蚀刻设备及其吸水装置的制造方法

专利名称:蚀刻设备及其吸水装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种蚀刻设备及其吸水装置，该吸水装置包括支架以及至少两个吸水辊组，该至少两个吸水辊组前后并排安装在该支架上；每一吸水辊组包括下吸水辊以及设置于该下吸水辊正上方的上吸水辊。本实用新型中，通过前后并排布置的至少两个吸水辊组能够实现料带的多级吸水功效，可以大幅度提升吸水效率。
【专利说明】
蚀刻设备及其吸水装置
技术领域
[0001]本实用新型涉及一种成型设备，尤其涉及一种蚀刻设备及其吸水装置。
【背景技术】
[0002]现有的诸如集成电路引线框架在制作过程中，通常都会通过精密冲压的方式在料带上形成通孔或引脚等。冲压的方式一定程度上的满足了引线框架的制作需求。然而，随着电子技术的飞速发展，集成电路的体积越来越小，引脚的数量越来越多。此时，仍然采用传统的冲压方式已经难以达到足够的精度要求了。因此，有必要采用新的技术来替代。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型要解决的技术问题在于，提供一种蚀刻设备用吸水装置。
[0004]本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:提供一种蚀刻设备用吸水装置，包括支架以及至少两个吸水辊组，该至少两个吸水辊组前后并排安装在该支架上;每一吸水辊组包括下吸水辊以及设置于该下吸水辊正上方的上吸水辊。
[0005]在一些实施例中，还包括传动机构，该传动机构分别与所述至少两个吸水辊组的下吸水辊相连接。
[0006]在一些实施例中，所述传动机构包括至少一对第一齿轮以及至少一个第二齿轮，所述至少一对第一齿轮分别固定在所述至少两个吸水辊组的下吸水辊的第一端，所述至少一个第二齿轮设置于该至少一对第一齿轮之间，并分别与该至少一对第一齿轮啮合。
[0007]在一些实施例中，所述传动机构还包括至少一个第三齿轮，该至少一个第三齿轮与该至少一个第二齿轮共轴相连。
[0008]在一些实施例中，所述支架包括两个相对设置的固定板以及将该两个固定板相连接的挤水杆;所述固定板上分别设置有至少两条纵向延伸的第一收容槽，所述固定板上分别设置有至少两条纵向延伸的第二收容槽。所述挤水杆位于所述下吸水辊的正下方，并与所述下吸水辊紧抵。
[0009]在一些实施例中，所述下吸水辊和上吸水辊的两端均分别设置于相应的第一收容槽和第二收容槽中。
[0010]在一些实施例中，每一上吸水辊的两端上还分别设置有滑块，所述上吸水辊的端部可转动地安装于相应的滑块中，所述上吸水辊两端的滑块分别可上下移动地设置在相应的第一收容槽和相应的第二收容槽中。
[0011]在一些实施例中，所述支架包括若干调节组件，该若干调节组件分别与相应的滑块相连接，以吊起滑块并调节滑块的上下位置。
[0012]在一些实施例中，所述调节组件包括螺母以及穿设在该螺母中的螺杆，该螺杆穿设于相应的第一收容槽或第二收容槽的顶壁中，该螺母设置于该顶壁的上表面;该螺杆一端伸入到相应的第一收容槽或第二收容槽中，并可转动地连接于相应的滑块上。
[0013]在一些实施例中，所述调节组件还包括固定于该螺杆另一端的操作柄。
[0014]提供一种蚀刻设备，包括上述任一项中的吸水装置。
[0015]在一些实施例中，该蚀刻设备还包括依序排布的卷式放料装置、片料放料装置、显影装置、拉料装置、蚀刻装置、片式收料装置以及卷式收料装置。
[0016]本实用新型的有益效果:通过前后并排布置的至少两个吸水辊组能够实现料带的多级吸水功效，可以大幅度提升吸水效率。
【附图说明】

[0017]下面将结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明，附图中:
[0018]图1是本实用新型一些实施例中的蚀刻设备的侧视图；
[0019]图2是图1所示蚀刻设备的俯视图；
[0020]图3是本实用新型一些实施例中的蚀刻设备用吸水装置的立体结构示意图；
[0021]图4是图1所示蚀刻设备用吸水装置的另一视角的立体结构示意图。
【具体实施方式】
[0022]为了对本实用新型的技术特征、目的和效果有更加清楚的理解，现对照附图详细说明本实用新型的【具体实施方式】。
[0023]本实用新型一些实施例提供了一种蚀刻设备，该蚀刻设备可用于诸如集成电路引线框架等结构的蚀刻成型，具备成型精度高、成本低廉的优点。另外，本蚀刻设备还能实现卷对卷(卷料进卷料出)、卷对片(卷料进片料出)以及片对片(片料进片料出)等多功能，极大地满足了用户的不同需求。
[0024]如图1及图2所示，本实用新型一些实施例中的蚀刻设备可依序包括卷式放料装置A、输送辊道B、校平装置C、拉料装置D、显影装置E、第一水洗装置F、第一烘干装置G、蚀刻装置H、第二水洗装置1、剥离装置J、第三水洗装置K、第二烘干装置L、片式收料装置M以及卷式收料装置N。
[0025]卷式放料装置A用于承载并平稳放出卷料，该卷料可为按照需要曝光后的材料。可以理解地，在一些实施例中也可以把曝光设备整合到蚀刻设备，从而可以在蚀刻设备中进行曝光。该输送辊道B大致贯穿整个蚀刻设备，以将料带或片料由上游向下游平稳输送，该输送辊道B可包括一个可敞开的前端，以供片料放入，形成片料放料装置。校平装置C可布置在该片料放料装置的紧邻下游，用于对料带进行校平，防止料带不够平整而影响到后续的蚀刻效果。拉料装置D用于拉动料带驱动料带向下游行进，使得卷料被蚀刻呈片料时，料带仍然能够很好地移动。显影装置E用于对曝光后的料带或片料进行显影。第一水洗装置F用于对显影后的料带或片料进行清洗，防止显影药水被带入下游的蚀刻装置H中，而对蚀刻装置H内药水造成污染。第一烘干装置G用于对清洗后的料带进行烘干，在一些实施例中，在第一水洗装置F和第一烘干装置G之间还设置有吸水装置P。蚀刻装置H用于对显影后的料带或片料进行蚀刻，以形成需要的成型结构;蚀刻装置可以将料带蚀刻成片料。第二水洗装置I用于对蚀刻后的料带或片料进行清洗，剥离装置J用于对清洗后的料带或片料上的菲林膜进行剥离，并将具备菲林膜废渣回收功能，以节约剥离药水的使用。第三水洗装置K用于对剥离菲林膜的料带或片料进行清洗，第二烘干装置L则用于对清洗后的料带或片料进行烘干；同样，第三水洗装置K和第二烘干装置L之间也可以设置吸水装置P。片式收料装置M用于收取片料，卷式收料装置N用于收取卷料。
[0026]在上述的蚀刻设备中，由于同时具备了卷式放料装置A、片料放料装置、显影装置E、拉料装置D、蚀刻装置H、片式收料装置M以及卷式收料装置N，使得该蚀刻设备具备卷对卷、卷对片以及片对片三种蚀刻成型模式。具体而言，当需要卷料进和卷料出时，则只要片料放料装置和片式收料装置M不工作即可。当需要卷料进和片料出时，只要卷式收料装置N不工作即可。而当需要片料进和片料出时，只要卷式放料装置A和卷式收料装置N不工作即可。如此，该蚀刻设备为用户的使用带来了极大的便利。
[0027]蚀刻设备在一些实施例中还可包括导正输送装置Q，该导正输送装置Q布置在片式收料装置M紧邻上游，用于以在片料输送的过程中对片料进行导正，防止片料走偏，以便于片料的收集。
[0028]蚀刻设备在一些实施例中还可包括设置吸水装置，该吸水装置可设置于第一水洗装置F和第一烘干装置G之间，和/或设置在第三水洗装置K和第二烘干装置L之间，以吸收清洗后的料带或料片上的水分，方便后续的烘干作业。
[0029]图3及图4示出了本实用新型一些实施例中的蚀刻设备用吸水装置，该蚀刻设备用吸水装置可应用于蚀刻设备中，以吸附料带表面的残余溶液。该吸水装置能够实现多级吸水功能，吸水效果非常好。可以理解地，该吸水装置并不局限集成电路引线框架的蚀刻设备，其也可以应用诸如柔性电路板等其他产品的蚀刻设备中。
[0030]如图所示，该蚀刻设备用吸水装置可包括支架10以及两个吸水辊组20，该两个吸水辊组20前后并排安装在该支架10上，供料带依次穿过，以对料带进行两次吸水作业。可以理解地，吸水辊组20的数量并不局限于两个，根据需要，两个以上的情形也可以。该料带可以为片式料带，也可以为卷式料带。
[0031 ]支架10在一些实施例中可包括两个相对设置的固定板11、13以及将该两个固定板
11、13相连接的挤水杆12。固定板11上分别设置有两条纵向延伸的第一收容槽110，以分别供该两个吸水辊组20的第一端穿置于其中。固定板13上分别设置有两条纵向延伸的第二收容槽130，以分别供该两个吸水辊组20的第二端穿置于其中。
[0032]每一吸水辊组20包括下吸水辊21以及设置于该下吸水辊21正上方的上吸水辊23，该下吸水辊21和该上吸水辊23可采用包括海绵等吸水性能优秀的材料制成，其两端均分别设置于支架10的第一收容槽110和第二收容槽130中，下吸水辊21和上吸水辊23之间供料带穿行，从而吸取料带上的残液。该下吸水辊21位于挤水杆12的上方，并与挤水杆12紧抵，以便下吸水辊21转动时，下吸水辊21中的液体能够被挤出。
[0033]在一些实例中，上吸水辊23的两端上还分别设置有滑块230，上吸水辊23的端部通过轴承可转动地安装于滑块230中，上吸水辊23两端的滑块230则分别可上下移动地设置在第一收容槽110和第二收容槽130中，从而使得上吸水辊23的位置上下可调，使得上吸水辊23与下吸水辊21之间的料带通过间隙大小可调，以适应不同厚度的料带穿过。
[0034]在一些实施例中，支架10还可包括若干调节组件15，该若干调节组件15分别与上述的滑块230相连接，以吊起滑块230并调节滑块230的上下位置，进而达到调节上吸水辊23的上下位置的功效。该调节组件15在一些实施例中可包括螺母150、穿设在螺母150中的螺杆152以及固定于螺杆152—端的操作柄154，螺杆152另一端可转动地连接于相应的滑块230上。螺杆152可穿设于第一收容槽110或第二收容槽130的顶壁中，螺母150则设置于该顶壁的上表面，如此，当螺杆152在螺母150中旋转时，可以实现上下伸缩的功效，从而达到调节滑块230的上下位置。
[0035]在一些实施例中，该蚀刻设备用吸水装置还可包括传动机构30，该传动机构30包括一对第一齿轮31、一个第二齿轮32以及第三齿轮33。该一对第一齿轮31分别固定在上述两个下吸水辊21的端部，该第二齿轮32设置于该一对第一齿轮31之间，并分别与该一对第一齿轮31啮合。该第三齿轮33与该第二齿轮32共轴相连，其用以与驱动机构相连。如此，当第三齿轮33在驱动机构的驱动下旋转时，会带动第二齿轮32旋转，第二齿轮32再带动该一对第一齿轮31旋转，该一对第一齿轮31进而带动该两个下吸水辊21旋转。
[0036]以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。
【主权项】
1.一种蚀刻设备用吸水装置，其特征在于，包括支架(10)以及至少两个吸水辊组(20)，该至少两个吸水辊组(20)前后并排安装在该支架(10)上;每一吸水辊组(20)包括下吸水辊(21)以及设置于该下吸水辊(21)正上方的上吸水辊(23)。2.根据权利要求1所述的吸水装置，其特征在于，还包括传动机构(30)，该传动机构(30)分别与所述至少两个吸水辊组(20)的下吸水辊(21)相连接。3.根据权利要求2所述的吸水装置，其特征在于，所述传动机构(30)包括至少一对第一齿轮(31)以及至少一个第二齿轮(32)，所述至少一对第一齿轮(31)分别固定在所述至少两个吸水辊组(20)的下吸水辊(21)的第一端，所述至少一个第二齿轮(32)设置于该至少一对第一齿轮(31)之间，并分别与该至少一对第一齿轮(31)嗤合。4.根据权利要求3所述的吸水装置，其特征在于，所述传动机构(30)还包括至少一个第三齿轮(33)，该至少一个第三齿轮(33)与该至少一个第二齿轮(32)共轴相连。5.根据权利要求1至4任一项所述的吸水装置，其特征在于，所述支架(10)包括两个相对设置的固定板(11、13)以及将该两个固定板(11、13)相连接的挤水杆(12);所述固定板(11)上分别设置有至少两条纵向延伸的第一收容槽(110)，所述固定板(13)上分别设置有至少两条纵向延伸的第二收容槽(130);所述挤水杆(12)位于所述下吸水辊(21)的正下方，并与所述下吸水辊(21)紧抵。6.根据权利要求5所述的吸水装置，其特征在于，所述下吸水辊(21)和上吸水辊(23)的两端均分别设置于相应的第一收容槽(110)和第二收容槽(130)中；每一上吸水辊(23)的两端上还分别设置有滑块(230)，所述上吸水辊(23)的端部可转动地安装于相应的滑块(230)中，所述上吸水辊(23)两端的滑块(230)分别可上下移动地设置在相应的第一收容槽(110)和相应的第二收容槽(130)中。7.根据权利要求6所述的吸水装置，其特征在于，所述支架(10)包括若干调节组件(15)，该若干调节组件(15)分别与相应的滑块(230)相连接，以吊起滑块(230)并调节滑块(230)的上下位置。8.根据权利要求7所述的吸水装置，其特征在于，所述调节组件(15)包括螺母(150)以及穿设在该螺母(150)中的螺杆(152)，该螺杆(152)穿设于相应的第一收容槽(110)或第二收容槽(130)的顶壁中，该螺母(150)设置于该顶壁的上表面;该螺杆(152) —端伸入到相应的第一收容槽(110)或第二收容槽(130)中，并可转动地连接于相应的滑块(230)上。9.一种蚀刻设备，其特征在于，包括权利要求1至8任一项所述的吸水装置。10.根据权要求9所述的蚀刻设备，其特征在于，还包括依序排布的卷式放料装置、片料放料装置、显影装置、拉料装置、蚀刻装置、片式收料装置以及卷式收料装置。
【文档编号】H01L21/67GK205723451SQ201620286537
【公开日】2016年11月23日
【申请日】2016年4月7日
【发明人】苏骞, 刘全胜, 金永哲, 乌磊, 孟敏
【申请人】深圳市奥美特科技有限公司