专利名称：电流驱动型显示设备的制作方法
技术领域：
本发明涉及显示设备，具体地涉及具有显示区域的显示设备，该 显示区域中有多个单元像素，每个单元像素都提供有电流驱动型光发 射装置和对设置在衬底上的光发射装置控制驱动电流的像素电路(或 驱动电路)。特别地，本发明的显示设备适于这样的显示设备，即电 流通过其中而发射光的电致发光(EL)装置。
背景技术：
近年来，使用EL装置的显示设备作为取代阴极射线管(CRT) 或液晶装置(LCD)的显示设备而吸引了人们的注意。在这些显示设 备中，作为电流控制型光发射装置的有机EL装置的应用和开发得到 有效开展，该电流控制型光发射装置中亮度由该装置中流过的电流控 制。
例如，研究了这样的显示设备，其中显示区域是通过布置多个像 素而构成的，每个像素包括有机EL装置和作为控制通过有机EL装 置的电流的控制装置的薄膜晶体管(TFT)。进一步，在包括外围电 路的有机EL装置中，TFT不仅用在显示i殳备中，而且用在外围电路 中。
近年来，显示设备中，显示区域尺寸、分辨率、互连线(如信号 线和扫描线)的数量和长度都在逐步增加，因此用于提供电流至显示 区域中每个像素的电源线和公共电压线的布线长度也已经增加。
增加的布线长度导致布线电阻的增加。进一步，由于显示屏尺寸 和显示设备分辨率的增加，通过显示设备的电流量也增加。随着布线 电阻和电流量的增加，显示设备主要受沿布线的电势(电压)降的影 响。作为结果，有不能向整个显示区域供应恒定电势而导致恶化显示质量的问题。
为了解决该问题，美国专利No. 6690110公开了通过增加连接外 部(连接)端子和显示区域的电力互连线的宽度从而减小布线电阻，
抑制电势降的方法。然而，当电力互连线宽度和触孔增大时，显示区 域的外围面积，即，框区域(尺寸)也增加。根据所供应的产品，框 面积被要求尽可能地小，使得增加布线线宽和触孔尺寸受到限制。
当湿气(水分)进入有机EL设备的有机EL装置中时，会引起 出现无发光区域(暗区)和亮度衰减的问题。因此，用于抑制湿气进 入的密封技术是基本的。日本公开专利申请(JP-A) 2005- 158292已 经公开了这样的技术，即像素区域被湿气阻挡结构两维地包围，该湿 气阻挡结构由有机材料形成以阻挡湿气进入。
为了保护EL装置免遭外部含湿气的空气影响，整个显示部分(区 域)已经被保护(钝化)膜覆盖，湿气不能透过该保护膜。为了完全 抑制湿气透过(进入)，需要提供一定值的厚度或更高厚度的保护膜。 作为结果，可以阻挡湿气沿显示区域的厚度方向上渗透。湿气渗透也 发生在平面方向上，其方式为湿气主要通过构成显示设备的膜中的湿 气吸收膜进入有机EL装置。特别地，作为有机EL装置的下部层的 平整膜由有机化合物如丙烯酸树脂形成，因此容易使得湿气透过。
JP-A 2006-066206公开了 一种方法，其中用于连接电力互连线和 显示装置的电极的触孔被提供于外围区域，使得将显示区域中的平整 膜与显示区域外部区域的平整膜分开。已经进入显示区域外部区域的 平整膜的湿气被阻挡在触孔部分，因此湿气不能进入内部平整膜。作 为结果，可以抑制湿气在显示区域的水平方向上渗透。因此，通过以 触孔包围显示区域，几乎总能够阻挡湿气在横向上渗透进入显示区域。
当不局限于平整膜被触孔分开的方法，而将抑制湿气渗透或进入 的手段提供于触孔部分时，要求保护膜具有直到至少在触孔上的部分 的厚度，足够阻挡湿气类似于显示区域的情形在垂直方向渗透。
保护膜通常是通过印刷形成或用掩膜进行膜成形，使得其厚度在 一定范围内向端部逐渐减小。为此，为了确保触孔上保护膜有预定厚度，需要确保预定的距离，以便从触孔的外部到衬底的端部或密封盖 层的粘接区域的内边缘逐渐减小保护膜厚度。
另一方面，有机EL层也通过用掩膜进4亍膜成形而形成，因此其 位置可偏移。为了吸收该偏移使得有机EL层不接触触孔，也需要确 保显示区域的外侧和触孔的内边缘之间有一定距离。
如上所述，要求设置触孔使得确保其和衬底边缘和显示区域外侧 之间有 一 定距离。这一 限制也是减小框部分尺寸的障碍。
发明内容
本发明的目的是抑制由于布线长度因大显示面积造成的增加而 引起的电势的波动、最终布线电阻的增加、和为了实现高精度(分辨 率)但不增加框面积而所需的电流量的增加。
本发明的特定目的是提供能够抑制这种功率电势波动的显示设备。
按照本发明的一个方面，提供一种显示设备，其包括 衬底；
多个光发射装置，该光发射装置每个都包括设置在绝缘层上的第 一电极，第二电极，和设置在第一电极和第二电极之间的发光层；
多个驱动电路，其用于控制通过所述光发射装置的电流，驱动电 路被设置在绝缘层下面，且该光发射装置和驱动电路被设置在沿行方 向和列方向；
通过驱动电路连接到第一电极的第一互连线；和 通过触孔连接到第二电极的第二互连线，该触孔提供于绝缘层
中，设置第二互连线和触孔以便包围设置光发射装置和驱动电路的区
域，
其中沿衬底一侧，第一互连线被设置在触孔的两侧，或第一互连 线被设置在触孔的一侧，而第二互连线被延伸到触孔的另一侧。
按照本发明的另一方面，提供一种电流驱动型显示设备，其包括 显示区域，其中多个电流驱动型光发射装置和多个用于控制电流驱动型光发射装置驱动电流的像素电路被设置在衬底上；和外围区域，在该衬底上，其中第一和第二互连线用于供应电流至 所述像素电路，其中每个电流驱动型光发射装置被设置在下部第一电极和上部 第二电极之间，其中每个像素电路被连接到第一互连线并通过第一电极供应驱 动电流至关联的电流驱动型光发射装置，其中第二电极通过在外围区域提供的触孔连接到第二互连线，该 互连线是比第二电极较低的层，和其中在衬底的平面内，第一互连线被沿着第二互连线设置在其两侧。按照本发明进一步的方面，提供一种电流驱动型显示设备，其包括显示区域，其中多个电流驱动型光发射装置和多个用于控制电流驱动型光发射装置驱动电流的装置控制电路4皮设置在衬底上；和其中每个电流驱动型光发射装置被设置在下部第一电极和上部 第二电极之间，其中每个装置控制电路被连接到第一互连线并通过第一电极供 应驱动电流至关联的电流驱动型光发射装置，其中第二电极通过在所述外围区域提供的触孔连接到第二互连 线，该互连线是比所述第二电极较低的层，和其中在衬底的平面内，第一互连线被沿着第二互连线设置在其一 侧，而第二互连线从接触第二电极的部分延伸经触孔到达没有设置第 一互连线的那另一侧。按照本发明的显示设备，可以减小连接到有多个构成元件的区域 的电力线的电势波动而不增加显示设备的框面积，其中每个构成元件 提供有电流驱动型光发射装置和用于向光发射装置供应电流的装置控 制电路。作为结果，即使尺寸和显示区域的分辨率的增加在发展，也 可以提供能够减轻显示质量恶化的显示设备。本发明的这些和其它的目的、特征和优点在结合附图考虑本发明 优选实施例的描述后将变得显然。
图l是示意截面图，其示出有机EL装置的构造。图2是电路图，其示出有机EL装置的像素电路。图3是按照本发明第一实施例的显示设备的示意平面图。图4是沿图3中A-A，线的显示设备的示意截面图。图5是沿图3中B-B，线的显示设备的示意截面图。图6是按照本发明第二实施例的显示设备的示意平面图。图7是沿图6中C-C，线的显示设备的示意截面图。图8是方框图，其示出数字静物照相机的实施例。
具体实施方式
有机EL装置是电流驱动型光发射装置，即，用于产生发光的发 光装置，其亮度取决于通过装置的电流。本发明适用于使用有机EL 装置的有源矩阵型显示设备。以下，将说明与本发明几个实施例共用 的有机EL装置的结构。图l是示意截面图，其示出构造在衬底10上的有机EL装置20 和用于有机EL装置20的驱动电路(像素电路)19上，图2是有机 EL装置的等效电路。有机EL装置20包括作为下部层的第一电极、作为上部层的第二 电极24、和设置在第一和第二电极22和24之间的有机化合物的数个 层23。在彩色显示设备情形中，设置含不同有机化合物层的R(红)、 G(绿)、B(蓝)的多个EL装置使得邻近像素分别包括有机层23a 和23b,构成不同颜色的光发射装置。供应到有机EL装置20的电流在第一电极22 (下部层)和第二 电极24 (上部层)之间流动。在每个像素处提供第一电极22，第二电 极24被公共地设置到各个像素。在邻近像素之间，设置用于防止电流从像素泄漏到邻近像素的装置分隔层26。如上所述，第二电极24是 公用给对所有像素的电极并覆盖整个显示区域上的有机EL层。在显 示设备是顶部发射型有机EL显示设备的情形中(在该显示设备中， 光向上发射)，第二电极是透明电极。第一电极22被设置在绝缘膜 28上以便与像素电路19电隔离。绝缘膜28由有机树脂材料形成以使 其设有第一电极22的表面保持处于平整状态。以下，绝缘膜28也被 称为平整膜(层)。在图1中，作为驱动电路19，示出了包括半导体层ll、栅电极 12、源电极13、漏电极14和绝缘膜15的驱动TFT的橫截面。驱动 TFT的漏电极14被连接到有机EL装置20的第一电极22。驱动TFT 也包括开关TFT和电容器(没有在图1中示出但在图2中示出)。对于驱动电路19，电力是通过多个在显示区域中沿行方向或列方 向设置的电力线16供应的。有机EL装置20的驱动电流从电力线16 经驱动电路19的驱动TFT和第一电极22供应至有机EL层23，然后 流进第二电极24。依据有机EL层23的层结构，电流以相反的方向流 动。在该情形中，在图2中，晶体管Ml是NMOS晶体管，EL装置 的阴极和阳极相互改变，电力线VCC和接地线GND也相互改变。为了阻挡湿气从外部(环境)空气渗透，第二电极24的整个暴 露的表面以保护层(钝化膜)25覆盖。在下面的实施例中，有机EL装置将作为例子说明。然而，本发 明也可以应用至任何电流驱动型光发射装置，只要其具有这样的结构 代替有机EL层23，光发射材料(如有机EL材料层或LED )层被夹 在一对上部电极和下部电极之间。 (第一实施例)图3是按照本发明第一实施例的有机EL显示设备的示意平面图。 参考图3，显示设备100包括单个衬底10，其具有被分成显示区 域6 (在内部短线-双点线内的区域)和外围区域(在内部短线-双 点线和外部短线-双点线之间的区域)的衬底表面。为了阻挡有机EL 装置免遭外部空气，在衬底表面覆盖有由玻璃或金属形成的帽层的情形中，用于使帽层粘接到衬底表面的粘接区域4被设置在外围区域3 的外部。显示区域6是这样的区域，其中图1中示出的有机EL装置20 和驱动电路19被设置成矩阵。在该实施例中，电力线16被设置在行 方向并与栅极信号线平行。也可以在列方向并平行于信号线设置电力 线16。在外围区域3中，设置外围电路(未示出)如列控制电路、列移 位寄存器、和行移位寄存器。这些电路由与驱动电路19相同的工艺形 成，因此类似于驱动电路19的TFT的情形，以半导体层ll和其他层 来形成。图像信号、控制信号、功率等经外部(连接)端子5从外部供应。 在图3中，外部端子5被设置在下部边缘部分上，但也可以设置在右 和左边缘部分上。在外围区域3中，设置包括第一电力线1和第二电 力线21的两个电力布线系统，第一电力线1用于实现将功率供应至像 素电路(以下称为"电源线，，)，第二电力线21用于实现将功率供应至 像素电路(以下被称为"公共电压线")。电源线1和列电压线21是沿显示区域6的外围设置的，并分别 端接在相应的外部端子5处。电力线16被一起连接至电源线l，且电源线被连接到一个或两个 或更多外部端子5。电源线1被保持在由外部电源(未示出)通过外 部端子5提供的一定的电压。公共电压线21是互连线，用于引导有机 EL装置20的第二电极24至外部端子5。图4示出沿图3中A-A，线的横截面，图5示出沿图3中B-B，线 的横截面。电源线1和公共电压线21都由与像素电路19的源电极/漏电极 13和14相同的金属材料形成，以便减小电阻。在源电极/漏电极13 和14的膜形成和构图步骤中，电源线1和公共电压线21也同时形成。在该实施例中，电力线16可由与栅极金属的工艺相同的工艺形 成，使得电力线16和电源线la和lb在它们交叉处与和图5中所示结9构相似的结构连接。公共电压线21部分地经由绝缘层(平整膜)28在第二电极24 的下面形成，由此公共电极线21通过触孔2连接到第二电极24。保护(钝化)膜25在触孔2上具有与显示区域6相同的厚度， 并在触孔2外部的区域上逐渐变薄但尚未达到密封帽层粘附其中的区 域4。触孔2是开口，其以矩形(框状)沿在外围区域3中延伸的第二 电才及24的四个侧边连续形成。触孔2也可i殳置成多个分立的触孔，但^ 它们以能够确保平整膜28的隔离效果的小间隔布置。进一步，为了减小第二电极24和公共电压线21之间的接触电阻， 触孔2的面积尽可能增加。为了这个目的，触孔2可以优选地以/>共 电压线21的全宽形成。电源线1是以两条线提供的，以便将公共电压线21夹在中间。 在图3中，在右边和左边外围区域3的每个中，两个电源线la和lb 有公共电压线21插入其间。也可以将电源线l分成两条线，其间公共 电压线21处在外部端子5被设置的下侧。进一步，电源线l的划分也 可以在与下侧相对的上侧或在所有四个侧边实现。这样划分的电源线1 (la， lb)是经下电导层51连接的，如图5 所示。电力线16也以相同的结构连接到电源线la和lb。下电导层51 可优选地与栅才及金属层21 —起形成。触孔2也具有通过将平整膜28分成多个部分而阻挡沿平面方向 通过平整膜28的湿气渗透路径的功能。更具体地，平整膜28被分成 显示区域侧部分(内部)和衬底边缘侧部分(外部)，由此通过平整 膜28渗透的湿气不能进入显示区域，因此湿气渗透可在触孔部分被阻 挡。如上所述，触孔2被要求与衬底端部或粘附区域4的内边缘离开 以一定距离地设置，以便确保保护膜的厚度。此外，也要求触孔2与 显示区域6的外边缘离开一定距离地设置，以便确保显示区域中有机 EL层的位置偏移余量。10在该实施例中，电源线1至少在部分外围区域3中以两条线提供， 使得一条线被设置在显示区域6的外边缘和公共电压线2的内边缘之 间，另一条线设置在公共电压线21的外边缘和密封帽层粘附区域4的 内边缘之间。另一条线也可以与其中保护膜25的厚度逐渐减小的区域 交叠。附带说明，当不实现帽层密封时，粘附区域的内边缘可用衬底 端部取代。
通过在公共电压线21的两侧设置两个电源线l，可以整体增加电 源线1的宽度。由此，电源线l的布线电阻减小，这样导致更小的电 压降，即使大电流通过电源线。
假定公共电压线21必要的最小布线宽度取为A，而电源线1必 要的最小布线宽度取为B，当触孔2的面积尽可能增加时，触孔2的 最终宽度基本等于宽度A。在该情形中，触孔2外部的必要的距离余 量取为Ml，而触孔2内部的必要的距离余量取为M2。
当如传统EL装置中那样，电源线l仅设置在公共电压线21内部 时，B的宽度被要求在触孔2内部的区域中。当触孔2内部区域中的 宽度大于M2时，整个框宽度为A+B+M1。另一方面，电源线l仅设 置在/>共电压线21的外侧时，整个框宽度为A+B+M2。
在该实施例中，当电源线l被分成宽度为bl和b2 (bl+b2-B) 的两条线，使得bl和b2分别比Ml和M2小，整个框宽度为 A+M1+M2，因此比传统EL装置的情形中的小。
因此，电源线l分成两条线在减小框面积方面也是有效的。 (第二实施例)
图6是示意平面图，其示出按照本发明第二实施例的显示设备， 其中与第一实施例中相同的元件或部分通过与第一实施例中相同的附
图标记表示，且其中显示区域中的EL装置和驱动电路与第一实施例 中的相同。
图7中示出沿图6中C-C，线的横截面视图。
在第一实施例中电源线l被分成两条线，但在该实施例中是单条 线。单个电源线1平行于公共电压线21被设置在公共电压线21的内
ii部，即在靠近显示区域6的一侧。
第二电极24和公共电压线21不彼此直接接触，而是以另外的金 属层29作为中间层相对设置。这是因为第二电极24和公共电压线22 之间的接触电阻减小。
当初始接触电阻小时，并非总是需要金属层29。如图7所示，金 属层29可优选地与笫一电极22的情形一样在同一表面、以相同材料、 于同一步骤中形成。
如第一实施例中的描述，从触孔2的外侧边缘到粘附区域4，要 求有一定值的距离或更大的距离。
通过提供金属层29，接触电阻降低，使得触孔27的宽度可比公 共电压线21的宽度窄。在该情形中，公共电压线21以这样的方式设 置，即其延伸到与电源线l相对的侧，即触孔27的外侧，且宽度大于 触孔27的宽度，如图7所示。更特别地，在该实施例中，第二电力布 线由两个部分构成，包括触孔27中经金属层29接触第二电极24的公 共电压线21a和从触孔27延伸的^^共电压线21b。在该实施例中，触 孔27的宽度减小，使得公共电压线21a的宽度也减小。公共电压线 21a和公共电压线21b的总宽度保持在与第一实施例中公共电压线21 的宽度相同的值，使得不增加布线电阻。
当公共电压线21a的宽度为al，而触孔27的宽度为a， al等于 旦。进一步，公共电压线21b的宽度为a2，而电源线l的最小布线宽 度为B,触孔27两侧的佘量为M1和M2。进一步，保持al+a2-A。
在该实施例中，电源线1被设置在触孔27的内部，使得宽度B 被要求在触孔27内部并在显示区域6外部的区域中，因此大于最小余 量M2。另一方面，在触孔27外部的区域中，当公共电压线21b的宽 度a2能被触孔27外部并在粘附区域内部的区域中的余量Ml吸收， 即当满足a2〈Ml时，触孔27外部的必要宽度为Ml。
因此，在该实施例中，整个框宽度为a+B+Ml，因此小于传统的 整个框宽度A+B+M1。
当满足a2>Ml，且公共电压线21b的宽度a2不能被余量Ml吸收时，触孔27外部的必要的宽度为a2。作为结果，该情形中整个框 宽度为al+a2+B，即A+B，因此也小于传统的整个框宽度。
如上所述，如该实施例中的那样，当触孔宽度丄能够小于公共电 压线宽度A时，可以通过向触孔27的外部延伸公共电压线而减小整 个框宽度。
当上述整个框宽度a+B+Ml或A+B与第一实施例中整个框宽度 A+M1+M2比较时，在z〉共电压线宽度A能^皮余量Ml吸收且满足 a2>B-M2的条件下，该实施例中的框宽度小于第一实施例中的框宽度。 换句话说，当触孔宽度i比公共电压线宽度A足够小，且电源线l的 宽度由于单个电源线导致的增加能被吸收时，整个框宽度小于第一实 施例中的宽度。
在该实施例中，也可以将电源线1设置在触孔27的外侧并向触 孔27的内部延伸公共电压线21。在该情形中，在该实施例的上述情 形中最终的整个框宽度没有改变，因为仅是余量Ml和M2相互改变。
当外部端子5设置在下侧时，大电流在电源线l中流动，使得电 源线1的宽度B需要大于右側和左侧的宽度。在这样的情形中，上述 条件a2〉B-M2不能满足，当采用第二实施例的构造时，最终的整个 框宽度增加。为此，在该情形中，第一实施例和第二实施例的构造可 根据衬底的侧边以这样的方式选择性地和有效地采用，即第二实施例 的构造在右侧和左侧采用，而第一实施例的构造在下侧采用。
如本发明的第一和第二实施例中的描述，由电源线和公共电压线 组成的电力互连线中的任一个被设置在触孔的两侧用于通过包围显示 区域而阻挡湿气渗透路径。作为结果，可以确保较大的电力布线宽度， 使得能够防止电力布线的电压降。进一步，也可以减小显示区域的外 围部分，即框宽度。 (像素电路)
第一和第二实施例的公共像素电路将参考图2描述，图2示出 EL装置和驱动电路。
参考图2，驱动晶体管Ml的源极连接到电力线VCC，其栅极连接到电容器Cl和晶体管M2的源极，而其漏极经晶体管M4连接到 EL装置EL
控制线Pl和P2在编程操作和光发射操作之间切换像素电路，以 便导通和截止各晶体管M2到M4。更特別地，在编程操作中，晶体管 M2和M3导通而晶体管M4关闭，由此电流值写入电容器Cl。电流 数据I ( data )经数据信号线和晶体管M3流入晶体管Ml，在晶体管 Ml中栅极和漏极被短路。作为结果，电流数据被写入电容器Cl。在 光发射周期中，晶体管M2和M3被关闭而晶体管M4导通。电容器 Cl中写入的电流经晶体管Ml到晶体管M4流入EL装置EL。依据 流入EL装置EL的电流值，EL装置EL发出光。
附带地，除了如图2所示的电流设定方法，EL装置光发射的控 制方法也包括电压设定方法。本发明可应用至这两种设定方法。
在上述第 一实施例和第二实施例中的显示设备是顶部发射型EL 显示设备，但本发明也可应用至底部发射型EL显示设备，底部发射 型EL显示设备中光是从形成像素电路的透明衬底侧发射的。在该情 形中，透明电极被用作像素电极，其构成在村底上形成的第一电极(下 部层)。第二电极(上部层)也可以是透明电极。然而，在使用反射 光的情形中，可使用由金属材料，如铝形成的电极。
在上面的描述中，使用EL装置的显示设备是作为例子描述的， 但本发明不局限于此。例如，本发明也可应用至电流驱动型显示设备， 如等离子体面板显示器(PDP)或场发射显示器(FED)。
以下，将描述作为本发明的合适实施例的数字静物照相机系统， 其中使用了在第一实施例或第二实施例中描述的显示设备。
图8是数字静物照相机系统例子的方框图。参考图8，数字静物 照相机系统50包括图像拍摄部分51、图像信号处理电路52、显示面 板53、存储器54、 CPU 55、和操作部分56。由拍摄部分51拍摄的或 存储在存储器54中的图像通过图像信号处理电路52进行信号处理， 并可经显示面板53观看。CPU55基于来自操作部分56的输入，控制 拍摄部分51、存储器54、图像信号处理电路52等，因此根据条件实
14现拍摄、记录、再现或显示。进一步，显示面板53也可以被用作不同 电子设备的显示部分。
虽然本发明已经参考这里揭示的结构描述，其不局限于所陈述的 细节，本申请倾向于涵盖在本发明改进目的或下面权利要求的范围内
的修改或变化。
权利要求
1.一种电流驱动型显示设备，包括显示区域，其中多个电流驱动型光发射装置和多个用于控制电流驱动型光发射装置的驱动电流的装置控制电路被设置在衬底上；其中，所述电流驱动型光发射装置中的每一个包括下部第一电极、上部第二电极、以及设置在所述下部第一电极和所述上部第二电极之间的发光层，其中，每个装置控制电路连接到第一互连线，并且通过所述下部第一电极将驱动电流提供给相关联的电流驱动型光发射装置，其中，所述上部第二电极通过在所述显示区域的外围设置的触孔连接到第二互连线，该第二互连线是比所述上部第二电极更低的层，以及其中，所述上部第二电极和所述第二互连线通过金属层连接，所述金属层用于降低所述上部第二电极与所述第二互连线之间的接触电阻。
全文摘要
本发明涉及电流驱动型显示设备，包括显示区域，其中多个电流驱动型光发射装置和多个用于控制电流驱动型光发射装置的驱动电流的装置控制电路被设置在衬底上；所述电流驱动型光发射装置中的每一个包括下部第一电极、上部第二电极、以及设置在所述下部第一电极和所述上部第二电极之间的发光层，每个装置控制电路连接到第一互连线，并且通过所述第一电极将驱动电流提供给相关联的电流驱动型光发射装置，所述第二电极通过在所述显示区域的外围设置的触孔连接到第二互连线，该第二互连线是比所述第二电极更低的层，以及所述第二电极和所述第二互连线通过金属层连接，所述金属层用于降低所述第二电极与所述第二互连线之间的接触电阻。
文档编号H01L27/32GK101656266SQ20091016819
公开日2010年2月24日 申请日期2006年11月16日 优先权日2005年11月16日
发明者中村恒一, 川崎素明 申请人:佳能株式会社