专利名称：发光装置的制造方法
技术领域：
本发明涉及发光装置的制造方法。
背景技术：
在显示装置中，虽然有液晶显示装置和等离子体显示装置等各种的显示装置，但其中之一是作为像素的光源使用了有机EL (ElectroLuminescence电致发光)元件的显示 装置。就有机EL元件而言，在显示装置中基板上被排列地配置。在基板上，用于划分有机EL元件的多个隔壁呈条纹状配置。換言之，在基板上，多个隔壁所对应的多个凹部被设置成条纹状。多个有机EL元件被分别设置在多个凹部、且在各凹部中以沿着凹部延长的方向(以下，将“凹部的延长方向”称为行方向，与该行方向垂直的方向例如称为列方向。)空出规定的间隔的方式被配置。在彩色显示装置中，为了表现期望的顔色，设置有发出红色、緑色和蓝色之中任意一种光的3种有机EL元件。例如，使发出红色、緑色或蓝色的多个有机EL元件配置于各凹部的以下的(I) (III)这3行反复、且以该顺序沿列方向配置，由此实现彩色显示装置。(I)发出红色光的多个有机EL元件空出规定的间隔所配置的行。(II)发出绿色光的多个有机EL元件空出规定的间隔所配置的行。(III)发出蓝色光的多个有机EL元件空出规定的间隔所配置的行。有机EL元件其构成为，包括一对电极、和在该电极间所设置的多个有机层。在有机EL元件中，作为多个有机层而至少设置有ー层发光层。就上述3种有机EL元件而言，能够根据元件种类形成发出红色、緑色和蓝色的任意一种光的发光层而得以制作。这时，需要根据有机EL元件的种类，在规定的行(凹部)形成发出规定的颜色的发光层。例如形成发出红色光的发光层时，将含有构成发出红色光的发光层的材料的墨水，供给到应该形成该发光层的行(凹部)，再使之固化，由此能够形成发出红色光的发光层。发出蓝色或緑色光的发光层的形成方法也一祥。如此将3种发光层分别形成于规定的行(凹部)时，需要对应各种发光层被形成的行(凹部)，分别喷涂各种墨水。另ー方面，就对发光色不怎么造成影响的层、例如空穴注入层和空穴传输层等而言，与有机EL元件的发光色无关，能够作为全部3种有机EL元件通用的层(以下称为通用层。)进行设置。形成这样的通用层时，不需要根据规定的行(凹部)分别喷涂含有构成通用层的材料的墨水。因此通过如旋涂法这样在基板的整个面涂布墨水，也能够使全部的有机EL元件的通用层一次形成(例如參照专利文献I)。先行技术文献专利文献专利文献I :特开2009-54522号公报若在形成通用层时在基板整个面涂布墨水，则墨水不仅会涂布在隔壁间(凹部)，而且会被涂布到隔壁上。隔壁上所涂布的墨水随着干燥其大部分流入凹部，但其一部分也会残留在隔壁上。因此在未计划形成的隔壁上也会形成通用层。若通用层被形成到未计划的部位，则在隔壁间(凹部)所形成的通用层的膜厚比所计划的膜厚薄，另外由于在隔壁上所形成的通用层，导致在未计划的部位发生电导通，而使泄漏电流产生这样的问题存在。因此为了解决上述问题，替代在基板整个面涂布墨水的方法，利用喷嘴涂布法，只向相邻的隔壁间(凹部)供给墨水，只在隔壁间(凹部)形成通用层，但对该方法的研究结果确认到在这一方法中产生以下的问题。在喷嘴涂布法中，按所谓的ー笔画方式向全部的行(凹部)供给墨水。即从基板的上方所配置的喷嘴吐出液柱状的墨水，在此状态下，一边使喷嘴沿着行方向来回移动，ー边在喷嘴来回移动的折返时，使基板沿列方向移动一行的量，由此向全部的行(凹部)供给墨水。喷嘴不仅在形成有机EL元件的区域、而且至超过该区域之处为止沿行方向来回移动。隔壁在有机EL元件形成的区域被设置、但在超过该区域之处未被设置，因此经由喷嘴涂布 法就会使墨水涂布至隔壁未被设置的区域。在隔壁设置的区域所涂布的墨水，其移动受凹部限制，但在未设隔壁的区域所涂布的墨水、即涂布于行方向的端部的墨水，因为无法限制其移动，所以在基板上润湿扩展而与相邻行的墨水相连，进而在列方向相连。供给到隔壁间(凹部)的墨水，在干燥时被在列方向相连的墨水所吸引，会一部分移动。作为其结果，在行方向的端部所形成的有机EL元件的通用层的膜厚比其他的有机EL元件的通用层薄。另外，就墨水而言，是在相邻行不溢出的程度，但因为大量供给，所以供给到规定的行的墨水与供给到相邻行的墨水会在隔壁上连接，作为结果就在隔壁上形成通用层。这种情况下，会产生与全面涂布墨水的情况相同的问题。
发明内容
因此，本发明的目的在于，提供一种具备多个有机EL元件的发光装置的制造方法，其中，使用液柱状涂布墨水的方法，能够遍及多个有机EL元件而形成膜厚相等的通用层。本发明涉及具有多个有机EL元件的发光装置的制造方法。在本发明的制造方法中，在平面上沿规定的列方向空出规定的间隔，设置有与所述列方向的方向不同的行方向上延长的多个行，且所述多个有机EL元件在各所述行上沿所述行方向空出规定的间隔而被设置。所述多个有机EL元件其构成是分别包括一对电极、和在该电极间所设置且在各有机EL元件共通设置的通用层，在不同行所形成的所述有机EL元件的所述通用层的膜厚相
坐寸ο所述具有多个有机EL元件的发光装置的制造方法包括如下エ序将ー对电极之中的一方电极形成的エ序；将一对电极之中的另一方电极形成的エ序；ー边将含有构成通用层的材料的液柱状的墨水供给到所述规定的行上，一边使墨水的供给位置沿所述行方向移动，由此涂布成膜规定的行的通用层，形成所述通用层的エ序。在形成所述通用层的エ序中，对于未形成通用层的行，将在所述列方向空出m行(标记“m”表示自然数。)的间隔而涂布成膜通用层的程序进行(m+1)次。在本发明的所述制造方法中，为了使在不同行所形成的所述通用层的膜厚相等，将行方向的单位长度的墨水的供给量按程序进行调整也可。在本发明的所述制造方法中，行方向的单位长度的墨水的供给量，也可以后面的程序这一方比前面的程序減少。在本发明的所述制造方法中，墨水的供给量的调整，也可以通过使墨水供给的位置沿所述行方向移动时的速度调整来进行。在本发明的所述制造方法中，墨水的供给量的调整，也可以通过使墨水的单位时间的供给量调整来进行。在本发明的所述制造方法中，也可以所述m为I。另外本发明涉及多条薄膜的制造方法，在所述制造方法中，在规定的基板上沿规定的列方向空出规定的间隔，设定与所述列方向的方向不同的行方向上延长的多个行，所述多条薄膜被在各行分别形成、且彼此膜厚相等。所述多条薄膜的制造方法包括如下エ序 ー边将含有构成薄膜的材料的液柱状的墨水供给到所述规定的行上，一边将供给墨水的位置沿所述行方向移动，由此涂布形成规定的行的薄膜，形成所述薄膜的エ序。在形成所述薄膜的エ序中，对于未形成薄膜的行，将沿所述列方向空出m行(标记“m”表示自然数。)间隔而涂布形成薄膜的程序进行(m+1)次。在本发明中，沿列方向空出m行的间隔而涂布成膜通用层。这种情况下，与不在列方向空出间隔而涂布成膜通用层的情况相比，涂布墨水的列方向的间隔扩大，因此能够防止在行方向的端部有墨水在列方向上相连。另外，因为不在相邻的行连续涂布墨水，所以能够防止供给到规定的行的墨水与供给到相邻行的墨水在隔壁上连接。由此，使用液柱状涂布墨水的方法，能够形成遍及多个有机EL元件而膜厚相等的通用层。
图I是模式化地表示本实施方式的发光装置I的俯视图。图2是模式化地表示发光装置I的剖面图。图3是模式化地表示进行第一次程序之后的状态的俯视图。图4是模式化地表示进行第一次程序之后的状态的剖面图。图5是模式化地表示进行第二次程序之后的状态的俯视图。图6是模式化地表示进行第二次程序之后的状态的剖面图。
具体实施例方式在本发明的ー实施方式的发光装置的制造方法中，在平面上沿规定的列方向空出规定的间隔，设定与所述列方向的方向不同的行方向上延长的多个行。在该制造方法中，在各所述行上沿所述行方向空出规定的间隔所设置的多个有机EL元件的各自，分别按照包含一对电极、和通用层的方式构成，该通用层设置在该电极间且以在各有机EL元件共通的方式设置。使在不同行所形成的所述有机EL元件的所述通用层的膜厚相等。所述具有多个有机EL元件的发光装置的制造方法，包括如下エ序将ー对电极之中的一方电极形成的エ序；将一对电极之中的另一方电极形成的エ序；ー边将含有构成通用层的材料的液柱状的墨水供给到所述规定的行上，一边将墨水被供给的位置沿所述行方向移动，而使规定的行的通用层涂布成膜，使所述通用层形成的エ序。在该通用层形成的エ序中，对于未形成通用层的行，使沿着所述列方向空出m行(标记“m”表示自然数。)的间隔而涂布成膜通用层的程序进行(m+1)次。发光装置被利用为例如显示装置。在显示装置中，主要有有源矩阵(activematrix)驱动型的装置、和无源矩阵(passive matrix)驱动型的装置,但在本实施方式中，作为其一例对于有源矩阵驱动型的显示装置进行说明。<发光装置的构成>
首先，对发光装置的构成进行说明。图I是模式化地表示本实施方式的发光装置I的俯视图。图2是模式化地表示发光装置I的剖面图。发光装置I其构成为，包括如下支承基板2 ;在该支承基板2上所形成的多个有机EL元件11 ;为了划分多个有机EL元件11所设置的隔壁3 ;对于各有机EL元件11进行电绝缘的绝缘膜4。在本实施方式中，多个有机EL元件11分别在支承基板2上以矩阵状排列地配置。即多个有机EL元件11按照分别沿行方向X空出规定的间隔、且沿列方向Y空出规定的间隔的方式配置。在本实施方式中，行方向X和列方向Y相互垂直、且各自与支承基板2的厚度方向Z垂直。在本实施方式中，沿行方向X延长的多个隔壁3被设置在支承基板2上。该隔壁3以在俯视下所谓的条纹状设置。各隔壁3被分别设置在列方向Y上相邻的有机EL元件11之间。換言之，多个有机EL元件11被设置在列方向Y上相邻的隔壁3之间、且在各隔壁3间以沿行方向X空出规定的间隔的方式配置。以下，将在列方向Y上相邻的成对的隔壁和支承基板所规定的凹陷称为凹部5，多个凹部5分别与规定的行对应。在本实施方式中，在支承基板2和隔壁3之间，设置有对于各有机EL元件11进行电绝缘的格子状的绝缘膜4。该绝缘膜4其构成为，沿行方向X延伸的多个板状的构件、和沿列方向Y延伸的多个板状的构件被一体地形成。格子状的绝缘膜4的开ロ 6，在俯视下与有机EL元件11重叠的位置被形成。绝缘膜4的开ロ 6，被形成为在俯视下例如卵圆形(ovalgold)、近圆形、近楕圆形和近矩形等。所述的隔壁3，被设置在构成绝缘膜4的一部分的且沿行方向X延伸的构件上。该绝缘膜4按照其目的且根据需要而设。例如绝缘膜4为了确保行方向X的有机EL元件的电绝缘而设。就有机EL元件11而言，按照包括一对电极、和在该电极间所设置的ー层以上的发光层的方式构成。在本实施方式中，各有机EL元件11所共通设置的通用层被设置在ー对电极间。在该通用层中，有例如与发光层不同的有机层、含有无机物和有机物的层、以及无机层等。具体来说，作为通用层设置有所谓的空穴注入层、空穴传输层、电子阻挡层、空穴阻挡层、电子传输层和电子注入层等。在图2中，作为一例示出了在一对电极12、13间设置有ー层通用层14和ー层的发光层15的有机EL兀件11。如后述,例如有机EL兀件11其构成为，一对电极12、13之中一方的电极12所相当的阳极，通用层14所相当的空穴注入层、发光层15，一对电极12、13之中另一方的电极13所相当的阴极，被从支承基板2侧起顺次层叠。以下，对于比发光层15更靠一方的电极12配置通用层14的这ー构成的有机EL元件进行说明，但本发明并不限于这ー构成，也可以比发光层15更靠另一方的电极13配置通用层14,另外，也可以相对于发光层15在一方的电极12侧和另一方的电极13侧这两方配置通用层14。就一对电极12、13而言，由阳极和阴极构成。阳极和阴极之中的一方电极,作为一对电极12、13之中的一方电极12而靠近支承基板2配置，阳极和阴极之中的另一方电极，作为ー对电极12、13之中的另一方的电极13，比一方的电极12更远离支承基板2配置。本实施方式的发光装置1，其是有源矩阵型的装置，因此一方的电极12按有机EL元件11単独地设置。例如一方的电极12为板状、且被形成为在俯视下大致矩形。一方的电极12按照对应于设置有各有机EL元件的位置的方式以矩阵状被设置在支承基板2上、并且分别沿行方向X空出规定的间隔且沿列方向Y空出规定的间隔而配置。即，就一方的 电极12而言，在俯视下，被设置在列方向Y上相邻的隔壁3之间，在各隔壁3间按照沿行方向X空出规定的间隔的方式配置。前述以格子状所设置的绝缘膜4，在俯视下，被主要形成在除去一方的电极12的区域、且其一部分覆盖一方的电极12的周边而形成。換言之，在绝缘膜4中，在一方的电极12上形成有开ロ 6。经由该开ロ 6，一方的电极12的表面从绝缘膜4露出。前述的多个隔壁3，被设置在构成绝缘膜4的一部分的沿行方向X延伸的多个板状的构件上。通用层14在隔壁3所夹住的区域中沿行方向X延伸地配置。即，通用层14在由列方向Y上相邻的隔壁3所规定的凹部5中以板状形成。通用层14被分别形成在多个行，但在本实施方式中，以全部的行的膜厚相等的方式形成。也就是，按照使不同的行所形成的所述通用层的膜厚相等的方式形成通用层14。就发光层15而言，与通用层14 一祥，在隔壁3所夹的区域中沿行方向X延伸地配置。即，发光层15在由列方向Y上相邻的隔壁3所规定的凹部5中以板状形成。在本实施方式中，发光层15在通用层14上层叠设置。彩色显示装置的情况下，如上述，需要将例如发出红色、緑色和蓝色任意一种光的3种的有机EL元件设置在支承基板2上。具体来说，(I)发出红色光的多个有机EL元件空出规定的间隔而配置的行、(II)发出绿色光的多个有机EL元件空出规定的间隔而配置的行、(III)发出蓝色光的多个有机EL元件空出规定的间隔而配置的行，按此顺序沿列方向Y重复配置，由此能够实现彩色显示装置用的发光装置。在本实施方式中，通过使发光层的种类不同，制作发出红色、緑色和蓝色任意ー种光的3种有机EL元件。因此，⑴设置有发出红色光的发光层的行、(ii)设置有发出绿色光的发光层的行、(iii)设置有发出蓝色光的发光层的行这三种行，接此顺序沿列方向Y重复配置。即发出红色光的发光层、发出緑色光的发光层和发出蓝色光的发光层，分别沿着列方向Y空出2行的间隔作为沿行方向X延长的板状的层被依次层叠在通用层上。一对电极12、13之中的另一方的电极13被设置在发光层15上。在本实施方式中，另一方的电极13跨过多个有机EL元件而连续形成，作为在多个有机EL元件11共通的电极被设置。即另一方的电极13不仅在发光层15上形成、也在隔壁3上形成，发光层15上的电极和隔壁3上的电极连接而被全面地形成。〈发光装置的制造方法〉接着对于显示装置的制造方法进行说明。首先，准备支承基板2。有源矩阵型的显示装置的情况下，作为其支承基板2，能够使用预先形成有个别驱动多个有机EL元件11的驱动电路的基板。例如能够使用TFT (薄膜晶体管Thin Film Transistor)基板作为支承基板。(将ー对电极之中一方的电极形成于支承基板上的エ序)
其次，在所准备的支承基板2上，将多个一方的电极12形成为矩阵状。一方的电极12其形成方式为，例如在支承基板2上全面地形成导电性薄膜，运用光刻法将该导电性薄膜图案化而成为矩阵状。另外，例如也可以将在形成一方的电极12的图案所对应的部位形成有开ロ的掩膜配置在支承基板2上，经由该掩膜将导电性材料选择性地堆积在支承基板2上的规定的部位，由此将一方的电极12图案化形成。关于一方的电极12的材料后述。在本エ序中，也可以准备预先形成有一方的电极12的支承基板。接着，在本实施方式中，在支承基板2上以格子状形成绝缘膜4。绝缘膜4由有机物或无机物构成。作为构成绝缘膜4的有机物，能够列举丙烯酸树脂、酚醛树脂和聚酰亚胺树脂等的树脂。另外作为构成绝缘膜的无机物，能够列举Si02、SiN等。在由有机物构成的绝缘膜的形成之际，首先，全面地涂布例如正片型或负片型的感光性树脂，使规定的部位曝光、显影。通过使该所曝光、显影后的感光性树脂固化，而使在规定的部位有开ロ6的绝缘膜4形成。作为感光性树脂能够使用光致抗蚀剂。在由无机物 构成的绝缘膜的形成之际，通过等离子体CVD法和溅射法等全面地形成由无机物构成的薄膜。接着，在规定的部位形成开ロ 6，由此形成绝缘膜4。开ロ 6例如通过光刻法形成。通过形成该开ロ 6,—方的电极12的表面露出。接着在本实施方式中，将多个条纹状的隔壁3形成在绝缘膜4上。就隔壁3而言，使用例如作为绝缘膜的材料所例示的材料，与形成绝缘膜4的方法一祥，而形成为条纹状。隔壁3和绝缘膜4的形状及其配置，根据像素数和分辨率等的显示装置的规格和制造的容易程度等而被适宜设定。例如隔壁3的列方向Y的厚度LI为10 μ m 100 μ m左右，隔壁3的高度L2为O. 5 μ m 5 μ m左右，列方向Y上相邻的隔壁3之间的间隔L3、即凹部5的列方向Y的宽度L3为50 μ m 300 μ m左右。绝缘膜4所形成的开ロ 6的行方向X和列方向Y的宽度分别为50μπι 300μπι左右。(形成通用层的エ序)接着，在本实施方式中，在一方的电极12上形成通用层14。在本エ序中，ー边将含有构成通用层14的材料的液柱状的墨水供给到所述规定的行上，一边使墨水的供给位置沿所述行方向移动，由此使规定的行的通用层涂布成膜，来形成所述通用层14。S卩，通过所谓的喷嘴涂布法形成通用层14。在本实施方式中，按照含有例如构成空穴注入层的材料的墨水通过喷嘴涂布法使在不同行所形成的所述通用层14的膜厚相等的方式，形成通用层14。更具体地说，就是对于未形成通用层14的行，将沿所述列方向空出m行(标记“m”表示自然数。)的间隔而涂布成膜通用层14的程序进行(m+1)次，由此形成各行的通用层14。只要m是自然数，则不限定为“1”，以下对于m = I的情况ー边參照图3、4 ー边进行更具体的说明。m = I时，将空出I行的间隔而涂布成膜通用层的程序进行两次，由此在全部的行形成通用层14。換言之。就是区别为偶数行和奇数行来涂布成膜通用层14。在喷嘴涂布法中，以所谓的ー笔画方式向各行(凹部)供给墨水。在本实施方式中，因为Hl= 1，所以空出I行的间隔，以所谓的ー笔画方式，向各行(凹部)供给墨水，对偶数行、奇数行分成两次程序供给墨水。即从支承基板2的上方所配置的喷嘴吐出液柱状的墨水，在此状态下，一边使喷嘴沿行方向X来回移动，一边在喷嘴来回移动的折返吋，使基板沿列方向移动2行的量，由此空出I行的间隔来供给墨水。具体来说，以从喷嘴吐出液柱状的墨水的状态，通过将如下(I) (4)的操作按此顺序反复(I)在规定的行上，从行方向X的一端朝向另一端移动喷嘴(去路)；(2)使支承基板2沿列方向Y移动2行的量(折返)；(3)在规定的行上，从行方向X的另一端朝向一端移动喷嘴(回路)；(4)使支承基板2沿列方向Y移动2行的量(折返)，由此 空出I行的间隔来供给墨水。在第一次的程序中，在图I所示的基板上，对偶数行涂布墨水。图3、4模式化地表示进行第一次程序之后的状态的图。在图3中对于涂布有墨水的区域施加影线。如图4所示，在与行方向X垂直的平面切割的涂布液的截面为圆顶状，但在相邻行(奇数行)没有涂布墨水，因此在隔壁3上，供给到偶数行的墨水不会与相邻行(奇数行)的墨水相连。另外若与在每一行涂布墨水的情况相比，则涂布墨水的列方向Y的间隔扩大，因此能够在行方向的端部防止墨水相连。在第二次的程序中，在图I所示的基板上，对奇数行涂布墨水。在第二次的程序中，对于未形成通用层14的行，与第一次的程序同样，以所谓的ー笔画方式向各行(凹部)供给墨水。即，对于在第一次的程序中没有涂布的奇数行供给墨水。图5、6是模式化地表示进行第二次程序之后的状态的图。如图5所示，将空出I行的间隔而涂布成膜通用层14的程序进行两次，由此对全部的行涂布墨水。在图5中，对于第二次的程序中所涂布的墨水也施加影线，在第一次的程序中涂布的墨水和在第二次的程序中涂布的墨水，使影线的斜线的傾斜度不同。如图6所示，在进行第二次的程序时，在第一次的程序中涂布的墨水撤退到凹部5内。这是由于墨水会随着时间流逝而其溶剂蒸发使一部分干燥从而体积收缩、且涂布到隔壁上的墨水随着体积的收缩移动到凹部5内。如此在进行第二次的程序时，在第一次的程序中涂布的墨水不会存在于隔壁3上，因此，即使在第二次的程序有墨水涂布到隔壁上，也能够避免该隔壁3上的墨水和相邻行的墨水连接。如果像这样不是与相邻行的墨水连接而是分离，则在隔壁3上所涂布的墨水随着溶剂的蒸发而收缩，不会被相邻的墨水吸引，而是被收纳到隔壁3间的凹陷中，因此能够防止在隔壁3上形成中间层。另外在图5中可见，与不空出间隔而按每一行供给墨水的情况一祥，由第一次的程序和第二次的程序所涂布的墨水，在行方向X的两端部在列方向接近。但是如前述，在第二次的程序中涂布涂布液时，在第一次的程序中所涂布的墨水的一部分干燥，因此难以受到在第一次的程序中在行方向X的端部所涂布的墨水的影响。因此在第二次的程序中，通过空出I行的间隔而涂布墨水，与第一次的程序一祥，涂布墨水的列方向Y的间隔扩大，因此能够防止在行方向X的端部墨水相连。就通用层14而言，能够通过使供给到隔壁3间的墨水固化而形成。薄膜的固化例如能够通过除去溶剂来进行。溶剂的除去能够通过自然干燥、加热干燥和真空干燥等进行。另外，使用含有通过施加光和热等能量而聚合的材料的墨水时，通过在印刷墨水之后施加光和热等能量，也可以使薄膜固化。如上，通过在列方向上空出m行的间隔而涂布成膜通用层14，从而涂布墨水时，能够防止在行方向的端部发生墨水连接、和在隔壁3上夹隔该隔壁3而供给到相邻行的墨水相连，由此，能够形成遍及多个行而膜厚相等的通用层14。在本实施方式中，膜厚意思是在一方的电极12上最薄的部位的膜厚。所谓膜厚相等，意思是在使用发光装置时，察觉不到由于膜厚的差异而产生的亮度的差别这ー程度的相等。具体来说意思就是，若以全部行的膜厚的算木平均为基准，各通用层的膜厚收纳在(膜厚的算木平均)X0.8至(膜厚的算木平均)XL 2的范围内。在本实施方式中对于m = I的情况进行了说明，但如前述，m并不限于1，只要是自然数，也可以在2以上。如此m为2以上，通过沿列方向空出m行的间隔来供给墨水，与m为I的情况同样，也能够防止在方向的端部发生墨水相连、和在隔壁上与供给到相邻行的墨水相连，由此，能够形成遍及多个行而膜厚相等的通用层14。虽然m是自然数即可，但优选其数值小的一方，最优选为I。这是由干，为了对全部的行涂布墨水而需要(m+1)次的程序，但是m的数值越小，程序的数量越少，用于形成全部的通用层所需要的时间越短。在本实施方式中，对于使用I个喷嘴涂布墨水的エ序进行了说明，但并不限于I个，也可以使用多个喷嘴来涂布墨水。这种情况下，沿列方向空出m行的间隔而配置多个喷嘴即可，在喷嘴的沿行方向X的来回移动的折返时，沿列方向空出m行的间隔涂布墨水，如此对应喷嘴的个数而使支承基板2沿列方向Y移动规定的距离即可。 在本实施方式中，以喷嘴涂布法形成ー层通用层14，但在I个有机EL元件上设置有多个通用层时，通过上述的喷嘴涂布法形成多个通用层之中的至少ー层通用层即可，另外也可以通过上述的喷嘴涂布法形成多个通用层。如上，通过沿列方向空出m行的间隔而涂布成膜通用层14，能够形成遍及多个行而膜厚相等的通用层14。但是，如以下的实验例所示，在全部的程序中，即使供给同等量的墨水，就通用层14的膜厚而言，虽然在相等的范围内但按程序也会稍有不同。即m= I吋，由第一次的程序形成的通用层14的膜厚、和在第二次程序中形成的通用层14的膜厚，虽然在相等的范围内但是会稍有不同。此各程序的膜厚的差异被认为是由于墨水干燥的气氛按程序会有所不同。例如在第二次程序中，是在第一次所供给的墨水干燥的气氛中涂布墨水，在这样的气氛中干燥。若与第一次所供给的墨水相比，气氛中的溶剂气化的气体的浓度高，因此第二次所供给的墨水难以干燥，有干燥费时的倾向。随着墨水干燥，沿着隔壁3的表面其体积减少，但认为根据干燥的速度，最終形成的通用层14的形状不同，会成为圆顶状和研钵状。作为其结果，认为干燥速度会影响膜厚。(实验例)在作为一方的电极12形成有由ITO构成的薄膜、作为格子状的绝缘膜4形成有由SiO2构成的绝缘膜、和作为条纹状的隔壁3形成有由聚酰亚胺树脂构成的隔壁的基板上，作为通用层14而形成由聚(3，4_亚こニ氧基噻吩)/聚(苯こ烯磺酸)(PED0T/PSS构成的空穴注入层。设定m= I而空出I行的间隔，依次形成通用层，分成两次程序在全部的行形成通用层。使用在水中溶解有35重量^^々PEDOT/PSS的墨水而形成空穴注入层。在各程序中，分别对偶数行、奇数行涂布等量的墨水。从形成的多个行的通用层之中，选择列方向Y上连续的7行，测量这7行的通用层的膜厚。在測定中使用触针式膜厚计(KLA-Tencor社制，P-16+)。其结果示出在表I中。在表I中，偶数行表示由第一次的程序形成的通用层的膜厚，奇数行表示由第二次的程序形成的通用层的膜厚。还有，确认到每隔一行涂布墨水时，不会形成在隔壁上相邻的行连接的通用层，另外在行方向X的端部墨水在列方向Y上相连不存在。表I
权利要求
1.一种发光装置的制造方法，是具有如下多个有机EL元件的发光装置的制造方法，即在平面上沿规定的列方向空出规定的间隔、设定与所述列方向的方向不同的行方向上延长的多个行，且在各所述行上沿所述行方向空出规定的间隔而设置的多个有机EL元件，各有机EL元件包括一对电极、和在该电极间所设置并在各有机EL元件共通设置的通用层，并且在不同行所形成的所述有机EL元件的所述通用层的膜厚相等，其中，该制造方法包括如下工序 将一对电极之中的一方的电极形成的工序； 将一对电极之中的另一方的电极形成的工序； 一边将含有构成通用层的材料的液柱状的墨水供给到所述规定的行上，一边使墨水供给的位置沿所述行方向移动，从而涂布成膜规定的行的通用层，形成所述通用层的工序， 在形成所述通用层的工序中，对于未形成通用层的行，将沿所述列方向空出m行的间隔而涂布成膜通用层的程序进行(m+1)次，且标记“m”表示自然数。
2.根据权利要求I所述的发光装置的制造方法，其中，为了使在不同行所形成的所述通用层的膜厚相等，将行方向的单位长度的墨水的供给量按所述程序进行调整。
3.根据权利要求2所述的发光装置的制造方法，其中，行方向的单位长度的墨水的供给量，后面的程序一方比前面的程序减少。
4.根据权利要求2或3所述的发光装置的制造方法，其中，墨水的供给量的调整，通过使墨水供给的位置沿着所述行方向移动时的速度调整来进行。
5.根据权利要求2或3所述的发光装置的制造方法，其中，墨水的供给量的调整，通过使墨水的单位时间的供给量调整来进行。
6.根据权利要求I 5中任一项所述的所述发光装置的制造方法，其中，m为I。
7.一种薄膜的制造方法，是在规定的基板上沿规定的列方向空出规定的间隔、设定与所述列方向的方向不同的行方向上延长的多个行，且在各行被分别形成并且膜厚彼此相等的多条薄膜的制造方法，其中，该制造方法包括如下工序 一边将含有构成薄膜的材料的液柱状的墨水供给到所述规定的行上，一边使供给墨水的位置沿所述行方向移动，从而涂布成膜规定的行的薄膜，形成所述薄膜的工序； 在形成所述薄膜的工序中，对于未形成薄膜的行，将沿着所述列方向空出m行间隔而涂布成膜薄膜的程序进行(m+1)次，并且标记“m”表示自然数。
全文摘要
一种具有多个有机EL元件的发光装置的制造方法，其中，在平面上沿规定的列方向空出规定的间隔，设定与所述列方向的方向不同的行方向上延长的多个行，并且所述多个有机EL元件在各所述行上沿所述行方向空出规定的间隔而被设置。所述多个有机EL元件各自含有一对电极、和在该电极间所设置并且在各有机EL元件共通设置的通用层。该发光装置的制造方法包括形成所述通用层的工序，在形成通用层的工序中，对于未形成通用层的行，将沿所述列方向空出m行的间隔而涂布成膜通用层的程序进行(m+1)次。
文档编号H01L51/50GK102668705SQ20108005296
公开日2012年9月12日 申请日期2010年11月18日 优先权日2009年11月24日
发明者合田匡志, 赤対真人 申请人:住友化学株式会社