专利名称：电光装置、布线基板及电子设备的制作方法
技术领域：
本发明涉及液晶装置等电光装置的技术领域，特别涉及到具备用来规定图像显示区域的边框遮光膜的电光装置及具备那种电光装置的电子设备的技术领域。
背景技术：
这种电光装置其元件阵列基板和对向基板对向配置，该元件阵列基板形成有像素电极、带状电极之类的显示用电极，数据线、扫描线之类的各种布线，像素开关用的薄膜晶体管(下面，视情况称为TFT)、薄膜二极管(下面，视情况称为TFD)之类的开关元件等，该对向基板形成有带状或整面形成的对向电极及遮光膜等。在这一对基板间，用密封部件包围有液晶等的电光物质，并且在比存在密封部件的密封区域靠中央(也就是，面向液晶等的基板上区域)，设置配置有像素电极的图像显示区域。这里，特别是平面看上去(也就是说，从对于图像显示区域对向的方向看上去)沿着密封区域内侧轮廓呈边框形，图像显示区域的边框区域例如利用和对向基板上所设置的遮光膜同一膜来规定。
在位于图像显示区域周边的周边区域的元件阵列基板上形成扫描线驱动电路、数据线驱动电路、采样电路及检查电路等周边电路的所谓周边电路内置型电光装置，也已经得到普及。因而，在周边区域内，通常存在从图像显示区域向周边区域引出的布线。
对于这种电光装置来说，由存在于元件阵列基板上的边框区域的布线和电路元件构成的图形部采用被构图的Al膜等导电膜来形成。因此，特别在如同投影机用途等的那样入射光为高强度且大量包括倾斜分量时，入射光按照图形部的反射率由其表面进行反射，并且入射光通过图形部的间隙。这样由图形部所反射的光诸如通过对向基板上由Cr(铬)等构成的边框遮光膜进行反射。
由边框遮光膜所反射的内面反射光和透射图形部的光例如包括由元件阵列基板的背面反射出的反射光、由边框遮光膜所反射的内面反射光、透射图形部的光、由电光装置出射侧所安装的偏振板、相位差板及防尘玻璃等光学器件所反射的反射光、以多个电光装置为光阀组合起来将其作为多片式投影机时从其他电光装置出射并穿过合成光学系统返回的返回光以及由图形部和边框遮光膜等所反射的内面反射光，并且这些光最终混杂于出射光中从电光装置出射。
其结果为，存在与图形部的反射和透射相应的明暗图形(例如，在排列了多条布线时，条纹花样等的明暗图形)在显示图像的边缘附近被映现出来这样的问题所在。作为用来解决该问题所在的方法一例，专利文献1公示出一种在元件阵列基板上的边框区域一部分形成下侧遮光膜的电光装置。
专利文献1特开2003-177427号公报但是，就这种电光装置而言，有时其制造时或驱动时在相互隔开下侧遮光膜的区域产生裂缝。该裂缝平面看上去沿着下侧遮光膜的边缘及边角部在元件阵列基板上的多层结构中传播，有时把下侧遮光膜的上层侧所形成的布线切断。因而，存在由于裂缝传播招致电光装置制造时的成品率下降或者电光装置可靠性下降的问题所在。更为具体而言，例如在电源布线因裂缝的传播而被切断时，就难以驱动电光装置。专利文献1所公示的技术只不过是从防止显示图像不佳状况的观点出发提供出一种将下侧遮光膜形成于元件阵列基板的电光装置。另外，根据专利文献1，有关用来不使所产生的裂缝在元件阵列基板上传播的多层结构却未被提及。除此之外，在专利文献1中，有关由于因裂缝的传播引起的布线切断等而产生不佳状况的可能性，也没有见到启发性的记述。
发明内容
因而，本发明是鉴于上述问题所在等而做出的，其目的为提供一种电光装置、布线装置及电子设备，用来减少例如在电光装置元件阵列基板上的多层结构内产生裂缝，且即使在产生了裂缝时也可以抑制裂缝的传播。
本发明所涉及的电光装置为了解决上述问题，其特征为，具备基板；多个像素，形成于上述基板上的图像显示区域；多个遮光膜，在位于上述图像显示区域周边的周边区域形成为岛状；分离区域，是上述多个遮光膜与遮光膜之间的区域之中的按第1方向延伸的区域；绝缘膜，覆盖上述多个遮光膜及上述分离区域；以及多个第1导电膜，在上述绝缘膜上，按上述第1方向延伸地分别形成，按与上述第1方向交叉的方向来排列；上述多个第1导电膜与第1导电膜之间的区域之中的按上述第1方向延伸的分离区域不和上述多个遮光膜的按第1方向延伸的分离区域重合。
还有，优选的是，上述遮光膜是在上述周边区域所设置的电路下侧所形成的下侧遮光膜。
根据这种本发明所涉及的电光装置，可以减少在分离部所产生的裂缝通过覆盖分离区域及下侧遮光膜的绝缘膜进行传播的情况。因而，可以减少绝缘膜上层侧所形成的多层结构因裂缝的传播而受到损伤的情况。除此之外，如下所述，还可以借助于基板上所形成的多个下侧遮光膜及多个第1导电膜的设计(layout)，减少基板上的各层中裂缝的产生。
下侧遮光膜是为了减少例如因由边框遮光膜所反射的内面反射光等引起而产生于显示图像上的条纹状明暗图形所设置的。下侧遮光膜在沿上述图像显示区域周边延伸的周边区域，直接或间接形成于基板上。
绝缘膜的一部分设置于相互隔开多个下侧遮光膜的区域之中的、沿着下侧遮光膜1条边延伸的分离区域，例如是当形成覆盖多个下侧遮光膜的绝缘膜时、构成该绝缘膜的绝缘材料一部分在分离区域产生固化得到的。
这里，在分离区域的宽度小于1μm时，在分离区域中绝缘材料一致地进入，在分离区域延伸的绝缘膜一部分的上表面成为平坦面。因而，作为产生裂缝的一个原因的凹陷不会在分离区域形成。另外，在分离区域的宽度大于等于6μm时，在分离区域延伸的绝缘膜上表面按不使之产生裂缝的程度变得平缓，在分离区域难以产生裂缝。在分离区域的宽度大于等于3μm且小于等于5μm时，实验上或理论上大多都易于在分离区域的上面产生凹陷，招致裂缝的发生。因而，如下所述，可以利用第1导电膜及下侧遮光膜的位置关系，在分离区域的宽度大于等于3μm且小于等于5μm时有效减少裂缝的发生及传播。还有，请注意上述易于产生裂缝的分离区域的宽度是一例，产生于分离区域的凹陷根据构成绝缘膜的绝缘材料及制造条件的不同而改变。
多个第1导电膜在上述绝缘膜上，分别形成为沿着上述1条边延伸，且以使隔开相互的区域不与上述分离区域重合的方式，平面看上去沿着与上述1条边交叉的方向排列。因为相互隔开多个第1导电膜的区域平面上未与分离区域重合，所以可以减少电光装置制造时或驱动时裂缝从分离部在下侧遮光膜的1条边及相互隔开多个第1导电膜的区域范围传播。更为具体而言，可以抑制例如因与下述下侧遮光膜及第1导电膜相比机械强度较弱的部分重合而易于出现裂缝的产生及传播，上述下侧遮光膜由铝或铬等的金属膜构成，上述第1导电膜由半导体膜构成。
如上所述，根据本发明所涉及的电光装置，可以减少裂缝的产生及传播，并且能够减少例如多个第1导电膜上层侧所形成的层因裂缝而被切断的情况。借此，本发明所涉及的电光装置借助于减少电光装置制造时产生的不佳状况，而可以提高成品率。除此之外，根据本发明所涉及的电光装置，可以减少在驱动时发生不佳状况，能够提供可靠性优良的电光装置。
在本发明所涉及的电光装置一个方式中，还可以具备第2导电膜，其形成于上述多个第1导电膜的上层侧，且至少部分重合于上述下侧遮光膜的、按第1方向延伸的分离区域，并且按与上述第1方向相交的方向延伸。
根据这种方式，可以减少因裂缝的传播而切断第2导电膜的情况。第2导电膜因为以部分重合于上述分离区域的方式沿着与上述1条边相交的方向延伸，所以例如在沿着下侧遮光膜的1条边而裂缝进行传播时，第2导电膜被切断。因而，通过不使裂缝沿着1条边传播，就可以减少第2导电膜被切断。
这里，所谓“第2导电膜”例如指的是铝等的金属膜，更为具体而言，例如是供给驱动电源的电源布线，该驱动电源用来驱动电光装置所具备的各种电路。由于减少这种电源布线被切断的情况，因而例如可以使之正常驱动电光装置所具备的各电路。
在本发明的电光装置的其他方式中也可以为，上述多个下侧遮光膜在上述周边区域排列成矩阵状，上述多个第1导电膜在与上述第1方向相交的方向上按与上述多个下侧遮光膜的间隔相应的间隔进行排列。
根据这种方式，与下侧遮光膜在周边区域上作为一片遮光膜来形成的情形相比，由于事先将多个下侧遮光膜排列成矩阵状，因而可以缓解对下侧遮光膜的上层及下层侧施加的应力，能够减少裂缝的产生及传播。更为具体而言，例如在将下侧遮光膜作为一片遮光膜形成于周边区域上时，特别是在周边区域边缘的区域对下侧遮光膜和下侧遮光膜的上层或下层之间施加的应力增大，易于产生裂缝及其的传播。因此，通过将多个下侧遮光膜排列成矩阵状，可使应力得到缓解，且可以减少返回光等。
除此之外，如果按通过相互隔开多个下侧遮光膜的区域向图像显示区域漏过的光不给显示图像带来影响的程度，事先将相互隔开多个下侧遮光膜的区域设定得较窄，则可以既维持显示图像的画面质量，又减少裂缝的产生及裂缝的传播。再者，多个第1导电膜因为在与上述第1方向相交的方向上按与上述多个下侧遮光膜的间隔相应的间隔来排列，所以也可以减少在多个第1导电膜及多个下侧遮光膜间作用的应力。
在本发明的电光装置的其他方式中，上述第1导电膜的平面形状也可以是在与上述第1方向相交的方向上以上述分离区域为中心的对称形状。
根据这种方式，例如当使用蒸镀法或溅射法等薄膜形成法在绝缘膜上使第1导电膜成膜时，可以减少从第1导电膜对绝缘膜作用的应力，能够间接减少对分离部作用的应力。因而，可以减少在分离区域产生的裂缝，并且可以抑制因对第1导电膜的下层侧应力作用而使裂缝易于传播的情况。
在本发明的电光装置的其他方式中，还具备多个第3导电膜，其形成于和上述多个第1导电膜不同的层，并且沿着与上述第1方向相交的方向延伸，且在上述第1方向进行排列；上述多个第1导电膜之中相互相邻的一个第1导电膜及其它第1导电膜其上述第1方向的长度相互不同，上述一个第1导电膜也可以通过按与上述基板的基板面相交的方向延伸的一个导电部，和上述多个第3导电膜之中的一个第3导电膜进行电连接，并且上述其它第1导电膜通过按与上述基板面相交的方向延伸的其它导电部，和上述多个第3导电膜之中的其它第3导电膜进行电连接。
根据这种方式，不用将基板上所形成的包括各导电膜及绝缘膜在内的多层结构制成复杂的层结构，就可以将一个第1导电膜及其它第1导电膜的各自，与多个第3导电膜进行电连接。
一个第1导电膜及其它第1导电膜沿着1条边相互相邻，并且沿着1条边的长度相互不同。更为具体而言，沿着与1条边相交的方向，一个第1导电膜和沿着1条边的长度比一个第1导电膜短或长的其它第1导电膜在周边区域进行排列。
这种包括一个第1导电膜及其它第1导电膜的多个第1导电膜例如通过作为接触孔等的一个导电部及其它导电部的各自，电连接到在不同于上述多个第1导电膜且同一层所分别形成的多个第3导电膜。
在这种方式中，还具备多个晶体管，与分别包括上述像素电极的多个像素部分别进行电连接，上述一个第1导电膜也可以与上述多个晶体管之中的沿着上述第1方向相互相邻的晶体管之中的一个晶体管的栅进行电连接，并且上述其它第1导电膜与上述相互相邻的晶体管之中的其它晶体管的栅进行电连接。
在这种方式中，电连接一个第1导电膜的一个第3导电膜例如是供给开关信号的布线，该开关信号用来对一个晶体管进行开关。同样，其它第3导电膜可以给其他晶体管供给开关信号。
根据这种方式，例如可以通过包括多个晶体管的传输门，将检查信号输出给在周边区域所设置的检查电路，该检查信号包括用来判定多个像素部是否良好的信息。
在本发明的电光装置的其他方式中，还具备对向基板，其配置为与上述基板对向，且通过在上述周边区域之中的规定上述图像显示区域的边框区域外侧区域所设置的密封部，和上述基板相互粘接；上述对向基板在与上述基板面对向的对向面侧具备形成于上述边框区域的上侧遮光膜，上述下侧遮光膜也可以形成于上述周边区域之中的至少上述外侧区域。
根据这种方式，可以减少混杂于从图像显示区域最终作为图像显示用显示光出射的出射光中的返回光等，能够抑制图像显示区域边缘附近映现出来的条纹花样明暗图形的发生。因而，就可以减少只利用上侧遮光膜难以抑制的显示不佳。
本发明所涉及的布线基板为了解决上述问题，其特征为，具备基板；多个导电膜，在上述基板上形成为岛状；分离区域，是上述多个导电膜与导电膜之间的区域之中的按第1方向延伸的区域；绝缘膜，覆盖上述多个导电膜及上述分离区域；以及多条布线，在上述绝缘膜上分别形成为按上述第1方向延伸，按与上述第1方向交叉的方向来排列；上述多条布线与布线之间的区域之中的按上述第1方向延伸的分离区域不和上述多个导电膜的按第1方向延伸的分离区域重合。
根据本发明所涉及的布线基板，和上述本发明的电光装置相同，可以减少裂缝的产生及传播，例如能够减少多个导电膜上层侧所形成的层因裂缝而被切断的情况。
本发明所涉及的电子设备为了解决上述问题，具备上述本发明的电光装置。
根据本发明所涉及的电子设备，由于具备上述本发明所涉及的电光装置，因而可以实现能进行高质量显示的投影型显示装置、便携式电话机、电子记事本、文字处理机、取景器式或监视直观式磁带录像机、工作站、电视电话机、POS终端及触摸面板等的各种电子设备。另外，作为本发明所涉及的电子设备，例如还可以实现电子纸张等的电泳装置等。
本发明的这种作用及其他优点通过下面说明的实施方式来阐明。
图1是表示液晶装置整体结构的平面图。
图2是图1的H-H′剖面图。
图3是表示TFT阵列基板10主要电路结构的电路图。
图4是TFT阵列基板10的第1层的平面图。
图5是TFT阵列基板10的第2层的平面图。
图6是TFT阵列基板10的第3层的平面图。
图7是图4至图6的VII-VII′线剖面图。
图8是图4至图6的VIII-VIII′线剖面图。
图9是用来对相互隔开下侧遮光膜的区域的宽度和产生于分离部的裂缝之间的关系进行比较的附图。
图10是表示变形例中TFT阵列基板10的第1层部分的平面图。
图11是表示作为使用电光装置的电子设备一例的投影机结构的平面图。
图12是表示作为使用电光装置的电子设备一例的个人计算机结构的立体图。
图13是表示作为使用电光装置的电子设备一例的便携电话机结构的立体图。
符号说明9a…像素电极，10…TFT阵列基板，10a…图像显示区域，20…对向基板，21…对向电极，30…分离区域，70…像素部，90…电源布线，101…X-驱动电路，102…外部电路连接端子，104…Y-驱动电路，210…测试启动(test enable)电路，241a、242a、241c、242c…引出布线，T1、T2…测试启动布线具体实施方式
下面，一边参照附图，一边说明本发明所涉及的电光装置、布线基板及电子设备的各实施方式。在本实施方式中，举出驱动电路内置型TFT有源矩阵驱动方式的液晶装置1，为电光装置的一例。
图1是从对向基板侧一并看到TFT阵列基板和形成于其上的各结构器件的平面图，图2是图1的H-H′剖面图。
在图1及图2中，液晶装置1具备TFT阵列基板10；和对向基板20，其配置为与TFT阵列基板10对向。
对向基板20通过在按图像显示区域10a的周边延伸的周边区域所设置的密封部52，和TFT阵列基板10相互粘接。液晶层50被封入TFT阵列基板10及对向基板20间。对向基板20如下所述，通过在与TFT阵列基板10对向的对向面侧的边框区域外侧所配置的密封部52，和TFT阵列基板10相互粘接。
密封部52由用来粘贴TFT阵列基板10和对向基板20的如紫外线固化树脂、热固化树脂等构成，在制造工艺中将其涂敷于TFT阵列基板10上之后，通过紫外线照射、加热等令其固化。在密封部52中，散布有用来将TFT阵列基板10和对向基板20之间的间隔(基板间间隙)设为预定值的玻璃丝或玻璃珠等间隙材料。也就是说，液晶装置1适于作为投影机的光阀用为小型且进行放大显示的装置。但是，如果液晶装置1是如同液晶显示器或液晶电视的那样大型且进行等倍显示的液晶装置，则这种间隙材料也可以包括于液晶层50中。
对向基板20在规定图像显示区域10a的边框区域，具备作为本发明“上侧遮光膜”一例的遮光性边框遮光膜53。边框遮光膜53形成在与配置了密封部52的密封区域内侧并行进行延伸的边框区域。但是，这种边框遮光膜的一部分或全部也可以设置于TFT阵列基板10侧，来作为内置遮光膜。
TFT阵列基板10具备从边框区域形成到其外侧区域的下侧遮光膜501。下侧遮光膜501部分形成于从图像显示区域10a的外周到周边侧的边框遮光膜53外侧。下侧遮光膜501在边框区域及其外侧区域，形成于下述两种布线及电源布线的下层侧，该布线一是从下述的数据线通过TFT等电路元件所引出的布线，二是用来供给开关信号的布线，该开关信号用来使构成传输门的TFT进行接通与截止，该电源布线用来驱动液晶装置1具备的各种电路。下侧遮光膜501在图像显示区域10a的周边区域，减少由各种布线等所反射的反射光及透射这些布线间间隙的透射光。借此，最终混杂于显示用出射光中的反射光及透射光的光量按由下侧遮光膜501所吸收或反射的量就得以显著减少。因而，液晶装置1可以减少混杂于从图像显示区域10a最终作为图像显示用的显示光出射的出射光中的返回光等，能够抑制图像显示区域10a边缘附近映现出来的条纹花样明暗图形的发生。也就是说，液晶装置1可以减少只利用上侧遮光膜难以抑制的显示不佳。
在向图像显示区域10a周边扩展的区域之中的、位于配置有密封部52的密封区域外侧的周边区域，数据线驱动电路101及外部电路连接端子102沿着TFT阵列基板10的一条边来设置，扫描线驱动电路104沿着与该一条边相邻的2条边来设置。再者，沿TFT阵列基板10剩下的一条边设置多条布线105，该多条布线105用来连接图像显示区域10a两侧所设置的扫描线驱动电路104之间。如图1所示，在对向基板20的4个边角部配置上下导通部件106，该上下导通部件106作为两个基板间的上下导通端子来发挥作用。另一方面，在TFT阵列基板10上，在与这些边角对向的区域设置上下导通端子。借此，可以在TFT阵列基板10和对向基板20之间取得电导通。
对从数据线驱动电路101供给的图像信号进行采样的采样电路110配置在由边框遮光膜53构成的边框区域内。也就是说，构成采样电路110的TFT等电路元件配置在边框区域内。再者，从在图像显示区域10a内所布线的数据线到采样电路110的布线部分、从数据线驱动电路101到采样电路110的布线部分以及从在图像显示区域10a内所布线的扫描线到扫描线驱动电路104的布线部分等各种布线部分，形成在边框区域或边框区域外侧的区域。
在图2中，在TFT阵列基板10上，于形成有像素开关用TFT和扫描线、数据线等布线后的像素电极9a上，形成取向膜。另一方面，在对向基板20上除了对向电极21之外，还在最上层部分形成取向膜。另外，液晶层50例如由混合了一种或数种向列液晶的液晶构成，并且在这些一对的取向膜间取预定的取向状态。
还有，在图1及图2所示的TFT阵列基板10上，除了这些数据线驱动电路101、扫描线驱动电路104及采样电路110等之外，还可以形成预充电电路和检查电路等，该预充电电路先于图像信号给多条数据线分别供给预定电压电平的预充电信号，该检查电路用来检查液晶装置1制造过程中和出厂时该电光装置的品质、缺陷等。
下面，一边参照图3，一边说明TFT阵列基板10的主要电路结构。图3是表示TFT阵列基板10主要电路结构的电路图。还有，TFT阵列基板10是本发明所涉及的布线基板应用例之一。图3是相对于图1所示的平面图上下颠倒后的电路图。
在图3中，液晶装置1在TFT阵列基板10上，具备多条扫描线Gj(j＝1、2、…、n)、多条数据线Si(i＝1、2、…、m)、Y-驱动电路104、X-驱动电路101、采样电路110、多个像素部70、测试电路40及作为本发明“第2导电膜”一例的电源布线90。
多条扫描线Gj及多条数据线Si布线为，在图像显示区域10a相互交叉。
Y-驱动电路104在像素部70的检查时，将开关信号依次供给每条扫描线。这里，所谓的开关信号指的是，和显示图像时对像素部70所供给的图像显示用扫描信号不同的信号，是为了从像素部70输出下述的检查输出信号而用于将像素部70所具备的TFT转换成接通状态的信号。
X-驱动电路101对构成采样电路110的采样开关111供给采样信号，将这些采样开关111转换成接通状态。这里，所谓的“采样信号”指的是，当进行检查时为了通过图像信号线112对数据线Si供给刷新信号以及用来判定是否在像素部中发生了不佳状况的信号等，而从X-驱动电路101向采样电路110所供给的信号。
采样电路110由多个采样开关111构成，采样开关111按照从X-驱动电路101所供给的采样信号，来转换接通与截止。
像素部70具备图2所示的像素电极9a；TFT，根据从Y-驱动电路104所供给的开关信号来转换接通与截止；以及存储电容，当进行图像显示时暂时保持对像素部70所供给的图像信号，能进行多个像素部70的有源矩阵驱动。
测试电路40具备测试启动开关241及242、测试启动(下面，称为TE。)电路210、下拉电路35、作为本发明“第1导电膜”各自一例的引出布线241a及242a、测试启动布线T1及T2以及PAD(焊盘)60。
PAD60在图1及图2中，既可以作为外部电路连接端子102的一个来构成，也可以和其不同作为专用的焊点来设置。
测试启动开关241及242设置于TFT阵列基板上的基板面的图像显示区域10a的周边区域。测试启动开关241及242对应于构成数据线组Grk的2根数据线的各自来设置，并且按照从下述测试启动电路210供给的测试启动信号转换成接通状态。通过使测试启动开关241及242被转换成接通状态，按数据线组Grk，通过下述应检查的一条数据线Si从各像素部70输出的、作为检查对象的信号，经由PAD60输出给检查电路300及存储器310。
测试启动电路210分别通过测试启动布线T1及T2，电连接到测试启动开关241及242的栅。测试启动布线T1及T2电连接到测试启动开关241及242各自的栅。测试启动电路210在检查时通过测试启动布线T1及T2以及引出布线241a及242a，将测试启动信号供给测试启动开关241及242的各自。借此，测试启动开关241及242进行接通与截止，将从各像素部70输出的作为检查对象的检查信号通过引出布线241b及242b、测试布线TX以及PAD60输出给检查电路300及存储器310。根据存储器310中原始记录的检查信号或通过存储器310直接供给检查电路300的检查信号，检查电路300判定是否在像素部70中发生了不佳状况。
电源布线90部分沿着测试启动布线T1及T2，在TFT阵列基板10的周边区域引绕。电源布线90将驱动电源VDD供给各电路，该驱动电源VDD用来驱动TE电路210、X-驱动电路101、Y-驱动电路104及TFT阵列基板10上所形成的未图示的各电路。
下拉电路35使测试启动布线T1及T2的电位得以稳定化，以便通过测试启动布线T1及T2对测试启动开关241及242分别供给的测试启动信号不产生变动。
还有，下侧遮光膜501形成于TFT阵列基板10的图像显示区域10a的周边区域。更为具体而言，在图像显示区域10a的周边区域之中的形成了测试电路40的区域，还在构成测试电路40的开关元件和电容等各种元件或布线等的下层侧形成。
下面，一边参照图3，一边对于像素部70的检查步骤进行说明。还有，像素部70的检查最好在液晶装置1中的粘贴TFT阵列基板10和对向基板20的前阶段实施。
在图3中，在进行该检查时，例如首先对像素部70所具备的存储电容供给检查信号。
接着，对每个像素部70所设置的像素开关用TFT变为截止状态。
接着，供给使多条数据线Si的电位变为0V也就是电位为0V的刷新信号，进行刷新。此时，由于像素开关用的TFT是截止状态，因而给像素部70的存储电容所供给的检查信号保持原状态。
接着，由于按每个数据线组Grk，根据从测试启动电路210供给的测试启动信号，测试启动开关241或242进行接通与截止，因而通过2条数据线之中的应检查的一条数据线Si，检查信号输出给测试布线80。在本实施方式中，从各像素部70输出的检查信号按每个数据线组Grk，按数据线Si的排列顺序依次输出。借此，通过测试布线TX给检查电路300及存储器310供给检查信号，检查各像素部70不佳状况的有无。
如上的检查按每条扫描线Gj及每条数据线Si来进行。
根据本实施方式的液晶装置，即使在具有液晶面板的液晶装置中也可以容易进行缺陷像素的查找。而且，由于可以在制造各工艺中比较靠前的阶段，判定像素部70不佳状况的有无，也就是像素部是否良好，因而可以提高液晶装置的成品率，还能够减少制造成本。
下面，一边参照图4至图9，一边说明本实施方式电光装置的中心内容。图4至图6是周边区域之中的设置了测试电路40的区域A的布线结构的平面图，并且用粗的实线及虚线加重图示出各单元。还有，在图4至图6中，用黑体表示出按该顺序设置于TFT阵列基板10下层侧的部分。更为具体而言，图4用实线表示出TFT阵列基板10的第1层的部分。图5及图6分别用粗实线图示出在处于图4上层侧的第2层及第3层所设置的部分。图7是图4至图6的VII-VII′线剖面图，图8是图4至图6的VIII-VIII′线剖面图。
在图4至图6中，TFT阵列基板10具备多个下侧遮光膜501、分离区域30、绝缘膜91及92、引出布线241a及242a、电源布线90、作为本发明“第3导电膜”各自一例的测试启动布线T1及T2、测试布线TX以及作为本发明“导电部”各自一例的接触孔C1、C2及C3。
在图4中，下侧遮光膜501在沿图像显示区域10a周边延伸的周边区域平面看上去分别形成为矩形的岛状，并且沿着引出布线241a及242a延伸的方向(附图中的Y方向)及与该方向相交的方向(附图中的X方向)形成为矩阵状。
还有，下侧遮光膜501的形状虽然在设计上成为矩形是最为简单的，但是并不限于完全的矩形，例如只要是将矩形的角切掉的八角形状、使矩形的角成为曲线状的形状等外形接近矩形的形状，也可以为任何形状。
根据这种下侧遮光膜501，与在周边区域形成一片遮光膜的情形相比，可以缓解对下侧遮光膜501的上层及下层侧施加的应力，能够减少下述裂缝的产生及传播。加之，如果事先将相互隔开多个下侧遮光膜的区域设定得较窄，则可以进一步减少通过按网格状延伸而相互隔开多个下侧遮光膜501的区域而向图像显示区域10a漏过的光，能够按不给显示图像带来影响的程度既维持显示图像的画面质量，又减少裂缝的产生及裂缝的传播。
下侧遮光膜501由1种金属膜或多种金属膜来构成，减少因由边框遮光膜53所反射的内面反射光等引起而产生于显示图像的条纹状明暗图形。下侧遮光膜501由铝或铬等具有遮光性的金属膜来构成，或者通过叠层多个这些金属膜来构成。下侧遮光膜501在沿图像显示区域10a周边延伸的周边区域，于TFT阵列基板10上直接、或者通过基底绝缘膜或者构成其他电路的多层结构间接形成。
在图7中，分离区域30设置于按网格状延伸而相互隔开多个下侧遮光膜501的区域之中的沿下侧遮光膜501的1条边(沿着附图中的Y方向)延伸的分离区域R2。分离区域30是当形成覆盖多个下侧遮光膜501的绝缘膜91时，构成绝缘膜91的绝缘材料一部分在分离区域R2产生固化得到的。
在图5中，引出布线241a及242a在绝缘膜91上分别形成为按Y方向延伸，且以使隔开双方的分离区域R1不与分离区域R2重合地排列为平面看上去按X方向来排列。因而，可以减少液晶装置1的制造时或工作时在分离区域30所产生的裂缝通过绝缘膜91向分离区域R1传播。更为具体而言，可以抑制因与例如由铝或铬等金属膜所构成的下侧遮光膜501及由半导体膜所构成的引出布线241a及242a膜相比机械强度较弱的部分重合而引起的裂缝发生及传播。借此，可以减少下侧遮光膜501上层侧所形成的多层结构因裂缝的传播而受到损伤。加之，引出布线241a及242a因为沿X方向按与多个下侧遮光膜501的间距相应的间距进行排列，所以也可以减少在引出布线241a及242a和多个下侧遮光膜501之间作用的应力。
从测试启动开关241及242各自的栅所引出的引出布线241a及242a通过接触孔C1及C2，电连接到测试启动布线T1及T2的各自。
从测试启动开关241及TFT242各自的漏延伸的引出布线241b及242b沿着附图中的X方向进行排列。引出布线241b及242b通过接触孔C3电连接到测试布线TX，并按照测试启动开关241及242各自的接通与截止将检查信号输出给测试布线TX。借此，从各像素部70所输出的检查信号被输出给设置于图像显示区域10a的周边区域或液晶装置1外部的检查电路。
在图6中，测试布线TX、测试启动布线T1及T2以及电源布线90沿X方向延伸。
在图6及图8中，例如由铝等金属膜所构成的电源布线90虽然在分离区域30的上侧延伸，但是分离区域R1及R2平面看上去没有重合。因而，可以减少在分离区域30所产生的裂缝向电源布线90传播并切断电源布线90。借此，可以对通过电源布线90获取驱动电源的如TF电路210、Y-驱动电路104及X-驱动电路101，在无故障的状况下供给驱动电源。
下面，说明本实施方式的分离区域R1及R2的配置关系在减少裂缝传播的方面特别有用处的情形。图9是对相互隔开下侧遮光膜的区域的宽度和产生于分离区域30的裂缝之间的关系进行比较的附图，图9(a)至(c)的各自对应于图8的剖面图。还有，请注意下面所述的分离区域R2a、R2b及R2c和分离部的裂缝的产生之间的关系是一例，根据下侧遮光膜的形状、宽度及膜厚、覆盖下侧遮光膜的绝缘膜的膜厚、构成绝缘膜的绝缘材料及固化条件的不同，易于产生裂缝的分离区域的宽度尺寸有所不同。
在图9(a)中，在分离区域R2a的宽度小于1μm时，在分离区域中一致地进入绝缘材料，分离区域30a的上表面成为平坦面。因而，作为产生裂缝的一个原因的凹陷不形成于分离部。
在图9(c)中，在分离区域R2c的宽度大于或等于6μm时，分离区域30c的上表面按不使之产生裂缝的程度变得平缓，在分离区域30c难以产生裂缝。
在图9(b)中，在分离区域R2b的宽度大于等于3μm且小于等于5μm时，实验上或理论上都易于在分离区域30b的上表面产生凹陷。因而，在本实施方式中，在分离区域R2的宽度大于等于3μm且小于等于5μm时，可以有效减少裂缝的产生及传播。
如上所述，根据本实施方式的液晶装置1，可以减少裂缝的产生及传播，并能够减少例如测试启动布线T1及T2上层侧所形成的电源布线90因裂缝的传播而被切断的情况。借此，可以减少液晶装置1的制造时或工作时产生的不佳状况，能够谋求成品率及可靠性的提高。
(变形例)下面，一边参照图10，一边说明上述液晶装置1的变形例。根据本例的液晶装置所具备的引出布线，可以进一步有效减少图4至图6所示的区域B1处的裂缝的产生以及通过区域B1及B2向电源布线90传播的裂缝。还有，在下面，对于和液晶装置1通用的部分附上相同的参照符号进行说明，并且为了方便省略其详细的说明。图10是表示与图4对应的TFT阵列基板10第1层部分的平面图。
在图10中，因为相互分离引出布线241c及242c的分离区域R1a及分离区域R2未重合，所以可以和上述的液晶装置1相同，减少在分离区域30所产生的裂缝传播。
除此之外，与测试启动开关241及242的栅所电连接的引出布线241c及242c的平面形状是以下侧遮光膜501的分离区域R2的中心线CL1及CL2的各自为中心沿X方向对称的形状。
根据引出布线241c及242c，例如在使用蒸镀法或溅射法等薄膜形成法使引出布线241c及242c在绝缘膜91上成膜时，可以减少由这些布线对绝缘膜91作用的应力，间接减少对分离区域30作用的应力。因而，可以减少在分离区域30产生的裂缝，并且可以有效抑制因在引出布线241c及242c的下层侧应力作用而使裂缝易于传播的情况。更为具体而言，可以减少通过图4至图6所示的区域B1及B2使裂缝向电源布线90传播的情况。
引出布线241c及242c形成为，其长度沿着附图中的Y方向相互不同。引出布线241c及242c通过接触孔C1a及C2a的各自，电连接到沿着附图中的Y方向错开配置的测试启动布线T1及T2的各自。因而，根据引出布线241c及242c，既可以在分离区域R2上形成引出布线241c及242c的各自，又可以将引出布线241c及242c与在同一层上所形成的测试启动布线T1及T2的各自进行电连接。借此，不用将TFT阵列基板10上所形成的多层结构制成复杂的层结构，就可以将引出布线241c及242c与测试启动布线T1及T2进行电连接。
<电子设备>
下面，一边参照图11至图13，一边对于将上述的液晶装置用于各种电子设备的情形进行说明。
首先，说明将该液晶装置作为光阀来使用的投影机。图11是表示投影机结构例的平面图。如图11所示，在投影机1100内部，设置由卤素灯等白色光源构成的灯组件1102。从该灯组件1102所射出的投影光通过光导向器件1104内所配置的4片反射镜1106及2片分色镜1108，分离成RGB的3原色，入射到与各原色对应的作为光阀的液晶面板1110R、1110B及1110G。
液晶面板1110R、1110B及1110G的结构和上述的液晶装置相同，按照从图像信号处理电路供给的R、G、B原色信号分别被进行驱动。而且，由这些液晶面板调制后的光从3个方向入射到分色棱镜1112。在该分色棱镜1112中，R及B的光折弯成90度，另一方面G的光直行。因而，各色的图像被合成的结果为，通过投影透镜1114，向屏幕等投影彩色图像。
这里，注意由各液晶面板1110R、1110B及1110G得到的显示像得知，由液晶面板1110G得到的显示像需要相对于由液晶面板1110R、1110B得到的显示像进行左右翻转。
还有，在液晶面板1110R、1110B及1110G，由于通过分色镜1108入射与R、G、B各原色对应的光，因而不需要设置滤色器。
下面，说明将液晶装置用于便携式个人计算机的例子。图12是表示该个人计算机结构的立体图。在图12中，计算机1200由具备键盘1202的主体部1204和液晶显示组件1206构成。该液晶显示组件1206是通过在上面所述的液晶装置15背面添加背光源来构成的。
再者，说明将液晶装置用于便携电话机的例子。图13是表示该便携电话机结构的立体图。在图13中，便携电话机1300具备多个操作按键1302，以及反射型的液晶装置15。在该反射型的液晶装置中，根据需要在其前面设置前光源。
还有，除了参照图11到图13所说明的电子设备之外，还能举出液晶电视机、取景器式及监视直观式磁带录像机、汽车导航装置、寻呼机、电子记事本、台式电子计算器、文字处理机、工作站、电视电话机、POS终端及具备触摸面板的装置等。而且，不言而喻，可以用于这些各种电子设备。
本发明并不限于上述实施方式，在不违反能从技术方案及说明书整体领会的发明宗旨或构思的范围内，可以进行适当变更，并且伴随这种变更的电光装置及具备该电光装置的电子设备也包括于本发明的技术范围内。
权利要求
1.一种电光装置，其特征为，具备基板；多个像素，其形成于上述基板上的图像显示区域；多个遮光膜，其在位于上述图像显示区域周边的周边区域形成为岛状；分离区域，其是上述多个遮光膜彼此之间的区域之中的按第1方向延伸的区域；绝缘膜，其覆盖上述多个遮光膜及上述分离区域；以及多个第1导电膜，其在上述绝缘膜上，分别形成为按上述第1方向延伸，按与上述第1方向交叉的方向排列；上述多个第1导电膜彼此之间的区域之中的按上述第1方向延伸的分离区域，不和上述多个遮光膜的按第1方向延伸的分离区域重合。
2.根据权利要求1所述的电光装置，其特征为上述遮光膜是在上述周边区域设置的电路下侧所形成的下侧遮光膜，还具备第2导电膜，该第2导电膜形成于上述多个第1导电膜的上层侧，且至少部分重合于上述下侧遮光膜的按第1方向延伸的分离区域，按与上述第1方向相交的方向延伸。
3.根据权利要求1或2所述的电光装置，其特征为上述多个下侧遮光膜在上述周边区域排列成矩阵状，上述多个第1导电膜在与上述第1方向相交的方向上，按与上述多个下侧遮光膜的间隔相应的间隔进行排列。
4.根据权利要求1到3中任一项所述的电光装置，其特征为上述第1导电膜的平面形状是在与上述第1方向相交的方向上、以上述分离区域为中心的对称形状。
5.根据权利要求1到4中任一项所述的电光装置，其特征为还具备多个第3导电膜，该第3导电膜形成于和上述多个第1导电膜不同的层，并且沿着与上述第1方向相交的方向延伸，且在上述第1方向上进行排列；上述多个第1导电膜之中的相互相邻的一个第1导电膜及其它第1导电膜，其上述第1方向的长度相互不同，上述一个第1导电膜，通过按与上述基板的基板面相交的方向延伸的一个导电部，和上述多个第3导电膜之中的一个第3导电膜电连接，上述其它第1导电膜，通过按与上述基板面相交的方向延伸的其它导电部，和上述多个第3导电膜之中的其它第3导电膜电连接。
6.根据权利要求5所述的电光装置，其特征为还具备多个晶体管，该晶体管与分别包括上述像素电极的多个像素部分别电连接，上述一个第1导电膜，与上述多个晶体管之中的、沿着上述第1方向相互相邻的晶体管之中的、一个晶体管的栅电连接，上述其它第1导电膜，与上述相互相邻的晶体管之中的其它晶体管的栅电连接。
7.根据权利要求1到6中任一项所述的电光装置，其特征为还具备对向基板，其配置为与上述基板对向，且介由设置于上述周边区域之中的、规定上述图像显示区域的边框区域的外侧区域的密封部，和上述基板相互粘接，上述对向基板在与上述基板面对向的对向面侧，具有形成于上述边框区域的上侧遮光膜，上述下侧遮光膜形成于上述周边区域之中的至少上述外侧区域。
8.一种布线基板，其特征为，具备基板；多个导电膜，其在上述基板上形成为岛状；分离区域，其是上述多个导电膜彼此之间的区域之中的按第1方向延伸的区域；绝缘膜，其覆盖上述多个导电膜及上述分离区域；以及多条布线，其在上述绝缘膜上分别形成为按上述第1方向延伸，按与上述第1方向交叉的方向排列；上述多条布线彼此之间的区域之中的按上述第1方向延伸的分离区域，不和上述多个导电膜的按第1方向延伸的分离区域重合。
9.一种电子设备，其特征为具备权利要求1到7中任一项所述的电光装置。
全文摘要
本发明的电光装置特征在于分离区域(30)设置于按网格状延伸地相互隔开多个下侧遮光膜(501)的区域之中的沿Y方向延伸的分离区域(R2)。引出布线(241a)及(242a)在绝缘膜(91)上，分别形成为沿Y方向延伸，且以使隔开相互的分离区域(R1)不与分离区域(R2)重合地平面看上去沿X方向排列。因而，可以减少液晶装置(1)的制造时或工作时、分离区域(30)所产生的裂缝通过绝缘膜(91)向分离区域(R1)传播的情况。
文档编号H01L29/66GK1912720SQ20061011548
公开日2007年2月14日 申请日期2006年8月10日 优先权日2005年8月11日
发明者吉井荣仁 申请人:精工爱普生株式会社