发明提供一种TCP处理装置的位置不正补正方法，它是传送在带上形成有多个TCP的承载带，在与试验头电连接的接触单元上按压承载带，使TCP的外部端子与上述接触单元接触，据此能把多个TCP依次交付试验的TCP处理装置的TCP与上述接触单元的位置不正补正方法，其特征在于，取得TCP与上述接触单元的位置不正的信息，在取得的位置不正量比规定值大时或者在大于等于规定值时，使上述接触单元围绕垂直轴旋转移动，当取得的位置不正量在小于等于规定值时或者不足规定值时，通过使按压在上述接触单元上的承载带围绕其垂直轴旋转，补正上述位置不正(15)。
如果采用上述发明(15)，则进行围绕垂直轴移位的TCP与接触单元的对位，能减少接触不良的发生。
在此，在TCP处理装置的构造上，一般是与使具备有多个和试验主体联系的软线的接触单元移动进行位置不正补正的时间相比，还是使承载带移动进行位置不正补正的时间一方短。但是，因为承载带通常用导片滑轮和链轮等支撑，所以如果承载带的移动量大则在承载带上产生应力，有可能损伤承载带上的TCP(特别是舌簧(reed)或者试验衬垫(pad))和承载带本身(特别是链轮的爪进入的孔穴部分或者其周边部分)。
因此，如果采用上述发明(15)，则在位置不正量大时，使接触单元围绕垂直轴旋转移动，防止TCP和承载带的损伤，在位置不正量小时，使承载带围绕垂直轴旋转移动，能缩短位置不正补正的时间，进而缩短生产节拍时间。
第11，本发明提供一种TCP处理装置的位置不正补正方法，它是传送在带上形成有多个TCP的承载带，在与试验头电连接的接触单元上按压承载带，使TCP的外部端子与上述接触单元接触，据此能把多个TCP依次交付试验的TCP处理装置的TCP与上述接触单元的位置不正补正方法，其特征在于，取得TCP与上述接触单元的位置不正的信息，当取得的位置不正量比规定值大时或者大于等于规定值时，驱动上述接触单元围绕垂直轴旋转和/或其平面方向上移动，在取得的位置不正量在小于等于规定值时或者不足规定值时，通过使按压在上述接触单元上的承载带围绕垂直轴旋转移动和/或在其平面方向上移动，补正上述位置不正(16)。
如果采用上述发明(16)，则通过使接触单元或者承载带围绕垂直轴旋转移动和/或在平面方向上移动，进行TCP与接触单元的对位，能减少接触不良的发生。另外，如果采用上述发明(16)，则在位置不正量大时，使接触单元围绕垂直轴旋转移动和/或在平面方向上移动，防止TCP和承载带的损伤，当位置不正量小时，使承载带围绕垂直轴旋转移动和/或在平面方向上移动，能缩短位置补正的时间，进而缩短生产节拍时间。
图1是表示使用了本发明的一种实施方式的TCP信息处理器的TCP试验装置的主视图。
图2是同一实施方式的TCP信息处理器的推进器组件的侧视图。
图3是同一实施方式的TCP信息处理器的推进器组件的平面图。
图4是同一实施方式的TCP信息处理器中的探针卡载台的平面图。
图5是同一实施方式的TCP信息处理器中的探针卡载台的主视图。
图6是说明同一实施方式的TCP信息处理器的主要动作的流程图。
具体实施例方式
以下，根据附图详细说明本发明的实施方式。
图1表示使用了本发明的一种实施方式的TCP信息处理器的TCP试验装置。
TCP试验装置1由未图示的试验主体、与试验主体电连接的试验头10、被设置在试验头10的上侧的TCP信息处理器2构成。
TCP信息处理器2是多个被形成在承载带5上各TCP依次交付试验的设备，在本实施方式中，为了说明的简化，假设每次1个进行TCP试验。但是，本发明并不限于此，也能对在承载带5上以串连方向和/或并列方向上排列的多个TCP同时进行试验。
TCP信息处理器2具备绕下带轴21和绕上带轴22，在绕下带轴21上绕着试验前的承载带5。承载带5从绕下带轴21上绕下，在进行试验后卷绕到绕上带轴22上。
在绕下带轴21和绕上带轴22之间设置把从承载带5上玻璃的保护带51从绕下带轴21跨越到绕上带轴22的3个中介滚轮23a、23b、23c。各中介滚轮23a、23b、23c如能调整保护带51的张力那样分别能上下移动。
在绕下带轴21的下侧设置导带滚24a、绕下限制滚25a、内侧子链轮25b以及内侧导片滑轮25c，从绕下带轴21绕下的承载带5用导带滚24a引导，经由绕下限制滚25a、内侧子链轮25b以及内侧导片滑轮25c传送到推进器组件3。
另外，在绕上带轴22的下侧设置导带滑轮24b、绕上限制滚25f、外侧子链轮25e以及外测导片滑轮25d，试验以后的承载带5经由外测导片滑轮25d、外测子链轮25e以及绕上限制滚25f，用导片滑轮24b引导，卷绕在绕上带轴22上。
在内侧导片滑轮25c和外测导片滑轮25d之间设置推进器组件3，在推进器组件3的前段侧(图1中左侧)上设置第1照相机6a，在推进器组件3的下侧(以后叙述的探针卡载台7的内侧)上设置第2照相机6b，在推进器组件3的后段侧(图1中右侧)上设置第3照相机6c。另外，在推进器组件3和第3照相机6c之间设置标志穿孔机26a以及废品穿孔机26b。
标志穿孔机26a是根据试验的结果对符合的TCP在规定的位置上开1个或者多个孔的装置，废品穿孔机26b是打穿判断为试验结果被为次品的TCP的装置。
各照相机6a、6b、6c与未图示的图像处理装置连接，第1照相机6a以及第3照相机6c是用于判断在承载带5上的TCP的有无以及标志穿孔机26a的穿孔的位置和数的设备，第2照相机6b是用于取得承载带5上的TCP和探针的位置不正的信息的设备。本实施方式中的第2照相机6b能取得有关视野内的多个对象的位置不正的信息。
第2照相机6b被安装在照相机载台61上，能通过照相机载台61具有的传动器在平面看纵横方向(X轴-Y轴方向)以及上下方向(Z轴方向)上移动。
如图1以及图2所示，在推进器组件3的框架(推进器框架)36上，在经由托架361安装能使滚珠丝杠32转动的伺服电动机31的同时，经由2条Z轴方向的线性进给导向器(以下称为“LM导向器”)37安装滚珠丝杠32螺纹连接的推进器主体单元33。该推进器主体单元33通过驱动伺服电动机31，在被线性进给导向器37引导下能在上下方向(Z轴方向)上移动。
在该推进器主体单元33的下端部分上，设置通过吸引空气能吸引保持承载带5的吸附板34。
在推进器主体单元33的前段一侧(图1中左侧)上设置牵引链轮35a，在推进器主体单元33的后段侧(图1中右侧)上，设置主链轮35b。
如图2以及图3所示，在推进器空间36中的推进器主体单元33的背面侧上，被基台38装载设置推进器载台4，作为推进器4的旋转台的顶端工作台48被固定在推进器框架36上。
在推进器载台4的基座40上设置有使在X轴方向上具有轴的滚珠丝杠42a旋转的伺服电动机41a；使在Y轴方向上具有轴的滚珠丝杠42b旋转的伺服电动机41b；使在Y轴方向上具有轴的滚珠丝杠42c旋转的伺服电动机41c，伺服电动机41b以及伺服电动机41c分别位于基座40上的两端部分。
在丝杠42a上螺纹连接被X轴方向的LM导向器43a、43a导向能在X轴方向上滑动的滑动块44a。在滑动块44a上经由Y轴方向的LM导向器45a把滑动板46a安装在Y轴方向上能滑动。在滑动板46a的上侧固定在内部具有辊环的旋转部件47a，旋转部件47a被安装在顶端工作台48上能自如旋转。
在丝杠42b上螺纹连接被Y轴方向的LM导向器43b、43b导向能在Y轴方向上滑动的滑动块44b。在滑动块44b上经由X轴方向的LM导向器45b把滑动板46b安装在X轴方向上能滑动。在滑动板46b的上侧固定在内部具有辊环的旋转部件47b，旋转部件47b被安装在顶端工作台48上能自如旋转。
在丝杠42c上螺纹连接被Y轴方向的LM导向器43c、43c导向能在Y轴方向上滑动的滑动块44c。在滑动块44c上经由X轴方向的LM导向器45c把滑动板46c安装在X轴方向上能滑动。在滑动板46c的上侧固定在内部具有辊环的旋转部件47c，旋转部件47c被安装在顶端工作台48上能自如旋转。
在具有这样的结构的推进器载台4上，通过驱动伺服电动机41a，使滑动块44a、滑动板46b以及滑动板46c在X轴方向上滑动，能使顶端工作台48在X轴方向上移动。另外，通过驱动伺服电动机41b以及伺服电动机41c，使滑动块44b、滑动块44c以及滑动板46a在Y轴方向上滑动，能使顶端工作台48在Y方向上移动。而且，在驱动伺服电动机41a使滑动块44a向X轴方向滑动的同时，驱动伺服电动机41b以及伺服电动机41c，使滑动块44b以及滑动块44c相互在Y轴相反方向上移动，而后通过使各旋转零件47a、45b、45c旋转，能使顶端工作台48围绕该垂直轴旋转。
如果采用该推进器载台4，则能使推进器组件3在X轴-Y轴方向上移动，以及能围绕垂直轴旋转移动。而且，本实施方式中的推进器载台4在构造上能同时进行X轴-Y轴方向的移动以及围绕垂直轴的旋转移动，另外，因为作为移动对象的推进器组件3重量比较轻，所以具有能在短时间补正位置不正的特征。
另一方面，如图1所示，在推进器组件3的下侧，在试验头10的上部设置有安装着探针卡8的探针卡载台7。
如图4以及图5所示，在探针卡载台7的基台71上设置使在X轴方向上具有轴的丝杠712旋转的伺服电动机711、4个X轴方向的LM导向器713。在这4个LM导向器713上，设置用各LM导向器713能在X轴方向上滑动的矩形的X基座72。在该X基座72的一侧部分上形成滚珠丝杠712螺纹连接的螺纹连接单元721。
在X基座72上设置使在Y轴方向上具有轴的滚珠丝杠723旋转的伺服电动机722、2条Y轴方向的LM导向器724。在这2条LM导向器724上设置用各LM导向器724能在Y轴方向上滑动导向的矩形的Y基座73。在该Y基座73的一侧部分上形成滚珠丝杠723螺纹连接的螺纹连接单元731。
在Y基座73上，设置使在Y轴方向上具有轴的滚珠丝杠733旋转的伺服电动机732，和支撑导向环735能自如旋转的连接环734。在导向环735的一部分上形成滚珠丝杠733螺纹连接的螺纹连接单元736。具备多个探针81的探针卡8用4个销钉82安装在导向环735上能自由装拆。
而且，在图4以及图5上虽然未图示，但探针卡8的各探针81经由试验头10与探针主体电连接，在探针卡8的下侧，第2照相机位于探针卡载台7的内侧。
在具有这样结构的探针卡载台7中，通过驱动伺服电动机711，能使X基座72，进一步使探针卡8在X轴方向上移动，通过驱动伺服电动机722，能使Y基座73，进而使探针卡8在Y轴方向上移动。另外，驱动伺服电动机732使滚珠丝杠733旋转，通过使螺纹连接单元736移动，能使导向环735以及探针卡8围绕该垂直轴旋转。
在此，上述的推进器载台3在构造上能在短时间进行位置不正补正，而在平面方向上具备多个部件，平面方向的尺寸增大。探针卡载台7因为限制平面方向的空间，所以设置成和推进器载台3同样的结构困难，因为假设和推进器载台3是同样的结构，所以如果小型化伺服电动机711、722、732，则伺服电动机711、722、733的驱动力弱，不能可靠地驱动具备多条与试验主体联系的软线的探针卡8。即，本实施方式中的探针卡载台7在其结构上，必须分别进行X轴-Y轴方向的移动和围绕垂直轴的旋转移动，与推进器载台3相比还是位置不正补正需要时间，但具有能在狭窄的空间上可靠移动探针卡8的特征。
以下，说明TCP信息处理器2的使用方法以及动作。
在使用TCP信息处理器2时，在使TCP信息处理器2实际运行前，需要预先进行初始设定。即，当变更TCP的品种，和随之变更探针卡8时，需要如TCP的外部端子(以下有时称为“试验衬垫(pad)”)和探针卡8的探针81接触那样，确定并登记推进器载台4以及探针卡载台7的基准位置(把该位置称为“登记位置”)。
例如，在手动操作中，选择多个位置(例如3个位置)的探针81和与之对应的试验衬垫粗略确定位置，接着，通过利用第2照相机6b以及图形处理装置，如使各个探针81尽可能在各试验衬垫的中央那样，在自动控制下移动推进器载台4和/或探针卡载台7，能确定登记基准位置。而且，根据需要，对上述粗略位置的确定也能不进行手动操作而通过自动控制进行。
此时，一并登记在第2照相机6b的视野内的规定的对象的位置坐标。位置坐标理想的是对于多个位置，特别使在照相机的视野内偏离的对象登记大于等于3个位置。据此，能高精度地取得位置不正信息。作为规定的导向，例如，能选择在承载带5中的定位标志、TCP的对角线上的大于等于2个的试验衬垫或者有特征的舌簧(reed)、与它们对应的大于等于2个的探针81前端部分等。
参照图6的流程图说明在使TCP信息处理器2实际运行时的TCP信息处理器2的主动作。
如果TCP信息处理器2开始主动作，则推进器载台4以及探针卡载台7移动到登记位置(步骤S01)。而后，通过绕下带轴21以及绕上带轴22旋转规定角度使承载带5移动，把第1个TCP传送到吸附板34的下侧的规定位置(步骤S02)。
在TCP被吸引到吸附板34的下侧后，推进器组件3的伺服电动机31驱动，经由推进器主体单元33使吸附板34向Z轴下方向移动。吸附板34吸引承载带5，下降到摄像位置(步骤S03)。而且，牵引链轮35a通过在和承载带5的行进方向相反的方向上转动，在承载带5上加上规定的牵引力提高承载带5的位置精度。
在该状态下第2照相机6b进行摄像(步骤S04)，把图像信息发送到图像处理装置。图像处理装置从接收到的图像信息中，取得预先登记的规定的对象的位置坐标，和实际拍摄的对象的位置坐标的位置不正的信息(位置不正的方向(X·Y·θ)以及位置不正的量)。例如，如果登记定位标志、大于等于2个的试验衬垫以及与它们对应的大于等于2个的探针前端部分的位置坐标，则取得这些登记的位置坐标、实际摄像的定位标志、大于等于2个的试验衬垫以及与它们对应的大于等于2个的探针前端部分的位置坐标的位置不正的信息。
图像处理装置根据已取得的位置不正信息，计算X轴方向、Y轴方向以及围绕垂直轴的位置不正的量(步骤S05)。
而且，当同时试验多个TCP时，假设输出对各TCP的位置不正量的平均值。
计算的结果，当判定为不需要位置不正的补正时(步骤S06-No)，进入到以后叙述的步骤S10。
计算的结果，当判断为需要位置不正补正时(步骤S06-Yes)，判断位置不正量是否大于等于规定值T(步骤S07)。这种情况下的“位置不正量”能只把围绕垂直轴的位置不正的量作为对象，也能把围绕垂直轴的位置不正量以及Y轴方向的位置不正量作为对象，还能把围绕垂直轴的位置不正量、Y轴方向的位置不正量以及X轴方向的位置不正量作为对象。当有多个位置不正量的要素时，只要适宜地组合它们判断即可。
当位置不正量在大于等于规定值T时(步骤正S07-Yes)，探针卡载台7的伺服电动机711、722、732驱动，使X基座72、Y基座73或者导向环735动作，通过使探针卡8在X轴-Y轴方向上移动和/或围绕垂直轴旋转移动补正位置不正(步骤S08)。
与此相反，当位置不正量不足规定值T时(步骤S07的-No)，推进器载台4的伺服电动机41a、41b、41c驱动，使顶端工作台48，进而使推进器组件3动作，通过使用吸附板34吸引的承载带5在X轴方向-Y轴方向移动和/或围绕垂直轴旋转移动，补正位置不正(步骤S09)。
当位置不正量大时，如果用推进器载台4使承载带5移动，则在用内侧导片滑轮25c、牵引链轮35a、主链轮35b以及外测导片滑轮25d支撑的承载带5上施加应力，有可能损伤承载带5上的TCP，特别是舌簧(reed)或者试验衬垫(pad))，和承载带本身，特别是牵引链轮35a以及主链轮35b的爪进入的孔穴部分或者其周边部分。这样的问题特别容易发生在使承载带5围绕垂直轴旋转移动时，另外还发生在使承载带5在Y轴方向上移动时。
在本实施方式中，当位置不正量大时(大于等于T时)，因为用探针卡载台7使探针卡8移动进行位置不正补正，所以没有上述那样的问题。T的值因TCP的大小(特别是X轴方向的穿孔尺寸和试验衬垫尺寸)等而不同，但如上所述，只要考虑TCP和承载带5的损伤危险适宜设定即可。通常，作为围绕垂直轴的位置不正量(度)的T的值在0.1(度)以内。
另一方面，当位置不正量小时(不足T时)，通过用位置不正补正所需要的时间短的推进器载台4使承载带5移动，能缩短生产节拍时间(从试验结束到试验开始的时间)。
在用步骤S08或者步骤S09进行位置不正的补正后，推进器组件3的伺服电动机31驱动，经由推进器主体单元33使吸附板34进一步向Z轴下方向移动。吸引着承载带5的吸附板34下降到接触位置，使TCP对探针卡8的探针81按压(步骤S10)。
在TCP的试验衬垫与探针81接触后，在TCP上从试验主体通过试验头10施加试验信号，从TCP读出的应答信号通过试验头10送到试验主体中。据此试验TCP的性能和功能等，根据该试验结果标志穿孔器26a或者废品穿孔器26b驱动。
TCP信息处理器2判断进行试验的TCP是否是最后的器件(步骤S11)，当判断为是最后的器件时(步骤S11-Yes)，结束主动作。另一方面，当判断为不是最后的器件时(步骤S11-No)，推进器组件3的伺服电动机31驱动，在经由推进器主体单元33使吸附板34向Z轴上方向移动的同时，推进器载台4以及探针卡载台7移动到登记位置(步骤S12)。而后，吸附板34在停止吸引承载带5解放承载带5的同时，进一步向Z轴上方向移动(步骤S13)。其后返回步骤S02。
如果采用本实施方式的TCP信息处理器2，因为用推进器载台4和/或探针卡载台7，在TCP信息处理器2的实际运行中，不仅能在X轴方向-Y轴方向上，而且能围绕垂直轴使承载带5和/或探针卡8移动进行位置不正补正，所以可靠地进行TCP和探针81的对位，能减少接触不良的发生。另外，通过分开使用推进器载台4以及探针卡载台7，不会损伤TCP和承载带，能尽可能缩短生产节拍时间。
以上说明的实施方式是为了容易理解本发明而记载的，并不限定本发明。因此，在上述实施方式中公开的各要素是还能包含属于本发明的技术范围的全部的设计变更和等效物的宗旨。
例如，推进器载台4以及探针卡载台7的结构并没有特别限定，能更改两者的结构，也能两者都设置成同样的结构。
另外，在上述TCP信息处理器2中，也能省略探针卡载台7，只用探针载台4进行位置不正补正。即使在这种情况下，因为能用推进器载台4使承载带5围绕垂直轴旋转移动，所以和只是X轴-Y轴方向的2轴控制相比，能正确地进行TCP和探针81的对位。
而且，在上述TCP信息处理器2中，也能省略推进器载台4，只用探针卡载台7进行位置不正补正。即使在这种情况下，因为能用探针卡载台7在TCP信息处理器2的实际运行中使探针卡8在X轴方向-Y轴方向移动以及围绕垂直轴旋转移动，所以能减轻TCP和探针81的接触不良的发生。
而且，在上述TCP信息处理器2的探针卡载台7中，只是把围绕垂直轴的旋转移动机构设置成使用了第2照相机6b以及图像处理装置的自动控制，X轴-Y轴方向的移动机构也能设置成看着用第2照相机6b拍摄的图像的手动操作式。另外在该情况下，推进器载台3也能省略围绕垂直轴的旋转移动机构，只自动控制X轴-Y轴方向的移动机构。
综上所述，如果采用本发明的TCP处理装置或者位置不正补正方法，则能正确地进行TCP与接触单元的对位，减少接触不良的发生。即本发明的TCP处理装置和位置不正补正方法用于正确、可靠、高效地进行TCP的试验。
权利要求
1.一种TCP处理装置，它传送在带上形成有多个TCP的承载带，在与试验头电连接的接触单元上按压承载带，使TCP的外部端子与上述接触单元连接，据此把多个TCP依次交付试验，其特征在于，包括能使按压在上述接触单元上的承载带围绕其垂直轴旋转移动的带垂直轴旋转装置。
2.如权利要求1所述的TCP处理装置，其特征在于，上述TCP处理装置还包括能使按压在上述接触单元上的承载带在其平面方向上移动的带平面移动装置。
3.如权利要求2所述的TCP处理装置，其特征在于，上述带垂直轴旋转装置和/或上述带平面移动装置与把承载带按压在上述接触单元上的按压装置一起，使承载带围绕垂直轴旋转移动和/或在平面方向上移动。
4.如权利要求2或3所述的TCP处理装置，其特征在于，上述TCP处理装置还包括能取得TCP与上述接触单元的位置不正信息的位置不正信息取得装置，根据由上述位置信息取得装置取得的位置不正信息来驱动上述带垂直轴旋转装置和/或上述带平面移动装置，自动补正上述位置不正。
5.一种TCP处理装置，它传送在带上形成有多个TCP的承载带，在与试验头电连接的接触单元上按压承载带，使TCP的外部端子与上述接触单元连接，据此把多个TCP依次交付试验，其特征在于，包括能取得TCP与上述接触单元的位置不正信息的位置不正信息取得装置；和使上述接触单元能围绕其垂直轴旋转移动的接触单元垂直轴旋转装置，在实际运行中，根据由上述位置不正信息取得装置取得的位置不正信息来驱动上述接触单元垂直轴旋转装置，使上述接触单元围绕垂直轴旋转移动，自动补正上述位置不正。
6.如权利要求5所述的TCP处理装置，其特征在于，上述TCP处理装置还包括能使上述接触单元在其平面方向上移动的接触单元平面移动装置，在实际运行中，根据由上述位置不正信息取得装置取得的位置不正信息来驱动上述接触单元垂直轴旋转装置和/或上述接触单元平面移动装置，使上述接触单元围绕垂直轴旋转移动和/或在平面方向上移动，自动补正上述位置不正。
7.一种TCP处理装置，它传送在带上形成有多个TCP的承载带，在与试验头电连接的接触单元上按压承载带，使TCP的外部端子与上述接触单元连接，据此把多个TCP依次交付试验，其特征在于，包括能取得TCP与上述接触单元的位置不正信息的位置不正信息取得装置；能使按压在上述接触单元上的承载带围绕该垂直轴旋转移动的带垂直轴旋转装置；和能使上述接触单元围绕其垂直轴旋转移动的接触单元垂直轴旋转装置，当用上述位置不正信息取得装置取得的位置不正量比规定值大时或者在大于等于规定值时，驱动上述接触单元垂直轴旋转装置，使上述接触单元围绕垂直轴旋转移动，当上述位置不正量小于等于规定值时或者不足规定值时，驱动上述带垂直轴旋转装置，使上述承载带围绕垂直轴旋转，据此自动补正上述位置不正。
8.如权利要求7所述的TCP处理装置，其特征在于，上述TCP处理装置还包括使按压在上述接触单元上的承载带能在其平面方向上移动的带平面移动装置；和使上述接触单元能在其平面方向上移动的接触单元平面移动装置，当用上述位置不正信息取得装置取得的位置不正量比规定值大时或者大于等于规定值时，驱动上述接触单元垂直轴旋转装置和/或上述接触单元平面移动装置，使上述接触单元围绕垂直轴旋转移动以及或者在平面方向上移动，当上述位置不正量小于等于规定值时或者不足规定值时，驱动上述带垂直轴旋转装置和/或上述带平面移动装置，使上述承载带围绕垂直轴旋转移动和/或在平面方向上移动，据此自动补正上述位置不正。
9.一种TCP处理装置的位置不正补正方法，它是传送在带上形成有多个TCP的承载带，在与试验头电连接的接触单元上按压承载带，使TCP的外部端子与上述接触单元接触，据此能把多个TCP依次交付试验的TCP处理装置的TCP与上述接触单元的位置不正补正方法，其特征在于，通过使按压在上述接触单元上的承载带围绕其垂直轴旋转移动来补正TCP与上述接触单元的位置不正。
10.一种TCP处理装置的位置不正补正方法，它是传送在带上形成有多个TCP的承载带，在与试验头电连接的接触单元上按压承载带，使TCP的外部端子与上述接触单元接触，据此能把多个TCP依次交付试验的TCP处理装置的TCP与上述接触单元的位置不正补正方法，其特征在于，通过使按压在上述接触单元上的承载带围绕其垂直轴旋转移动和/或在其平面方向上移动，来补正TCP与上述接触单元的位置不正。
11.一种TCP处理装置的位置不正补正方法，它是传送在带上形成有多个TCP的承载带，在与试验头电连接的接触单元上按压承载带，使TCP的外部端子与上述接触单元接触，据此能把多个TCP依次交付试验的TCP处理装置的TCP与上述接触单元的位置不正补正方法，其特征在于，取得TCP与上述接触单元的位置不正的信息，根据上述取得的位置不正信息，通过使按压在上述接触单元上的承载带围绕其垂直轴旋转移动来补正上述位置不正。
12.一种TCP处理装置的位置不正补正方法，它是传送在带上形成有多个TCP的承载带，在与试验头电连接的接触单元上按压承载带，使TCP的外部端子与上述接触单元接触，据此能把多个TCP依次交付试验的TCP处理装置的TCP与上述接触单元的位置不正补正方法，其特征在于，取得TCP与上述接触单元的位置不正的信息，根据上述取得的位置不正信息，通过使按压在上述接触单元上的承载带围绕其垂直轴旋转移动和/或在其平面方向上移动，来补正上述位置不正。
13.一种TCP处理装置的位置不正补正方法，它是传迭在带上形成有多个TCP的承载带，在与试验头电连接的接触单元上按压承载带，使TCP的外部端子与上述接触单元接触，据此能把多个TCP依次交付试验的TCP处理装置的TCP与上述接触单元的位置不正补正方法，其特征在于，在TCP处理装置的实际运行中，取得TCP与上述接触单元的位置不正的信息，根据上述取得的位置不正信息，通过使上述接触单元围绕其垂直轴旋转移动，来补正上述位置不正。
14.一种TCP处理装置的位置不正补正方法，是传送在带上形成有多个TCP的承载带，在与试验头电连接的接触单元上按压承载带，通过使TCP的外部端子与上述接触单元接触，能把多个TCP依次交付试验的TCP处理装置中的TCP与上述接触单元的位置不正补正方法，其特征在于，在TCP处理装置的实际运行中，取得TCP与上述接触单元的位置不正的信息，根据上述取得的位置不正信息，通过使上述接触单元围绕其垂直轴旋转移动和/或在其平面方向上移动，来补正上述位置不正。
15.一种TCP处理装置的位置不正补正方法，它是传送在带上形成有多个TCP的承载带，在与试验头电连接的接触单元上按压承载带，使TCP的外部端子与上述接触单元接触，据此能把多个TCP依次交付试验的TCP处理装置的TCP与上述接触单元的位置不正补正方法，其特征在于，取得TCP与上述接触单元的位置不正的信息，当取得的位置不正量比规定值大时或者大于等于规定值时，使上述接触单元围绕其垂直轴旋转移动，当取得的位置不正量小于等于规定值时或者不足规定值时，通过使按压在上述接触单元上的承载带围绕其垂直轴旋转移动来补正上述位置不正。
16.一种TCP处理装置的位置不正补正方法，它是传送在带上形成有多个TCP的承载带，在与试验头电连接的接触单元上按压承载带，使TCP的外部端子与上述接触单元接触，据此能把多个TCP依次交付试验的TCP处理装置的TCP与上述接触单元的位置不正补正方法，其特征在于，取得TCP与上述接触单元的位置不正的信息，当取得的位置不正量比规定值大时或者大于等于规定值时，使上述接触单元围绕其垂直轴旋转移动和/或在其平面方向上移动，当取得的位置不正量小于等于规定值时或者不足规定值时，通过使按压在上述接触单元上的承载带围绕其垂直轴旋转移动和/或在其平面方向上移动，来补正上述位置不正。
全文摘要
在TCP信息处理器2上设置在TCP信息处理器2的实际运行中，在能使由吸附板34吸附的承载带5在X轴－Y轴方向上移动的同时，能使其围绕垂直轴旋转的推进器载台4；在TCP信息处理器2的实际运行中，在能使探针卡8在X轴－Y轴方向移动的同时，能使其围绕垂直轴旋转移动的探针卡载台7。如果采用具有这样构成的TCP信息处理器2，则能正确地进行TCP和探针卡8的对位，能减少接触不良的发生。
文档编号H01L21/02GK1745311SQ03826028
公开日2006年3月8日 申请日期2003年1月31日 优先权日2003年1月31日
发明者金子修一, 东山健二, 金子浩之, 村野寿 申请人:日商·日本工程技术股份有限公司, 株式会社爱德万测试