专利名称：一种石英舟上下料工具的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及半导体加工工具技术领域，更具体地说，涉及一种石英舟上下料工具。
背景技术：
太阳能是人类取之不尽用之不竭的可再生能源.也是清洁能源，不产生任何的环 境污染。在太阳能的有效利用当中；大阳能光电利用是近些年来发展最快，最具活力的研 究领域，是其中最受瞩目的项目之一。为此，人们研制和开发了太阳能电池。制作太阳能电 池主要是以半导体材料为基础，其工作原理是利用光电材料吸收光能后发生光电与转换反 应，其中最重要的太阳能电池为晶硅太阳电池。晶硅太阳能电池的制绒工艺就是把相对光滑的原材料硅片的表面通过酸或碱腐 蚀，使其凹凸不平，变得粗糙，形成漫反射，减少直射到硅片表面的太阳能的损失。在制绒工 序完成后要进行扩散工序，该工序的目的是形成PN结，在扩散工序中用于装载硅片进行扩 散的舟状承装物称为石英舟。用于石英舟上下料的转移专用工具称为舟叉。采用舟叉进行下料时，因扩散后石英舟温度较高，需无污染且耐高温的材料。故应 用于手动石英舟上下料的传统舟叉上的舟套均采用石英材料制成。传统舟叉由于采用钢制 内芯外包石英材料的筒套结构，成本较高，而且容易因轻微碰撞而损坏，且使用过程中产生 的微裂纹存在安全隐患。但是，目前扩散工艺已经改良，即在扩散工艺中增加了冷却步骤，因此石英筒套的 耐高温性能发挥不了作用，但是其成本高和易碎的缺点却更加突显。
实用新型内容有鉴于此，本实用新型提供了一种石英舟上下料工具，以降低石英舟上下料工具 的生产成本。为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案一种石英舟上下料工具，包括舟叉本体和套设在所述舟叉本体上的塑料舟套。优选的，在上述石英舟上下料工具中，还包括套设在所述舟叉本体一端的手柄。优选的，在上述石英舟上下料工具中，所述手柄的横截面为圆形，且其直径由两端 向中间逐渐减小。 优选的，在上述石英舟上下料工具中，所述舟叉本体为“Z”字形结构。 从上述的技术方案可以看出，和现有技术相比，本实用新型实施例通过在舟叉本 体上套设塑料舟套，在保证不引入沾污杂质的前提下，最大限度地降低了生产成本，且减少 了因石英舟叉使用过程中产生的微裂纹存在的操作安全隐患问题。由于扩散后石英舟还需 经过冷却处理，所以塑料舟套可以满足使用要求。
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例 或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅 是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提 下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本实用新型实施例提供的石英舟上下料工具的结构示意图；图2为本实用新型实施例提供的舟叉的剖视图；图3为本实用新型另一实施例提供的石英舟上下料工具的结构示意图。
具体实施方式
本实用新型公开了一种石英舟上下料工具，以降低石英舟上下料工具的生产成 本。下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行 清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的 实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下 所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。请参阅图1和图2，图1为本实用新型实施例提供的石英舟上下料工具的结构示意 图，图2为本实用新型实施例提供的舟叉的剖视图。本实用新型提供的石英舟上下料工具，包括舟叉本体1和套设在所述舟叉本体1 上的塑料舟套2。本实用新型通过塑料舟套2替换掉现有的石英舟套，因为扩散后石英舟还 需经过冷却处理，石英舟的温度会减低，塑料舟套2可以满足使用要求。本实用新型通过将 塑料舟套2替换掉现有的石英舟套，在保证不引入沾污杂质的前提下，最大限度地降低了 生产成本，且减少了因石英舟叉使用过程中产生的微裂纹存在的操作安全隐患问题。 为了便于操作，本实用新型还可以包括套设在所述舟叉本体1 一端的手柄3。手柄 3的外形以便于人手操握为准，例如手柄3的横截面可以为圆形，且其直径由两端向中间逐 渐减小。还可以在手柄3的外表面上加工出摩擦横纹，以防止操作过程中打滑，造成安全隐患。舟叉本体1为可以“Ζ”字形结构，即舟叉本体1的前端(和手柄3相对的一端) 为和石英舟接触的部位，后端和手柄3相连，中间位过渡段。舟叉本体1的前端和后端不在 同以直线上，因此过渡段可以作为石英舟的限位，进一步保证转载石英舟时的稳定性，提高 转载安全系数。本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他 实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新 型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定 义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因 此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理 和新颖特点相一致的最宽的范围。
权利要求1.一种石英舟上下料工具，其特征在于，包括舟叉本体(1)和套设在所述舟叉本体(1) 上的塑料舟套O)。
2.如权利要求1所述的石英舟上下料工具，其特征在于，还包括套设在所述舟叉本体 (1) 一端的手柄⑶。
3.如权利要求2所述的石英舟上下料工具，其特征在于，所述手柄(3)的横截面为圆 形，且其直径由两端向中间逐渐减小。
4.如权利要求1-3任一项所述的石英舟上下料工具，其特征在于，所述舟叉本体(1)为 “Z”字形结构。
专利摘要本实用新型公开了一种石英舟上下料工具，包括舟叉本体(1)和套设在所述舟叉本体(1)上的塑料舟套(2)。本实用新型实施例通过在舟叉本体上套设塑料舟套，在保证不引入沾污杂质的前提下，最大限度地降低了生产成本，且减少了因石英舟叉使用过程中产生的微裂纹存在的操作安全隐患问题。由于扩散后石英舟还需经过冷却处理，所以塑料舟套可以满足使用要求。
文档编号H01L21/00GK201853685SQ201020603240
公开日2011年6月1日 申请日期2010年11月11日 优先权日2010年11月11日
发明者何磊, 杨征, 汪琴霞, 王竞争, 钱晓芳 申请人:江阴浚鑫科技有限公司