专利名称：静电吸附盘安装工具的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种半导体领域，尤其涉及一种安装工具。
背景技术：
目前，半导体领域内的很多工艺腔内使用静电吸附盘吸附晶圆。图I所示是蚀刻腔室的内部结构示意图，在腔体110内部，静电吸附盘120周圈通过若干螺钉锁固在下方的底座130上，所述静电吸附盘120上设有若干与所述螺钉相匹配的螺钉孔。当使用一段时间后，维护人员需要对静电吸附盘120进行检修和更换。在更换过程中，容易产生如下问题一方面，在用螺丝刀松开螺钉或者拧紧螺钉的时候，容易出现静电吸附盘120的表面被螺丝刀刮伤，导致静电吸附盘120的表面平整度降低，以致降低了对晶圆的吸附力，影响产品制程。另一方面，由于静电吸附盘120的周圈采用很多螺钉紧固，且由于维护人员是手工操作，受人为因素的影响比较大。然而，螺钉的紧固顺序有讲究的，不能够挨个紧固，否贝U，容易出现静电吸附盘120受力不均匀的现象，致使静电吸附盘120安装不到位。因此，如何提供可以有效保护静电吸附盘表面的静电吸附盘安装工具是本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种静电吸附盘安装工具，可以有效保护静电吸附盘的表面。为了达到上述的目的，本实用新型采用如下技术方案一种静电吸附盘安装工具，所述静电吸附盘通过若干螺钉安装于底座上，所述静电吸附盘上设有若干与所述螺钉相匹配的螺钉孔，所述静电吸附盘安装工具包括一圆盘状本体，所述圆盘状本体的直径大于或者等于所述静电吸附盘的直径，所述圆盘状本体对应所述静电吸附盘上的螺钉孔设有相应的通孔，所述通孔的直径大于相应螺钉的螺帽的外径。在上述的静电吸附盘安装工具中，所述通孔包括若干第一通孔和若干第二通孔，所述第一通孔的直径大于所述第二通孔的直径，相邻第一通孔之间设有一个或多个第二通孔。在上述的静电吸附盘安装工具中，第一通孔的数量是四个。在上述的静电吸附盘安装工具中，第二通孔的数量是八个。在上述的静电吸附盘安装工具中，所述圆盘状本体的一个表面上设有螺钉顺序标 识。本实用新型提供的静电吸附盘安装工具，包括一圆盘状本体，所述圆盘状本体的直径大于或者等于所述静电吸附盘的直径，所述圆盘状本体对应所述静电吸附盘上的螺钉孔设有相应的通孔，所述通孔的直径大于相应螺钉的螺帽的外径，因此，在拆装静电吸附盘时，可以先将该圆盘状本体盖在所述静电吸附盘上，并使得该圆盘状本体的通孔对准所述静电吸附盘上的相应螺钉孔，然后，用螺丝刀松开或者拧紧静电吸附盘上的螺钉，在用螺丝刀松开或者拧紧静电吸附盘上的螺钉的过程中，圆盘状本体盖始终阻隔螺丝刀碰触静电吸附盘，从而在静电吸附盘的更换过程中起到保护静电吸附盘的作用。 另外，通过在所述圆盘状本体的一个表面上设有螺钉顺序标识，通过螺钉顺序标识可以指示维护人员按照正确的顺序拧紧螺钉，使得静电吸附盘的各处受力均匀，安装到位，从而有效提高了静电吸附盘的稳定性。
本实用新型的静电吸附盘安装工具由以下的实施例及附图给出。图I为现有的蚀刻腔室的内部结构示意图；图2为本实用新型一实施例的静电吸附盘安装工具的结构示意图。图中，110-腔体、120-静电吸附盘、130-底座、210-圆盘状本体、220-第一通孔、230-第二通孔。
具体实施方式
以下将对本实用新型的静电吸附盘安装工具作进一步的详细描述。下面将参照附图对本实用新型进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本实用新型由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须作出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。为使本实用新型的目的、特征更明显易懂，
以下结合附图对本实用新型的具体实施方式
作进一步的说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。请参阅图2，并结合图1，本实施例提供一种静电吸附盘安装工具，所述静电吸附盘120通过若干螺钉安装于底座130上，所述静电吸附盘120上设有若干与所述螺钉相匹配的螺钉孔，所述用于安装静电吸附盘120的安装工具包括一圆盘状本体210，所述圆盘状本体210的直径大于或者等于所述静电吸附盘120的直径，所述圆盘状本体210对应所述静电吸附盘120上的螺钉孔设有相应的通孔，所述通孔的直径大于相应螺钉的螺帽的外径。在拆装静电吸附盘120时,可以先将该圆盘状本体210覆盖在所述静电吸附盘120上，并使得该圆盘状本体210的通孔对准所述静电吸附盘120上的相应螺钉孔，然后，用螺丝刀松开或者拧紧静电吸附盘120上的螺钉，在用螺丝刀松开或者拧紧静电吸附盘120上的螺钉的过程中，圆盘状本体盖210始终阻隔螺丝刀碰触静电吸附盘120，从而在静电吸附盘120的更换过程中起到保护静电吸附盘120的作用。本实施例中，该静电吸附盘安装工具中，所述通孔包括若干第一通孔220和若干第二通孔230，所述第一通孔220的直径大于所述第二通孔230的直径，相邻第一通孔220之间设有一个或多个第二通孔230。不同尺寸的通孔分别对应不同尺寸的螺钉，可以用以区别和静电吸 附盘120螺钉固定的不同部件，因为除了底座130，还有其他部件和静电吸附盘120通过螺钉固定。具体地，所述第一通孔220的数量是四个。所述第二通孔230的数量是八个。当然，本实用新型对第一通孔和第二通孔的数量并不做限定，本领域技术人员可根据静电吸附盘120的螺钉孔的数量和分布情况作相应的调整。较佳地，本实施例的静电吸附盘安装工具中，所述圆盘状本体210的一个表面上设有螺钉顺序标识。通过在所述圆盘状本体210的一个表面上设置螺钉顺序标识，通过螺钉顺序标识可以指示维护人员按照正确的顺序拧紧螺钉，使得静电吸附盘120的各处受力均匀，安装到位，从而有效提高了静电吸附盘120的稳定性。综上所述，本实用新型提供的静电吸附盘安装工具，包括一圆盘状本体，所述圆盘状本体的直径大于或者等于所述静电吸附盘的直径，所述圆盘状本体对应所述静电吸附盘上的螺钉孔设有相应的通孔，所述通孔的直径大于相应螺钉的螺帽的外径，因此，在拆装静电吸附盘时，可以先将该圆盘状本体盖在所述静电吸附盘上，并使得该圆盘状本体的通孔对准所述静电吸附盘上的相应螺钉孔，然后，用螺丝刀松开或者拧紧静电吸附盘上的螺钉，在用螺丝刀松开或者拧紧静电吸附盘上的螺钉的过程中，圆盘状本体盖始终阻隔螺丝刀碰触静电吸附盘，从而在静电吸附盘的更换过程中起到保护静电吸附盘的作用。另外，通过在所述圆盘状本体的一个表面上设有螺钉顺序标识，通过螺钉顺序标识可以指示维护人员按照正确的顺序拧紧螺钉，使得静电吸附盘的各处受力均匀，安装到位，从而有效提高了静电吸附盘的稳定性。显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
权利要求1.一种静电吸附盘安装工具，所述静电吸附盘通过若干螺钉安装于底座上，所述静电吸附盘上设有若干与所述螺钉相匹配的螺钉孔，其特征在于，所述静电吸附盘安装工具包括一圆盘状本体，所述圆盘状本体的直径大于或者等于所述静电吸附盘的直径，所述圆盘状本体对应所述静电吸附盘上的螺钉孔设有相应的通孔，所述通孔的直径大于相应螺钉的螺帽的外径。
2.根据权利要求I所述的静电吸附盘安装工具，其特征在于，所述通孔包括若干第一通孔和若干第二通孔，所述第一通孔的直径大于所述第二通孔的直径，相邻第一通孔之间设有一个或多个第二通孔。
3.根据权利要求2所述的静电吸附盘安装工具，其特征在于，所述第一通孔的数量是四个。
4.根据权利要求2所述的静电吸附盘安装工具，其特征在于，所述第二通孔的数量是八个。
5.根据权利要求I 4中任意一项所述的静电吸附盘安装工具，其特征在于，所述圆盘状本体的一个表面上设有螺钉顺序标识。
专利摘要本实用新型公开了一种静电吸附盘安装工具，所述静电吸附盘通过若干螺钉安装于底座上，所述静电吸附盘上设有若干与所述螺钉相匹配的螺钉孔，所述静电吸附盘安装工具包括一圆盘状本体，所述圆盘状本体的直径大于或者等于所述静电吸附盘的直径，所述圆盘状本体对应所述静电吸附盘上的螺钉孔设有相应的通孔，所述通孔的直径大于相应螺钉的螺帽的外径。在拆装静电吸附盘时，可以先将该圆盘状本体盖在所述静电吸附盘上，因此，在用螺丝刀松开或者拧紧静电吸附盘上的螺钉的过程中，圆盘状本体盖始终阻隔螺丝刀碰触静电吸附盘，从而在静电吸附盘的更换过程中起到保护静电吸附盘的作用。
文档编号H01L21/67GK202373568SQ20112057142
公开日2012年8月8日 申请日期2011年12月30日 优先权日2011年12月30日
发明者张绪彪, 李文, 袁成宝, 辛笛 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司, 武汉新芯集成电路制造有限公司