专利名称：滑动传感器的护壳结构的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及一种滑动传感器的护壳结构。
背景技术：
在半导体工业的制程设备里，滑动传感器作为一种检测装置被广泛使用，在滑动传感器的使用过程中，需要用到相关的护壳对其进行保护，从而避免外界的一些因素影响滑动传感器的正常工作。现有技术中的硅片加工机台上设有一个滑动传感器，该滑动传感器位置正对硅片加工区。所述滑动传感器的外侧设有保护外壳，所述保护外壳包括用以收容滑动传感器的收容槽、位于下方且朝向硅片加工区的完全开放式的底壁、与底壁相对且位于上方的顶壁以及与顶壁相连接的四个侧壁。所述四个侧壁与顶壁共同围成所述收容槽。所述顶壁设有一个口径较大的第一开口，所述正对滑动传感器的一个侧壁上开设有方便滑动传感器安装的第二开口。所述保护外壳借助第二开口与完全开放式的底壁套在滑动传感器外围。但是，上述滑动传感器的保护外壳在顶壁设置口径较大的第一开口，并将底壁设置成完全开放式，使得硅片加工过程中的结晶或者水滓较容易进入到收容空间内，进而有结晶或者水滓残留在滑动传感器上，最终导致滑动传感器被误触发，造成滑动传感器很多误报警，增加了不必要的工作量，降低了产能。并且，上述滑动传感器的保护外壳是直接套在滑动传感器上，所述保护外壳本身没有借助螺丝等固定工具与加工机台固定，所述保护外壳固定不牢靠，所以在机台运作过程中，所述保护外壳容易产生较大的晃动，甚至会与机台盖板之间产生碰撞，从而产生很多碰撞颗粒，不仅造成机台盖板损坏，而且破坏了整个机台的环境卫生。因此，针对上述技术问题，有必要提供一种改良结构的滑动传感器的护壳结构，以克服上述缺陷。
实用新型内容有鉴于此，本实用新型提供一种滑动传感器的护壳结构，该滑动传感器的护壳结构仅仅在底面设置一个较小的感应窗口，并将顶面完全封闭，防止硅片加工过程中的结晶或者水滓进入到护壳结构内部而残留在滑动传感器上，避免滑动传感器出现误报警现象； 同时，所述护壳结构采用紧凑型固定安装，并采用螺丝固定，定位稳定，不易晃动，避免产生碰撞颗粒而污染机台。为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案一种滑动传感器的护壳结构，所述滑动传感器位置正对一硅片加工区，所述护壳结构包括用以收容滑动传感器的收容空间、朝向硅片加工区的底面以及与底面相对的顶面，所述底面设有一个对着硅片加工区的感应窗口，所述顶面完全封闭。优选的，在上述滑动传感器的护壳结构中，所述滑动传感器上设有发出感应信号的感应器，所述感应窗口的位置与所述感应器位置对应。[0011 ] 优选的，在上述滑动传感器的护壳结构中，所述感应窗口为矩形的小孔。优选的，在上述滑动传感器的护壳结构中，所述感应窗口为椭圆形的小孔。优选的，在上述滑动传感器的护壳结构中，所述顶面上设有与顶面一体成型的盖帽。优选的，在上述滑动传感器的护壳结构中，所述护壳结构设有靠近底面的第一安装部以及靠近顶面的第二安装部，所述第一安装部上设有用以固定护壳结构的第一固定孔，所述第二安装部上设有用以固定护壳结构的第二固定孔。优选的，在上述滑动传感器的护壳结构中，所述滑动传感器设于一个机台上，所述机台上设有与第一固定孔位置对应的第一安装孔以及与第二固定孔位置对应的第二安装孔，所述护壳结构通过紧固件与机台固定在一起。优选的，所述紧固件为螺钉。优选的，在上述滑动传感器的护壳结构中，所述护壳结构还包括位于顶面与底面之间的三个封闭侧面以及一个与收容空间贯通的敞开口，所述敞开口正对滑动传感器。优选的，在上述滑动传感器的护壳结构中，所述第一安装部及第二安装部皆包括两个且分别位于敞开口的两侧。从上述技术方案可以看出，本实用新型实施例滑动传感器的护壳结构，仅仅在底面设置一个感应窗口，并将顶面设置成完全封闭结构，防止硅片加工过程中的结晶或者水滓进入到收容空间内而残留在滑动传感器上，避免滑动传感器出现误报警现象，减少了工作量，提高了产能；同时，所述滑动传感器的护壳结构采用紧凑型固定安装，并采用紧固件固定，定位稳定，护壳结构不易晃动，避免产生碰撞颗粒而污染机台。
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的有关本实用新型的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为现有技术中滑动传感器的护壳结构的示意图；图2为本实用新型实施例中滑动传感器的护壳结构的示意图。100、保护外壳 11、收容槽 12、底壁 13、顶壁 14、侧壁 15、第一开口 16、 第二开口 200、护壳结构 21、收容空间 22、底面23、顶面 24、封闭侧面 25、敞开口沈、感应窗口 27、盖帽 28、第一安装部观1、第一固定孔 29、第二安装部、第二固定孔
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行详细地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。请参阅图1所示，现有技术中的一种滑动传感器的保护外壳100，其中，安装在保护外壳100内的滑动传感器设于一个硅片加工机台上，该滑动传感器位置正对硅片加工区。所述保护外壳100为中空结构。所述保护外壳100包括用以收容滑动传感器的收容槽 11、完全开放式的底壁12、与底壁12相对且位于上方的顶壁13以及与顶壁13相连接的四个侧壁14。所述四个侧壁14与顶壁13共同围成所述收容槽11。所述顶壁13设有一个口径较大的第一开口 15，所述正对滑动传感器的一个侧壁14上开设有方便滑动传感器安装的第二开口 16。所述护壳结构借助第二开口 16与开放式的底壁12套在滑动传感器外围。但是，上述滑动传感器的保护外壳100在顶壁13设置口径较大的第一开口 15，并将底壁12设置成完全开放式，使得硅片加工过程中的结晶或者水滓较容易进入到收容槽 11内，进而残留在滑动传感器上，最终导致滑动传感器被误触发，造成滑动传感器很多误报警，增加了不必要的工作量，降低了产能。并且，上述滑动传感器的保护外壳100是直接套在滑动传感器上，所述保护外壳 100本身没有借助螺丝等固定工具与加工机台固定，所述保护外壳100固定不牢靠，所以在机台运作过程中，所述保护外壳100容易产生较大的晃动，甚至会与机台盖板之间产生碰撞，从而产生很多碰撞颗粒，不仅造成机台盖板损坏，而且破坏了整个机台的环境卫生。本实用新型公开了一种滑动传感器的护壳结构，该滑动传感器的护壳结构仅仅在底部设置一个较小的感应窗口，并将顶部完全封闭，防止硅片加工过程中的结晶或者水滓进入到护壳结构内部而残留在滑动传感器上，避免滑动传感器出现误报警现象；同时，所述护壳结构采用紧凑型固定安装，并采用螺丝固定，定位稳定，护壳结构不易晃动，避免产生碰撞颗粒而污染机台。请参阅图2所示，所述滑动传感器的护壳结构200，其中，安装在护壳结构200结构中的滑动传感器在实际使用过程中安装在一个硅片加工机台上，该滑动传感器位置正对硅片加工区。所述护壳结构200包括用以收容滑动传感器的收容空间21、朝向硅片加工区的底面22、与底面22相对的顶面23、位于顶面23及底面22之间且与顶面23及底面22连接的三个封闭侧面M以及一个与收容空间21贯通的完全开放的敞开口 25。所述敞开口 25 在护壳结构200未安装时正对滑动传感器。所述敞开口 25方便滑动传感器安装入护壳结构200中。所述底面22设有一个对着硅片加工区且开口很小的感应窗口 26，所述顶面23 完全封闭。如此设置，通过在底面22上设置口径较小的感应窗口 26，并将顶面23完全封闭，使得硅片加工过程中的结晶或者水滓不容易进入到收容空间21内，进而避免有结晶或者水滓残留在滑动传感器上，最终可降低滑动传感器被误触发而造成误报警的机率，减少了不必要的工作量，提高了产能。请继续参阅图2所示，所述滑动传感器上设有发出感应信号的感应器，所述感应窗口的位置与感应器位置对应。所述感应窗口沈为矩形的小孔。所述顶面23上设有与顶面23 —体成型的盖帽27。所述护壳结构200设有靠近底面22的第一安装部观以及靠近顶面23的第二安装部四。所述第一安装部观上设有用以固定护壳结构200的第一固定孔 2810所述第二安装部四上设有用以固定护壳结构200的第二固定孔四1。所述机台上设有与第一固定孔281位置对应的第一安装孔(未图示)以及与第二固定孔291位置对应的第二安装孔(未图示)。所述护壳结构200通过紧固件与机台固定在一起，所述紧固件优选为螺钉。所述第一安装部观及第二安装部四均包括两个且分别位于敞开口 25的两侧。如此设置，所述护壳结构200采用紧凑型固定安装，并通过紧固件与加工机台固定，所述护壳结构200固定牢靠，在机台运作过程中，所述护壳结构200不易产生晃动，也不会出现与机台盖板之间产生碰撞的现象，避免产生碰撞颗粒而污染机台，保证了整个机台的环境卫生。在本实用新型实施例中，将所述感应窗口沈设置为矩形的小孔，当然在其他实施方式中，也可以将所述感应窗口沈设置为椭圆形的小孔。在本实用新型实施例中，所述敞开口 25为全开放式的，即整个面都是空的，对外开放，当然在其他实施方式中，根据护壳结构的尺寸，敞开口的大小只要能方便滑动传感器安装即可。本实用新型实施例的护壳结构200，仅仅在底面22上设置口径较小的感应窗口 26，并将顶面23完全封闭，使得硅片加工过程中的结晶或者水滓不容易进入到收容空间21 内，进而避免在硅片加工过程中有结晶或者水滓残留在滑动传感器上，最终可降低滑动传感器被误触发而造成误报警的机率，减少了不必要的工作量，提高了产能。本实用新型实施例的护壳结构200，采用紧凑型固定安装，通过紧固件将护壳结构 200与加工机台固定，所述护壳结构200固定牢靠，在机台运作过程中，所述护壳结构200不易产生晃动，也不会出现与机台盖板之间产生碰撞的现象，避免产生碰撞颗粒而污染机台， 保证了整个机台的环境卫生。对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。
权利要求1.一种滑动传感器的护壳结构000)，所述滑动传感器位置正对一硅片加工区，所述护壳结构(200)包括用以收容滑动传感器的收容空间(21)、朝向硅片加工区的底面02)以及与底面0 相对的顶面(23)，其特征在于所述底面0 设有一个对着硅片加工区的感应窗口( )，所述顶面03)完全封闭。
2.根据权利要求1所述的滑动传感器的护壳结构，其特征在于所述滑动传感器上设有发出感应信号的感应器，所述感应窗口 06)的位置与所述感应器位置对应。
3.根据权利要求2所述的滑动传感器的护壳结构，其特征在于所述感应窗口06)为矩形的小孔。
4.根据权利要求2所述的滑动传感器的护壳结构，其特征在于所述感应窗口06)为椭圆形的小孔。
5.根据权利要求1所述的滑动传感器的护壳结构，其特征在于所述顶面03)上设有与顶面03) —体成型的盖帽07)。
6.根据权利要求1所述的滑动传感器的护壳结构，其特征在于所述护壳结构(200) 设有靠近底面02)的第一安装部08)以及靠近顶面03)的第二安装部( )，所述第一安装部08)上设有用以固定护壳结构(200)的第一固定孔081)，所述第二安装部09)上设有用以固定护壳结构O00)的第二固定孔091)。
7.根据权利要求6所述的滑动传感器的护壳结构，其特征在于所述滑动传感器设于一个机台上，所述机台上设有与第一固定孔081)位置对应的第一安装孔以及与第二固定孔(四1)位置对应的第二安装孔，所述护壳结构(200)通过紧固件与机台固定在一起。
8.根据权利要求7所述的滑动传感器的护壳结构，其特征在于所述紧固件为螺钉。
9.根据权利要求6所述的滑动传感器的护壳结构，其特征在于所述护壳结构(200) 还包括位于顶面03)与底面02)之间的三个封闭侧面04)以及一个与收容空间贯通的敞开口(25)，所述敞开口 05)正对滑动传感器。
10.根据权利要求9所述的滑动传感器的护壳结构，其特征在于所述第一安装部08) 及第二安装部09)皆包括两个且分别位于敞开口 05)的两侧。
专利摘要本实用新型公开了一种滑动传感器的护壳结构，所述滑动传感器位于一硅片加工区的上方，所述护壳结构包括用以收容滑动传感器的收容空间、朝向硅片加工区的底面以及与底面相对的顶面，所述底面设有一个对着硅片加工区的感应窗口，所述顶面完全封闭。本实用新型滑动传感器的护壳结构仅仅在底面设置一个感应窗口，并将顶面设置成完全封闭结构，防止硅片加工过程中的结晶或者水滓进入到收容空间内而残留在滑动传感器上，避免滑动传感器出现误报警现象。
文档编号H01L21/67GK202329673SQ20112047824
公开日2012年7月11日 申请日期2011年11月25日 优先权日2011年11月25日
发明者夏伟, 陆铭 申请人:无锡华润上华科技有限公司