提高电池制备良率的链式制绒设备的制作方法

文档序号:6977503阅读:191来源:国知局
专利名称:提高电池制备良率的链式制绒设备的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种提高电池制备良率的链式制绒设备。
背景技术
现有链式制绒设备运行滚轮的结构如图2所示,具有密集的滚环,降低了机碎 比率,但增大了热风刀处的硅片与运行滚轮的接触面积。一旦硅片运行过程中在任意酸 碱槽中发生叠片,叠片的硅片表面残留的酸碱药液很容易污染热风刀处的运行滚轮。同 时由于运行滚轮与硅片接触面积大,使得后续正常硅片极易被运行滚轮上的药液污染, 导致后续扩散工序中,硅片外观受到很大影响。此外,被药液污染后很难彻底清理干 净。

实用新型内容本实用新型所要解决的技术问题是降低热风刀处运行滚轮与硅片的接触面 积,降低叠片在运行滚轮上残留药液的概率,减小后续扩散工序中外观问题片发生的概率。本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是一种提高电池制备良率的链 式制绒设备,包括风干槽,在风干槽内具有多组运行滚轮和多组上压滚轮构成的硅片输 送装置,运行滚轮采用O型圈运行滚轮,O型圈运行滚轮上具有多个成对的滚环,每对 滚环的位置对应一块硅片。每个滚环与硅片的接触面采用O型橡胶圈。本实用新型的有益效果是原运行滚轮与运行中的硅片之间的接触可视为线接 触,而O型圈运行滚轮与运行中的硅片之间的接触可视为两点接触,有效的减少了硅片 与运行滚轮的接触面积,同时降低了叠片间药液残留在运行滚轮上的概率。此外,如有 药液沾污情况发生,O型圈运行滚轮也较原有的滚轮更易清理。可使叠片后续的硅片进 入扩散工艺时,外观问题片发生概率有效降低80%以上。
以下结合附图和具体实施方式
对本实用新型作进一步详细的说明;

图1是风干槽内的结构示意图;图2是改进前运行滚轮的结构示意图;图3是改进后 运行滚轮的结构示意图;其中1.风干槽,2.运行滚轮,21.滚环,3.上压滚轮,4.硅片,5.热风刀。
具体实施方式
现在结合附图1、2和3对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化 的示意图,仅以示意方式说明本实用新型的基本结构,因此其仅显示与本实用新型有关的构成。如图1、2和3所示,该提高电池制备良率的链式制绒设备,包括风干槽1,在风 干槽1内具有多组运行滚轮2和多组上压滚轮3构成的硅片输送装置,运行滚轮2采用O 型圈运行滚轮,O型圈运行滚轮上具有多个成对的滚环21,每对滚环21的位置对应一块 硅片4。每个滚环21与硅片4的接触面采用O型橡胶圈。热风刀5利用加热的压缩空 气将经过的硅片的上下表面吹干。以原有RENA Intex机台为例,将热风刀5处的运行滚轮2改造成O型圈运行滚
轮即可。
权利要求1. 一种提高电池制备良率的链式制绒设备,包括风干槽(1),在风干槽(1)内具有多 组运行滚轮(2)和多组上压滚轮(3)构成的硅片输送装置,其特征是所述的运行滚轮 (2)采用O型圈运行滚轮,O型圈运行滚轮上具有多个成对的滚环(21),每对滚环(21) 的位置对应一块硅片(4)。
2.根据权利要求1所述的提高电池制备良率的链式制绒设备,其特征是每个滚环 (21)与硅片(4)的接触面采用O型橡胶圈。
专利摘要本实用新型涉及一种提高电池制备良率的链式制绒设备。它包括风干槽,在风干槽内具有多组运行滚轮和多组上压滚轮构成的硅片输送装置,运行滚轮采用O型圈运行滚轮,O型圈运行滚轮上具有多个成对的滚环,每对滚环的位置对应一块硅片。原运行滚轮与运行中的硅片之间的接触可视为线接触,而O型圈运行滚轮与运行中的硅片之间的接触可视为两点接触,有效的减少了硅片与运行滚轮的接触面积,同时降低了叠片间药液残留在运行滚轮上的概率。此外,如有药液沾污情况发生,O型圈运行滚轮也较原有的滚轮更易清理。可使叠片后续的硅片进入扩散工艺时,外观问题片发生概率有效降低80%以上。
文档编号H01L31/18GK201796936SQ20102054840
公开日2011年4月13日 申请日期2010年9月29日 优先权日2010年9月29日
发明者朱信俊 申请人:常州天合光能有限公司
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