专利名称：一种适用于铜互连的Ru/WHfN抗铜扩散阻挡层及其制备方法
技术领域：
本发明属于半导体集成电路制造技术领域，具体涉及一种适用于铜互连的抗铜扩 散阻挡层及其制备方法。
背景技术：
在现代集成电路的铜互连技术中，有效的阻挡层必须既能阻止铜扩散进入介质 层，又能改善阻挡层与介质层之间的粘附性[1]。众所周知，在0. 13微米的技术节点中，Ta/ TaN双层阻挡层已经被成功应用于工业铜互连技术中。然而，随着集成电路最小特征尺寸逐 渐缩小到45/32纳米或者更小，Ta/TaN双层阻挡层将面临着很多的问题，比如阻挡层和铜 种籽层的等比例缩小将面临严重困难。在各种扩散阻挡层材料中，Ru是最有前途的一种材 料[2]，这是因为Ru是一种惰性金属，其电阻率比Ta或TaN低很多，而且Ru与铜的粘附性 比较好。然而，Ru单层阻挡层不是非常有效的扩散阻挡层，比如15纳米的Ru薄膜在550°C 退火后就无法阻止铜的扩散，5纳米的Ru薄膜在300°C退火后就已经失效[3]。同时，Ru薄 膜在二氧化硅和低介电常数材料的表面粘附性也较差[4]。对于阻止铜扩散的Ru阻挡层，有两种方法可以改善它的性能一种方法是通过加 入诸如N、C、P、Ta、TaN或者WCN来改善Ru薄膜的微结构；另一种方法是以Ru薄膜为基础 的双层阻挡层，如Ru/TaN、Ru/WN、Ru/TaCN[5，6]。此外，由难熔金属的氮化物形成的三元化 合物阻挡层的性能通常优于难熔金属的氮化物形成的二元化合物阻挡层，这是由于前者的 非晶结构和重结晶温度较高[7]。参考文献.S. W. Russell, S. A. Rafalski, R. L. Spreitzer, J. Li, Μ. Moinpour, F. Moghadam, and Τ. L. Alford, Thin Solid Films, 262， 154 (1995).,D. Josell, D. Wheeler, C. Witt, and T. P. Moffat, Electrochem. Solid-State Lett., 6， C143 (2003).,Τ.N.Arunagiri,Y. Zhang, 0.Chyan, M. El-Bouanani, M. J. Kim, K. H.’ c.Τ.ffu,and L. C.Chen, App 1.Phys. Lett. , 86，083104 (2005).[4],R.J.Carter, C.S. HauRiege,,T. M. Lu, and S. E. Schulz, Materials,
Technology and Reliability for Advanced Interconnects and Low~k Dielectrics一 2004， p. 129， Materials Research Society, Warrendale, PA (2004).,S. H. Kim, H. T. Kim, S. S. Yim, D. J. Lee, K. S. Kim, H. M. Kim, K. B. Kim, and H. Sohn, J. Electrochem. Soc. , 155，H589 (2008)..W. Sari, T. K. Eom, C. W. Jeon, H. Sohn, and S. H. Kim, Electrochem. Solid-State Lett., 12， H248 (2009)..L. C. Leu, D. P. Norton, L. McElwee-ffhite, and T. J. Anderson, App 1. Phys. A, 94，691 (2009).
发明内容
本发明的目的在于提出一种用于铜互连结构的双层阻挡层，并提供该铜互连结构 的制备方法，以改善阻挡层的抗铜扩散的性能。本发明提出的适用于铜互连的抗铜扩散阻挡层，为钌/氮化钨铪(Ru/WHfN)双层 结构。本发明还提供使用上述钌/氮化钨铪(Ru/WHfN)双层阻挡层结构的铜互连的制备 方法，具体步骤包括
采用标准化学清洗硅晶片(100)； 形成第一层绝缘介质；
采用反应共溅射法在第一层绝缘介质上淀积WHfN薄膜； 在WHfN薄膜上磁控溅射淀积Ru薄膜，从而形成Ru/WHfN双层阻挡层； 在Ru/WHfN双层阻挡层上淀积一层金属铜(Cu)薄膜。进一步地，
1)所述的第一层绝缘介质为氧化硅，或者为SiOF或SiOCH等低介电常数薄膜。2)所述的反应共溅射法中，反应共溅射系统的基压小于4 6X 10_5帕。3)所述的反应共溅射法中，射频功率和直流功率分别加在W和Hf靶材上，二者大 小分别为150 250瓦和40 150瓦，气氛为氮气与氩气，氮气与氩气的流量比为1:5 1:29,淀积压强保持在5 8X 10-1帕。4)所述的Ru和WHfN双层结构是在相同的溅射室中依次进行的，且没有破坏真空。6)所述的Ru层的厚度为2 8纳米，WHfN层的厚度为1 6纳米。本发明所提出的Ru/WHfN双层阻挡层具有以下优点
由于在WN中加入了 Hf，大大提高了 WHfN薄膜的结晶温度，使其在800°C氮气中退火后 仍能保持非晶特性，从而改善了 Ru/WHfN双层阻挡层在高温退火后抗铜扩散的能力。相反， WN薄膜在700°C退火后就开始结晶，其产生的晶粒边界会导致铜更容易穿过阻挡层发生扩 散。在铜/阻挡层/硅、铜/阻挡层/氧化硅/硅的结构中，本发明所提出的Ru/WHfN双层 阻挡层通过方块电阻测试、元素深度剖面图和漏电流测试，所表现出的性能均远远优于Ru 单层阻挡层和Ru/WN双层阻挡层。
图1为本发明所提供的Ru/WHfN双层阻挡层用于集成电路铜互连的前道工艺流程 图。图2为本发明所提供的Ru/WHfN双层阻挡层用于集成电路铜互连的后道工艺流程 图。图3为W、Hf靶材上所加功率为200W、80W的条件下，WHfN薄膜的电阻率随N2/Ar 的流量比的变化关系图。插图为队/Ar流量比为1:14时，所得到的WHfN薄膜的电阻率随 W/Hf功率的变化情况。图4为Cu/Ru/Si、Cu/Ru/WN/Si和Cu/Ru/WHfN/Si样品的方块电阻随退火温度变化的关系图。图5为Cu/Ru/Si、Cu/Ru/WN/Si和Cu/Ru/WHfN/Si样品在30分钟热退火后的元素
深度剖面图。图 6 为 Cu/Ru/WN/Si02/Si 和 Cu/Ru/WHfN/Si02/Si 样品在 750°C退火前后的 MOS 电
容的漏电流密度随电场强度变化的关系图。
具体实施例方式(l)Ru/ffHfN双层阻挡层用于集成电路铜互连的实施例
下面结合附图与具体实施方式
对本发明作进一步详细的说明，在图中，为了方便说明， 放大或缩小了层和区域的厚度，所示大小并不代表实际尺寸。尽管这些图并不能完全准确 的反映出器件的实际尺寸，但是它们还是完整的反映了区域和组成结构之间的相互位置， 特别是组成结构之间的上下和相邻关系。本发明所提出的新型Ru/WHfN双层阻挡层适用于各种半导体集成电路的铜互连 技术中，以下所叙述的是采用本发明提供的制备新型Ru/WHfN抗铜扩散阻挡层的一个实施 例。首先，提供一个硅晶片(10(0201，然后采用标准CMOS工艺，完成前道MOS器件的制 备，如图1所示，其具体的工艺包括有1.采用标准化学清洗硅晶片(100)，具体包括有连 续的用硫酸和双氧水混合水溶液、标准清洗sc-l、SC-2、稀释的氢氟酸以及去离子水清洗。 2.在硅晶片201上采用氧化工艺、薄膜淀积工艺以及光刻工艺和刻蚀工艺形成MOS器件的 栅氧化层204、栅电极206和栅极侧墙205。3.采用扩散工艺或者离子注入工艺，形成MOS 器件的源区202和漏区203 (金属与半导体的接触)，从而完成MOS器件的前道制造工艺。接下来，利用化学气相沉积(CVD)方法淀积氧化硅形成层间隔离层207，并光刻、 刻蚀定义出互连通孔位置，然后采用反应共溅射法在第一层绝缘介质上淀积WHfN薄膜 208，其溅射系统的基压小于4 6X 10_5帕，射频功率和直流功率分别加在W和Hf靶材上， 分别为200瓦和40 150瓦，氮气与氩气的流量比为1:5 1:29，淀积压强保持在5 8 X ΙΟ"1帕。然后利用磁控溅射技术或原子层淀积技术在WHfN薄膜208上生长Ru薄膜209， 从而形成Ru/WHfN双层阻挡层结构，接着采用磁控溅射或电镀方法形成铜连线210，最后在 300 500°C的氮气环境中退火20 50分钟。并用化学机械抛光(CMP)技术平整化晶圆 表面，如图2所示。(2) Ru/WHfN双层阻挡层与Ru单层阻挡层、Ru/WN双层阻挡层的比较实例
从图3可以看出WHfN薄膜的电阻率随着N2/Ar的流量比的减小而减小。由图2中的 插图可知，当W靶的功率固定为200W时，随着Hf靶的功率从150W减小到0，所得WHfN薄膜 的电阻率从716mW. cm减小至Ij 259mff. cm。为了便于比较，本发明还制作了 Cu (50nm) /Ru (IOnm) /Si结构和Cu (50nm) / Ru(5nm) /WN(5nm)/Si 结构，用来与本发明所述的 Cu (50nm)/Ru (5nm)/WHfN (5nm) /Si 结构 进行比较。退火气氛为氮气，退火时间为30分钟。图4表明了 Ru阻挡层在500°C的退火后 发生失效，Ru/WN阻挡层在750°C的退火后失效，而Ru/WHfN双层阻挡层则依然完好。图5为Cu/Ru/Si、Cu/Ru/WN/Si和Cu/Ru/WHfN/Si样品在30分钟热退火后的元素 深度剖面图，其中Cu/Ru/Si样品是在500°C下进行退火的，Cu/Ru/WN/Si和Cu/Ru/ WHfN/Si样品在750°C下进行退火的。可以看出Ru/WHfN双层阻挡层在750°C高温退火后仍保持 很强的抗铜扩散的能力。本发明同时还制作了 Cu (50nm) /Ru (5nm) /WN (5nm) /SiO2 (IOOnm) /Si 和 Cu (50nm) / Ru (5nm) /WHfN(5nm) /SiO2 (IOOnm) /Si两种结构的MOS电容，并在750°C退火30分钟。它们 的漏电流密度随电场强度的变化如图6所示，表明了 Ru/WHfN双层阻挡层在750°C退火前后 均表现出非常低的漏电流密度，在2MV/cm时漏电流密度小于10_9A/cm2，而Ru/WN双层阻挡 层则导致较大的漏电流密度。综上所述，在未来的铜互连技术中，Ru/WHfN双层阻挡层是一个非常有前途的选 择。
权利要求
1.一种适用于铜互连的抗铜扩散阻挡层，其特征在于为Ru/WHfN双层结构，其中，Ru层 的厚度为2 8纳米，WHfN层的厚度为1 6纳米。
2.一种适用于铜互连的抗铜扩散阻挡层制备制备方法，其特征在于具体步骤为化学清洗硅晶片(100);在硅晶片(100)上形成第一层绝缘介质；采用反应共溅射法在第一层绝缘介质上淀积WHfN薄膜；在WHfN薄膜上磁控溅射淀积Ru薄膜，从而形成Ru/WHfN双层阻挡层；在Ru/WHfN双层阻挡层上淀积一层金属铜薄膜。
3.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述的第一层绝缘介质为SiO2，或者 为 SiOF 或 SiOCH。
4.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，所述的反应共溅射法中，反应共溅射 系统的基压小于4 6X 10_5帕。
5.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，所述的反应共溅射法中，射频功率和 直流功率分别加在W和Hf靶材上，二者大小分别为150 250瓦和40 150瓦，气氛为氮 气与氩气，氮气与氩气的流量比为1 5 1 29，淀积压强保持在5 8 X KT1帕。
6.根据权利要51所述的制备方法，其特征在于，所述的Ru层的厚度为2 8纳米，WHfN 层的厚度为1 6纳米。
全文摘要
本发明属于半导体集成电路制造技术领域，具体涉及一种适用于铜互连的Ru/WHfN抗铜扩散阻挡层及其制备方法。本发明中，抗铜扩散阻挡层采用Ru/WHfN双层结构。由于在WN中加入了Hf，大大提高了WHfN薄膜的结晶温度，使得Ru/WHfN双层阻挡层在750℃高温下退火30分钟后也没有发生铜的扩散。另外，该Ru/WHfN双层阻挡层在方块电阻测试、元素深度剖面图和漏电流测试方面都证明其优于Ru单层阻挡层和Ru/WN双层阻挡层。
文档编号H01L23/532GK102142428SQ201110048029
公开日2011年8月3日 申请日期2011年3月1日 优先权日2011年3月1日
发明者丁士进, 张卫, 杨春晓, 王鹏飞, 胡龙龙 申请人:复旦大学