专利名称：光伏装置的生产管理方法
技术领域：
本发明是有关一种光伏装置的生产管理方法，尤其是指一种借助虚拟标记的硅基 光伏装置生产管理方法，以防止硅晶圆在光伏装置的生产过程中因连续发生破片导致生产 机台无法正常运作。
背景技术：
在光伏装置的制作过程中，会因为反复镀膜的热变化环境而产生热应力，或是在 硅晶圆裁切研磨过程中，于晶圆裁切位置残留机械应力，因此，当晶圆应力集中地累积到一 定大小的时候，就很容易因为搬运等轻微的外力而产生细微裂痕或缺陷，进一步扩大而造 成晶圆的破裂。一旦晶圆发生裂痕甚至破裂，对于产线良率造成很大的影响。更甚者，如果 发生晶圆叠片，也就是晶圆连续破片的情形，则更须及早监控，以停止供应晶圆进入机台， 否则将导致生产机台无法正常运作并且造成重大损失。目前在用硅晶圆生产光伏装置的过程中，并未使用实体标记的方式做生产管理， 因为实体标记常会破坏硅晶圆的结构，例如激光标签(Laser mark)，其是利用激光光打在 硅晶圆表面，使硅晶圆表面产生文字或条码等标记，然而在没有保护膜的状况下，经过蚀刻 加工后，标记会无法辨识，且经过激光标签后硅晶圆结构被破坏，容易在加工中破裂，甚至 导致叠片，或是较前批的晶圆被较后批的晶圆在移动上造成阻碍而形成追片。另一方面，机 台内部也不易装设感知器来感测实体标记。基于上述理由，需要一种非实体标记的方式做 生产管理，藉以及时监控机台内是否有破片、叠片及追片的情况发生。
发明内容
本发明的主要目的是提供一种光伏装置的生产管理方法，以克服上述技术中所存 在的缺陷。本发明提供一种光伏装置的生产管理方法，其是包括有下列步骤将多片晶圆依序送入机台；对已经送入机台的晶圆依序分配一虚拟标记，并记录所述多个晶圆的加工前物理量；依序对所述多个晶圆完成一加工流程；根据所述多个虚拟标记计算所述多个晶圆间的相对距离，并与一预定的距离比 对，以判断所述多个晶圆的移动状态是否正常；判断不正常移动状态的晶圆片数是否为连续两片；以及若判断为是，则通知上游机台停止供应晶圆。根据上述方法，本发明的确可以提供一种非实体标记的方式做生产管理，藉以及 时监控机台内是否有破片、叠片及追片的情况发生。
图1为本发明光伏装置生产管理方法的流程示意图。
附图标记说明1 7、41、411、51_光伏装置的生产管理方法步骤。
具体实施例方式为使贵审查委员能对本发明的特征、目的及功能有更进一步的认知与了解，下文 特将本发明的相关细部结构以及设计的理念原由进行说明，以使得审查委员可以了解本发 明的特点，详细说明陈述如下当一晶圆载入一机台后，若正常移动，则晶圆在所述机台内可依照一预定的移动 的距离与移动的时间移动至所述机台出口并移出，若超过所述预定的移动距离与时间时， 则代表此晶圆有延迟、遗失的情形，将被判断为「破片」。依照上述判断方式，当所述机台内同一条传送带连续侦测到两片或两片以上的晶 圆有破片情形时，代表所述传送带上的晶圆有叠片或追片的情形，导致后续产品无法依照 预定的移动距离与时间移出所述机台，也就是当连续侦测到两片晶圆有破片情形时，便会 判断所述传送带有「叠片」、「追片」发生，并通知上游机台停止供应晶圆进入所述机台，以减 少产品损失。图1为本发明光伏装置生产管理方法的流程示意图。本发明提供一种光伏装置生 产管理方法，其是包括有下列步骤首先，进行步骤1，将多片晶圆依序送入机台。接着，进行步骤2，对已经送入机台的晶圆依序分配一虚拟标记，并记录所述多个 晶圆的加工前物理量。接着，进行步骤3，依序对所述多个晶圆完成一加工流程。接着，进行步骤4，根据所述多个虚拟标记计算所述多个晶圆间的相对距离，并与 一预定的距离比对，以判断所述多个晶圆的移动状态是否正常。在步骤4作晶圆的移动状态是否正常的判断时，若为是，则进行步骤5，也就是依 序判断所述多个晶圆的虚拟标记数据是否正确。在步骤5依序判断所述多个晶圆的虚拟标记数据是否正确时，若为是，则进行步 骤6，也就是记录所述多个晶圆的加工后物理量。最后，进行步骤7，依序将所述多个晶圆移出机台。在上述步骤5依序判断所述多个晶圆的虚拟标记数据是否正确时，若为否，则进 行步骤51，也就是在虚拟标记数据加一对应的错误旗标。然后，再进行步骤7，依序将所述 多个晶圆移出机台。在上述的步骤4作晶圆的移动状态是否正常的判断时，若为否，则进行步骤41，也 就是判断不正常移动状态的晶圆片数是否为连续两片。在步骤41判断不正常移动状态的晶圆片数是否为连续两片时，若为是，则进行步 骤411，也就是通知上游机台停止供应晶圆。接着，进行步骤51，也就是在虚拟标记数据加 一对应的错误旗标。然后，再进行步骤7，依序将所述多个晶圆移出机台。在上述的步骤41判断不正常移动状态的晶圆片数是否为连续两片时，若为否，则 进行步骤51，也就是在虚拟标记数据加一对应的错误旗标。然后，再进行步骤7，依序将所 述多个晶圆移出机台。根据上述方法，本发明的确可以提供一种非实体标记的方式做生产管理，藉以及时监控机台内是否有破片、叠片及追片的情况发生。 以上说明对本发明而言只是说明性的，而非限制性的，本领域普通技术人员理解， 在不脱离以下所附权利要求所限定的精神和范围的情况下，可做出许多修改，变化，或等 效，但都将落入本发明的保护范围内。
权利要求
1.一种光伏装置的生产管理方法，其特征在于，其是包括有下列步骤将多片晶圆依序送入机台；对已经送入机台的晶圆依序分配一虚拟标记，并记录所述多个晶圆的加工前物理量；依序对所述多个晶圆完成一加工流程；根据所述多个虚拟标记计算所述多个晶圆间的相对距离，并与一预定的距离比对，以 判断所述多个晶圆的移动状态是否正常；判断不正常移动状态的晶圆片数是否为连续两片；以及若判断为是，则通知上游机台停止供应晶圆。
2.根据权利要求1所述的光伏装置的生产管理方法，其特征在于，在判断所述多个晶 圆的移动状态是否正常时，若为是，则再依序判断所述多个晶圆的虚拟标记数据是否正确。
3.根据权利要求2所述的光伏装置的生产管理方法，其特征在于，依序判断所述多个 晶圆的虚拟标记数据是否正确时，若为正确，则记录所述多个晶圆的加工后物理量。
4.根据权利要求3所述的光伏装置的生产管理方法，其特征在于，记录所述多个晶圆 的加工后物理量之后，再依序将所述多个晶圆移出机台。
5.根据权利要求2所述的光伏装置的生产管理方法，其特征在于，依序判断所述多个 晶圆的虚拟标记数据是否正确时，若为不正确，则在虚拟标记数据加一对应的错误旗标。
6.根据权利要求5所述的光伏装置的生产管理方法，其特征在于，在虚拟标记数据加 一对应的错误旗标之后，再依序将所述多个晶圆移出机台。
7.根据权利要求1所述的光伏装置的生产管理方法，其特征在于，在判断不正常移动 状态的晶圆片数是否为连续两片时，若为否，则在虚拟标记数据加一对应的错误旗标。
8.根据权利要求7所述的光伏装置的生产管理方法，其特征在于，在虚拟标记数据加 一对应的错误旗标之后，再依序将所述多个晶圆移出机台。
9.根据权利要求1所述的光伏装置的生产管理方法，其特征在于，在通知上游机台停 止供应晶圆之后，在虚拟标记数据加一对应的错误旗标。
10.根据权利要求9所述的光伏装置的生产管理方法，其特征在于，在虚拟标记数据加 一对应的错误旗标之后，再依序将所述多个晶圆移出机台。
全文摘要
本发明提供一种光伏装置的生产管理方法，其是在光伏装置的制造过程中，分配每一片晶圆一个虚拟标记，经由时间与距离的运算以及入出料的检测，可以得知每一片晶圆在生产机台中的位置，当某两个晶圆间的相对距离不符合一预定的距离时，即可自动判定机台内有异常状况发生而停止输入晶圆。
文档编号H01L31/18GK102088045SQ20091025215
公开日2011年6月8日 申请日期2009年12月7日 优先权日2009年12月7日
发明者刘华龙, 刘正治, 叶育修, 罗智文 申请人:均豪精密工业股份有限公司