专利名称：干法刻蚀设备中真空密封门的安装结构的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及刻蚀设备技术领域，尤其涉及干法刻蚀设备中真空密封门 (Vacuum Gate)的安装结构。
背景技术：
目前在干法刻蚀(Dry Etch)设备中，真空密封门通过螺钉进行安装和紧固。螺钉 数量多，拆装比较繁琐，而且所述真空密封门的安装空间有限，不利于拆装。每次更换真空 门0形密封圈(O-Ring)时，都需要拆卸并重新安装所述真空密封门，过程复杂。然而，由于 干法刻蚀设备中反应所产生的等离子体(Plasma)对0型密封圈有腐蚀性，因此真空密封门 工作用0型密封圈需要定期更换，所述真空密封门也就需要定期的拆装，长期下来，耗费大 量的人力和维护工作用时间。而且因为更换次数多，安装螺钉用的螺纹安装孔很容易损坏， 维修起来难度大。
实用新型内容本发明的实施例提供一种干法刻蚀设备中真空密封门的安装结构，简化了真空密 封门安装程序，使得真空密封门易于维护和安装。为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案一种干法刻蚀设备中真空密封门的安装结构，包括升降机构，所述升降机构上设 有支撑所述真空密封门的支撑体。现有技术干法刻蚀设备中的真空密封门采用螺钉进行紧固和安装，使得真空门0 型密封圈更换程序繁琐，且由于更换频繁，而容易损坏。本实用新型提供的真空密封门包括 用来控制整个安装结构的高度的升降机构，还包括设置在升降机构上用于支撑所述真空密 封门的支撑体。没有采用螺钉固定真空密封门，不需要螺钉的拆卸安装过程。在安装所述 真空密封门时，将所述安装结构对准所述真空密封门的安装位置，通过所述升降机构调整 所述安装结构的高度适合，给真空密封门一个支撑力，使其紧密地与安装面贴合，便可以完 成所述真空密封门的安装。在拆卸所述真空密封门时，只需降低所述升降机构的高度，所 述真空密封门也会随之降下，便可完成所述真空密封门的拆卸。简化了空密封门的拆装过 程，易于操作和维护，且避免了螺钉安装和拆卸过程中对螺纹的安装孔造成的损坏。
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现 有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本 发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可 以根据这些附图获得其他的附图。图1为本实用新型实施例的结构图；图2为本实用新型优选实施例的结构图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行 清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的 实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下 所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。本实用新型提供了一种干法刻蚀设备中真空密封门的安装结构，如图1所示，所 述安装结构包括用来控制整个安装结构高度的升降机构1，还包括设置在所述升降机构1 上用于支撑所述真空密封门的支撑体2。当我们进行真空密封门的拆卸操作时，将本机构的 支撑体2等其他部分准备好，将所述升降机构1降下，所述真空密封门也会随之降下，所述 真空密封门的拆卸完成。当我们进行真空密封门的安装操作时，首先将所述真空密封门放 置到所述支撑体2上，然后将机构支撑体2等其他部分放置到合适的位置准备好，将所述升 降机构1升起，所述真空密封门也会随之升起，直至到达安装位置，所述真空密封门的安装 完成。真空密封门采用此安装结构后，不再有螺钉的拆装过程，只需通过所述升降机构1调 整安装结构的高度适合，所述安装结构给真空密封门一个支撑力，使其紧密地与安装面贴 合，简化了真空密封门拆装过程，易于操作和维护，且避免了螺钉安装和拆卸过程中对螺纹 安装孔造成的损坏。如图2所示，作为本实用新型的一种优选的实施方式，本实用新型提供了一种干 法刻蚀设备中真空密封门的安装结构，包括用来控制整个安装结构高度的升降机构5，还包 括设置在所述升降机构5上用于支撑所述真空密封门的支撑体3。所述干法刻蚀设备中真 空密封门的安装结构还包括底座4，所述底座4用于固定所述升降机构5。所述升降机构可以通过螺钉连接或者焊接的方式固定在所述底座4上，为了简化 拆装程序，本实用新型优选使用螺钉连接的方式将所述升降机构固定在所述底座4上。作为本实用新型的一种改进，所述升降机构可以是液压机构。当我们进行真空密封门的拆卸操作时，首先将本结构的底座4、支撑体3等其他部 分准备好，然后将所述液压机构降下，真空密封门也会随之降下，所述真空密封门的拆卸完 成。当我们进行真空密封门的安装操作时，首先将机构的底座4、支撑体3等其他部分准备 好，然后将所述液压机构升起，所述真空密封门也会随之升起，直至到达安装位置，所述真 空密封门的安装完成。作为本实施例的一种替换方式，所述液压机构可以用气压机构或者机械式升降机 构替代。本实用新型提供另一种改进的实施方式，所述支撑体3包括与升降机构接触的井 字梁、以及与所述真空密封门支撑的井字梁，所述两个井字梁之间通过立柱支撑。这样的结 构制作简单，制作材料可以采用铝合金或者钢等常用的型材即可。如图2所示，作为本实用新型的一种改进，可以在所述升降机构5的顶部设置有容 置槽6。所述支撑体3的底部设置在所述容置槽6内。所述容置槽可以使所述支撑体稳固的安放在液压机构上。一般情况下，在所述升降机构上可以设置多个容置槽，并在每个容置槽内分别放 置支撑体，以便通过多个支撑体实现对真空密封门的支撑。[0021]本实用新型提供另一种改进的实施方式，给所述液压机构设置机械锁定装置7， 所述机械锁定装置7与所述液压机构在同一支撑面上。比如所述机械锁定装置7可以设在 液压机构5内部的液压腔外。所述机械锁定装置是为防止所述液压机构在使用过程中失效或者出现故障而设 计的。当所述液压机构在使用过程中失效或者出现故障时，所述机械锁定装置可以使所 述液压机构继续保持原来的高度，使所述安装结构提供给所述真空密封门的支撑力保持不 变，使所述真空密封门不受所述液压机构在使用过程中失效或者出现故障的影响。所述机械锁定装置可以使用一根或者多根螺杆或者一个或者多个交叉液压支架 实现。鉴于螺杆提供支撑力相对于液压支架更均勻更容易调节，且安装简易，本实用新型采 用两根螺杆实现所述机械锁定装置。作为本实用新型的优选实施方式，所述机械锁定装置7的两根螺杆设在所述液压 机构纵向宽度中间，相距500毫米。当所述真空密封门通过液压机构上升至安装位置，便将 所述机械锁定装置7锁定，以保证当液压机构失效或者出现故障时，所述真空密封门不会 产生移动，确保整个真空密封门使用的安全性。本实用新型提供另一种改进的实施方式，所述支撑体上3设置有微调装置8。所述支撑体3通过微调装置8与真空密封门紧密配合，避免因真空密封门与安装 面贴和不好而影响反应腔(Process Chamber)的密封性。本实用新型提供一种优选实施方式，可以在所述支撑体3上设有至少两个螺纹安 装孔，所述螺纹安装孔内安装有螺杆，所述微调装置8为安装在所述螺纹安装孔内的螺杆。通过调节所述螺杆的高度，用多个点接触取代面接触，使整个真空密封门表面受 力均勻。所述螺杆的数量越多越好，但是为了便于操作和维护，本实用新型的优选方式采 用12个螺杆构成所述微调装置8。本实用新型提供另一种改进的实施方式，所述螺杆顶端设有滚珠9。安装时，所述 螺杆的顶端的滚珠9与所述真空密封门接触。在所述螺杆与真空密封门接触端安装滚珠9， 所述滚珠9的圆形表面可以减少所述螺杆同真空密封门的接触面积，减少摩擦，进而减少 对真空密封门的损坏。作为本实用新型另一种改进的实施方式，所述底座4与所述升降机构5 —体成型； 或者所述升降机构5与所述支撑体3 —体成型；或者所述底座4、所述升降机构5和所述支 撑体3 —体成型；或者所述机械锁定装置7与所述升降机构5 —体成型。上述机械锁定装置与所述升降机构一体成型，也可以用于所述升降机构由液压机 构组成时，所述机械锁定装置与所述液压机构一体成型。本实用新型省去底座4和支撑体3，只用液压机构部分也可以实现，但这样的机构 成本较高。为了方便本实用新型所述安装结构的移动，可以在所述底座上设置滚轮和/或支 撑脚，比如可以在所述底座的底部设有滚轮和/或支撑脚。可以在所述底座4的底部设有 滚轮10。为了方便本实用新型所述安装结构的固定，也可以在所述底座4的底部设置支撑 脚11。或者在底座4的底部同时设置滚轮10和支撑脚11。当需要移动所述安装结构时，将支撑脚旋起，用滚轮进行支撑移动，当所述安装结构达到安装位置，并且不再需要移动，将滚轮旋起用支撑脚进行支撑，使整个真空密封门安 装结构固定在安装点。本实用新型提供了另一种改进的实施方式，在液压机构上安装压力探测计12。当液压机构达到工作位置，所述微调装置与真空密封门完全接触，为保证真空密 封门与安全面的贴合力度，则需要保证所述液压机构的支撑力。本实用新型通过压力探测 计的作用，控制所述液压机构的支撑力。当所述压力探测计探测到压力不合格时，便将不合 格信息传输给设备控制端，所述设备控制端通过判断和控制，能够停止进行真空密封门的 安装和拆卸操作。所述压力探测计还能在液压机构失效时，通过与设备控制端通讯，停止真 空密封门的安装和拆卸等操作。本实用新型提供了另一种改进的实施方式，所述机械锁定装置7安装有探测传感 器13。本实用新型实施例采用红外式对射传感器，当机械锁定装置没有设置到指定位 置时，红外对射传感器之间的信号没有被阻断，所述红外对射传感器之间有信号传递。通过 设备控制端程序的判断和控制，不能进行真空密封门的安装和拆卸操作。当所述机械锁定 装置设置到指定位置后，所述机械锁定装置介于红外对射传感器之间，所述机械锁定装置 阻断了红外对射传感器之间的信号传递，所述红外对射传感器之间无信号传递，通过设备 控制端程序的判断和控制，设备控制端认定机械锁定装置安装正常，可以进行真空密封门 的安装和拆卸等操作。所述探测传感器可以固定安装到所述机械锁定装置上，但为了灵活适应机械锁定 装置的高度，最好采用可以移动位置的安装方式将所述探测传感器安装到所述机械锁定装置上。 本实用新型主要应用于干法刻蚀设备中真空密封门的安装。 以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式
，但本实用新型的保护范围并不局限 于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化 或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应所述以权 利要求的保护范围为准。
权利要求一种干法刻蚀设备中真空密封门的安装结构，其特征在于，包括升降机构，所述升降机构上设有支撑所述真空密封门的支撑体。
2.根据权利要求1所述的干法刻蚀设备中真空密封门的安装结构，其特征在于，所述 干法刻蚀设备中真空密封门的安装结构还包括底座，所述底座用于固定所述升降机构。
3.根据权利要求1所述的干法刻蚀设备中真空密封门的安装结构，其特征在于，所述 升降机构为液压机构。
4.根据权利要求3所述的干法刻蚀设备中真空密封门的安装结构，其特征在于，所述 液压机构设有与所述液压机构在同一支撑面上的机械锁定装置。
5.根据权利要求1、2、3或4所述的干法刻蚀设备中真空密封门的安装结构，其特征在 于，所述升降机构的顶部设置有容置槽，所述支撑体设置在所述容置槽内。
6.根据权利要求1所述的干法刻蚀设备中真空密封门的安装结构，其特征在于，所述 支撑体包括与升降机构接触的井字梁、以及与所述真空密封门支撑的井字梁，所述两个井 字梁之间通过立柱支撑。
7.根据权利要求1或6所述的干法刻蚀设备中真空密封门的安装结构，其特征在于，所 述支撑体上设置有微调装置，通过微调装置与真空密封门紧密配合。
8.根据权利要求7所述的干法刻蚀设备中真空密封门的安装结构，其特征在于，所述 支撑体上设有至少两个螺纹安装孔，所述微调装置为安装在所述螺纹安装孔内的螺杆。
9.根据权利要求8所述的干法刻蚀设备中真空密封门的安装结构，其特征在于，所述 螺杆顶端设有滚珠。
10.根据权利要求2所述的干法刻蚀设备中真空密封门的安装结构，其特征在于，所述 底座与所述升降机构一体成型、或者所述升降机构与所述支撑体一体成型、或者所述底座、 所述升降和所述支撑体一体成型。
11.根据权利要求4所述的干法刻蚀设备中真空密封门的安装结构，其特征在于，所述 机械锁定装置与所述液压机构一体。
12.根据权利要求2所述的干法刻蚀设备中真空密封门的安装结构，其特征在于，所述 底座的底部设有滚轮和/或支撑脚。
13.根据权利要求3所述的干法刻蚀设备中真空密封门的安装结构，其特征在于，所述 液压机构上设置压力探测计。
14.根据权利要求4所述的干法刻蚀设备中真空密封门的安装结构，其特征在于，所述 机械锁定装置上设有探测传感器。
专利摘要本实用新型公开了一种干法刻蚀设备中真空密封门的安装结构，涉及刻蚀设备技术领域，解决了现有技术中真空密封门安装程序复杂的问题，本实用新型提供一种干法刻蚀设备中真空密封门的安装结构，包括升降机构，所述升降机构上设有支撑所述真空密封门的支撑体。本实用新型主要应用于干法刻蚀设备真空密封门的安装。
文档编号H01L21/3065GK201725781SQ20102017146
公开日2011年1月26日 申请日期2010年4月21日 优先权日2010年4月21日
发明者刘华锋, 肖红玺, 苏顺康, 陈正伟 申请人:北京京东方光电科技有限公司