一种磁控浮球开关的制作方法

文档序号:7178121阅读:167来源:国知局
专利名称:一种磁控浮球开关的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种磁控浮球开关,该开关应用在晶片腐蚀机上,属于晶片腐蚀设备技术领域。
背景技术
晶片腐蚀机代替人工完成晶片腐蚀工作,目前,腐蚀机观察液面,一般用水位计或连通器原理的浮球等。
背景技术
腐蚀机酸液减少到规定量以下时,靠人工定时观察,难以保证酸液使工作量;当酸液量较少时,对腐蚀的晶片质量难以保证。
实用新型内容本实用新型目的是提供一种磁控浮球开关,当液面降低到设定的值下限之后,腐蚀机将自动停止加热,以防干烧导致机器损坏,解决背景技术中存在的上述问题。本实用新型的技术方案是一种磁控浮球开关,包含水位计、浮球、电磁控制开关, 浮球设置在水位计内,电磁控制开关设置在水位计底部,浮球为带磁浮球,与电磁控制开关相匹配。所说的带磁浮球为圆柱式,是磁铁外面覆盖一层耐酸材料(Pra)构成,电磁控制开关与加热电源、报警装置连接,带磁浮球与电磁控制开关相匹配,当预热水箱水位降到安全水位下限时时,电磁控制开关启动,停止加热并发出报警信号。在水位计侧面设有水位计视窗,透过视窗上的有机玻璃可以观察水位计内部状况。本实用新型的有益效果用浮球计量腐蚀机中预热水箱酸液面的高度,当液面降低到设定的值下限之后,浮球接触电磁电源开关,腐蚀机将自动停止加热并报警,以防干烧导致机器损坏。
附图1是本实用新型实施例的结构示意图;图中带磁浮球1、水位计2、水位计顶板3、有机玻璃4、水位计视窗5、按钮6和8、 弹簧7、电磁控制开关9、开关固定板10、进水口 11。
具体实施方式

以下结合附图,通过实施例对本实用新型作进一步说明。一种磁控浮球开关,包含水位计2、浮球、电磁控制开关9,浮球设置在水位计内, 电磁控制开关设置在水位计底部,浮球为带磁浮球1,与电磁控制开关相匹配。所说的带磁浮球为圆柱式,是磁铁外面覆盖一层耐酸材料(PPR)构成,电磁控制开关与加热电源、报警装置连接,带磁浮球与电磁控制开关相匹配,当预热水箱水位降到安全水位下限时时,电磁控制开关启动,停止加热并发出报警信号。在水位计侧面设有水位计视窗5,透过视窗上的有机玻璃4可以观察水位计内部状况。电磁控制开关9通过开关固定板10设置在水位计的底部,并与按钮6和8、弹簧7相匹配,水位计2上设有水位计顶板3、进水口 11。
权利要求1 一种磁控浮球开关,其特征在于包含水位计(2)、浮球、电磁控制开关(9),浮球设置在水位计内,电磁控制开关设置在水位计底部,浮球为带磁浮球(1 ),与电磁控制开关相匹配。
2.根据权利要求1所述之磁控浮球开关,其特征在于所说的带磁浮球为圆柱式,是磁铁外面覆盖一层耐酸材料构成,电磁控制开关与加热电源、报警装置连接。
3.根据权利要求1所述之磁控浮球开关,其特征在于水位计侧面设有水位计视窗(5)。
专利摘要本实用新型涉及一种磁控浮球开关,该开关应用在晶片腐蚀机上,属于晶片腐蚀设备技术领域。技术方案是包含水位计(1)、浮球、电磁控制开关(9),浮球设置在水位计内,电磁控制开关设置在水位计底部,浮球为带磁浮球(2),与电磁控制开关相匹配。本实用新型的有益效果用浮球计量腐蚀机中预热水箱酸液面的高度,当液面降低到设定的值下限之后,浮球接触电磁电源开关,腐蚀机将自动停止加热并报警,以防干烧导致机器损坏。
文档编号H01H36/02GK202003904SQ201120123009
公开日2011年10月5日 申请日期2011年4月25日 优先权日2011年4月25日
发明者孙占永, 常云涛, 张朝辉 申请人:唐山晶玉科技有限公司
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