专利名称：一种oled光罩存储装置的制作方法
技术领域：
一种OLED光罩存储装置技术领域[0001]本实用新型涉及存储装置，特别涉及一种OLED光罩存储装置。
技术背景[0002]在OLED生产过程中，黄光区的制造是生产过程中最为关键的环节之一，在这个制程中需对氧化铟锡电极、金属导线、绝缘层和隔离柱进行四道膜的加工，在每道膜的加工中曝光加工都是核心，曝光光罩的洁净度保证是保证曝光良率的最重要环节，光罩上有任何灰尘，都会在每一个产品上造成不良，所以光罩的存储至关重要，存储装置必须保证光罩的洁净。另外，光罩上金属线宽为μ级，若有静电会造成金属线的击穿，存储装置对静电的防护很重要。[0003]目前业界OLED光罩存储设备的洁净度一般能做到100级，洁净度的保证性较差， 光罩受污染的概率较高，另外因材料和结构的不合理，光罩上有时会带有大于0. 3KV的静电，偶有静电击穿金属线的事故发生。发明内容[0004]为了克服上述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种OLED光罩存储装置，能够保证洁净度达到到10级，静电彡士00. 3KV的光罩存储装置。[0005]为了达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的[0006]一种OLED光罩存储装置，包括框架1，框架1的上部分配置有风机滤网装置3，风机滤网装置3的底部设置有黄光灯4，框架1的中间位置配置有相互对称的导轮组2。[0007]所述的框架1还设置有卷帘门5，卷帘门5关闭后，框架1与卷帘门5构成了封闭状态。[0008]所述的导轮组2包括有至少二个导轮8，所述的导轮8通过轴7固定于框架1上。[0009]所述的导轮组2中设置有光罩6。[0010]由于框架1与卷帘门5可构成了封闭状态，而且导轮组2中设置了光罩6，提高了光罩存储装置洁净度，同时降低了降电电压，使光罩的污染率下降了 10倍，[0011]同时保证不会有静电击穿金属线的事故发生。
[0012]图1是本实用新型的主视图。[0013]图2是本实用新型的左视图。[0014]图3是本实用新型的导轮组的放大图具体实施方式
[0015]
以下结合附图对本实用新型的结构原理，工作原理作更详细的说明。[0016]参照图1，图2和图3，一种OLED光罩存储装置，包括框架1，框架1的上部分配置有风机滤网装置3，风机滤网装置3的底部设置有黄光灯4，框架1的中间位置配置有相互对称的导轮组2。[0017]所述的框架1还设置有卷帘门5，卷帘门5关闭后，框架1与卷帘门5构成了封闭状态。[0018]所述的导轮组2包括有至少二个导轮8，所述的导轮8通过轴承7固定于框架1上。[0019]所述的导轮组2中设置有光罩6。[0020]光罩6插入和取出时和导轮8之间是滚动磨擦。[0021]处于工作状态时风机滤网装置3常开，并且打开卷帘门5，光罩6延导轮组2上下插入，插到位后，卷帘门5关闭，进行存放；将光罩6取出作业时，卷帘门5打开，光罩6延导轮组2上下取出，完全取出后，卷帘门5关闭，卷帘门5关闭后，框架1与卷帘门5构成了封闭状态。[0022]本实用新型一次能同时存储的光罩可以达到40枚。
权利要求1.一种OLED光罩存储装置，包括框架(1)，框架(1)的上部分配置有风机滤网装置 (3)，风机滤网装置(3)的底部设置有黄光灯G)，其特征在于，框架(1)的中间位置配置有相互对称的导轮组(2)。
2.根据权利要求1所述的一种OLED光罩存储装置，其特征在于，所述的框架(1)还设置有卷帘门(5)，卷帘门(5)关闭后，框架⑴与卷帘门(5)构成了封闭状态。
3.根据权利要求1所述的一种OLED光罩存储装置，其特征在于，所述的导轮组(2)包括有至少二个导轮(8)，所述的导轮(8)通过轴(7)固定于框架(1)上。
4.根据权利要求1所述的一种OLED光罩存储装置，其特征在于，所述的导轮组O)中设置有光罩(6)。
专利摘要一种OLED光罩存储装置，包括框架，框架的上部分配置有风机滤网装置，风机滤网单元的底部设置有黄光灯，框架的中间位置配置有相互对称的导轮组，光罩设置在导轮组之间，所述的框架还设置有卷帘门，工作状态时风机滤网装置常开，而且卷帘门打开，光罩延导轮组上下插入，插到位后，卷帘门关闭；光罩取出作业时，卷帘门打开，光罩延导轮组上下取出，完全取出后，卷帘门关闭，由于光罩处于完全封闭的状态，提高了光罩存储装置洁净度，同时降低了降电电压，使光罩的污染率下降了10倍，同时保证不会有静电击穿金属线的事故发生。
文档编号H01L21/673GK202275810SQ20112022566
公开日2012年6月13日 申请日期2011年6月29日 优先权日2011年6月29日
发明者郭晓钰 申请人:彩虹(佛山)平板显示有限公司