盒装硅片循环取出装置的制作方法

文档序号:6955918阅读:179来源:国知局
专利名称:盒装硅片循环取出装置的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种太阳能硅片的取出装置,尤其是一种盒装硅片循环取出装置。
背景技术
硅片生产过程中需将硅片输送到另外一台机器上,以往是通过人工搬运,生产效率低,并且容易导致硅片破碎,从而影响生产效率。
发明内容本实用新型的目的是克服现有技术中存在的不足,提供一种提高传送硅片效率、 克服人工取片缺点的盒装硅片循环取出装置。按照本实用新型提供的技术方案,所述盒装硅片循环取出装置,包括在机架上安装的硅片盒上下料机构、两升降平台机构、中间输送机构、三轴输送机构与推硅片机构,所述的硅片盒上下料机构与两升降平台机构配合,两升降平台机构与中间输送机构配合,中间输送机构与三轴输送机构配合,三轴输送机构与推硅片机构配合,推硅片机构与硅片盒上下料机构配合。所述硅片盒上下料机构包括在机架上固定的硅片盒上下料侧板,在硅片盒上下料侧板的两端部转动安装有硅片盒上下料滚轮轴,硅片盒上下料滚轮轴上设有硅片盒上下料输送带,在硅片盒上下料侧板上安装有硅片盒上下料电机,硅片盒上下料电机的输出轴与硅片盒上下料滚轮轴通过联轴器连接,在上料时硅片盒上下料输送带首端部对应的硅片盒上下料侧板上设有硅片盒上下料传感器。所述两升降平台机构包括在机架上固定的第一升降平台用支撑座,在第一升降平台用支撑座上固定有升降平台用线轨,在升降平台用线轨上滑动连接有升降平台用滑块, 在第一升降平台用支撑座上通过轴承转动架设有升降平台用丝杆,升降平台用丝杆上螺接有升降平台用螺母,在升降平台用螺母上固定连接有第二升降平台用支撑座,第二升降平台用支撑座、升降平台用螺母与升降平台用滑块固定一体;在机架上安装有升降平台用丝杆电机,升降平台用丝杆电机的输出轴与升降平台用丝杆连接,在第二升降平台用支撑座上固定有两块升降平台用竖板,在升降平台用竖板的两端部转动安装有升降平台用滚轮轴,在升降平台用滚轮轴上设有升降平台用输送带,在升降平台用滚轮轴的一端部固定有升降平台用被动带轮,在升降平台用竖板上安装有升降平台用输送带电机,升降平台用输送带电机的输出轴上固定有升降平台用主动带轮,升降平台用主动带轮与升降平台用被动带轮配合,在上料时升降平台用输送带首端部对应的升降平台用竖板上设有升降平台用传感器。所述中间输送机构包括在机架上固定的中间输送用支撑板,在中间输送用支撑板的两端部转动安装有中间输送用滚轮,在中间输送用滚轮上设有中间输送用输送带,在机架上安装有中间输送用电机,中间输送用电机与中间输送用滚轮的滚轮轴通过联轴器连接,在中间输送用支撑板的中部内侧壁固定有中间输送用传感器;在两块中间输送用支撑板所夹区域中部左右两侧对应的机架上安装有第一中间输送用气缸与第二中间输送用气缸,在第一中间输送用气缸的气缸杆上固定有第一中间输送用挡板,在第二中间输送用气缸的气缸杆上固定有第二中间输送用挡板。所述三轴输送机构包括在机架上固定的两块三轴输送用第一连接板,在三轴输送用第一连接板上固定有三轴输送用第一轴承座与三轴输送用第二轴承座,在三轴输送用第一轴承座上转动安装有三轴输送用第一同步带轮,在三轴输送用第二轴承座上转动安装有三轴输送用第二同步带轮,在三轴输送用第一同步带轮与三轴输送用第二同步带轮上设有三轴输送用纵向同步带,在三轴输送用同步带上固定有三轴输送用第一齿形块与三轴输送用第一连接块,三轴输送用传动块、三轴输送用第一齿形块与三轴输送用第一连接块固定一体,在三轴输送用传动块上固定有两块三轴输送用竖直滑块,在三轴输送用连接板上固定有三轴输送用垫块及两条三轴输送用竖直线轨,三轴输送用竖直滑块与三轴输送用竖直线轨配合;在机架上安装有三轴输送用电机及其减速机,在机架上固定有三轴输送用传动轴轴承座,三轴输送用传动轴轴承座上转动架设有三轴输送用传动轴,三轴输送用传动轴通过联轴器与三轴输送用第一同步带轮相连,在三轴输送用传动块上固定有三轴输送用第二连接板,在三轴输送用第二连接板上固定有三轴输送用第三轴承座,三轴输送用第三同步带轮与三轴输送用第四同步带轮均通过三轴输送用第三轴承座安装在三轴输送用第二连接板上,三轴输送用第三同步带轮与三轴输送用第四同步带轮上设有三轴输送用横向同步带,输送用横向同步带通过安装在机架上的三轴输送用横向电机驱动,三轴输送用横向同步带上固定有三轴输送用第二齿形块与三轴输送用第二连接块,在三轴输送用第二连接块上固定有三轴输送用第三连接板,三轴输送用第三连接板上固定有三轴输送用水平滑块,在三轴输送用第二连接板上固定有三轴输送用水平线轨,三轴输送用水平线轨与三轴输送用水平滑块配合;在三轴输送用第三连接板上安装有三轴输送用电缸,在三轴输送用电缸上通过三轴输送用连接杆安装有三轴输送用真空吸盘。所述推硅片机构包括在机架上安装的推硅片第一电缸与推硅片第二电缸,推硅片第一电缸上安装有推硅片第一推块,推硅片第二电缸上安装有推硅片第二推块。本实用新型通过设计两道对称的上料输送机构、下料输送机构,通过两升降平台, 循环交替输送两升降平台上的满硅片盒里的硅片,从而提高传送硅片效率,增加生产效率, 克服了人工取片的缺点,同时降低人工劳动强度。

图1是本实用新型的主视图。图2是本实用新型的俯视图。图3是本实用新型的左视图。
具体实施方式
下面结合具体附图和实施例对本实用新型作进一步说明。如图所示,本实用新型主要由三轴输送用第一轴承座1、三轴输送用第一连接板 2、三轴输送用第二轴承座3、三轴输送用竖直滑块4、三轴输送用第一齿形块5、三轴输送用第一连接块6、三轴输送用传动块7、三轴输送用竖直线轨8、三轴输送用第二同步带轮9、三轴输送用第一同步带轮10、三轴输送用纵向同步带11、三轴输送用传动轴轴承座12、三轴输送用电机13、三轴输送用传动轴14、三轴输送用第二连接板15、三轴输送用水平线轨16、 三轴输送用第三同步带轮17、三轴输送用第四同步带轮18、三轴输送用第三轴承座19、三轴输送用横向电机20、三轴输送用第二齿形块21、三轴输送用第二连接块22、三轴输送用水平滑块23、三轴输送用第三连接板对、三轴输送用电缸25、三轴输送用连接杆26、三轴输送用真空吸盘27、推硅片第一电缸观、推硅片第一推块四、推硅片第二推块30、推硅片第二电缸31、硅片盒上下料电机32、硅片盒上下料滚轮轴33、硅片盒上下料输送带34、升降平台用螺母35、升降平台用丝杆36、第一升降平台用支撑座37、升降平台用主动带轮38、升降平台用被动带轮39、升降平台用输送带电机40、第二升降平台用支撑座41、升降平台用滚轮轴42、硅片盒上下料传感器43、升降平台用传感器44、中间输送用滚轮45、中间输送用输送带46、中间输送用支撑板47、第一中间输送用气缸48、第一中间输送用挡板49、中间输送用传感器50、机架51、外输送带52、外支撑架53、满硅片盒54、空硅片盒55、中间输送用电机 56、第二中间输送用气缸57、第二中间输送用挡板58、升降平台用丝杆电机59、升降平台用线轨60与升降平台用滑块61等部件构成。该盒装硅片循环取出装置,包括在机架51上安装的硅片盒上下料机构、两升降平台机构、中间输送机构、三轴输送机构与推硅片机构,所述的硅片盒上下料机构与两升降平台机构配合,两升降平台机构与中间输送机构配合,中间输送机构与三轴输送机构配合,三轴输送机构与推硅片机构配合,推硅片机构与硅片盒上下料机构配合。所述硅片盒上下料机构包括在机架51上固定的硅片盒上下料侧板,在硅片盒上下料侧板的两端部转动安装有硅片盒上下料滚轮轴33,硅片盒上下料滚轮轴33上设有硅片盒上下料输送带34,在硅片盒上下料侧板上安装有硅片盒上下料电机32,硅片盒上下料电机32的输出轴与硅片盒上下料滚轮轴33通过联轴器连接,在上料时硅片盒上下料输送带34首端部对应的硅片盒上下料侧板上设有硅片盒上下料传感器43。所述两升降平台机构包括在机架51上固定的第一升降平台用支撑座37,在第一升降平台用支撑座37上固定有升降平台用线轨60,在升降平台用线轨60上滑动连接有升降平台用滑块61,在第一升降平台用支撑座37上通过轴承转动架设有升降平台用丝杆36, 升降平台用丝杆36上螺接有升降平台用螺母35,在升降平台用螺母35上固定连接有第二升降平台用支撑座41,第二升降平台用支撑座41、升降平台用螺母35与升降平台用滑块61 固定一体;在机架51上安装有升降平台用丝杆电机59,升降平台用丝杆电机59的输出轴与升降平台用丝杆36连接,在第二升降平台用支撑座41上固定有两块升降平台用竖板,在升降平台用竖板的两端部转动安装有升降平台用滚轮轴42,在升降平台用滚轮轴42上设有升降平台用输送带,在升降平台用滚轮轴42的一端部固定有升降平台用被动带轮39,在升降平台用竖板上安装有升降平台用输送带电机40,升降平台用输送带电机40的输出轴上固定有升降平台用主动带轮38,升降平台用主动带轮38与升降平台用被动带轮39通过输送带传动,在上料时升降平台用输送带首端部对应的升降平台用竖板上设有升降平台用传感器44。所述中间输送机构包括在机架51上固定的中间输送用支撑板47,在中间输送用支撑板47的两端部转动安装有中间输送用滚轮45,在中间输送用滚轮45上设有中间输送用输送带46,在机架51上安装有中间输送用电机56,中间输送用电机56与中间输送用滚轮45的滚轮轴通过联轴器连接,在中间输送用支撑板47的中部内侧壁固定有中间输送用传感器50 ;在两块中间输送用支撑板47所夹区域中部左右两侧对应的机架51上安装有第一中间输送用气缸48与第二中间输送用气缸57,在第一中间输送用气缸48的气缸杆上固定有第一中间输送用挡板49,在第二中间输送用气缸57的气缸杆上固定有第二中间输送用挡板58。所述三轴输送机构包括在机架51上固定的两块三轴输送用第一连接板2,在三轴输送用第一连接板2上固定有三轴输送用第一轴承座1与三轴输送用第二轴承座3,在三轴输送用第一轴承座1上转动安装有三轴输送用第一同步带轮10,在三轴输送用第二轴承座 3上转动安装有三轴输送用第二同步带轮9,在三轴输送用第一同步带轮10与三轴输送用第二同步带轮9上设有三轴输送用纵向同步带11,在三轴输送用同步带上固定有三轴输送用第一齿形块5与三轴输送用第一连接块6,三轴输送用传动块7、三轴输送用第一齿形块5 与三轴输送用第一连接块6固定一体,在三轴输送用传动块7上固定有两块三轴输送用竖直滑块4,在三轴输送用连接板2上固定有三轴输送用垫块及两条三轴输送用竖直线轨8, 三轴输送用竖直滑块4与三轴输送用竖直线轨8配合;在机架51上安装有三轴输送用电机 13及其减速机,在机架51上固定有三轴输送用传动轴轴承座12,三轴输送用传动轴轴承座 12上转动架设有三轴输送用传动轴14,三轴输送用传动轴14通过联轴器与三轴输送用第一同步带轮10相连,在三轴输送用传动块7上固定有三轴输送用第二连接板15,在三轴输送用第二连接板15上固定有三轴输送用第三轴承座19,三轴输送用第三同步带轮17与三轴输送用第四同步带轮18均通过三轴输送用第三轴承座19安装在三轴输送用第二连接板 15上,三轴输送用第三同步带轮17与三轴输送用第四同步带轮18上设有三轴输送用横向同步带,输送用横向同步带通过安装在机架51上的三轴输送用横向电机20驱动,三轴输送用横向同步带上固定有三轴输送用第二齿形块21与三轴输送用第二连接块22,在三轴输送用第二连接块22上固定有三轴输送用第三连接板对,三轴输送用第三连接板M上固定有三轴输送用水平滑块23,在三轴输送用第二连接板15上固定有三轴输送用水平线轨16, 三轴输送用水平线轨16与三轴输送用水平滑块23配合;在三轴输送用第三连接板M上安装有三轴输送用电缸25,在三轴输送用电缸25上通过三轴输送用连接杆沈安装有三轴输送用真空吸盘27。所述推硅片机构包括在机架51上安装的推硅片第一电缸28与推硅片第二电缸 31,推硅片第一电缸观上安装有推硅片第一推块四,推硅片第二电缸31上安装有推硅片第二推块30。本实用新型的工作原理如下它由硅片盒上下料电机32、硅片盒上下料滚轮轴33与硅片盒上下料输送带34等组成两道满硅片盒上料机构与两道空硅片盒下料机构。由第一升降平台用支撑座37、升降平台用丝杆36、升降平台用螺母35、升降平台用输送带电机40、升降平台用主动带轮38与升降平台用被动带轮39等组成两升降平台机构,两道满硅片盒上料机构上的满硅片盒分别输送到两升降平台机构上,在两升降平台用传感器44感应传送的满硅片料盒后,使硅片料盒定位,待定位后,推硅片第一电缸观动作, 推硅片第一推块四动作,将第一升降平台机构上的满硅片料盒里硅片输送到输送带46上,硅片被中间输送用传感器50感应,使第二中间输送用气缸57动作,推动第二中间输送用挡板58伸出,使硅片定位,待硅片定位后,由三轴输送用电机13、三轴输送用横向电机20动作、三轴输送用电缸25及三轴输送用真空吸盘27等组成的三轴输送机构动作,三轴输送用真空吸盘27将定位的硅片输送到外支撑架53上的外输送带52上,同时第一升降平台上的丝杆电机59动作,带动第一升降平台上的支撑座41上的硅片盒下降一定距离,以满足硅片第一推块四推动硅片料盒里的下一块硅片,同时另一个升降台上的满硅片盒,在推硅片第二电缸31的作用下,将其硅片推送到由中间输送用滚轮45的中间输送用输送带46上,同样,当硅片被中间输送用传感器50感应,使第一中间输送用气缸48动作,推动第一中间输送用挡板49伸出从而使硅片定位,待硅片定位后,三轴输送机构上三轴输送用真空吸盘27 作用,将定位的硅片输送到外输送带52上,同时,此升降平台机构将下降一定距离,以满足下一硅片的传送,待硅片输送出去后,第一升降平台机构上的硅片盒里的硅片在第一电缸 28的作用下将硅片推出,以实现连续输送硅片。 两升降平台交替重复上述传送硅片动作,待满硅片盒里的硅片全部输送出去后, 两升降平台机构上的升降平台下降一定距离后,滚轮轴42上驱动皮带反向运动,将空硅片料盒输送到硅片盒上下料输送带34上,同时,两道硅片盒上下料输送带34的满硅片盒继续将满硅片盒输送到两升降平台机构上,以实现循环将满硅片料盒里的硅片输送出去。
权利要求1.一种盒装硅片循环取出装置,其特征是包括在机架(51)上安装的硅片盒上下料机构、两升降平台机构、中间输送机构、三轴输送机构与推硅片机构,所述的硅片盒上下料机构与两升降平台机构配合,两升降平台机构与中间输送机构配合,中间输送机构与三轴输送机构配合,三轴输送机构与推硅片机构配合,推硅片机构与硅片盒上下料机构配合。
2.如权利要求1所述的盒装硅片循环取出装置,其特征是所述硅片盒上下料机构包括在机架(51)上固定的硅片盒上下料侧板,在硅片盒上下料侧板的两端部转动安装有硅片盒上下料滚轮轴(33),硅片盒上下料滚轮轴(33)上设有硅片盒上下料输送带(34),在硅片盒上下料侧板上安装有硅片盒上下料电机(32),硅片盒上下料电机(32)的输出轴与硅片盒上下料滚轮轴(33)通过联轴器连接,在上料时硅片盒上下料输送带(34)首端部对应的硅片盒上下料侧板上设有硅片盒上下料传感器(43 )。
3.如权利要求1所述的盒装硅片循环取出装置,其特征是所述两升降平台机构包括在机架(51)上固定的第一升降平台用支撑座(37),在第一升降平台用支撑座(37)上固定有升降平台用线轨(60),在升降平台用线轨(60)上滑动连接有升降平台用滑块(61),在第一升降平台用支撑座(37)上通过轴承转动架设有升降平台用丝杆(36),升降平台用丝杆 (36)上螺接有升降平台用螺母(35),在升降平台用螺母(35)上固定连接有第二升降平台用支撑座(41),第二升降平台用支撑座(41)、升降平台用螺母(35)与升降平台用滑块(61) 固定一体;在机架(51)上安装有升降平台用丝杆电机(59),升降平台用丝杆电机(59)的输出轴与升降平台用丝杆(36)连接,在第二升降平台用支撑座(41)上固定有两块升降平台用竖板,在升降平台用竖板的两端部转动安装有升降平台用滚轮轴(42),在升降平台用滚轮轴(42)上设有升降平台用输送带,在升降平台用滚轮轴(42)的一端部固定有升降平台用被动带轮(39),在升降平台用竖板上安装有升降平台用输送带电机(40),升降平台用输送带电机(40)的输出轴上固定有升降平台用主动带轮(38),升降平台用主动带轮(38)与升降平台用被动带轮(39)配合,在上料时升降平台用输送带首端部对应的升降平台用竖板上设有升降平台用传感器(44)。
4.如权利要求1所述的盒装硅片循环取出装置,其特征是所述中间输送机构包括在机架(51)上固定的中间输送用支撑板(47),在中间输送用支撑板(47)的两端部转动安装有中间输送用滚轮(45),在中间输送用滚轮(45)上设有中间输送用输送带(46),在机架 (51)上安装有中间输送用电机(56),中间输送用电机(56)与中间输送用滚轮(45)的滚轮轴通过联轴器连接,在中间输送用支撑板(47)的中部内侧壁固定有中间输送用传感器 (50);在两块中间输送用支撑板(47)所夹区域中部左右两侧对应的机架(51)上安装有第一中间输送用气缸(48)与第二中间输送用气缸(57),在第一中间输送用气缸(48)的气缸杆上固定有第一中间输送用挡板(49),在第二中间输送用气缸(57)的气缸杆上固定有第二中间输送用挡板(58)。
5.如权利要求1所述的盒装硅片循环取出装置,其特征是所述三轴输送机构包括在机架(51)上固定的两块三轴输送用第一连接板(2),在三轴输送用第一连接板(2)上固定有三轴输送用第一轴承座(1)与三轴输送用第二轴承座(3),在三轴输送用第一轴承座(1) 上转动安装有三轴输送用第一同步带轮(10),在三轴输送用第二轴承座(3)上转动安装有三轴输送用第二同步带轮(9),在三轴输送用第一同步带轮(10)与三轴输送用第二同步带轮(9)上设有三轴输送用纵向同步带(11 ),在三轴输送用同步带上固定有三轴输送用第一齿形块(5)与三轴输送用第一连接块(6),三轴输送用传动块(7)、三轴输送用第一齿形块 (5)与三轴输送用第一连接块(6)固定一体,在三轴输送用传动块(7)上固定有两块三轴输送用竖直滑块(4),在三轴输送用连接板(2)上固定有三轴输送用垫块及两条三轴输送用竖直线轨(8),三轴输送用竖直滑块(4)与三轴输送用竖直线轨(8)配合;在机架(51)上安装有三轴输送用电机(13)及其减速机,在机架(51)上固定有三轴输送用传动轴轴承座, 三轴输送用传动轴轴承座上转动架设有三轴输送用传动轴(14),三轴输送用传动轴(14) 通过联轴器与三轴输送用第一同步带轮(10)相连,在三轴输送用传动块(7)上固定有三轴输送用第二连接板(15),在三轴输送用第二连接板(15)上固定有三轴输送用第三轴承座 (19),三轴输送用第三同步带轮(17)与三轴输送用第四同步带轮(18)均通过三轴输送用第三轴承座(19)安装在三轴输送用第二连接板(15)上,三轴输送用第三同步带轮(17)与三轴输送用第四同步带轮(18)上设有三轴输送用横向同步带,输送用横向同步带通过安装在机架(51)上的三轴输送用横向电机(20)驱动,三轴输送用横向同步带上固定有三轴输送用第二齿形块(21)与三轴输送用第二连接块(22),在三轴输送用第二连接块(22)上固定有三轴输送用第三连接板(24),三轴输送用第三连接板(24)上固定有三轴输送用水平滑块(23),在三轴输送用第二连接板(15)上固定有三轴输送用水平线轨(16),三轴输送用水平线轨(16)与三轴输送用水平滑块(23)配合;在三轴输送用第三连接板(24)上安装有三轴输送用电缸(25 ),在三轴输送用电缸(25 )上通过三轴输送用连接杆(26 )安装有三轴输送用真空吸盘(27)。
6.如权利要求1所述的盒装硅片循环取出装置,其特征是所述推硅片机构包括在机架(51)上安装的推硅片第一电缸(28)与推硅片第二电缸(31),推硅片第一电缸(28)上安装有推硅片第一推块(29),推硅片第二电缸(31)上安装有推硅片第二推块(30)。
专利摘要本实用新型涉及一种盒装硅片循环取出装置,包括在机架上安装的硅片盒上下料机构、两升降平台机构、中间输送机构、三轴输送机构与推硅片机构,所述的硅片盒上下料机构与两升降平台机构配合,两升降平台机构与中间输送机构配合,中间输送机构与三轴输送机构配合,三轴输送机构与推硅片机构配合,推硅片机构与硅片盒上下料机构配合。本实用新型通过设计两道对称的上料输送机构、下料输送机构,通过两升降平台,循环交替输送两升降平台上的满硅片盒里的硅片,从而提高传送硅片效率,增加生产效率,克服了人工取片的缺点,同时降低人工劳动强度。
文档编号H01L21/677GK202245328SQ201120348900
公开日2012年5月30日 申请日期2011年9月17日 优先权日2011年9月17日
发明者王燕清 申请人:无锡先导自动化设备股份有限公司
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