专利名称：有机薄膜太阳能电池及其制造方法
技术领域：
本发明涉及具有网状电极的有机薄膜太阳能电池。
背景技术：
有机薄膜太阳能电池为在两个不同种类电极间配置具有电子给予性及电子接收性的功能的有机薄膜而成的太阳能电池，与以硅等为代表的无机太阳能电池相比，具有制造工序容易且能够以低成本进行大面积化的优点。在太阳能电池中，受光侧的电极为透明电极。以往，该透明电极使用ITO等金属氧化物等，其中，从导电性、透明性高且功函数高的观点出发，主要使用ΙΤ0。然而，有机薄膜太阳能电池中使用的ITO电极的厚度较薄，为150nm左右，且片电阻较大，为20Ω/ □左右，因此产生的电流通过ITO电极时被消耗，存在发电效率降低这样的问题。该现象随着有机薄膜太阳能电池的面积变大而显著地表现出来。近些年，在硅太阳能电池、染料敏化太阳能电池中，提出有在透明电极上层叠金属网格的结构(例如，参照专利文献1 3)。另外，在有机太阳能电池中，提出有在透明电极的一部分上同时设置比透明电极的电阻高的辅助电极的结构(参照专利文献4)。由此，电极的导电性提高。专利文献1 日本特开2000-243989号公报专利文献2 日本特开2000-243990号公报专利文献3 日本特开2008-243425号公报专利文献4 日本特开2004-158661号公报因此，在有机薄膜太阳能电池中，为了提高发电效率，也考虑在透明电极上层叠金属网格的结构。然而，硅太阳能电池、染料敏化太阳能电池中使用的金属网格的厚度非常厚，为 2μπι 20μπι左右。另一方面，在有机薄膜太阳能电池中，光电转换层等有机层的厚度非常薄，为IOOnm 200nm。因此，将在硅太阳能电池、染料敏化太阳能电池中使用的金属网格直接适用于有机薄膜太阳能电池时，由于光电转换层等有机层的厚度薄，因此存在电极间发生短路的问题。
发明内容
本发明鉴于上述问题点而提出，其主要目的在于提供一种不容易引起电极间的短路，即使为大面积，光电转换效率也良好的有机薄膜太阳能电池。为了实现上述目的，本发明提供一种有机薄膜太阳能电池，其具有透明基板、在所述透明基板上以不同的顺序层叠的网状电极及透明电极、在所述网状电极及透明电极上形成的光电转换层、在所述光电转换层上形成的对置电极，所述有机薄膜太阳能电池的特征在于，所述网状电极的厚度为所述网状电极及透明电极与所述对置电极之间不发生短路的厚度。
根据本发明，由于阳极侧的电极层叠有网状电极和透明电极，因此即使透明电极的片电阻比较高，只要网状电极的电阻值充分低，就能够充分地降低阳极整体的片电阻。因此，本发明的有机薄膜太阳能电池即使面积大，也能够将产生的电力高效地集电，能够得到高发电效率。另外，根据本发明，由于网状电极的厚度为网状电极及透明电极与对置电极之间不发生短路的厚度，因此能够防止电极间的短路。在上述发明中，优选，所述网状电极的厚度在200nm 300nm的范围内。这是由于当网状电极的厚度过薄时，存在网状电极的片电阻变得过大的情况，当网状电极的厚度过厚时，电极间可能发生短路。另外，在本发明中，优选，所述网状电极的形状为六边形或平行四边形的格子状。 这是为了能够防止流过网状电极的电流发生局部集中的情况。并且，在本发明中，优选，所述网状电极的开口部的比率在80 % 98 %的范围内。 这是由于当开口部的比率过小时，向光电转换层的入射量减少，当开口部的比率过大时，网状电极的电阻增大。并且，在本发明中，优选，所述网状电极为通过真空成膜法形成的金属薄膜。这是因为溅射法等真空成膜法能够在玻璃基板、PET膜等透明基板上形成膜厚均勻且密接良好的金属薄膜。另外，在本发明中，优选，在所述透明基板上依次层叠所述网状电极及所述透明电极。这是因为透明电极与光电转换层或空穴取出层等的接触面积大时界面的接合性良好。并且，在本发明中，也可以在所述透明基板上依次层叠所述透明电极及所述网状电极。另外，本发明提供一种有机薄膜太阳能电池的制造方法，其用于制造有机薄膜太阳能电池，所述有机薄膜太阳能电池具有透明基板、在所述透明基板上以不同的顺序层叠的网状电极及透明电极、在所述网状电极及透明电极上形成的光电转换层、在所述光电转换层上形成的对置电极，所述有机薄膜太阳能电池的制造方法的特征在于，具有在所述透明基板上形成金属薄膜，在所述金属薄膜上放置抗蚀剂，通过光刻法将所述金属薄膜构图为网眼状，从而形成所述网状电极的网状电极形成工序。根据本发明，由于通过光刻法形成网状电极，因此即使在金属薄膜的厚度薄的情况下，也能够构图为所期望的形状。并且，能够在网状电极的端部形成没有飞边的形状。因此，能够将网状电极的厚度形成为电极间不发生短路的厚度，能够将网状电极形成为不会因网状电极的端部的飞边而发生短路的形状。由此，能够得到电极间难以发生短路的有机薄膜太阳能电池。另外，根据本发明，由于层叠网状电极及透明电极而形成阳极，因此能够制造即使大面积也能表现出良好的发电效率的有机薄膜太阳能电池。在上述发明中，优选，所述网状电极的厚度在200nm 300nm的范围内，在所述网状电极形成工序后，具有通过能够主要根据涂敷量来调整厚度的方法形成所述光电转换层的光电转换层形成工序。能够主要根据涂敷量来调整厚度的方法是适合于太阳能电池的大面积化的方法。在通过这样的方法形成光电转换层的情况下，当网状电极的厚度比上述范围厚时，难以覆盖网状电极的边缘，在电极间容易发生短路。并且，当网状电极的厚度比上述范围厚时，由于表面张力而会形成比所期望的厚度厚的光电转换层，有可能难以将光电转换层中产生的电能向最表层取出。另一方面，当网状电极的厚度过薄时，网状电极的片电
4阻有可能增大。另外，在本发明中，优选，在所述网状电极形成工序中，将所述金属薄膜构图为六边形或平行四边形的格子状。这是为了能够防止流过网状电极的电流发生局部集中的情况。发明效果在本发明中，由于阳极侧的电极层叠有网状电极和透明电极且网状电极具有规定的厚度，因此能够抑制电极间的短路的发生，即使将有机薄膜太阳能电池形成大面积化，也能够得到高发电效率。
图。图。图。
图1是表示本发明的有机薄膜太阳能电池的一例的简要剖视图。 图2是表示本发明的有机薄膜太阳能电池的另一例的简要剖视图。 图3是表示本发明的有机薄膜太阳能电池中的网状电极的形状的一例的俯视图。 图4是表示本发明的有机薄膜太阳能电池中的网状电极的形状的另一例的俯视
图5是表示本发明的有机薄膜太阳能电池中的网状电极的形状的另一例的俯视
图6是表示本发明的有机薄膜太阳能电池中的网状电极的形状的另一例的俯视
7是表示本发明的有机薄膜太阳能电池的另一例的简要剖视图。 8是表示本发明的有机薄膜太阳能电池的制造方法的一例的工序图, 9是表示实施例4的模拟结果的图。
10是表示实施例 11是表示实施例 12是表示实施例 13是表示实施例 14是表示实施例 15是表示实施例 16是表示实施例 17是表示实施例 18是表示实施例 19是表示实施例 20是表示实施例 21是表示实施例 22是表示实施例
4的模拟结果的图。 4的模拟结果的图。 4的模拟结果的图。 4的模拟结果的图。 4的模拟结果的图。 4的模拟结果的图。 4的模拟结果的图。 4的模拟结果的图。 4的模拟结果的图。 4的模拟结果的图。 4的模拟结果的图。 4的模拟结果的图。 4的模拟结果的图。
具体实施例方式以下，对本发明的有机薄膜太阳能电池及其制造方法进行详细说明。A.有机薄膜太阳能电池
本发明的有机薄膜太阳能电池具有透明基板、在所述透明基板上以不同的顺序层叠的网状电极及透明电极、在所述网状电极及透明电极上形成的光电转换层、在所述光电转换层上形成的对置电极，所述有机薄膜太阳能电池的特征在于，所述网状电极的厚度为所述网状电极及透明电极与所述对置电极之间不发生短路的厚度。参照附图，说明本发明的有机薄膜太阳能电池。图1是表示本发明的有机薄膜太阳能电池的一例的简要剖视图。在图1所示的例子中，有机薄膜太阳能电池1具有透明基板2、在透明基板2上形成的网状电极3、在网状电极3上形成的透明电极4、在透明电极4上形成的空穴取出层6、在空穴取出层6上形成的光电转换层7、在光电转换层7上形成的对置电极8。并且，网状电极3具有使网状电极3 及透明电极4与对置电极8之间不发生短路的厚度。在有机薄膜太阳能电池1中，首先，在从网状电极3的开口部入射的入射光11的作用下，在光电转换层7内产生电荷。接下来，产生的电荷(空穴)沿光电转换层7的膜厚方向移动而被向空穴取出层6取出，且在空穴取出层6与透明电极4的接触界面被向透明电极4取出。另一方面，产生的电荷(电子)沿光电转换层7的膜厚方向移动而在光电转换层7与对置电极8的接触界面被向对置电极8取出。根据本发明，由于阳极侧的电极层叠有网状电极和透明电极，因此即使在透明电极的片电阻比较高的情况下，通过充分降低网状电极的片电阻，也能够降低阳极整体的片电阻。因此，即使将有机薄膜太阳能电池大面积化，也能够将产生的电力高效地集电，从而能够维持高发电效率。另外，根据本发明，由于网状电极的厚度为网状电极及透明电极与对置电极之间不发生短路的厚度，因此即使有机薄膜太阳能电池具有网状电极，也能够防止电极间发生短路的情况。以下，说明本发明的有机薄膜太阳能电池中的各结构。1.网状电极及透明电极本发明中使用的网状电极及透明电极以不同的顺序层叠在透明基板上。在本发明中，网状电极及透明电极侧成为受光面。上述的网状电极及透明电极通常为用于取出光电转换层中产生的空穴的电极(空穴取出电极)。以下，说明网状电极及透明电极。(1)网状电极本发明中使用的网状电极为网眼状的电极，网状电极的厚度为网状电极及透明电极与对置电极之间不发生短路的厚度。网状电极的厚度只要是网状电极及透明电极与对置电极之间不发生短路的厚度即可，没有特别的限定，能够根据光电转换层、空穴取出层、电子取出层等的厚度而适当选择。具体而言，当光电转换层、空穴取出层、电子取出层等的在网状电极及透明电极与对置电极之间形成的层的总膜厚为1时，网状电极的厚度优选为5以下，更优选为3以下，进一步优选为1.5以下。这是由于当网状电极的厚度比上述范围厚时，在电极间有可能发生短路。更具体而言，网状电极的厚度优选在IOOnm IOOOnm的范围内，其中更优选在200nm SOOnm的范围内。这是由于当网状电极的厚度比上述范围薄时，存在网状电极的片电阻变得过大的情况。另外，当网状电极的厚度比上述范围厚时，在电极间有可能发生短路。其中，通过能够主要根据涂敷量来调整厚度的方法在网状电极及透明电极上形成
6光电转换层时，网状电极的厚度优选在200nm 300nm的范围内。需要说明的是，“涂敷量”是指涂敷膜厚。“能够主要根据涂敷量来调整厚度的方法”是指主要通过调整涂敷量而能够控制厚度的方法，主要是指通过调整涂敷量以外的参数、例如转速(离心力)等来控制厚度的方法之外的方法。“能够主要根据涂敷量来调整厚度的方法”只要是能够主要通过调整涂敷量(涂敷膜厚)来控制厚度的方法即可，具体而言，能够通过调整涂敷速度、喷出量、涂敷间隙等来调整涂敷量(涂敷膜厚)。作为能够主要根据涂敷量来调整厚度的方法，例如，能够列举有模涂法、涂边法、棒涂法、凹版涂布法、喷墨法、网板印刷法、胶版印刷法等印刷法。另一方面，能够主要根据涂敷量来调整厚度的方法中不包括旋涂法。通过能够主要根据涂敷量来调整厚度的方法在网状电极及透明电极上形成光电转换层时，若网状电极的厚度比上述范围厚，则难以覆盖网状电极的边缘，电极间容易发生短路。并且，若网状电极的厚度比上述范围厚，则可能由于表面张力而形成比所期望的厚度厚的光电转换层。当光电转换层的厚度过厚时，超过电子扩散长度及空穴扩散长度，而转换效率下降。优选调整网状电极的厚度，以免由于表面张力而形成比所期望的厚度厚的光电转换层。尤其是从知道空穴及电子在光电转换层内能够移动的距离为IOOnm左右的情况出发，也优选调整网状电极的厚度，以免由于表面张力而形成比所期望的厚度厚的光电转换层。另一方面，例如通过旋涂法形成光电转换层时，在离心力的作用下而形成均质的膜，因此即使网状电极的厚度比较厚，也能够覆盖网状电极的边缘。另外，在旋涂法的情况下，由于能够通过转速来调整厚度，因此即使网状电极的厚度比较厚，也能够得到均质的膜。因此，通过能够主要根据涂敷量来调整厚度的方法形成光电转换层时，上述范围尤其优选。作为网状电极的形成材料，通常使用金属。作为网状电极中使用的金属，例如，能够列举出铝(Al)、金(Au)、银(Ag)、钴(Co)、镍(Ni)、钼(Pt)、铜(Cu)、钛(Ti)、铝合金、钛合金及镍铬合金(Ni-Cr)等导电性金属。在上述的导电性金属中，优选电阻值比较低的金属。作为这样的导电性金属，列举有Al、Au、Ag、Cu等。另外，网状电极既可以为由上述那样的导电性金属构成的单层，也可以将导电性金属层和接触层适当层叠，以提高与透明基板或透明电极的密接性。作为接触层的形成材料，例如，列举有镍(Ni)、铬(Cr)、钛(Ti)、钽(Ta)、镍铬(Ni-Cr)等。接触层层叠在导电性金属层上，以得到所期望的网状电极与透明基板或透明电极的密接性，接触层既可以层叠在导电性金属层的单侧，也可以层叠在导电性金属层的两侧。另外，可以根据对置电极的形成材料的功函数来选择优选的金属。例如，在考虑对置电极的形成材料的功函数等的情况下，由于网状电极为空穴取出电极，因此上述金属优选功函数高的金属。具体而言，优选使用Al。作为网状电极的形状，只要是网眼状即可，并没有特别限定，可根据所期望的导电性、透过性、强度等适当选择。例如，列举有多边形、圆形的格子状等。在图3 图6中示出网状电极3的形状的一例。图3(a) (c)为三角形的格子状的情况，在图3(a)、(b)中，三角形的开口部排列成直线状，在图3(c)中，三角形的开口部排列成交错状。图4(a) (d)为四边形的格子状的情况，在图4(a)中，矩形的开口部排列成直线状，在图4(b)中，矩形的开口部排列成交错状，在图4(c)中，排列有菱形(角度兴90° )的开口部，在图4(d)中，排列有菱形(正方形)的开口部。图5(a)、(b)为六边形的格子状的情况，在图5(a)中，六边形的开口部排列成直线状，在图5(b)中，六边形的开口部排列成交错状，即所谓的蜂窝状。 图6(a)、(b)为圆形的格子状的情况，在图6(a)中，圆形的开口部排列成直线状，在图6 (b) 中，圆形的开口部排列成交错状。需要说明的是，多边形、圆形的“格子状”是指周期性地排列有多边形、圆形的形状。其中，网状电极的形状优选六边形的格子状或平行四边形的格子状。这是为了能够防止流过网状电极的电流发生局部集中的情况。例如，在电流的流动仅集中于特定的方向且存在电流难以流动的区域的情况下，通过将该电流难以流动的区域形成为开口部，从而使开口部的比率变大，入射量变多，能够提高光电转换效率。因此，存在电流难以流动的区域会使光电转换效率降低。因此，优选形成为能够防止流过网状电极的电流发生局部集中的形状。另外，当电流的流动仅集中于特定的方向时，网状电极被局部加热，与网状电极相邻形成的光电转换层、透明基板会产生热损伤，耐久性降低。因此，通过将网状电极形成为上述形状，能够防止流过网状电极的电流发生局部集中的情况，防止网状电极发生局部加热的情况，能够提高耐久性。在本发明的有机薄膜太阳能电池中，光电转换层中产生的电荷通过网状电极输送。此时，考虑放射状地输送电荷。在六边形的格子状或平行四边形的格子状的情况下，对于放射状的集电来说，能够使电流分布比较均勻。在六边形的格子状的情况下，尤其优选如图5(b)例示那样的六边形的开口部排列成蜂窝状。这是为了能够有效地防止流过网状电极的电流发生局部集中的情况。另一方面，在平行四边形的格子状的情况下，平行四边形的锐角优选在40° 80°的范围内，更优选在50° 70°的范围内，进一步优选在55° 65°的范围内。另外， 对应于太阳能电池的外形形状而适当设定平行四边形的四边的长度。即，在平行四边形为锐角60°、钝角120°且四边的长度相等的菱形的情况下，电流分布比较均勻的均电流区域的形状为电流容易在连结平行四边形的锐角的顶点的对角线方向上流动的椭圆形状。因此，考虑从太阳能电池的中心部到能够成为外周部电极的网状电极的外周部的距离，而适当设定平行四边形的四边的长度。由于网状电极自身基本上不透光，因此光从网状电极的开口部向光电转换层入射。因此，网状电极的开口部优选比较大。具体而言，网状电极的开口部的比率优选为 50 % 98 %左右，更优选在70 % 98 %的范围内，进一步优选在80 % 98 %的范围内。其中，在网状电极的厚度为200nm 300nm的情况下，开口部的比率优选在80% 98%的范围内，更优选在85% 98%的范围内。另一方面，在网状电极的厚度为IOOnm 200nm的情况下，开口部的比率优选在70 % 80 %的范围内，更优选在75 % 80 %的范围内。另外，在网状电极的形状为六边形的格子状情况下，开口部的比率优选在70% 80%的范围内，更优选在75% 80%的范围内。另一方面，在网状电极的形状为平行四边形的格子状的情况下，开口部的比率优选在80 % 98 %的范围内，更优选在85 % 98 %的范围内。
这是由于当开口部的比率小于上述范围时，虽然网状电极的线宽粗而能够使网状电极的面积变大，且能够使电阻变小，但由于无法使光充分透过，因此光电转换效率有可能降低。另外，当开口部的比率超过上述范围时，虽然使光充分透过而能够提高光电转换效率，但网状电极的线宽变小，网状电极的面积变小，从而网状电极中的电荷的移动效率降低，电阻有可能变大。此外，开口部的比率过大的结构难以稳定地形成。另外，当开口部的比率过大时，为了对网状电极赋予所期望的电阻值，需要使网状电极的厚度变厚而使生产效率降低，或者难以为了增大网状电极产生的高低差而将光电转换层形成为连续的膜。网状电极的开口部的间距及网状电极的线宽可根据网状电极整体的面积等适当选择。网状电极的片电阻优选为5 Ω / □以下，其中更优选3 Ω / □以下、尤其优选 1Ω/□以下。这是因为当网状电极的片电阻超过上述范围时，存在无法得到所期望的发电效率的情况。需要说明的是，上述片电阻是使用三菱化学株式会社制表面电阻计(卢里斯坦 (日语原文口 > 7夕)MCP:四端子探头)，基于JIS R1637(精制陶瓷薄膜的电阻率试验方法基于四探针法的测定方法)而测定的值。作为网状电极的形成位置，既可以如图1中例示那样，在透明基板2上依次层叠网状电极3及透明电极4，也可以如图2中例示那样，在透明基板2上依次层叠透明电极4及网状电极3。其中优选在透明基板上依次层叠网状电极及透明电极。这是由于透明电极与光电转换层或空穴取出层等的接触面积大时能够使界面的接合性良好，提高空穴的移动效率。作为网状电极的形成方法，没有特别限定，例如列举有在将金属薄膜整面成膜后构图为网眼状的方法、直接形成网眼状的导电体的方法等。上述的方法可根据网状电极的形成材料、结构等适当选择。金属薄膜的成膜方法优选真空蒸镀法、溅射法、离子镀敷法等真空成膜法。即，网状电极优选为通过真空成膜法形成的金属薄膜。通过真空成膜法成膜的金属种类与镀敷膜相比，杂质少且电阻率小。另外，通过真空成膜法形成的金属薄膜与使用Ag糊剂等成膜的膜相比较，电阻率也小。并且，作为精密地控制膜厚并将厚度为Iym以下的金属薄膜成膜为均勻的厚度的方法，也适合使用真空成膜法。作为金属薄膜的构图方法，只要是能够高精度地形成所期望的图案的方法即可， 并没有特别限定，能够列举有例如光刻法等。(2)透明电极作为本发明中使用的透明电极的构成材料，只要是具有导电性及透明性的材料即可，没有特别限定，能够列举有In-Zn-O(IZO)、In-Sn-O(ITO)、ZnO-Al、Zn-Sn-O等。其中， 优选考虑后述的对置电极的构成材料的功函数等而适当选择。例如在对置电极的构成材料为功函数低的材料的情况下，透明电极的构成材料优选功函数高的材料。作为具有导电性及透明性且功函数高的材料，优选使用ΙΤ0。透明电极的全光线透过率优选为85%以上，尤其优选90%以上，特别优选92%以上。这是由于通过使透明电极的全光线透过率为上述范围，能够使光充分地透过透明电极， 能够通过光电转换层有效地吸收光。
9
需要说明的是，上述全光线透过率是在可视光区域使用suga试验机株式会社制 SM色彩图像计算机(型号SM-C)测定的值。透明电极的片电阻优选为20Ω/ □以下，特别优选10Ω/ □以下，尤其优选 5Ω/ □以下。这是由于当片电阻大于上述范围时，产生的电荷可能无法充分地向外部电路传递。需要说明的是，上述片电阻是使用三菱化学株式会社制表面电阻计(卢里斯坦 MCP 四端子探头)，基于JIS R1637(精制陶瓷薄膜的电阻率试验方法基于四探針法的测定方法)而测定的值。透明电极既可以为单层，也可以是使用不同的功函数的材料层叠而成的电极。作为该透明电极的膜厚，单层时的膜厚和多层构成时的总膜厚优选在0. Inm 500歷的范围内，特别优选在Inm 300nm的范围内。这是因为当膜厚比上述范围薄时，透明电极的片电阻过大，产生电荷有可能无法充分地向外部电路传递，另一方面，当膜厚比上述范围厚时，全光线透过率降低，光电转换效率有可能降低。透明电极既可以在基板上整面形成，也可以形成为图案状。作为透明电极的形成方法，能够使用通常的电极的形成方法。2.光电转换层本发明中使用的光电转换层形成在网状电极及透明电极与对置电极之间。需要说明的是，“光电转换层”是指具备有助于有机薄膜太阳能电池的电荷分离，并将产生的电子及空穴分别朝向相反方向的电极输送的功能的部件。光电转换层既可以是具有电子接收性及电子给予性这两种功能的单一层(第一方式)，也可以是将具有电子接收性的功能的电子接收性层和具有电子给予性的功能的电子给予性层层叠而成的层(第二方式)。以下，说明各方式。(1)第一方式本发明中的光电转换层的第一方式为具有电子接收性及电子给予性这两个功能的单一层，其含有电子给予性材料及电子接收性材料。在该光电转换层中，由于利用光电转换层内形成的pn接合而产生电荷分离，因此单独作为光电转换层发挥功能。作为电子给予性材料，只要是具有作为电子给予体的功能的材料即可，没有特别限定，但优选为能够通过湿式涂布法成膜的材料，其中优选电子给予性的导电性高分子材料。导电性高分子为所谓的π共轭高分子，由含有碳一碳或异质原子的双键或三键与单键交替相连的η共轭系构成，表现出半导体的性质。导电性高分子材料由于在高分子主链内实现η共轭，因此基本上有利于向主链方向的电荷输送。另外，由于导电性高分子的电子传递机构主要是基于η重叠的分子间的跳跃传导，因此不仅向高分子的主链方向的电荷输送有利，而且向光电转换层的膜厚方向的电荷输送也有利。并且，由于导电性高分子材料通过使用将导电性高分子材料溶解或分散于溶剂中的涂布液并利用湿式涂布法而能够容易成膜，因此具有不需要高价的设备就能够以低成本制造大面积的有机薄膜太阳能电池的优点。作为电子给予性的导电性高分子材料，例如，能够列举有聚亚苯基、聚对苯乙炔 (poly(phenylene vinylene))、聚硅烷、聚噻吩、聚咔唑、聚乙烯基咔唑、吓啉、聚乙炔、聚吡咯、聚苯胺、聚芴、聚乙烯芘、聚乙烯蒽及它们的衍生物、以及它们的共聚物、或者含有酞花青的聚合物、含有咔唑的聚合物、有机金属聚合物等。在上述材料中，优选使用噻吩一莉共聚物、聚烷基噻吩、亚苯基亚乙炔基一亚苯基亚乙烯基共聚物、亚苯基亚乙炔基一噻吩共聚物、亚苯基亚乙炔基一芴共聚物、芴一亚苯基亚乙烯基共聚物、噻吩一亚苯基亚乙烯基共聚物等。这是由于上述材料相对于多数电子接收性材料能级差适当。需要说明的是，例如对于亚苯基亚乙炔基一亚苯基亚乙烯基共聚物 (Poly[1,4-phenyleneethynylene-l,4 -(2,5-dioctadodecyloxyphenylene)-l, 4-phenyleneethene-1,2-diyl-l,4-(2,5-dioctadodecyloxyphenylene) ethene-1, 2-diyl])的合成方法，在 Macromolecules, 35，3825 (2002)、Mcromo 1. Chem. Phys.，202， 2712(2001)中有详细记述。另外，作为电子接收性材料，只要具有作为电子接收体的功能的材料即可，没有特别限定，但优选为能够通过湿式涂布法成膜的材料，其中优选为电子给予性的导电性高分子材料。这是由于导电性高分子材料具有上述的优点。作为电子接收性的导电性高分子材料，例如可以列举有聚对苯乙炔、聚芴、及它们的衍生物，以及它们的共聚物、或者碳纳米管、富勒烯衍生物、含有CN基或CF3基的聚合物以及它们的-CF3取代聚合物等。作为聚对苯乙炔衍生物的具体例，列举有CN-PPV (Poly [2 -Methoxy-5-(2‘ -ethylhexyloxy)_1,4-(1-cyanovinylene)phenylene]),MEH-CN-PPV(Po Iy[2-Methoxy-5-(2' -ethylhexyloxy)-1,4- (1-cyanovinylene)phenylene])等。还可以使用掺杂了电子给予性化合物的电子接收性材料或掺杂了电子接收性化合物的电子给予性材料等。其中优选使用掺杂了电子给予性化合物或电子接收性化合物的导电性高分子材料。这是由于，导电性高分子材料在高分子主链内实现η共轭，因此基本上有利于向主链方向的电荷输送，并且，通过掺杂电子给予性化合物、电子接收性化合物， 在η共轭主链中产生电荷，能够大幅增大导电度。作为掺杂了电子给予性化合物的电子接收性的导电性高分子材料，能够列举有上述的电子接收性的导电性高分子材料。作为掺杂的电子给予性化合物，例如可以使用Li、 K、Ca、Cs等的碱金属或碱土金属那样的路易斯盐。需要说明的是，路易斯盐作为电子给予体而发挥作用。另外，作为掺杂有电子接收性化合物的电子给予性的导电性高分子材料，能够列举有上述的电子给予性的导电性高分子材料。作为掺杂的电子接收性化合物，例如能够使用FeC13(III)、AlC13、AlBr3、ASF6或卤素化合物的那样的路易斯酸。需要说明的是，路易斯酸作为电子接收体而发挥作用。作为光电转换层的膜厚，通常能够采用本体异质结(bulk hetero)型有机薄膜太阳能电池中采用的膜厚。具体而言，能够在0. 2nm 3000nm的范围内进行设定，优选为 Inm 600nm的范围内。这是由于当膜厚比上述范围厚时，存在光电转换层中的体积电阻率变高的情况。另一方面，当膜厚比上述范围薄时，存在无法充分吸收光的情况。电子给予性材料及电子接收性材料的混合比可根据使用的材料的种类而适当调整成最佳混合比。作为形成光电转换层的方法，只要是能够均勻地形成规定的膜厚的方法即可，没有特别限定，但优选使用湿式涂布法。这是由于若为湿式涂布法，则在大气中能够形成光电转换层，能够实现成本的削溅，并且容易大面积化。作为光电转换层用涂布液的涂敷方法，只要是能够均勻地涂敷光电转换层用涂布液的方法即可，没有特别限定，例如能够列举有模涂法、旋涂法、浸涂法、辊涂法、涂边法、喷涂法、棒涂法、凹版涂布法、喷墨法、网板印刷法、胶版印刷法等。其中，光电转换层用涂布液的涂敷方法优选为能够主要根据涂敷量来调整厚度的方法。作为能够主要根据涂敷量来调整厚度的方法，例如列举有模涂法、涂边法、棒涂法、凹版涂布法、喷墨法、网板印刷法、胶版印刷法等印刷法。印刷法适合于有机薄膜太阳能电池的大面积化。在涂敷光电转换层用涂布液后，可以实施使形成的涂膜干燥的干燥处理。这是因为通过尽早除去光电转换层用涂布液中含有的溶剂等，而能够提高生产性。作为干燥处理的方法，例如，能够使用加热干燥、鼓风干燥、真空干燥、红外线加热干燥等通常的方法。( 第二方式本发明中的光电转换层的第二方式为将具有电子接收性的功能的电子接收性层和具有电子给予性的功能的电子给予性层层叠而成的方式。以下，说明电子接收性层及电子给予性层。(电子接收性层)本方式中使用的电子接收性层具有电子接收性的功能，并含有电子接收性材料。作为电子接收性材料，只要是具有作为电子接收体的功能的材料即可，没有特别限定，但优选为能够通过湿式涂布法成膜的材料，其中优选为电子接收性的导电性高分子材料。这是由于导电性高分子材料具有上述那样的优点。具体而言，能够列举出与上述第一方式的光电转换层中使用的电子接收性的导电性高分子材料同样的材料。作为电子接收性层的膜厚，通常能够采用双分子层型有机薄膜太阳能电池中采用的膜厚。具体而言，能够在0. Inm 1500nm的范围内进行设定，优选为Inm 300nm的范围内。这是由于当膜厚比上述范围厚时，电子接收性层中的体积电阻率可能变高。另一方面，当膜厚比上述范围薄时，存在无法充分吸收光的情况。作为电子接收性层的形成方法，可以与上述第一方式的光电转换层的形成方法同样。(电子给予性层)本发明中使用的电子给予性层具有电子给予性的功能，并含有电子给予性材料。作为电子给予性材料，只要具有作为电子给予体的功能的材料即可，没有特别限定，但优选为能够通过湿式涂布法成膜的方法，其中优选为电子给予性的导电性高分子材料。这是由于导电性高分子材料具有上述那样的优点。具体而言，能够列举出与上述第一方式的光电转换层中使用的电子给予性的导电性高分子材料同样的材料。作为电子给予性层的膜厚，通常能够采用双分子层型有机薄膜太阳能电池中采用的膜厚。具体而言，能够在0. Inm 1500nm的范围内进行设定，优选为Inm 300nm的范围内。当膜厚比上述范围厚时，电子给予性层中的体积电阻率有可能变高。另一方面，当膜厚比上述范围薄时，存在无法充分地吸收光的情况。
12
作为电子给予性层的形成方法，可以与上述第一方式的光电转换层的形成方法同样。3.对置电极本发明中使用的对置电极为与上述网状电极及透明电极对置的电极。通常，对置电极为用于取出光电转换层中产生的电子的电极(电子取出电极)。在本发明中，由于网状电极及透明电极侧成为受光面，因此对置电极也可以不具有透明性。作为对置电极的形成材料，只要是具有导电性的材料即可，没有特别限定，但由于对置电极为电子取出电极，因此优选功函数低的材料。具体而言，作为功函数低的材料，能够列举出 Li、In、Al、Ca、Mg、Sm、Tb、Yb、Zr、LiF 等。对置电极既可以为单层，也可以使用不同的功函数的材料层叠而成。就对置电极的膜厚而言，单层时的膜厚和多层构成时的将各层加在一起的总膜厚都优选在0. Inm 500nm的范围内，其中更优选在Inm 300nm的范围内。当膜厚比上述范围薄时，对置电极的片电阻过大，产生的电荷有可能无法充分地向外部电路传递。对置电极可以在光电转换层上整面形成，也可以形成为图案状。作为对置电极的形成方法，能够使用通常的电极的形成方法，例如能够使用真空蒸镀法、基于金属掩模的图案蒸镀法。4.透明基板作为本发明中使用的透明基板，没有特别限定，例如能够列举有石英玻璃、派克雷斯玻璃(注册商标)、合成石英板等没有挠性的透明的刚性材料、或透明树脂膜、光学用树脂板等具有挠性的透明的柔性材料。在上述材料中，透明基板优选为透明树脂膜等柔性材料。这是由于透明树脂膜在实现加工性优良、降低制造成本、轻量化且不易破裂的有机薄膜太阳能电池方面有用，且向曲面的适用等向各种应用的适用可能性扩大。5.空穴取出层在本发明中，如图1中例示所示，优选在光电转换层7与网状电极3及透明电极 4(空穴取出电极)之间形成有空穴取出层6。空穴取出层是为了容易进行从光电转换层向空穴取出电极的空穴的取出而设置的层。由此，由于从光电转换层向空穴取出电极的空穴取出效率提高，因此能够提高光电转换效率。作为空穴取出层中使用的材料，只要是使从光电转换层向空穴取出电极的空穴的取出稳定的材料即可，没有特别的限定。具体而言，能够列举有形成由掺杂的聚苯胺、聚对苯乙炔、聚噻吩、聚吡咯、聚对亚苯基、聚乙炔、三苯基二胺(TPD)等导电性有机化合物或者四硫代富瓦稀、四甲基亚苯基二胺等电子给予性化合物和四氰醌二甲烷、四氰基乙烯等电子接收性化合物构成的电荷移动络合物的有机材料等。另外，也可以使用Au、In、Ag、Pd等金属等的薄膜。并且，金属等的薄膜可以单独形成，也可以与上述的有机材料组合使用。在上述的材料中，尤其优选使用聚乙稀二氧噻吩(PEDOT)、三苯基二胺(TPD)。作为空穴取出层的膜厚，在使用上述有机材料的情况下，优选在IOnm 200nm的范围内，在为上述金属薄膜的情况下，优选在0. Inm 5nm的范围内。6.电子取出层在本发明中，如图7中例示那样，可以在光电转换层7与对置电极8(电子取出电极)之间形成电子取出层9。电子取出层是为了容易进行从光电转换层向电子取出电极的电子的取出而设置的层。由此，由于从光电转换层向电子取出电极的电子取出效率提高，因此能够使光电转换效率提高。作为电子取出层中使用的材料，只要是使从光电转换层向电子取出电极的电子的取出稳定的材料即可，没有特别限定。具体而言，列举有形成由掺杂的聚苯胺、聚对苯乙炔、聚噻吩、聚吡咯、聚对亚苯基、聚乙炔、三苯基二胺(TPD)等的导电性有机化合物或者四硫富瓦稀、四甲基亚苯基二胺等的电子给予性化合物、四氰基醌二甲烷、四氰基乙烯等的电子接收性化合物构成的电荷移动络合物的有机材料等。还列举有碱金属或碱土金属的金属掺杂层。作为适当的材料，列举有浴铜灵(Bathocuproine，BCP)或者红菲罗啉 (Bathophenanthroline, Bphen)禾口 Li、Cs、Ba、Sr 等白勺金参杂层。7.其它结构本发明的有机薄膜太阳能电池即使为大面积也能够表现出良好的发电效率。作为有机薄膜太阳能电池的面积，没有特别限定，但优选50mm □以上。本发明的有机薄膜太阳能电池除了上述的构成部件以外，根据需要还可以具有后述的构成部件。例如，本发明的有机薄膜太阳能电池可以具有保护片、填充材料层、阻挡层、 保护硬涂层、强度支承层、防污层、高反光层、光封入层、密封材料层等功能层。另外，根据层结构也可以在各功能层之间形成粘接层。需要说明的是，对于上述的功能层，可以与日本特开2007-73717号公报等中记载的功能层同样。B.有机薄膜太阳能电池的制造方法本发明的有机薄膜太阳能电池的制造方法是用于制造有机薄膜太阳能电池的方法，该有机薄膜太阳能电池具有透明基板、在所述透明基板上以不同的顺序层叠的网状电极及透明电极、在所述网状电极及透明电极上形成的光电转换层、在所述光电转换层上形成的对置电极，所述有机薄膜太阳能电池的制造方法的特征在于，具有在所述透明基板上形成金属薄膜，在所述金属薄膜上放置抗蚀剂，通过光刻法将所述金属薄膜构图为网眼状， 从而形成所述网状电极的网状电极形成工序。图8是表示本发明的有机薄膜太阳能电池的制造方法的一例的工序图。首先，在透明基板2上整面成膜金属薄膜3a(图8(a))。接着，在金属薄膜3a上放置抗蚀剂21a (图8 (b))，进行曝光及显影，形成抗蚀剂图像21b (图8 (c))。接着，对以抗蚀剂图像21b为掩模而露出的金属薄膜3a进行蚀刻(图8(d))，并除去抗蚀剂图像21b而形成网状电极北(图8(e))。接着，在网状电极北上形成透明导电膜作为透明电极4(图 8 (f))。接着，虽然未图示，但在透明电极上形成空穴取出层及光电转换层，在光电转换层上形成对置电极，从而得到图1中例示那样的有机薄膜太阳能电池1。在形成网状电极时，首先可以在透明基板上形成透明电极，接着在透明电极上形成网状电极。在该情况下，能得到图2中例示那样的有机薄膜太阳能电池1。另外，可以根据需要，在光电转换层上形成电子取出层，在电子取出层上形成对置电极。在该情况下，得到图7中例示那样的有机薄膜太阳能电池1。根据本发明，由于通过光刻法形成网状电极，因此即使在金属薄膜的厚度薄的情况下，也能够将金属薄膜构图为所期望的形状，能够形成厚度薄的网状电极。因此，能够将网状电极的厚度形成为在电极间不发生短路的厚度。由此，能够得到在电极间难以发生短路的有机薄膜太阳能电池。另外，根据本发明，由于将网状电极及透明电极层叠而形成阳极侧的电极，因此即使在透明电极的片电阻比较高的情况下，也能够降低阳极整体的片电阻。因此，即使有机薄膜太阳能电池大面积化，也能够制造表现出良好的发电效率的有机薄膜太阳能电池。需要说明的是，关于透明基板、透明电极及其形成方法、对置电极及其形成方法、 空穴取出层及其形成方法以及电子取出层及其形成方法等，由于在上述“A.有机薄膜太阳能电池”的项中进行了记载，因此在此省略说明。以下，说明本发明的有机薄膜太阳能电池的制造方法中的网状电极形成工序。1.网状电极形成工序本发明中的网状电极形成工序是在透明基板上形成金属薄膜，在所述金属薄膜上放置抗蚀剂，通过光刻法将上述金属薄膜构图为网眼状，从而形成网状电极的工序。关于金属薄膜的形成材料，与上述“A.有机薄膜太阳能电池”的网状电极的项中记载的网状电极的形成材料相同。作为金属薄膜的成膜方法，例如列举有真空蒸镀法、溅射法、离子镀敷法等。作为本发明中使用的抗蚀剂，能够使用电极的形成中使用的通常的抗蚀剂。作为抗蚀剂的曝光方法及显影方法，可以适用通常的方法。在抗蚀剂的曝光及显影后，蚀刻除去不需要的金属薄膜，将金属薄膜构图为所期望的形状。此时，将金属薄膜构图为网眼状即可，作为其形状，只要是网眼状即可，没有特别限定，可根据所期望的导电性、透过性、强度等适当选择。例如，列举有多边形、圆形的格子状等。其中，优选将金属薄膜构图为六边形或平行四边形的格子状。需要说明的是，关于形状，与上述“A.有机薄膜太阳能电池”的网状电极的项中记载的网状电极的形状相同。在金属薄膜的蚀刻后，除去抗蚀剂。作为抗蚀剂的除去方法，能够适用通常的方法。需要说明的是，关于得到的网状电极，由于在上述“A.有机薄膜太阳能电池”的项中进行了详细地记载，因此在此省略说明。2.光电转换层形成工序在本发明中，通常在网状电极形成工序后，进行形成光电转换层的光电转换层形成工序。此时，优选通过能够主要根据涂敷量来调整厚度的方法形成光电转换层。这是因为适合于有机薄膜太阳能电池的大面积化。需要说明的是，关于光电转换层及其形成方法等，由于在上述“A.有机薄膜太阳能电池”的项中进行了记载，因此在此省略说明。本发明不局限于上述实施方式。上述实施方式为例示，对于具有与本发明的专利请求书中记载的技术的思想实质上相同的结构并起到同样的作用效果的方案，无论是什么样的方案都包含在本发明的技术的范围内。
实施例
以下，列举实施例，具体说明本发明。[实施例1]在外形尺寸50mm □ 膜厚125 μ m的PEN膜基材的单面整面通过溅射法(成膜压力0. lPa，成膜功率180W，时间:3分/12分/3分)以厚度20nm/300nm/20nm层叠Ni/Cu/ Ni。在Ni/Cu/Ni膜的整面以0. 4kgf/cm2的层叠压力、温度120°C层叠干膜抗蚀剂(旭化成，sunphotoAQ-1558,阴型)，并经由规定的形状的光掩模进行UV照射，在干膜抗蚀剂上转印所期望的形状。然后，在0. 5wt%的碳酸钠水溶液中除去抗蚀剂的未曝光部，形成所期望的形状的抗蚀剂图像。在氯化铁溶液(45波美)中以液温50°C对以抗蚀剂图像为掩模而露出的Ni/Cu/Ni膜进行蚀刻。蚀刻Ni/Cu/Ni膜所需的时间为3秒。然后，使用2wt%的氢氧化钠溶液以液温50°C进行抗蚀剂除去，形成具有规定的开口部的Ni/Cu/Ni的金属网格。通过使用了压力梯度型等离子喷枪的反应性离子镀敷法(功率3. 7kW，氧分压 73%，制膜压力0. 3Pa，制膜率150nm/min，基板温度20°C )在金属网格的上表面成膜透明电极即ITO膜(膜厚150nm，片电阻20Ω / □)。接着，使用丙酮、基板清洗液、IPA对形成有上述ITO膜的基板进行清洗。由此，ITO电极的虚拟片电阻(作为ITO电极及金属网格的层叠体的片电阻)降低到0. 1 Ω / 口。接着，通过旋涂法在形成有上述ITO膜的基板上将导电性高分子糊剂(聚(3， 4-乙稀二氧噻吩)分散品)制成膜，然后以150°C干燥30分钟，形成空穴取出层(膜厚 IOOnm)。接着，将聚噻吩(P3HT:poly(3-hexylthiophene-2，5-diyl))和 C60PCBM([6, 6]-phenyl-C61-butyric acid mettric ester)溶解于溴苯，准备出固体含量 1. 4wt% 的光电转换层用涂布液。接着，在空穴取出层上通过旋涂法以转速600rpm的条件涂敷光电转换层用涂布液，来形成光电转换层。然后，对形成有上述光电转换层的基板进行风蚀。接着，通过真空蒸镀法将Ca/Al (厚度60nm/200nm)形成在光电转换层上，从而形成金属电极。接着，在温度150°C的加热板上对形成有上述光电转换层等的基板进行加热干燥。 最后，通过密封用玻璃材料及粘接性密封材料从金属电极上进行密封而形成有机薄膜太阳能电池。[实施例2]除了在PEN膜基材上依次层叠ITO电极及金属网格以外，与实施例1同样地制作有机薄膜太阳能电池。[比较例1]除了不形成金属网格以外，与实施例1同样地制作有机薄膜太阳能电池。[评价]对于实施例1、2的有机薄膜太阳能电池(ITO电极的虚拟片电阻0. 1 Ω/ □)和比较例1的有机薄膜太阳能电池(ITO电极的片电阻20Ω/ 口 )实施发电评价。作为评价方法，将A. Ml. 5、模拟太阳光(lOOmW/cm2)作为照射光源，通过源测量单元(HP社制，HP4100) 施加电压，从而进行电流电压特性的评价。比较例1的有机薄膜太阳能电池的发电效率为0. 05%，相对于此，实施例1的有机薄膜太阳能电池的发电效率提高到2. 2%，实施例2的有机薄膜太阳能电池的发电效率提高到1. 5%。通过在ITO电极上配置极薄的金属网格，透光性降低，但由于ITO电极的虚拟片电阻降低而功率损失降低，其结果是确认到了转换效率提高的情况。[参考例1 3]在外形尺寸50mm □ 膜厚125 μ m的PEN膜基材的单面整面通过溅射法(成膜压力0. lPa，成膜功率180W)以厚度60m/300nm层叠了 Cr/Cu。在Cr/Cu膜的整面以0. 4kgf/ cm2的层叠压力、温度120°C层叠干膜抗蚀剂(旭化成，sunphotoAQ-1558，阴型)，经由规定的形状的光掩模进行UV照射，在干膜抗蚀剂上转印所期望的形状。然后，在0.5wt%的碳酸钠水溶液中除去抗蚀剂的未曝光部，形成所期望的形状的抗蚀剂图像。通过蚀刻液 (CA5330H/株式会社美格(MEC)制)以液温50°C对以抗蚀剂图像为掩模而露出的Cu膜进行蚀刻。对Cu膜进行蚀刻所需的时间为10秒。然后，使用2wt%的氢氧化钠溶液以液温 50°C进行抗蚀剂除去。接着，通过选择蚀刻液(WCR3015/株式会社ADEKA制)以液温40°C 除去残存在Cu配线部以外的Cr膜，形成具有开口宽度0. 45mm/配线宽度0. 05mm的六边形格子形状的网格形状的Cr/Cu的金属网格。另外，金属网格的开口率为82%。通过使用了压力梯度型等离子喷枪的反应性离子镀敷法(功率3. 7kW，氧分压 73%，制膜压力0. 3Pa，制膜率150nm/min，基板温度20°C )在金属网格的上表面成膜透明电极即ITO膜(膜厚150nm，片电阻20Ω / □)。接着，使用丙酮、基板清洗液、IPA对形成有上述ITO膜的基板进行清洗。由此，ITO电极的虚拟片电阻(作为ITO电极及金属网格的层叠体的片电阻)降低到0. 1 Ω / 口。接着，通过旋涂法在形成有上述ITO膜的基板上将导电性高分子糊剂(Baytron， HC世泰科(Marck)(株)制)制成膜，然后以150°C干燥30分钟，形成空穴取出层(膜厚 IOOnm)。接着，与实施例1同样地形成光电转换层。然后，对形成有上述光电转换层的基板进行风蚀。接着，通过真空蒸镀法在光电转换层上形成Ca/Al (厚度30nm/200nm)，从而形成金属电极。接着，在温度150°C的加热板上对形成有上述光电转换层等的基板进行加热干燥。 最后，通过密封用玻璃材料及粘接性密封材料从金属电极上进行密封而形成有机薄膜太阳能电池。对于得到的有机薄膜太阳能电池，与实施例1同样地进行了电流电压特性的评价。评价结果如表1所示。[表1]
金属网格的开口部的比率 (%)短路电流值 (mA/cm2)开放电压值 (V)转换效率值 (%)参考例1201.470.7330.51参考例2403.840.7631.61参考例3805.760.7952.09[参考例4 7]除了将金属网格的厚度形成为下述表2中示出的厚度、使金属网格的开口部的比率为80%、使金属电极Ca/Al的厚度为30nm/450nm以外，与参考例1 3同样地制作了有机薄膜太阳能电池。对于得到的有机薄膜太阳能电池，与实施例1同样地进行了电流电压特性的评价。评价结果如表2所示。[表 2]
权利要求
1.一种有机薄膜太阳能电池，其具有透明基板、在所述透明基板上以不同的顺序层叠的网状电极及透明电极、在所述网状电极及透明电极上形成的光电转换层、在所述光电转换层上形成的对置电极，所述有机薄膜太阳能电池的特征在于，所述网状电极的厚度为所述网状电极及透明电极与所述对置电极之间不发生短路的厚度。
2.根据权利要求1所述的有机薄膜太阳能电池，其特征在于， 所述网状电极的厚度在200nm 300nm的范围内。
3.根据权利要求1或2所述的有机薄膜太阳能电池，其特征在于， 所述网状电极的形状为六边形或平行四边形的格子状。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的有机薄膜太阳能电池，其特征在于， 所述网状电极的开口部的比率在80% 98%的范围内。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的有机薄膜太阳能电池，其特征在于， 所述网状电极是通过真空成膜法形成的金属薄膜。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的有机薄膜太阳能电池，其特征在于， 在所述透明基板上依次层叠所述网状电极及所述透明电极。
7.根据权利要求1至5中任一项所述的有机薄膜太阳能电池，其特征在于， 在所述透明基板上依次层叠所述透明电极及所述网状电极。
8.一种有机薄膜太阳能电池的制造方法，其用于制造有机薄膜太阳能电池，所述有机薄膜太阳能电池具有透明基板、在所述透明基板上以不同的顺序层叠的网状电极及透明电极、在所述网状电极及透明电极上形成的光电转换层、在所述光电转换层上形成的对置电极，所述有机薄膜太阳能电池的制造方法的特征在于，具有在所述透明基板上形成金属薄膜，在所述金属薄膜上放置抗蚀剂，通过光刻法将所述金属薄膜构图为网眼状，从而形成所述网状电极的网状电极形成工序。
9.根据权利要求8所述的有机薄膜太阳能电池的制造方法，其特征在于， 所述网状电极的厚度在200nm 300nm的范围内，在所述网状电极形成工序后，具有通过能够主要根据涂敷量来调整厚度的方法形成所述光电转换层的光电转换层形成工序。
10.根据权利要求8或9所述的有机薄膜太阳能电池的制造方法，其特征在于，在所述网状电极形成工序中，将所述金属薄膜构图为六边形或平行四边形的格子状。
全文摘要
本发明的主要目的在于提供一种有机薄膜太阳能电池，其不容易发生电极间的短路，即使为大面积，光电转换效率也良好。本发明提供一种有机薄膜太阳能电池来解决上述课题，该有机薄膜太阳能电池具有透明基板、在所述透明基板上以不同的顺序层叠的网状电极及透明电极、在所述网状电极及透明电极上形成的光电转换层、在所述光电转换层上形成的对置电极，所述有机薄膜太阳能电池的特征在于，所述网状电极的厚度为所述网状电极及透明电极与对置电极之间不发生短路的厚度。
文档编号H01L51/42GK102217112SQ20098014594
公开日2011年10月12日 申请日期2009年12月4日 优先权日2008年12月4日
发明者木原健, 铃木裕行 申请人:大日本印刷株式会社