伪阳光照射装置和太阳能电池板检验装置的制作方法

文档序号:7236529阅读:104来源:国知局
专利名称:伪阳光照射装置和太阳能电池板检验装置的制作方法
技术领域
本发明涉及用于以高方向性向照射对象发射伪阳光的伪阳光照射装置,以及使用该伪阳光照射装置用于测量太阳能电池板的输出特性从而确定质量的太阳能电池板检验装置。
背景技术
在用作以高准确度重建阳光的光谱分布的光源装置的传统伪阳光照射装置中,传统地已经做出了努力,通过点亮氙灯以使穿过滤光器(AM滤光片(air mass filter))的伪阳光经受用反射板的漫反射,从而获得具有期望光谱的光,从而使得测量对象上的照明度分布均勻。在专利文献1中,公开了这样的情况设置两个光源(氙气光源和卤素光源),同时这两个光源在位于照射表面下的盒子形状的框架中彼此隔开,且使用在每一个隔开的盒子形状的框架内的反射板使得照明度均勻。在专利文献2中,公开了这样的情况其中假设太阳能电池板的光接收表面的整个区域被分为多个光接收部分,且为各个假设地分开的部分的每一个光接收表面而放置所选择的光量调节部件。[引用列表][专利文献]专利文献1 日本专利No. 3500352专利文献2 日本特开No. 2006-216619

发明内容
[技术问题]在专利文献1所公开的传统配置中,用于通过照射伪阳光测量太阳能电池板的输出的太阳能电池评估装置要求照明度等于要照射到该太阳能电池板上的标准阳光、而且在待测量太阳能电池板对象的有效面积上的照明度是均勻的(在两个方向上误差均小于等于2% )。在传统技术中,已经通过调节光源或其附近的反射板的斜度、或者通过在太阳能电池板的光接收部分的整个区域上放置光量调节部件而实现照明度的均勻。然而,由于难以通过调节反射板来调节照明度的微观量,且必须独立地调节被提供用于使照射光的量均勻的多个反射板的每一个的斜度。因此,使得光照射量均勻是时间密集的且困难的。附加地,在专利文献2中所公开的传统配置中,即使对于同一种类的光,也允许光从多个位置进入被分开的光接收表面。因此,使得光照射量均勻是高度时间密集的过程。还有,在换灯时,必需以用于使光照射量均勻的任何调节重新开始,从而消除由于灯或其放置的误差裕度的个别差异引起的任何照明度不规则。本发明意在解决上述的传统问题。本发明的目的是提供即使在照射对象面积很大时或即使在换灯之后,能容易可靠地在整个照射区域上发射具有均勻照明度的照射光的伪阳光照射装置;以及使用该伪阳光照射装置用于测量太阳能电池板的输出特性从而确定质量的太阳能电池板检验装置。[问题的解决方案]根据本发明的伪阳光照射装置包括在其中提供的多个光学系统,每一个光学系统包括具有不同范围的发射波长的至少两个光源;用于为来自两个光源的输出光的各自射线提供不同光谱分布的光学元件;以及用于传播通过所述光学元件获得的输出光并将该光作为区域照射发射到外部照射对象上的光导本体,其中假设照射对象的照射区域被分为多个较小的照射区域;每一个光学系统的光导部件对应于多个较小照射区域中的各区域; 并且多个光学系统发射光到整个照射区域之上,藉此实现上述目的。优选地,在根据本发明的伪阳光照射装置中,每一个光学系统包括具有第一光源的第一光照射装置,以及第一滤光器,作为用于调节从所述第一光源发射出来的光的光谱的光学元件;具有第二光源的第二光照射装置,以及第二滤光器,作为用于调节从所述第二光源发射出来的光的光谱的光学元件;以及第三光照射装置,具有用于将来自第一光照射装置的光和来自第二光照射装置的光混合起来用于获得类似于阳光的伪阳光的光混合部件,以及第三光导部件,用于将来自该光混合部件的该伪阳光从一端表面引入第三光导部件并传播该光穿过其内从而从所述第三光导部件的平面表面将具有高方向性的光作为区域照度均勻地发射到照射对象上。同为优选地,在根据本发明的伪阳光照射装置中,每一个光学系统包括具有第一光源的第一光照射装置,第一光导部件,用于将来自第一光源的输出光引入该第一光导部件的一端表面并从其另一端表面发射具有增加的方向性的光,以及第一滤光器,用于调节从所述第一光导元件的另一端表面输出的光的光谱;具有第二光源的第二光照射装置,第二光导部件,用于将来自第二光源的输出光引入该第二光导部件的一端表面并从其另一端表面发射具有增加的方向性的光,以及第二滤光器,用于调节从所述第二光导元件的另一端表面输出的光的光谱;以及第三光照射装置,具有用于将来自第一光照射装置的光和来自第二光照射装置的光混合起来用于获得类似于阳光的伪阳光的光混合部件,以及第三光导部件,用于将来自该光混合部件的该伪阳光从一端表面引入第三光导部件并传播该光穿过其内从而从所述第三光导部件的平面表面将具有高方向性的光作为区域照射均勻地发射到照射对象上。同为优选地,在根据本发明的伪阳光照射装置中,具有第一光照射装置、第二光照射装置、以及第三光照射装置的光学系统被定义为单元,且多个双单元组(其中所述组中每一个的单元彼此面对地被放置在左面和右面,且其中第三光照射装置的第三光导部件的另一端表面彼此接触)根据照射对象的尺寸以阵列被放置在前和后方向中。同为优选地,在根据本发明的伪阳光照射装置中,替代第三光照射装置,在放置第一光照射装置、第二光照射装置和光混合部分的左侧套件(left side set)与放置第一光照射装置、第二光照射装置和光混合部分的右侧套件之间,提供有第四光导部件,该第四光导部件将来自位于左侧的光混合部分的经混合的光带入该第四光导元件的一端表面并将该光传播通过其内部,并将来自位于右侧的光混合部分的光带入该第四光导元件的另一端表面并将该光传播通过其内部,从而将带有高方向性的光作为区域照射从第四光导元件的平面表面均勻地发射到照射对象上,且其中左侧套件、右侧套件和第四光导元件被定义为一个单元,且根据照射对象的尺寸将这样的多个单元以阵列放置在前和后方向中。提供根据本发明的太阳能检测装置,用于使用根据本发明的伪阳光照射装置测量太阳能电池板的输出特性从而确定质量。根据上述结构,下文将描述本发明的功能。在根据本发明的伪阳光照射装置中,提供了多个光学系统。每一个光学系统包括 具有不同范围的发射波长的至少两个光源;用于为来自两个光源的输出光的各自射线提供不同光谱分布的光学元件;以及用于传播通过所述光学元件获得的输出光并将该光作为区域照射发射到外部照射对象上的光导本体。假设照射对象的照射区域被分为多个较小的照射区域。光学系统的光导元件对应于该多个较小照射区域中的一些,且多个光学系统将该光发射至整个照射区域。相应地,对于每一个光学系统,提供能控制光量的灯光源和滤光器。假设照射对象的照射区域被分为组成多个较小照射区域的多个区域。进一步,光学系统的光导元件对应于多个较小照射区域中的各区域,且多个光学系统将该光发射至整个照射区域。因此,即使照射对象较大以及即使在换灯之后,可在整个照射区域上容易可靠地发射具有均勻照明度的照射光。简而言之,虽然可能难以使得较大照射区域的照射强度均勻且具有高准确度,但如果将这样的较大照射区域分为多个区域,且如果通过调节光学系统使得每一个光学系统的每一个较小照射区域的照射强度均勻且具有高准确度,那么其组合能使得较大照射区域的照射强度(光量)变得均勻且具有高准确度。[发明的有益效果]根据具有上述结构的本发明,假设照射对象的照射区域被分为构成多个较小照射区域的多个区域,光学系统的光导部件对应于该多个较小照射区域的各区域,且多个光学系统将光照射到整个照射区域上。因此,通过调节每一个光学系统的这样的较小照射区域的照射强度,即使照射对象的区域较大或即使在换灯之后,可容易可靠地将具有均勻照明度的照射光发射在这样的整个照射区域上。附图简述

图1是示意性地示出根据本发明的实施例1的伪阳光照射装置的重要部分的结构示例的透视图。图2是示意性地示出根据本发明的实施例1的伪阳光照射装置的重要部分的结构示例的纵剖视图。图3是示出图1中在前面的氙气光源、覆盖该氙气光源的反射体、以及孔板。图4(a)是图1中的氙气光源、反射体、孔板、以及锥形光导部件的纵剖视图。图 4(b)是示出图3中孔板的孔部分的平面图。图5是示意性地示出用于防止杂散光进入相邻锥形光导部件的锥形光导部件的第一结构的剖面图。图6是示意性地示出图5中的锥形光导部件的第一结构的外观的透视图。图7是图1中的伪阳光照射装置的平面图。图8(a)是示出照明度关于氙灯的波长的图表。图8(b)是示出照明度关于卤素灯的波长的图表。图9 (a)和9 (b)的每一个是用于进一步描述根据实施例1的伪阳光照射装置的光量调节的透视图。图10是示意地示出根据本发明的实施例2的伪阳光照射装置的重要部分的结构示例的透视图。图11是示意性地示出图10中的伪阳光照射装置的重要部分的结构示例的纵剖视图。图12是图10中的伪阳光照射装置的平面图。图13 (a)和13 (b)的每一个是用于进一步描述根据实施例2的伪阳光照射装置的光量调节的透视图。图14是示意性地示出图1中的伪阳光照射装置的重要部分的结构示例的变体的纵剖视图。[附图标记列表]1,IA伪阳光照射装置2氙气光源3a反射体3b 孔板31孔部分32光遮蔽部件4锥形光导部件41,91光遮蔽部件42,92光遮蔽部件5AM滤光片(第一滤光器;光谱调节过滤器)6第一光照射装置7,7A,2C,2D 卤素光源8,8A,3C,3D 反射体9,9C,9D锥形光导部件93光遮蔽部件(光遮蔽板)10,10C, IOD AM滤光片(第二滤光器;光谱调节过滤器)11第二光照射装置12光混合部分(波长选择镜)13照射对象(太阳能电池)14,14A光导部件15第三光照射装置15A第四光照射装置L1,L2 杂散光用于实现本发明的最佳模式参考附图,将详细地如下描述根据实施例1和2的本发明伪阳光照射装置;以及将该伪阳光照射装置应用于太阳能电池板检验装置的情况。相关于所备好的附图,每一个附图中的每一个元件的厚度、长度等并不限于附图中所示的配置。(实施例1)
图1是示意地示出根据本发明的实施例1的伪阳光照射装置的重要部分的结构示例的透视图。图2是示意性地示出图1中的伪阳光照射装置的重要部分的结构示例的纵剖视图。在图1和2中,根据实施例1的伪阳光照射装置1装配有第一光照射装置6。第一光照射装置6包括氙灯的氙气光源2 ;用于在其中容纳氙气光源2的反射体3a,具有用作反射表面的内表面;用于覆盖反射板3a的前面部分的孔板北;锥形光导部件4,用作锥形耦合器,用于引入来自其底端表面的氙输出光并将该光传播通过其中以改进光的方向性, 其中氙输出光来自孔板北的孔部分(未示出);以及AM滤光片5,用作用于过滤来自锥形光导部件4的氙光以形成更接近于光谱的较短波长侧的伪阳光的光谱的第一滤光器(光谱调节过滤器)。这样,在第一光照射装置6中,由反射体3a反射并收集来自氙气光源2的输出光。然后将氙输出光从孔板北的孔部分输出,然后氙输出光被引入锥形光导部件4(被称为锥形耦合器)的底侧表面。氙输出光被传输通过内部以形成具有高方向性的平行光, 且具有高方向性的氙光被从锥形光导部件4的顶端表面输出通过AM滤光片5。来自AM滤光片5的氙光对应于更接近光谱的较短波长侧的伪阳光的光谱。伪阳光照射装置1还装配有第二光照射装置11。第二光照射装置11包括卤素光源7,诸如卤素灯;用于容纳卤素光源7的反射体8,具有用作反射表面的内表面;锥形光导部件9,用于将由反射体8的该内表面反射的卤素输出光引入该锥形光导部件9的底端表面并传播该光穿过内部来改进该光的方向性;以及AM滤光片10,用作用于过滤来自锥形光导部件9的端部表面的卤素输出光以形成更接近于光谱的较长波长侧的伪阳光的光谱的第二滤光器(光谱调节过滤器)。这样,在第二光照射装置11中,由反射体8反射并收集来自卤素光源7的输出光。卤素输出光被引入被称为锥形耦合器的锥形光导部件9的一端表面,且该光被传播通过内部以形成具有高方向性的平行光。然后,该具有高方向性的卤素光从锥形光导部件9的另一端表面输出通过用于调节光谱的AM滤光片10。来自AM滤光片 10的卤素光对应于更接近光谱的较长波长侧的伪阳光的光谱。卤素光源7可以是单灯丝类型的卤素灯;然而,可使用双灯丝类型的卤素灯作为此处的卤素光源7以获得更多功率,并且结合两个卤素灯而使用锥形光导部件9。伪阳光照射装置1进一步装配有第三光照射装置15。第三光照射装置15包括光混合部分12,诸如波长选择镜(或者波长混合镜),用作反射及透射装置,用于反射来自AM 滤光片5的具有较短波长的氙输出光来调节第一光照射装置6的光谱、以及透射来自AM滤光片10的具有较长波长的卤素输出光以调节第二光照射装置11的光谱,从而混合光并获得类似于阳光的伪阳光;以及光导部件14,用于从一端表面引入伪阳光(来自光混合部分 12的经漫射的光)并传输该光通过内部,从而均勻地将具有高方向性的光L作为区域照射发射到诸如太阳能电池板之类的照射对象13上。进一步,如图2中所示,在两侧放置第三光照射装置15,且相应的光导部件14在其各自端表面处彼此接触。图3是示出图1中的氙气光源2、用于容纳该氙气光源2的反射体3a、以及在反射体3a前部的孔板北的透视图。图4(a)是图1中的氙气光源2、反射体3a、孔板北、以及锥形光导部件4的纵剖视图。图4(b)是示出图3中孔板北的孔部分的平面图。如图3、4(a)和4(b)中所示,在反射体3a的前部提供用于反射和收集来自氙气光源2的输出光反射体3a、以及孔板北。在孔板北中以预确定的间隔形成孔部分31。该配置为,具有良好方向性的氙光被引入孔部分31且被允许进入锥形耦合器(即光导部件4) 的底端表面。此处,发明人已经发现下述情况当用高准确度重建伪阳光的光谱分布作为伪阳光从而执行太阳能电池板的质量检验时,照射到作为照射对象13的太阳能电池板的伪阳光的光谱分布的干扰是由于从光源侧和锥形光导部件的端表面侧之间的开口之间逸出并通过锥形光导部件的侧表面进入相邻锥形光导部件的具有较差方向性的杂散光所致。为了防止杂散光通过光导部件的侧表面进入相邻锥形光导部件,将光遮蔽部件放置于,例如,相邻的锥形光导部件4,与位于氙气光源2和锥形光导部件4的底部端表面侧之间的开口,此二者之间。图5是示意性地示出用于防止杂散光进入相邻锥形光导部件的锥形光导部件的第一结构的剖面图。图6是示意性地示出图5中的锥形光导部件的第一结构的透视图。尽管图1中氙灯的灯光源2和反射体3a被以多个数量提供且全在一起,但在图5中,为每两个相邻套件而配置灯光源和反射体。灯光源2和反射体3a可采用各种结构以获得输出光的期望的量。进一步,可将第一结构和第二结构应用于卤素光的锥形光导部件9。在第一光照射装置6中,不是锥形光导部件4(用于增加氙输出光的方向性的锥形耦合器)的上端表面和下端表面,锥形光导部件4的周围侧表面被覆盖有如图5(a)和6中的独立的光遮蔽部件41。如图所示,锥形光导部件4的外围(侧壁)由光遮蔽部件41所围绕。因此,即使从锥形光导部件4的底端表面和孔板北的孔部分之间的开口逸出的具有较差方向性的杂散光Ll和L2,照射光遮蔽部件41时,光遮蔽部件41防止光通过侧表面被引入锥形光导部件4内部、从光混合部分12的波长选择镜反射、并进入光导板14侧作为杂散光L2,如传统地发生的那样。另一方面,关于在接近于卤素光源7的一侧上的杂散光,作为锥形耦合器的锥形光导部件9的周围侧表面(而不是其一端表面和另一端表面),为了增加卤素输出光的方向性,而被覆盖有如图5和6中所示的独立的光遮蔽部件91。然而,由于卤素光是热射线,温度上升。因此,较好的是尽可能少地覆盖外围。简而言之,在卤素光源7的侧面上,当光遮蔽比率较高时,易于变热。因此,在卤素光源7的侧面上将光遮蔽比率设定为较低。被放置在用于增加来自卤素光源7的输出光的方向性的相邻锥形光导部件9之间的光遮蔽部件的光遮蔽比率,被设定为低于被放置在用于增加来自氙气光源2的输出光的方向性的相邻锥形光导部件4之间的光遮蔽部件的光遮蔽比率。因此,可防止由于吸收了由光遮蔽部件所反射的卤素光而引起的遮蔽部件的温度上升。由于这个理由,较好的是来自光遮蔽部件的反射尽可能小。接着,将描述具有自由地可改变的照射区域的成组化过程。如图1中所示,根据实施例1的伪阳光照射装置1包括多个组,所述多个组中的每一组包括第一光照射装置6、第二光照射装置11、以及第三光照射装置15,所述多个组中的每一组被提供在左侧或右侧。在实施例1中,以阵列提供八套这样的组(十六个单元),不留空间。第一光照射装置6、第二光照射装置11、以及第三光照射装置15的组可与另一组组成单元,这样可准确地制造它们。第一光照射装置6、第二光照射装置11、以及第三光照射装置15的单元可被组合在一起以具有对应于太阳能电池板的期望尺寸的伪阳光的照射区域的尺寸。因此,在每一侧上的两组(每一组由第一光照射装置6、第二光照射装置11、以及第三光照射装置15组成)并不被限于前和后方向上的八套(十六个单元)。因此,可实现将能自由改变照射区域的单元伪阳光照射装置成组化为光学系统。在这个情况下,在第一光照射装置6中,由于氙气光源2、反射体3a、以及孔板北全都在一个照射路径(course) 中,它们被一起使用。也可为每一个锥形光导部件4而提供这些氙气光源2、反射体3a、以及孔板北。如上所述,将第一光照射装置6、第二光照射装置11、以及第三光照射装置15的组成组化作为一个单元使得可能抑制单元的照射区域上的照射亮度的变化并准确地获得所期望的照射亮度(光量)。即使当照射区域的成组化单元与另一个相组合以形成更大的照射区域时,可在作为整体的较大的照射区域中抑制照射亮度的变化,以获得所期望的均勻的照射亮度(光量)。简而言之,尽管可能难以准确地使得较大照射区域的照射亮度均勻, 通过将较大照射区域分为多个区域、准确地使得每一个较小照射区域的照射亮度均勻并简单地将这些区域组合在一起,可准确地使得较大照射区域的照射亮度(光量)变得均勻。因此,第一光照射装置6、第二光照射装置11、以及第三光照射装置15的组被形成为单元,且制造该单元以使单元的照射亮度(光量)高度地准确。当根据太阳能电池板的尺寸而组装单元时,不必要调节照射亮度的量(光量),而此项步骤传统地是进行的且耗费大量时间。具体地,传统地,必须使用根据太阳能电池板的尺寸而在重要的点提供具有参考照度检测单元的照射亮度检验装置来测量整个较大照射区域中的哪些部分具有较低的照射亮度,并且调节具有较低照射亮度的部分来增加照射亮度。有了本发明,这些工作并不是必要的。进一步,在定期维护中,这样的照射亮度调节不是必要的。不加变化地准确制备成组化的光照射装置的单元,使得照射亮度的调节是不必要的,且这样的光照射装置易于维护。 在过去,要花费很长时间来调节整个照射区域的这样的照射亮度(来调节光量)。接着,将进一步描述整个照射区域的照射亮度的调节(光量的调节)。图8是图1中的伪阳光照射装置1的平面图。第一光照射装置6、第二光照射装置11、以及第三光照射装置15的组作为单元,两个这样的组分别被提供在左侧和右侧,在前和后方向中提供八套这样的单元。由于从位于前和后方向的两端(最接近的一端和最远的一端)上的反射体输出的光量表现出较少的趋势,此处将来自这两端的反射体的光量增加为大于更接近中间部分的其他部分的光量,如图7中的平面图所示,这样照射光的量可均勻。在前和后方向的两端,可使用卤素光源7A, 这比卤素光源7稍大一点。伪阳光照射装置IA还装配有第二光照射装置IlA0第二光照射装置IlA包括具有比卤素光源7的光输出的量更大的光输出量的卤素光源7A ;用于容纳卤素光源7A的反射体8A,具有用作反射表面的内表面;锥形光导部件9,用于将由反射体8A的该内表面反射的卤素输出光引入该锥形光导部件9的一端表面并传播该光穿过内部来改进该光的方向性;以及AM滤光片10,用作第二滤光器,用于过滤来自锥形光导部件9的另一端表面的卤素输出光,以形成更接近于较长波长侧的伪阳光。在这个情况下,反射体8A、锥形光导部件 9、以及AM滤光片10是与卤素光源7A的光输出量兼容的。如果反射体8与光输出的量兼容,反射体8可与反射体8A —样。此外,在根据实施例1的伪阳光照射装置1中,由第一光照射装置6、第二光照射装置11、以及第三光照射装置15组成的组被成组化,两组被分别设置在左侧和右侧。然后,在前和后方向中以阵列提供8个这样的套件(两组被分别设置在左侧和右侧,构成一套件;总共16个单元)。单元可包括具有不同光输出量的至少一个可替换灯或具有不同光透射率的可替换AM滤光片5 (光谱调节过滤器),这样可个别地调节进入光引导片14的光的照射亮度(光量)。通过提供之前提到的卤素光源7或卤素光源7A(具有更大的输出光量)的连接部分,可替换具有不同光输出量的光源。接着,将描述太阳能电池板检验装置,该装置能精确地检验通过均勻地发射伪阳光作为区域照射在太阳能电池板上所获得的发电量的质量。图8(a)是示出照明度关于氙灯的波长的图表。图8(b)是示出照明度关于卤素灯的波长的图表。来自氙灯的输出光,相比卤素光,具有较少的对温度增加作出贡献的热射线组分, 且具有更接近于光谱的较短波长侧的阳光的光谱,如图8(b)中所示。来自卤素灯的输出光具有很多对温度增加作出贡献的热射线组分,且具有更接近于光谱的较长波长侧的阳光的光谱,如图8(b)中所示。通过允许氙灯和卤素灯的输出光通过并在光混合部分12处混合可获得类似于阳光的伪阳光。可将伪阳光从诸如波长选择镜(或波长混合镜)之类的光混合部分12引导到每一个光导部件14和14中,且可传播伪阳光从而均勻地将具有高方向性的光作为区域光发射到照射对象13 (太阳能电池板)上。藉此,通过用发电量检验装置来检验作为照射对象13的太阳能电池板是否具有大于或等于基准的发电量,进行照射对象13 (诸如太阳能电池板)的质量检验。从伪阳光照射装置1和发电量检验装置而获得太阳能电池板检验装置。根据上述的实施例1,在照射伪阳光的伪阳光照射装置1中,使用了其中诸如氙气光源2之类的短波长范围和长波长范围中光的能量很大的光源、并且使用了诸如卤素光源 7之类的对应于阳光的长波长范围的波长范围中的光。因此,可准确地进行用于测量太阳能电池板的输出特性的检验。此外,当使用了不使用较长波长光的光源时,在遮蔽锥形光导部件4和9的光遮蔽方法中,通过在相邻锥形光导部件之间设置光遮蔽部件,可防止杂散光 L2从相邻的锥形光导部件的侧表面进入其中。可防止从用于引导到氙气光源2的孔板北的孔部分31逸出的具有较差方向性的杂散光L2进入氙气光源2的锥形引导部分4、被引导在光导部件14和14之内、并减少照射表面的照度的均勻性。进一步,通过用小于更接近氙气光源2的侧面上的光遮蔽部件的光遮蔽部件来遮蔽更接近于卤素光源7的侧面上的光,可防止温度的不正常上升,且还可防止传统反射盒子等内表面上的涂覆部件由于高热量引起的频谱特性变化的不良影响。将进一步描述光量的调节。图9 (a)和9 (b)分别是用于进一步描述根据实施例1的伪阳光照射装置1的光量调节的透视图。在图9(a)和9(b)中,没有示出图1中的第一光照射装置6和光混合部分 12(波长选择镜)。在使用图9(a)和9(b)的仅有关光量调节的描述中,第一光照射装置6 和光混合部分12 (波长选择镜)并不是必须的。简而言之,光量调节的描述可被应用于图 1。如图9(a)中所示,相应的光导部件14和光源灯2C是一一成对的,调换了一些灯或者调节了电流,这样可个别地控制从光源灯2C输出的光量。在这个情况下,通过将AM滤光片IOC(光谱调节过滤器)替换为具有不同光透射率的滤波器,也可调节进入各自光导部件14的光量。在相关于根据实施例1的伪阳光照射装置1的这样的调节的情况下,可替换疝气光源2和卤素光源7的灯并可调节电流,这样可个别地控制从光源灯输出的光量。进一步,可用具有不同透光率的AM滤光片替换AM滤光片5和AM滤光片10,这样也可调节进入各自光导部件14的光量。进一步,如图9 (b)中所示,光导部件14可处于一个照射路径中而不被划分,类似于光源灯2D,通过仅替换AM滤光片IOD (光谱调节过滤器)可个别地控制每一个滤波器的透射率。可选地,除了 AM滤光片IOD (光谱调节过滤器)之外,通过增加光透射滤波器作为用于控制透射的校正滤波器,可抑制并调节进入光导部件14的光量。这没有被应用于根据实施例1的伪阳光照射装置1 ;反之,如10(b)中所示,可将根据实施例1的伪阳光照射装置1的疝气光源2和反射体3a、或者卤素光源7和反射体8形成在一个照射路径中。(实施例2)在实施例1中,描述了这样的情况,其中将第三光照射装置15放置在左侧和右侧, 且光导部件14在其端表面处彼此接触。在实施例2中,将描述这样的情况,将左侧和右侧上的光导部件14彼此结合,这样实施例1中在左侧和右侧的第三光照射装置15也被彼此
纟口口。具体地,在实施例1中,已经描述了这样的情况,作为伪阳光照射装置1,将第一光照射装置6、第二光照射装置11和第三光照射装置15成组化为一套件;将这些被成组化的套件在左右方向中彼此面对;且根据照射对象13的尺寸在前和后方向中以阵列放置多个这样的双单元,其中第三光照射装置15的相应第三光导部件14和14的另一端表面彼此接触。在实施例2中,将描述这样的情况,作为将要描述的伪阳光照射装置1A,在设置具有第一光照射装置6、第二光照射装置11、以及设置于其中的光混合部分12的左侧和设置具有第一光照射装置6、第二光照射装置11、以及设置于其中的光混合部分12的右侧之间,提供有第四光导部件14A,用于将来自右侧上的混合部分12的经混合的光引导入另一端表面, 并允许光传播通过其中,来均勻地从平的表面发射具有高方向性的光作为区域光到照射对象13上。它们被成组化为一套件,且根据照射对象的尺寸,将多个这样被成组化的套件以阵列放置在前和后方向上。图10是示意地示出根据本发明的实施例2的伪阳光照射装置的重要部分的结构示例的透视图。图11是示意性地根据本发明的实施例10的伪阳光照射装置的重要部分的结构示例的纵剖视图。注意,在图10和11中,为具有与图1和2中相同功效的结构部件提供相同的参考标号。在图10和11中,尽管根据实施例2的伪阳光照射装置IA包括与实施例1中的第一光照射装置6和第二光照射装置11 (或11A) —样的配置,伪阳光照射装置IA不同之处在于,其中在左侧的第一光照射装置6和第二光照射装置11 (或11A)和在右侧的第一光照射装置6和第二光照射装置11 (或11A)被用作一个单元。进一步,替代实施例1中的第三光照射装置15的配置,将使用第四光照射装置15A。简而言之,根据实施例2的伪阳光照射装置IA和根据实施例1的伪阳光照射装置1的情况的不同之处在于,在这个装置中使用了光导部件14A,其中在左侧和右侧上的根据实施例1的光导部件14被彼此结合。因此,使用了第四光照射装置15A,其中在左侧和右侧的两个光照射装置15被彼此结合。第四光照射装置15A包括在左侧的光混合部分12,诸如波长选择镜(或者波长混合镜),作为反射及透射装置,用于反射来自AM滤光片5的具有较短波长的氙输出光来调节在左侧的第一光照射装置6的光谱、并透射来自AM滤光片10的具有较长波长的卤素输出光,来调节在左侧的第二光照射装置11的光谱,从而混合光并获得类似于阳光的伪阳光;在右侧的光混合部分12,诸如波长选择镜(或者波长混合镜),作为反射及透射装置,用于反射来自AM滤光片5的具有较短波长的氙输出光来调节在右侧的第一光照射装置6的光谱、并透射来自AM滤光片10的具有较长波长的卤素输出光来调节在右侧的第二光照射装置11的光谱,从而混合光并获得类似于阳光的伪阳光;以及光导部件14A,用于将伪阳光 (来自左侧的混合部分12的散射光)引导到一端表面并将该光引导通过其内,并且将伪阳光(来自右侧的混合部分12的散射光)引导到另一端表面并将该光引导通过其内,从而均勻地将具有高准确度的光L作为区域照射发射到诸如例如太阳能电池板之类的照射对象 13上。在这个情况下,在第四光照射装置15A中,以集成形式形成了光导部件14A。相比如果如实施例1中将光导部件14A分为两个光导部件14和14的情况,光导部件14A可更有效地利用光,因为在其之间的端表面处没有光反射。此外,在用于如实施例 1中排列光导部件的方法中,当光从另一端表面被反射时,反射镜的使用将对光谱产生不良影响。另一方面,光导部件14A不需要如实施例1中那样被分割为左边和右边的两个光导部件14。因此,在中间端表面上没有光调节的必要,且可良好地维持光谱特性。当光导部件14A是由玻璃材料制成时,随着区域变得越大,光导部件14A的制造将更困难。然而,这样的玻璃材料可优化地应用于具有相对小的面积的光导部件14A。接着,将描述具有自由地可改变的照射区域的成组化。如图10中所示,根据实施例2的伪阳光照射装置IA包括在左侧和右侧的第一光照射装置6、位于左侧和右侧的第二光照射装置11、以及第四光照射装置15A,所有这些被配置为一个单元。在实施例2中,其中没有空间地在前和后方向中以阵列提供八套这样的单元。在左侧和右侧的第一光照射装置6、位于左侧和右侧的第二光照射装置11、以及第四光照射装置15A可被成组化为一个单元,这允许准确地制造该单元。在左侧和右侧的第一光照射装置6、位于左侧和右侧的第二光照射装置11、以及第四光照射装置15A在前和后方向上被组合为一个单元,这样可获得对应于太阳能电池板的期望尺寸的伪阳光照射平面的尺寸。因此,在左侧和右侧的第一光照射装置6、位于左侧和右侧的第二光照射装置11、以及第四光照射装置15A的单元并不限于在前和后方向上的八个这样的单元的情况。藉此, 可获得具有自由地可改变的照射区域的成组化。同样在这个情况下,由于氙气光源2、反射体3a、以及孔板北全都在一个照射路径中,它们被一起使用。也可为每一个锥形光导部件 4而提供这些氙气光源2、反射体3a、以及孔板北。如上所述,将在左侧和右侧的第一光照射装置6、位于左侧和右侧的第二光照射装置11、以及第四光照射装置15A成组化作为一个单元使得可能抑制单元的照射区域上的照射亮度的变化并准确地获得所期望的照射亮度(光量)。即使当照射区域的成组化的单元与另一个相组合以形成更大的照射区域时,可在该较大的照射区域中整体上抑制照射亮度的变化,以获得所期望的均勻的照射亮度(光量)。简而言之,尽管难以准确地使得较大照射区域的照射亮度均勻,通过将较大照射区域分为多个区域、准确地使得每一个较小照射区域的照射亮度均勻并仅仅将这些区域组合在一起,可准确地使得较大照射区域的照射亮度(光量)变得均勻。
因此,在左侧和右侧的第一光照射装置6、位于左侧和右侧的第二光照射装置11、 以及第四光照射装置15A被形成为单元,且制造该单元以使单元的照射亮度(光量)高度地准确。当根据太阳能电池板的尺寸而组装单元时,不必要如传统地所进行的那样调节照射亮度的光量(光量),这会耗费大量时间。具体地,传统地,必须使用根据太阳能电池板的尺寸而在重要的点提供具有参考照度检测单元的照射亮度检验装置来测量整个较大照射区域中的哪些部分具有较低的照射亮度,并且调节具有较低照射亮度的部分来增加照射亮度。有了本发明,这些工作并不是必要的。接着,将进一步描述整个照射区域的照射亮度的调节(光量的调节)。图12是图10中的伪阳光照射装置IA的平面图。在左侧和右侧的第一光照射装置6、位于左侧和右侧的第二光照射装置11、以及第四光照射装置15A构成单元,且在前和后方向上提供八个这样的单元。由于从位于前和后方向的两端(最接近的一端和最远的一端)上的反射体输出的光量表现出较少的趋势, 如图13中的平面图所示,类似于图8中的平面图所示的情况,此处将来自这两端的反射体的光量增加为大于更接近中间部分的其他部分的光量,这样照射光的量可均勻。在前和后方向的两端,可使用卤素光源7A,这比卤素光源7稍大一点。在根据实施例2的伪阳光照射装置IA中,将位于左侧和右侧的第二光照射装置 11、以及第四光照射装置15A成组化,在前和后方向上以阵列来提供八个这样的单元。至少这个单元可包括具有不同输出光量的可替换灯或者具有不同光透射率的可替换AM滤光片 5 (光谱调节过滤器),这样可个别地调节进入光导板14A照射亮度(光量)。通过提供之前提到的卤素光源7或卤素光源7A(具有更大的输出光量)的连接部分,可替换具有不同光输出量的光源。根据具有上述结构的实施例1和2,采用光导部件14或14A的图案(散射体),其中通过调节氙气光和卤素光的光谱以及混合氙气光和卤素光而获得允许被进入的伪阳光, 具有均勻照明度的光可从光导部件14或14A照射出。由于假设照射作为照射对象13的太阳能电池板的照射表面被分为多个区域,且排列光导部件14或14A以对应于各自的被分开的较小照射区域,通过仅调节每一个光导部件14或14A的较小照射表面的照射光的量,可简单可靠地实现多个较小照射区域的整个表面的照明度的均勻化。如果该太阳能电池板具有较大面积,那么通过排列多个光学系统来匹配该太阳能电池板的尺寸,即使面积较大,可简单可靠且快速地产生具有均勻照明度的照射光。进一步,即使在换灯之后,由于灯的个体差异,对单个灯的照明度产生不规则性,通过仅对每一个成组化的光学系统的光量进行调节可获得均勻的照射光。因此,重新调节是不必要的。尽管没有在实施例1和2中具体地描述,在光导部件14和14A上印刷有散射体 (图案)。进入光导部件14和14A的光由该散射体散射,从而均勻地将光作为区域照射照射在作为照射对象13的太阳能电池板上。被印刷的光导部件14和14A的散射体(图案) 具有使照明度在整个照射表面上变得均勻的图案。当放置在太阳能电池板上的照射表面左边和右边产生不规则性时,通过调节在左边和右边(一个单元)上的每一个成组化的光源光学系统的输出光的量,可简单可靠地减少照明度不规则性。如果在左边和右边的光源光学系统的光导部件14和14被结合为光导部件14A,当在照射表面上发生照明度不规则时, 来自被结合的光源光学系统的光导部件14A的照射光被照射在整个照射表面上。因此,仅使用光量调节的在照射表面上的照明度的部分调节相比在左边和右边的光源光学系统的光导部件14和14的情况是更为困难的。此外,当左边和右边的光源光学系统的光导部件 14和14被结合为光导部件14A时,散射体的所印刷的图案有必要在广阔区域中产生均勻的光,且进一步即使当光从光导部件的两个边缘进入时可照射均勻的光。因此,有必要对照射区域进行左边和右边的光导部件14和14的结合,到不阻止产生均勻光的程度。采用在左边和右边的光导部件14和14,在照射表面上照明度不规则性的调节相比集成的光导部件而言更容易。进一步,当太阳能电池板被增大,仅通过排列数量众多的本发明的光学系统可产生广阔区域中的均勻光。附加地,即使对于广阔的区域,仅通过调节来自每一个光学系统的光源光学系统的照射光,使得照射区域上的照明度均勻的调节变得可能。进一步,类似于实施例1的情况,为了防止杂散光通过光导部件的侧表面进入相邻锥形光导部件4或9,光遮蔽部件被放置在,例如,在相邻的锥形光导部件4,与位于氙气光源2和锥形光导部件4的底部端表面侧之间的开口,此二者之间。例如,如图5(a)中所示,光遮蔽部件41围绕着锥形光导部件4的外围(侧壁),这样从锥形光导部件4的底端表面和孔板北的孔部分之间的开口逸出的具有较差方向性的杂散光Ll和L2,照射光遮蔽部件41。因此,这防止光通过侧表面进入锥形光导部件4内、从光混合部件的波长选择镜反射、并且作为杂散光L2进入光导板14侧,如传统地所发生的那样。可选地,如图5(b)中所示,具有预确定高度的光遮蔽壁的环状光遮蔽部件42被放置在朝向邻近光导部件的侧面上,例如,在锥形光导部件4的横截面形状中的周缘侧,以覆盖锥形光导部件4的底端表面与面对反射体3a的孔板北之间的开口。因此,从锥形光导部件4的底端表面和孔板北的孔部分之间的开口逸出的具有较差方向性的杂散光Ll和L2,照射光遮蔽部件42的内表面;这防止光通过侧表面进入锥形光导部件4内部、从光混合部分12的波长选择镜反射、并且进入光导板14侧作为杂散光L2。尽管没有在实施例1中具体描述,在伪阳光照射装置1中,提供了多个光学系统。 每一个光学系统包括具有不同范围的发射波长的至少两个光源;用于为来自两个光源的输出光的各自射线提供不同光谱分布的光学元件;以及用于传播通过所述光学元件获得的输出光并将该光作为区域照射向外发射的光导本体。假设照射对象13的照射区域被分为组成多个较小照射区域的多个区域。光学系统的光导元件对应于该多个较小照射区域中的对应项,且多个光学系统将该光发射至整个照射区域。因此,由于即使照射对象的面积较大或者即使在换灯之后,可在整个照射区域上容易可靠地发射具有均勻的照明度的照射光, 可实现本发明的目的。在实施例1中,已经描述了这样的情况,如图2中所示,其中所述光学系统包括第一光照射装置6,含有第一光源(氙灯幻、用于将来自所述第一光源的输出光引入一端表面并从另一端表面输出具有改进的方向性的光的第一光导部件(锥形光导部件4)、以及用于调节从所述第一光导部件输出的光的光谱的第一滤光器(AM滤光片幻;第二光照射装置 11,含有第二光源(卤素灯7)、用于将来自所述第二光源的输出光引入一端表面并从另一端表面输出具有改进的方向性的光的第二光导部件(锥形光导部件9)、以及用于调节从所述第二光导部件输出的光的光谱的第二滤光器;以及第三光照射装置15,含有光混合部件12,用于通过将来自第一光照射装置6的光和来自第二光照射装置11的光混合而获得类似于阳光的伪阳光,以及第三光导部件(光导部件14),用于将来自光混合部件12的伪阳光引入一端表面,传送该光通过其内部,来均勻地将来自平面表面的具有高方向性的光作为区域照射发射至照射对象13。该结构并不限于此。如图14中所示,该光学系统可包括 第一光照射装置6,其具有第一光源(氙灯幻、以及用作用于调节从所述第一光源发射出来的光的光谱的光学元件的第一滤光器(AM滤光片幻;第二光照射装置11,其具有第二光源 (卤素灯7)、以及用作用于调节从所述第二光源发射出来的光的光谱的光学元件的第二滤光器(AM滤光片10);以及第三光导部件15,其含有光混合部件12,用于通过将来自第一光照射装置6的光和来自第二光照射装置11的光混合而获得类似于阳光的伪阳光;以及第三光导部件14,用于将来自光混合部件12的伪阳光引入一端表面,传送该光通过其内部,来均勻地将来自平面表面的具有高方向性的光发射到照射对象13上。在这个结构中,相比于实施例1中的情况,差异仅在于所述第一光导部件(锥形光导部件4)和第二光导部件(锥形光导部件9)不存在。在实施例1中,第一光照射装置6、第二光照射装置11、以及第三光照射装置15被形成为一个单元。多个双单元组被根据照射对象13的尺寸而以阵列放置在前和后方向中, 其中所述组中每一个组的单元在左和右方向中被放置为彼此面对,且其中第三光照射装置 15的各自的第三光导部件(光导部件14)的另一端表面彼此接触。另一方面,在实施例2 中,在其中设置了第一光照射装置6、第二光照射装置11、以及光混合部分12的左侧套件与其中设置了第一光照射装置6、第二光照射装置11、以及光混合部分12的右侧套件之间,提供了第四光导部件(光导部件14A),用于将来自在左侧的混合部分12的光引入一端表面, 并允许该光传播穿过其内部,以及将来自在右侧的混合部分12的光引入另一端表面,并允许该光穿过传播其内部,从而均勻地将来自平表面的具有高方向性的光作为区域照射发射到照射对象13上。这成为一个单元,且根据照射对象13的尺寸,将多个这样的单元以阵列放置在前和后方向上。尽管没有在实施例2中具体地示出,类似于实施例1的情况,当来自区域照射的光导部件14A的输出光的量的平衡被调节时,独立于位于中间的光学系统的条件而改变光量,允许光通过两侧进入光导部件14A。具体地,即使在固定了伪阳光的光谱分布之后,可在不改变伪阳光的光谱分布的情况下调节来自光导部件14A的输出光的量。尽管没有在实施例2中具体描述,类似于实施例1中的情况,如图13(a)中所示, 光导部件14和光源灯2C是一一成对的,调换一些灯或者调节电流,这样可个别地控制从光源灯2C输出的光量。在这个情况下,当然,通过将AM滤光片IOC(光谱调节过滤器)替换为具有不同光透射率的那些,也可调节进入光导部件14的光量。在相关于根据实施例2的伪阳光照射装置IA的这样的调节的情况下,可替换疝气光源2和卤素光源7的灯并可调节电流,这样可个别地控制从光源灯输出的光量。进一步,可用具有不同透光率的AM滤光片替换AM滤光片5和AM滤光片10,这样也可调节进入光导部件14A的光量。进一步,如图13(b)中所示,在不分割的情况下,光导部件14A可处于一个照射路径中,类似于光源灯2D,通过仅替换AM滤光片IOD (光谱调节过滤器)可个别地控制每一个滤波器的透射率。可选地,光谱调节过滤器通过增加光透射滤波器而非AM滤光片IOD (光谱调节过滤器)作为用于控制透射的校正滤波器,可抑制并调节进入光导部件14A的光量。 这不可应用于根据实施例2的伪阳光照射装置IA ;反之,如13(b)中所示,根据实施例2的伪阳光照射装置IA的疝气光源2和反射体3a、或者卤素光源7和反射体8可被形成在一个照射路径中。在实施例1和2中,已经描述了伪阳光照射装置1和1A,其中提供了第一光照射装置6、第二光照射装置11、以及第三光照射装置15或15A的多个套件;第一锥形光导部件 4与另一个相邻地排列,且第二锥形光导部件9与另一个相邻地排列;并且在相邻的锥形光导部件4和/或相邻的锥形光导部件9之间放置光遮蔽部件。然而,并非限制,这样的伪阳光照射装置可以是包括区域照射光导部件14或14A,用于将来自第一光照射装置6或第二光照射装置11的伪阳光引入一端表面,允许该光传播通过其内部,并均勻地将具有高方向性的光作为区域照射发射到照射对象13上。在这个情况下,第一光照射装置6或第二光照射装置11的光导部件包括放置在其上用于遮蔽光的光遮蔽部件,这样杂散光除了锥形光导部件的一端表面和另一端表面之外,将不进入外围壁。尽管没有在实施例1或2中具体描述,用作第一滤光器的AM滤光片5,由多个滤波器组成,用于调节氙气光源2的光谱,且滤波器之一是仅反射近红外光的反射镜,且进一步,放置光遮蔽部件41或42来覆盖锥形光导部件4的表面(不是允许光进入或出来的表面),从而增加从氙气光源2输出光的方向性。藉此,可防止由于近红外光反射镜引起的杂散光。如上所示,通过使用优选实施例1和2例证了本发明。然而,本发明不应该基于上述实施例1和2而被孤立地解释。应该理解本发明的范围应该仅基于权利要求而被解释。 还应该理解,基于本发明的描述和对于本发明详细的优选实施例1和2的描述的基本理解, 本领域技术人员可实现技术的等同范围。进一步,可理解,在本发明中所引用的任何专利、 任何专利申请、以及任何参考文献应该通过引用并入本发明,如同这些内容在此被详细地描述一样。工业实用性本发明可被应用于用于将具有高方向性的伪阳光发射到照射对象的伪阳光照射装置,以及使用该伪阳光照射装置、用于测量太阳能电池板的输出特性来确定质量的太阳能电池板检验装置。根据本发明,即使照射对象的面积较大以及即使在换灯之后,可在整个照射区域上容易可靠地发射具有均勻照明度的照射光。
权利要求
1.伪阳光照射装置,其含有在其中提供的多个光学系统,每一个光学系统包括 具有不同范围的发射波长的至少两个光源;用于为来自所述两个光源的输出光的各自射线提供不同光谱分布的光学元件;以及用于传播通过所述光学元件获得的输出光并将所述光作为区域照射发射到外部照射对象上的光导本体,其中假设照射对象的照射区域被分为多个较小的照射区域;每一个所述光学系统的光导部件对应于所述多个较小照射区域中的相应各区域;并且所述多个光学系统发射所述光到所述整个照射区域上。
2.如权利要求1所述的伪阳光照射装置中,其特征在于,每一个所述光学系统包括 第一光照射装置,其具有第一光源,以及第一滤光器,作为用于调节从所述第一光源发射出来的光的光谱的光学元件;第二光照射装置,其具有第二光源,以及第二滤光器,作为用于调节从所述第二光源发射出来的光的光谱的光学元件;以及第三光照射装置,具有用于将来自第一光照射装置的光和来自第二光照射装置的光混合起来从而获得类似于阳光的伪阳光的光混合部件,以及第三光导部件,用于将来自所述光混合部件的所述伪阳光从一端表面引入所述第三光导部件,并传播所述光穿过其内,从而将具有高方向性的光从所述第三光导部件的平面表面作为区域照射均勻地发射到照射对象上。
3.如权利要求1所述的伪阳光照射装置中,其特征在于,每一个所述光学系统包括 第一光照射装置,其具有第一光源,第一光导部件,用于将来自所述第一光源的输出光引入所述第一光导部件的一端面并从其另一端表面发射具有增加的方向性的光、以及第一滤光器,用于调节从所述第一光导部件的另一端表面输出的光的光谱;第二光照射装置,其具有第二光源,第二光导部件,用于将来自第二光源的输出光引入所述第二光导部件的一端表面并从其另一端表面发射具有增加的方向性的光、以及第二滤光器,用于调节从所述第二光导部件的另一端表面输出的光的光谱;以及第三光照射装置,具有用于将来自所述第一光照射装置的光和来自所述第二光照射装置的光混合起来从而获得类似于阳光的伪阳光的光混合部件,以及第三光导部件,用于将来自所述光混合部件的所述伪阳光从一端表面引入所述第三光导部件,并传播所述光穿过其内,从而将具有高方向性的光从所述第三光导部件的平面表面作为区域照射均勻地发射到照射对象上。
4.如权利要求2或3所述的伪阳光照射装置中,其特征在于,具有第一光照射装置、 第二光照射装置、以及第三光照射装置的所述光学系统被定义为一个单元,且多个双单元的组根据所述照射对象的尺寸被放置在前和后方向,其中所述每一组的单元被放置在面对彼此的左边和右边,且其中所述第三光照射装置的所述第三光导部件的另一端表面彼此接触。
5.如权利要求2或3所述的伪阳光照射装置中,其特征在于,替代所述第三光照射装置,在其中放置所述第一光照射装置、所述第二光照射装置和所述光混合部分的左侧套件与其中放置所述第一光照射装置、所述第二光照射装置和所述光混合部分的右侧套件之间,提供有第四光导部件,所述第四光导部件用于将来自位于左侧的所述光混合部分的经混合的光引入所述第四光导元件的一端表面并将所述光传播通过其内部,以及将来自位于右侧的所述光混合部分的光引入所述第四光导元件的另一端表面并将所述光传播通过其内部,从而将具有高方向性的光作为区域照射均勻地从所述第四光导元件的平面表面发射到照射对象上,以及其中所述左侧套件、所述右侧套件和所述第四光导元件被定义为一个单元,且根据照射对象的尺寸将多个所述单元以阵列放置在前和后方向。
6.使用如权利要求1-3中任一个所述的伪阳光照射装置,用于测量太阳能电池板的输出特性从而确定质量的太阳能电池板检验装置。
全文摘要
即使照射对象面积较大以及即使在换灯之后,具有均匀的照明度的光容易可靠地照射在在整个照射区域上。对于每一个光学系统,提供能控制光量的灯光源和滤光器。假设照射对象的照射区域被分为组成多个较小照射区域的多个区域。进一步,光学系统的光导部件对应于多个较小照射区域中的相应每一个,且多个光学系统将该光发射至整个照射区域。
文档编号H01L31/04GK102575820SQ20118000379
公开日2012年7月11日 申请日期2011年8月29日 优先权日2010年10月8日
发明者多田野宏之 申请人:夏普株式会社
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1