专利名称：增加相变存储器列平台裕量的制作方法
增加相变存储器列平台裕量背景技术本发明大致涉及相变存储器。相变存储器器件使用电子存储器应用场合用的相变材料，即可在一般无定形(amorphous)态和 一般结晶(crystalline)态之间电切换的材 料。 一种类型的存储器元件利用了一种相变材料，该材料在一个应用 中可在一般为无定形与一般为结晶局部有序的结构状态之间电切换， 或者在完全无定形与完全结晶态之间跨整个频语在局部有序的不同 可检测状态之间电切换。相变材料的状态也是非易失性的，其中在设 置为表示阻值的结晶、半结晶、无定形、半无定形态时，由于该值代 表材料的相位或物理状态(例如，结晶或无定形)，因此该值会保持直 至^^另一程序事件更改。状态不受掉电影响。
图1是在制造早期阶段的一个实施例的放大横截面视图； 图2是根据一个实施例在制造的随后阶段对应于图1的放大横截 面视图；图3是根据一个实施例在制造的随后阶段对应于图2的横截面视图；图4是根据一个实施例在制造的随后阶段的横截面视图； 图5是根据一个实施例在制造的随后阶段的横截面视图； 图6是根据一个实施例在制造的随后阶段的横截面视图； 图7是在对应于图6所示阶段的阶段处的另一实施例的横截面视图；图8是在对应于图2所示阶段的阶段处的本发明另一实施例的放大横截面视图；图9是本发明另一实施例的对应于图2的横截面视图；以及 图IO是本发明一个实施例的系统图示。
具体实施方式
根据本发明 一 些实施例，相变存储器的列平台裕量(column landing margin)可以被改进。列平台裕量是用于蚀刻镶嵌列槽沟 (damascene column groove)以限定列导体，不会损害相变存储器结构的 边界。 一般情况下，形成上部或顶部电极。随后，通过上面叠加的绝 缘材料形成列连接(column connection)。这些列连接可由通过上面叠加 的绝缘材料形成的通孔而限定，以向下电接触顶部电极。一些情况下，可能发生过蚀刻，其中通孔向下延伸太远，并最终 重叠入且沿着相变存储器材料侧。由于相变存储器包括对某些化学物 质敏感的硫属化物材料(chalcogenide material),因此，可能由蚀刻或 随后的清洁步骤而产生不利的后果。也说是说，过蚀刻入硫属化物或 其它相变存储器层可能由于向下延伸太远的蚀刻而出现。因此，可有利地增大列平台裕量，使得即使出现过蚀刻，过蚀刻 也不会向下达到顶部电极下面的区域，损害下面更多敏感组件。根据 本发明一个实施例，通过增大顶部电极高度，可改进列平台裕量。在 另 一实施例中，可通过在顶部电极上方使用材料作为硬掩膜而改进列 平台边界，顶部电极蚀刻大致类似于用于封装相变存储器和形成的通 路所通过的材料。参照图1，根据本发明一个实施例，衬底IO上可由行线路导体金 属12叠加。村底10的两个示例可以为半导体衬底或层间介电质 (interlayerdielectric)。虽然金属12称为行线路导体金属，但术语"行线 路"与"列线路"基本上是任意的。因此，金属12可以为任何导线。在金属12的上方可形成一对绝缘层14和16。低的绝缘层可更薄， 并且可由第一材料形成，而高绝缘层16可更厚，并且可由不同材料形成。例如，在一个实施例中，层14可由氮化物形成，并且层16可 由氧化物形成。因此，层14可充当下述某些蚀刻操作中的蚀刻停止 层(etch stop)。通过绝缘层14和16,可形成最终填充有加热体材料(heater materia1)18的孔隙(pore)。 一个合适的加热体材料是氮化钬珪(titanium siliconnitride)。通过加热体材料18的电流产生热量，该热量能够改变 上面覆盖的相变材料20的相位。通常，相变材料20可由疏属化物形 成。堆叠限定在层16上，包括相变材料20、顶部电极22和硬掩膜24。 堆叠可由具有共同的侧壁的三个組件形成。共同的侧壁可通过^使 用相同掩膜蚀刻的 一 系列层而实现。每个堆叠形成一个存储器单元50。单元50随后覆盖有封装层 (encapsulation layer)26。在一个实施例中，封装层26可由氮化物形成。随后，参照图2，封装层26可进行非等向性蚀刻(anisotropicetch) 以形成侧壁间隔区(sidewall spacer)。也说是说，水平部分大致去除， 并且所有保留的是层26的垂直部分。参照图3，单元50可覆盖有绝缘体28。绝缘体28中形成有孔隙 32。孔隙32和绝缘体28的上部表面随后覆盖有牺牲光吸收材料 (sacrificial light absorbing material,即SLAM) 30。最后，在牺牲光吸 收材料30上方可限定具有图样光刻胶(patternedphotoresist)部分34的 光刻l交层和介入开口 36。在一些实施例中，开口 36限定了向下延伸通过绝缘体28到单元 50的凹槽位置。开口 36可以为大体上相同的宽度，以便结果凹槽可 具有大体相同的深度。参照图4,凹槽35已在通过光刻胶部分34之间开口 36向蚀刻工 艺显露的区域中形成。注意，每个区域34的宽度大致相等，并且因 此每个凹槽35的深度大致相等。由于蚀刻高长宽比(high aspect ratio) 结构要受特质影响，其中孔径的宽度影响结果凹槽的深度，因此，使宽度w大致相同是有利的。
正如在图4中可看到的一样，凹槽35向下延伸到单元50，并且 实际上去除了硬掩膜24。如果硬掩膜24与绝缘体28由相同的材料制 成，或者由与绝缘体28具有相同蚀刻特性的材料制成，则掩膜24和 层28可同样被轻松去除。但是，如果侧壁间隔区26由不同的材料形 成，并且蚀刻不选择该材料，则即使蚀刻硬掩膜24和绝缘体28时， 侧壁间隔区26也可保持大致完整。因此，在一个实施例中，绝缘体 28和4务膜24是氧化物，而间隔区26是氮化物。
保持侧壁间隔区26提供了额外的列平台裕量。侧壁间隔区26的 存在保护了顶部电极22和下层硫属化物层20的敏感侧壁。因此，过 蚀刻不会对顶部电极22或受保护的硫属化物层20造成不利影响。
垂直箭头M表示有效的列平台裕量。换而言之，由于存在侧壁间 隔区26，列平台裕量极大。由于侧壁间隔区26提供保护的原因，因 此，即使出现一些过蚀刻也不要紧。侧壁间隔区26的存在是由于间 隔区26是由与绝缘体28和硬掩膜24用的材料不同的材料制成。
在存储器区域中形成凹槽35的相同蚀刻中，在外围区域中形成通 孔38。此通孔38最终填充有金属，以向下接触行线路导体金属12。 由于蚀刻已停止，在图4中保留了一些牺牲光吸收材料30。但是，由 于与光刻胶34中的开口 36相比，沟槽38的宽度不同，因此，通孔 38可比凹槽35更深。因此，沟槽38具有依靠保护层(resist)34中提供 的沟槽38蚀刻的笫一区域和涉及优选相对于周围层28去除牺牲光吸 收材料30的第二区域39。换而言之，蚀刻剂选择相对于层28的牺牲 光吸引材料30。
如图5所示，继续的蚀刻会去除剩余的牺牲光吸收材料30，并且 蚀穿在一个实施例中可由氮化物形成的绝缘层14。随后，在此阶段可 利用的蚀刻可对一些实施例中由与层14相同的材料形成的侧壁间隔 区26的剩余部分进行蚀刻。层14可充当牺牲光吸引材料蚀刻的蚀刻 停止层。最后，参照图6，通孔35和38随后可填充有传导材料40、 42, 如铜。传导材料42可向下延伸到行线路导体金属12，并允许行信号 由上面覆盖的导体(未示出)提供。类似地，列信号提供到绝缘体28中 形成的列导体40上。在一些实施例中，这些信号可与顶部电才及24通信。
根据图7,根据本发明另一实施例，可利用双层顶部电极22、 22a。 在一些实施例中，顶部电极22可由氮化金属形成。氧化金属在接触 硫属化物层20中是有利的，例如，因为氮化物有助于结合(bind)金属 离子，从而减少硫属化物的污染。氮化物金属往往是高应力材料，并 因此在较薄层中应用最有利。但是，此类薄层提供更少的列平台裕量。 由于列平台裕量在垂直方向上延伸，因此，电极22越短，则过蚀刻 向下延伸到足够远并最终损害硫属化物层20的可能性就越大。
因此，在一些实施例中，利用了氮化金属较薄的顶部电极22，如 氮化钛或氮化钛铝(titanium aluminum nitride)。因此，可实现到硫属化 物层20的良好附著(adhesion)而无污染问题。随后，不同的金属22a 可添加到电极22的顶部以提供另外的列平台裕量。额外的金属22a 可以为较低应力薄膜，可制造成厚得多。金属22a的合适材料示例包 括钬、钬铝、铝、铝硅和铝硅铜。其它的，工艺可如上所述。也说是 说，图1-6所述的技术可适用于图7。但是，在一些实施例中，那些 技术可能是不必要的，并且组合电极22、 22a高度提供的列平台裕量 足以克服由于过蚀刻带来的任何问题。
参照图8,根据还有的另一实施例，硬掩膜24可包括氮化物底层 (underlayer)44。因而如图5所示，氮化物层14被蚀穿时，顶部电极 22仍受上方覆盖的氮化物层44的保护。因此，层14的蚀刻也去除了 氮化物层44，从而减少了顶部电极24严重蚀刻的可能性。
最后，参照图9，根据还有的另一实施例，氮化物层48可定位在 硬llr膜层24的上方。牺牲光吸收材料32可通过另外的蚀刻去除，并 且此蚀刻继续穿过绝缘体14。同时，由于绝缘体14和侧壁间隔区26可以为相同的材料，因此， 一些侧壁间隔区26也可去除。
对石危属化物20编程(programming)以改变材料状态或相位可通过 施加电压电势到导体40和材料42，由此生成跨选择器件和存储器元 件的电压电势而实现。在电压电势大于存储器元件34的阈值电压时， 电流则可流过辟u属化物20以响应施加的电压电势，并且可导致辟u属 化物20发热。
此发热可改变硫属化物20的存储器状态或相位。改变硫属化物 20的相位或状态可改变存储器材料的电特性，例如，通过改变存储器 材料的相位，可改变材料的阻抗。存储器材料也可称为可编程电阻材 料。
在"重置"状态中，存储器材料可以为无定形或半定形状态，并且 在"设置"状态中，存储器材料可以为结晶或半结晶状态。无定形或半 结晶状态的存储器材料电阻可大于结晶或半结晶状态中存储器材料 的电阻。要理解，重置和设置分别与无定形和结晶状态的关联是一种 惯例，并且至少有相反的惯例可以采用。
使用电流时，存储器材料会加热到相对更高的温度以使存储器材 料无定形化并"重置"存储器材料(例如，将存储器材料编程为逻辑"O" 值)。将存储器材料体积(volume)加热到相对较低的结晶化温度可使存 储器材料结晶，并"设置"存储器材料(例如，将存储器材料编程为逻辑 "l"值)。通过变化通过存储器材料体积的电流量和持续时间，可实现 存储器材料的各种电阻以存储信息。
转到图10,描述根据本发明实施例的部分系统500。系统500可 在无线装置中使用，如具有无线能力的个人数字助理(PDA)、膝上型 或便携式计算机、web平板计算机、无线电话、寻呼机、即时通讯装 置、数字音乐播放器、数码相机或可适用于以无线方式发送和/或接收 信息的其它装置。系统500可在任何以下系统中使用无线局域网 (WLAN)系统、无线个人区域网(WPAN)系统、蜂窝网络，但本发明的 范围在此方面并不受限。系统500可包括经总线550相互耦合的控制器510 、输7v/输出(I/O) 装置520(例如，键盘、显示器)、静态随机存取存储器(SRAM) 560、 存储器530及无线接口 540。电池580可在一些实施例中^f吏用。应注 意的是，本发明的范围并不限于具有任何或所有这些组件的实施例。
控制器510例如可包括一个或多个微处理器、数字信号处理器、 微控制器或诸如此类。存储器530可用于存储发送到系统500或由系 统500发送的消息。存储器530也可选地用于存储在系统500操作期 间由控制器510执行的指令，并且可用于存储用户数据。存储器530 可由一个或多个不同类型的存储器提供。例如，存储器530可包括任 何类型的随机存取存储器、易失性存储器、诸如闪存等非易失性存储 器和/或诸如本文所述存储器的存储器。
I/O装置520可由用户使用以生成消息。系统500可使用无线接 口 540以通过射频(RF)信号发送和接收无线通信网络消息。无线接口 540的示例可包括天线或无线收发信机，但本发明的范围在此方面并 不受限。
此说明书通篇对"一个实施例"或"实施例"的引用指结合该实施例 描述的特定特性、结构或特征包括在本发明内包含的至少一个实现 中。因此，出现的词语"在一个实施例中，，或"在实施例中"不一定全部 指同一实施例。此外，特定的特性、结构或特征可以不同于所述特定 实施例的其它适合的方式设立，并且所有此类形式可包含在本申请权 利要求内。
虽然本发明已相对有限数量的实施例进行了描述，但本领域的技 术人员将理解由此产生的多种修改和变化。随附权利要求书旨在涵盖 本发明真正精神和范围内的此类修改和变化。
权利要求
1.一种方法，包括用硫属化物材料和在所述硫属化物材料上方的电极形成相变存储器，所述电极包括不同材料的第一传导层和第二传导层。
2. 如权利要求l所述的方法，其特征在于，包括形成与所述硫属 化物材料接触的包括氮化物的材料的所述第一传导层。
3. 如权利要求2所述的方法，其特征在于，包括在所述第一传导 层上方形成不包括氮化物的材料的所述第二传导层。
4. 如权利要求l所述的方法，其特征在于，包括形成第一厚度的 所述第一传导层，且在所述第一层顶部上形成大亍所述第一厚度的第 二厚度的所述第二传导层。
5. —种方法，包括形成由掩膜覆盖的硫属化物材料； 用侧壁间隔区覆盖所述硫属化物材料和所述掩膜；以及 用与所述掩膜具有大致相同蚀刻特性的填充材料覆盖所述侧壁 间隔区。
6. 如权利要求5所述的方法，其特征在于，包括形成所述相同材 料的所述填充材料和所述^r膜。
7. 如权利要求6所迷的方法，其特征在于，包括形成第一材料的 所述填充材料和所述掩膜，并且形成与所迷第一材料不同的第二材料 的所述侧壁间隔区。
8. 如权利要求7所述的方法，其特征在于，包括形成氧化物的所 述填充材料和所述掩膜。
9. 如权利要求8所述的方法，其特征在于，包括形成氮化物的所 迷侧壁间隔区。
10. 如权利要求5所述的方法，其特征在于，包括在传导电极上 方形成所述^^膜，并且在所述硫属化物材料上形成所述传导电极。
11. 如权利要求IO所述的方法，其特征在于，包括形成通过所述填充材料和通过所述掩膜到达所述传导电极的通孔。
12. 如权利要求11所述的方法，其特征在于，包括在所述掩膜上 方形成钝化层，所述钝化层由与用作所述填充材料和所述^r膜的材料 不同的材料形成。
13. 如权利要求11所述的方法，其特征在于，包括蚀刻通过所述 填充材料的通孔，去除所述掩膜，同时保留所述侧壁间隔区大致未净皮 蚀刻。
14. 如权利要求11所述的方法，其特征在于，包括在所述填充材 料下形成氮化物层，且用氮化物形成所述掬r膜。
15. —种半导体结构，包括相变材料；所述相变材料上方的掩膜； 所述掩膜上方的填充材料；以及 具有大致相同蚀刻特性的所述掩膜和所述填充材料。
16. 如权利要求15所述的结构，其特征在于，所述掩膜和所述填 充材料由相同的材料制成。
17. 如权利要求16所述的结构，其特征在于，所述掩膜和所述填 充材料由氧化物形成。
18. 如权利要求15所述的结构，其特征在于，包括在所述掩膜上 方的钝化层。
19. 如权利要求18所述的结构，其特征在于，所述钝化层由氮化 物形成。
20. 如权利要求15所述的结构，其特征在于，包括所述掩膜和所 述相变材料上的侧壁间隔区。
21. 如权利要求15所述的结构，其特征在于，包括所述^^膜与所 述相变材料之间的电极。
22. 如权利要求21所述的结构，其特征在于，所述电极由不同材料的两个层形成。
23. 如权利要求22所述的结构，其特征在于，所述层之一包括氮 化物，并且所述层的另一个不包括氮化物。
24. 如权利要求15所述的结构，其特征在于，所述掩膜包括氧化 物层和氮化物层。
25. 如权利要求24所述的结构，其特征在于，所述掩膜包括氮化 物层上方的氧化物层。
26. —种系统，包括 处理器；耦合到所述处理器的静态随机存取存储器；以及 耦合到所述处理器的存储器，包括电极和相变材料，所述电极在所述相变材料上方，所述电极包括两层，第一层包括氮化物，并且第二层不包括氮化物，所述第一层接触所述相变材料。
27. 如权利要求26所述的系统，其特征在于，所述第二层比所述 第一层更厚。
28. 如权利要求27所述的系统，其特征在于，包括延伸通过绝缘 体并接触所述电极的导体。
29. 如权利要求28所述的系统，其特征在于，所述第一层包括氮 化钬铝。
30. 如权利要求29所述的系统，其特征在于，相比所迷第二层， 所述第一层是丰支高应力层。
全文摘要
本发明可形成具有更高列平台裕量的相变存储器。在一个方案中，通过增大电极的高度，可增大列平台裕量。例如，由两种异类材料制成的电极，其中一种材料(22)包括氮化物，并且另一材料(22A)不包括氮化物。在另一方案中，使用了硬掩膜(24)，它与上面覆盖及其周围的绝缘体(28)实质上是相同的材料。硬掩膜和下层相变材料(20)由与硬掩膜材料不同的侧壁间隔区(26)保护。如果硬掩膜和绝缘体具有大致相同的蚀刻特性，则在保持侧壁间隔区的保护性质的同时，可去除硬掩膜。
文档编号H01L45/00GK101300689SQ200680040452
公开日2008年11月5日 申请日期2006年10月26日 优先权日2005年10月28日
发明者C·丹尼森, I·卡波夫 申请人:英特尔公司