专利名称：加热器单元、风扇过滤器单元和基板处理装置的制作方法
技术领域：
本发明的实施方式涉及加热器单元、使用该加热器单元的风扇过滤器单元、使用该风扇过滤器单元的基板处理装置。
背景技术：
在半导体晶片和液晶基板等基板处理工序中，为了防止基板处理时广生不良情况，需要在抑制基板处理装置内的灰尘的环境下进行基板处理。通过向基板处理装置内供应采用过滤器捕集了灰尘后的清洁空气，来进行基板处理装置内灰尘的抑制。 此外，在基板处理步骤中，通过提高处理环境的温度，可以激活处理反应以加快处理速度，并且可以提高生产率。因此，在基板处理装置之外设置产生热风的热风产生装置，将由热风产生装置产生的热风供应到基板处理装置内，并且使用过滤器捕集对基板处理装置内供应的热风中的灰尘。此外，热风发生装置包括框体、容纳在框体内的加热器以及向框体内送入空气的风扇，在热风产生装置和基板处理装置之间连接有送风管。在送风管的基板处理装置的入口部分设置捕集灰尘的过滤器。另一方面，作为不分别设置热风产生装置和基板处理装置而向基板处理装置内供应清洁热风的装置，已知有如下装置在基板处理装置的上部设置包括风扇、加热器和过滤器的风扇过滤器单元。但是，分别设置热风产生装置和基板处理装置并且经送风管将由热风产生装置产生的热风向基板处理装置内供应的方式，需要设置热风产生装置的空间，包含基板处理装置和热风产生装置的装置整体的设置空间变大。此外，在具有多个连接到热风产生装置的基板处理装置的情况下，存在连接热风产生装置和各基板处理装置的送风管的长度在每个基板处理装置中互不相同的情况，由于送风管的长度不同而使得对各基板处理装置供应的热风的温度容易产生偏差。当对各基板处理装置供应的热风的温度产生偏差时，在各基板处理装置内处理的半导体晶片等的品质将产生偏差。此外，在使用包含加热器的风扇过滤器单元的情况下，加热器的热量容易传递到过滤器。由于过滤器的耐热温度是60°C左右，所以过滤器由于来自加热器的热量向过滤器传递而变形等劣化，灰尘的捕集性能降低。
发明内容
鉴于上述情况，研发了本发明，其目的是提供加热器单元、使用该加热器单元的风扇过滤器单元以及使用该风扇过滤器单元的基板处理装置，可以均匀并且效率良好地加热通过加热器单元的空气，并且可以抑制从加热器对配置在加热器单元周围的部件的热传递。本发明实施方式所涉及的第一特征在于，在加热器单元中，包括将线状发热体弯曲成平面状而形成的平面状加热器；以导热性高的材料形成网状，并且在平面状加热器的至少一面侧与该平面状加热器相对配置的第一网状体；以及以比第一网状体的导热性低的材料形成网状，并且与第一网状体的与平面状加热器相对的面的相反侧的面相对配置的第二网状体。本发明实施方式所涉及的第二特征在于，在风扇过滤器单元中，包括具有吹送空气的风扇的风扇单元；具有捕集吹送的空气中的灰尘的过滤器的过滤器单元；以及使设置有第一网状体和第二网状体一侧的面与过滤器单元相对并且配置在风扇单元和过滤器单元之间的、第一特征所述的加热器单元。本发明实施方式所涉及的第三特征在于，在基板处理装置中，包括内部设置用于基板处理的机构的框体以及安装于该框体并且向该框体内供应空气的、第二特征所述的风扇过滤器单元。
图I是示出本发明第一实施方式所涉及的基板处理装置的概略结构的模式图。图2是示出风扇过滤器单元的分解立体图。图3是示出加热器单元的分解立体图。图4是示出加热器单元的一部分的剖视图。图5(a)是示出覆套式加热器(sheath heater)的纵向截面侧视图，图5 (b)是示出覆套式加热器的纵向截面正视图。图6是示出加热器单元的电气连接结构的模式图。图7是示出风扇加热器单元的电气连接结构的模式图。图8是示出本发明第二实施方式所涉及的风扇过滤器单元的剖视图。图9是示出本发明第三实施方式所涉及的风扇过滤器单元的剖视图。图10是示出本发明第四实施方式所涉及的平面状加热器的俯视图。图11是示出本发明其他实施方式所涉及的平面状加热器的弯曲结构的俯视图。图12是示出本发明其他实施方式所涉及的平面状加热器的弯曲结构的俯视图。图13是示出本发明其他实施方式所涉及的利用带状加热器的平面状加热器的俯视图。
具体实施例方式(第一实施方式)基于图I至图7，说明本发明第一实施方式所涉及的基板处理装置I。如图I所示，基板处理装置I包括作为在内部设置用于基板处理的机构的框体的处理箱2、设置在处理箱2内的杯3、设置在杯3内并且以水平状态保持基板W的保持台4、使保持台4在水平面内旋转的旋转机构5、从上方对保持台4上的基板W供应处理液的供应喷嘴6、使供应喷嘴6沿着基板W的表面在水平方向上移动的移动机构7以及设置在处理箱2的天花板部上的风扇过滤器单元8。旋转机构5包括使保持台4旋转的电机9，移动机构7包括使供应喷嘴6在水平方向上移动的电机10。配管11、12的一端侧连接在供应喷嘴6上，一个配管11的另一端侧连接在供应处理液的处理液供应部(未图示)上，另一个配管12的另一端侧连接在供应气体的气体供应部(未图示)上。杯3用于接收从旋转的基板W上飞散的处理液。如图2所示，风扇过滤器单元8包括风扇单元13、过滤器单元14以及配置在这些风扇单元13和过滤器单元14之间的加热器单元15。风扇单元13具有壳体16，在该壳体16内容纳有作为风扇的螺旋浆式鼓风机17。此外，壳体16延伸到覆盖加热器单元15和过滤器单元14的外周部的位置。过滤器单元14具有过滤器保持框18，在该过滤器保持框18内保持有折叠成波纹(蛇腹状)的过滤器19。加热器单元15具有加热器框20和加热器框盖21，通过这些加热器框20和加热器框盖21保持加热器单元15的构成部件。 如图3和图4所示，在加热器单元15中包含有平面状加热器22 ;—对铝制网23，作为以导热性高的材料即铝形成为网状的第一网状体；一对不锈钢制网24，作为以导热率低至铝的大约1/10的不锈钢为材料而形成为网状的第一个第二网状体；以及一对玻璃纤维制网25，作为以导热率低至铝的大约1/200的玻璃纤维为材料而形成为网状的第二个第二网状体。平面状加热器22通过以相邻位置部分的间隔恒定的方式将线状发热体例如覆套式加热器( '>一文一夕)26漩涡状地弯曲而形成平面状。此外，如图5所示，覆套式加热器26通过在不锈钢等金属制管27内穿过发热线28，并且在管27和发热线28之间填充绝缘物29而形成。返回到图3，在平面状加热器22的两端连接通电用引出线30的一端侧，在平面状加热器22的表面上安装作为测量平面状加热器22的温度的第一温度测量部的加热器温度测量用热电对31。一对铝制网23配置在从两面侧夹着平面状加热器22的位置上，铝制网23的一个表面相对于平面状加热器22在多个区域形成点接触(参考图4)。在铝制网23的表面上，安装作为测量该铝制网23的温度的第二温度测量部的网温度测量用热电对32。此外，在铝制网23的外周侧的一部分上形成凹口部(切欠部)33，在该凹口部33内配置有恒温器34。一对不锈钢制网24与铝制网23的与平面状加热器22接触的表面的相反侧的表面相对，并且配置在夹着平面状加热器22和一对铝制网23的位置。该不锈钢制网24与恒温器34中的导热性高的部分即感热面34a抵接，通过恒温器34监视不锈钢制网24温度的上升。一对玻璃纤维制网25与不锈钢制网24的与铝制网23相对的面的相反侧的面相对，并且配置在夹着平面状加热器22、一对铝制网23和一对不锈钢制网24的位置。如图4所示，这些铝制网23、不锈钢制网24和玻璃纤维制网25的周缘部由加热器框20和加热器框盖21夹着，并且加热器框20和加热器框盖21通过多个固定螺栓35固定。并且，在铝制网23、不锈钢制网24和玻璃纤维制网25的网眼部分中贯通插入有固定螺栓36。在固定螺栓36的前端部螺合螺母37，以将这些网23 25紧密固定。铝制网23和玻璃纤维制网25是具有可挠性的刚性低的网。与此相对地，不锈钢制网24是刚性高的网。通过层叠这些铝制网23、不锈钢制网24和玻璃纤维制网25并且用固定螺栓35、36固定，由此将不锈钢制网24用作加强部件，防止铝制网23和玻璃纤维制网25弯曲。
接下来，基于图6说明加热器单元15的电气连接结构。一端侧连接到平面状加热器22两端的通电用引出线30的另一端侧连接到作为控制向平面状加热器22的通电状态的温度控制部的加热器控制单元38上。此外，在该加热器控制单元38上，连接有测量平面状加热器22的温度的加热器温度测量用热电对31。并且，加热器控制单元38控制向平面状加热器22的通电状态，以使加热器温度测量用热电对31的测量值达到设定值。测量铝制网23的温度的网温度测量用热电对32连接到控制风扇过滤器单元8整体的主控制器39上。该主控制器39上连接有加热器控制单元38和通知部40。通知部40在网温度测量用热电对32的测量值为设定值以上的情况下，发出警报。此外，在主控制器39内设置有通电切断部41，该通电切断部41在网温度测量用热电对32的测量值为设定值以上的情况下，向加热器控制单元38输出切断对平面状加热器22的通电的信号。恒温器34连接在加热器控制单元38上。在恒温器34的内部设置有电气接点(未 图示)，该电气接点在不锈钢制网24的温度的测量值为设定值以上时断开(才7 )。通过使恒温器34的电气接点断开，切断向平面状加热器22的通电。接下来，基于图7说明包含加热器单元15的风扇过滤器单元8的电气连接结构。并且，省略图6中说明的部分。在风扇单元13上设置控制螺旋浆式鼓风机17的旋转的风扇控制器42，风扇控制器42连接在主控制器39上。从风扇控制器42向主控制器39输出通知螺旋浆式鼓风机17旋转状态的信号。例如，在螺旋浆式鼓风机17的旋转状态异常的情况下，输出信号。从主控制器39向风扇控制器42输出控制螺旋浆式鼓风机17的风量的信号。例如，在切断向平面状加热器22的通电的情况下，从该切断起经过一定时间之后或网温度测量用热电对32的测量值降低到设定值以下之后，输出使螺旋浆式鼓风机17停止旋转的信号。在这样的结构中，在基板处理装置I的处理盒2内，从供应喷嘴6对保持台4上的基板W供应处理液，并且进行基板处理。对该处理盒2内供应经风扇过滤器单元8清洁并加热后的空气。由此，使处理盒2内形成没有灰尘的环境，防止在基板处理时发生由空气中的灰尘导致的不良情况。并且，通过加热对处理盒2内供应的空气，促进处理盒2内的基板处理，提高生产率。接下来，说明对处理盒2内供应的空气的加热。在基板处理时，向平面状加热器22和螺旋浆式鼓风机17通电。平面状加热器22由于向平面状加热器22通电而发热，该热量热传导到与平面状加热器22接触配置的以导热性高的铝形成的铝制网23，使得平面状加热器22和铝制网23的温度上升。另一方面，螺旋浆式鼓风机17由于向螺旋浆式鼓风机17通电而旋转，并且随着螺旋浆式鼓风机17的旋转，向平面状加热器22和铝制网23吹送空气。被吹送的空气通过平面状加热器22和铝制网23时被加热，被加热后的空气通过过滤器19向处理盒2内供应。在此，平面状加热器22通过将线状覆套式加热器26漩涡状地弯曲而形成为平面状，该平面状加热器22与导热性高的铝制网23接触，铝制网23在加热器单元15内的整个区域被均匀加热。由此，通过加热器单元15的空气由来自铝制网23的热量在加热器单元15内的整个区域内大致均匀地加热，通过过滤器19并向处理盒2内供应的空气的温度在处理盒2内的各部分中都是均匀的。由此，可以使处理盒2内的基板处理性能稳定，并且可以使被处理的基板W的品质稳定化。此外，由于平面状加热器22的热量向导热性高的铝制网23良好地传递，所以即使平面状加热器22的发热状态存在不匀(A 9 )的情况下，由于铝制网23被均匀地加热，所以也可以均匀地加热通过加热器单元15的空气。此外，在加热器单元15中，平面状加热器22和一对铝制网23变成高温，通过加热器单元15的空气由平面状加热器22和 一对铝制网23进行三次加热。由此，即使在抑制了平面状加热器22的发热温度的情况下，也能够促进通过加热器单元15的空气的加热，能够降低向平面状加热器22的通电量以节省能源，并且能够高效率地加热通过加热器单元15的空气。另一方面，在夹着平面状加热器22和一对铝制网23的位置，配置有不锈钢制网24，该不锈钢制网24以导热率低至铝的大约1/10的不锈钢形成。由此，即使在铝制网23和不锈钢制网24接触的情况下，也可抑制从铝制网23向不锈钢制网24传导热。并且，在夹着一对不锈钢制网24的位置，配置有玻璃纤维制网25，该玻璃纤维制网25以导热率低至铝的大约1/200的玻璃纤维形成。因此，通过设置这些不锈钢制网24和玻璃纤维制网25，可以抑制由平面状加热器22产生的热量向配置在加热器单元15周围的部件即过滤器19热传导，可以防止发生以下情况过滤器19由于被加热变形等而劣化，从而灰尘的捕集性能降低。此外，由于加热器单元15构成为设置有将线状覆套式加热器26漩涡状地弯曲后的平面状加热器22，作为网状部件的铝制网23、不锈钢制网24和玻璃纤维制网25，所以能够将对由螺旋浆式鼓风机17吹送来的空气的阻力抑制得较小，由螺旋浆式鼓风机17吹送来的空气在加热器单元15内顺畅地通过。由此，可以防止吹送的空气局部地滞留在加热器单元15内，从而发生如下情况加热器单元15内的空气由于该滞留而部分地达到高温的情况，和处理盒2内的温度局部地变高而使处理盒2内的基板处理性能不稳定的情况。接下来，说明加热器单元15中的温度控制。在平面状加热器22的表面上，安装测量该平面状加热器22的温度的加热器温度测量用热电对31，该加热器温度测量用热电对31连接到加热器控制单元38上。并且，加热器控制单元38控制向平面状加热器22的通电，以使加热器温度测量用热电对31的测量值为设定值。由此，平面状加热器22的温度可以维持在设定值，可以将向处理盒2内供应的空气的温度维持在设定值。此外，在铝制网23的表面上，安装有测量该铝制网23的温度的网温度测量用热电对32。该网温度测量用热电对32连接到主控制器39上。并且，在该主控制器39上连接有在网温度测量用热电对32的测量值为设定值以上时发出警报的通知部40。由此，基板处理作业的作业员可以根据通知部40发出的警报，知道铝制网23的温度已上升到设定值以上，并且可以采取必要的措施。并且，在网温度测量用热电对32的测量值为设定值以上的情况下，从主控制器39的通电切断部41对加热器控制单元38输出切断向平面状加热器22的通电的信号，切断向平面状加热器22的通电。由此，可以防止在铝制网23的温度上升到设定值以上的状态下，仍继续基板处理作业这样的情况发生。此外，设置测量不锈钢制网24的温度的恒温器34，在不锈钢制网24的温度为设定值以上时，使恒温器34内的电气接点断开，通过电气接点断开来切断向平面状加热器22的通电。由此，可以防止在不锈钢制网24的温度为设定值以上的状态下，仍继续基板处理作业这样的情况发生。特别是，通过设置该恒温器34，即使在由于软件动作的机器发生故障而不能软件地进行切断向平面状加热器22的通电时，也能够在不锈钢制网24的温度上升到设定值以上时自动地切断向平面状加热器22的通电，从而可以提高基板处理装置I的安全性。此外，在第一实施方式中，举例说明了使平面状加热器22和铝制网23接触地配置的情况，但是不需要一定使它们接触，也可以平行相对地接近配置。即使不使平面状加热器22和铝制网23接触而使它们平行相对地接近配置，导热性高的铝制网23也可由来自平面状加热器22的热量充分地加热。 此外，在第一实施方式中，举例说明了由编织线状部件而形成的铝制网23和不锈钢制网24作为第一网状部件、第二网状部件，但是在此所述的网状部件不限于此，在平板状部件上冲压出多个孔的部件也包含于网状部件。此外，在第一实施方式中，举例说明了在平面状加热器22的两面侧配置铝制网23、不锈钢制网24和玻璃纤维制网25的情况，但是这些网23 25也可以仅配置在平面状加热器22的单面侧即与过滤器单元14相对的一侧。此外，在第一实施方式中，举例说明了设置不锈钢制网24和玻璃纤维制网25作为第二网状体的情况，但是也可以仅只设置不锈钢制网24和玻璃纤维制网25中的任意一个。此外，在第一实施方式中，举例说明了设置有在网温度测量用热电对32的测量值达到设定值以上时发出警报的通知部40、和对加热器控制单元38输出切断向平面状加热器22通电的信号的通电切断部41的情况，但是也可以仅设置通知部40和通电切断部41中的任意一个。此外，在第一实施方式中，将加热器控制单元38和主控制器39分开，但是它们也可以是一体的控制器。此外，网温度测量用热电对32测量铝制网23的温度，但是也可以安装在与覆套式加热器26的加热器温度测量用热电对31不同区域的表面上，以测量覆套式加热器26的表
面温度。关于恒温器34的设置位置，在第一实施方式中，举例说明了设置在平面状加热器22的外周部上的情况，但是关于该恒温器34的设置位置没有特别地限制，例如也可以设置在平面状加热器22的中央部侧。恒温器34只要具有在设置该恒温器34的区域的温度上升到设定值以上时切断向平面状加热器22的通电的功能就可以，可以根据恒温器34的设置位置任意地设定切断通电的温度。此外，在使用多个恒温器检测多个区域温度上升的情况下，优选地构成为如下电路结构通过串联配置配线等，能够在任何一个恒温器到达通电切断温度时切断向平面状加热器22的通电。(第二实施方式)基于图8说明本发明第二实施方式所涉及的风扇过滤器单元51。此外，在第二实施方式及以下说明的其他实施方式中，对与先前说明的实施方式的构成元件相同的构成元件标注相同的符号，并且省略重复的说明。第二实施方式所涉及的风扇过滤器单元51的基本结构与图2和图7中示出的风扇过滤器单元8相同，包括风扇单元52、过滤器单元14和加热器单元15。第二实施方式的风扇单元52和第一实施方式的风扇单元13的不同之处在于，使用的风扇是西洛克风扇(Π 7 - 7 7* > )53以代替螺旋浆式鼓风机17，以及在沿着由西洛克风扇53吹送的空气的吹送方向的加热器单元15的上流侧，设置将通过加热器单元15的空气的流速和风向均匀化的整流板54作为整流体。整流板54通过在平板55上开出多个孔56而形成。在这样的结构中，通过驱动西洛克风扇53，将壳体16外的空气吸入西洛克风扇53内，吸入的空气从形成在西洛克风扇53外周部上的开口部57吹出。从开口部57吹出的空气暂时贮存在由西洛克风扇53的壳体16和整流板54隔成的空间内而压力上升，并且通过孔56吹向加热器单元15侧。使从孔56吹出的空气的流速和风向均匀化，并且通过加热器单元15。由此，通过加热器单元15的空气被均匀地加热，并且过滤器19的通过状态也变得均匀。并且，供应通过过滤器19后的空气的处理盒2内的温度在处理盒2内的各部分都变得均匀，从而可以使处理盒2内的基板处理性能稳定，可以使处理的基板W的 品质稳定化。(第三实施方式)基于图9说明本发明第三实施方式所涉及的风扇过滤器单元61。第三实施方式所涉及的风扇过滤器单元61的基本结构与图8中示出的风扇过滤器单元51相同，包括风扇单元62、过滤器单元14和加热器单元15。风扇单元62和风扇单元52的不同之处在于，相对于在风扇单元52中设置整流板54作为整流体，在风扇单元62中设置螺旋浆式鼓风机63作为整流体。螺旋浆式鼓风机63配置在西洛克风扇53的中心侧并且在西洛克风扇53和加热器单元15之间，螺旋浆式鼓风机63和西洛克风扇53共用电机64。在这样的结构中，通过驱动西洛克风扇53而向加热器单元15侧吹送的空气在西洛克风扇53的中心侧变少。存在如下情况由于流速变小，由加热器单元15加热后的空气在西洛克风扇53下部停滞或者从加热器单元15上升。因此，通过在西洛克风扇53的中心侧设置螺旋浆式鼓风机63，将在西洛克风扇53中心侧加热后的空气向加热器单元15侧吹送或者与周边部的没有被加热的空气搅拌。由此，通过加热器单元15的空气被均匀地加热，供应通过过滤器19后的空气的处理盒2内的温度在处理盒2内的各部分都变得均匀，可以使处理盒2内的基板处理性能稳定，可以使处理后的基板W的品质稳定化。并且，作为整流体，也可以同时设置在第二实施方式中说明的整流板54和在第三实施方式中说明的螺旋衆式鼓风机63。(第四实施方式)基于图10说明本发明第四实施方式所涉及的加热器单元71。加热器单元71的基本结构与图6中示出的加热器单元15相同。加热器单元71和加热器单元15的不同之处在于，加热器单元15具有将覆套式加热器26漩涡状地弯曲而形成为平面状的平面状加热器22，以此相对，加热器单元71具有将覆套式加热器26来回折叠状地弯曲而形成为平面状的平面状加热器72。平面状加热器72以使管27 (参考图5)上的相邻位置的部分彼此之间的间隔大致恒定的方式弯曲。在这样的结构中，平面状加热器72通过将线状覆套式加热器26来回折叠状地弯曲而形成为平面状。由此，通过加热器单元71的空气在加热器单元71内的整个区域内被大致均匀地加热，可以使通过过滤器19 (参考图7)向处理盒2(参考图I)内供应的空气的温度在处理盒2内变得均匀。由此，可以使处理盒2内的基板处理性能稳定，可以使处理的基板W的品质稳定化。(其他实施方式)基于图11至图13说明本发明的其他实施方式。图11是通过将覆套式加热器26 (参考图5)漩涡状地弯曲而形成为平面状的平面状加热器81的一形态，图12是通过将覆套式加热器26来回折叠状地弯曲而形成为平面状的平面状加热器82的一形态。在图11中示出的平面状加热器81和在图12中示出的平面状加热器82中，以双折覆套式加热器26的状态进行弯曲，一对通电用引出线30接近着存在，因此可以使通电用引出线30的配线处理简单化。在图13中，采用带状加热器('J ^ > t 一夕)83作为线状发热体，并且通过将带状加热器83折叠状地弯曲而形成平面状加热器84。根据以上说明的至少一个实施方式，由于加热器单元具有将线状发热体弯曲成平面状而形成的平面状加热器、以导热性高的材料形成为网状并且在平面状加热器的至少一面侧接触而配置的第一网状体以及由比第一网状体的导热性低的材料形成为网状并且与第一网状体的与平面状加热器相对的面的相反侧的面相对配置的第二网状体，所以可以通过平面状加热器和第一网状体使通过加热器单元内的空气均匀且高效率地加热。并且，可以通过第二网状体抑制来自加热器单元的热量向配置在加热器单元周围的部件、例如过滤器单元内的过滤器热传递，可以防止配置在加热器单元周围的部件受到来自加热器单元的热量的影响而产生麻烦。以上，说明了本发明的几个实施方式，但是这些实施方式是作为例子提示的，而不是用来限定发明的范围。这些新颖的实施方式可以以其他的各种方式实施，在不脱离本发明的主旨的范围内，可以进行各种省略、置换、变更。这些实施方式及其变形包含在本发明的范围和主旨中，同时包含在专利权利要求范围记载的发明及其等价范围内。
权利要求
1.一种加热器单元，其特征在于，包括 将线状发热体弯曲成平面状而形成的平面状加热器； 以导热性高的材料形成为网状，并且在所述平面状加热器的至少一面侧与该平面状加热器相对配置的第一网状体；以及 以比所述第一网状体的导热性低的材料形成为网状，并且与所述第一网状体的、与所述平面状加热器相对的面的相反侧的面相对配置的第二网状体。
2.根据权利要求I所述的加热器单元，其特征在于， 所述第一网状体是以铝为材料而形成的铝制网， 所述第二网状体包括不锈钢制网和玻璃纤维制网，所述不锈钢制网以不锈钢为材料而形成，并且与所述铝制网的、与所述平面状加热器相对的面的相反侧的面相对配置，所述玻璃纤维制网以玻璃纤维为材料而形成，并且与所述不锈钢制网的、与所述铝制网相对的面的相反侧的面相对配置。
3.根据权利要求I所述的加热器单元，其特征在于，包括 测量所述平面状加热器的温度的第一温度测量部；以及 控制向所述平面状加热器的通电以使所述第一温度测量部的测量值达到设定值的温度控制部。
4.根据权利要求I所述的加热器单元，其特征在于，包括 测量所述第一网状体的温度的第二温度测量部；以及 在所述第二温度测量部的测量值为设定值以上时，通知所述第二温度测量部的测量值为设定值以上的通知部和切断向所述平面状加热器的通电的通电切断部中的至少一个。
5.根据权利要求I所述的加热器单元，其特征在于，包括 测量所述第二网状体的温度，并且在测量值为设定值以上时切断向所述平面状加热器的通电的恒温器。
6.一种风扇过滤器单元，其特征在于，包括 具有吹送空气的风扇的风扇单兀； 具有捕集吹送的空气中的灰尘的过滤器的过滤器单元；以及 使设置有第一网状体和第二网状体一侧的面与所述过滤器单元相对并且配置在所述风扇单元和所述过滤器单元之间的、权利要求I至5中任何一项所述的加热器单元。
7.根据权利要求6所述的风扇过滤器单元，其特征在于，包括 在沿着由所述风扇吹送的空气的吹送方向的所述加热器单元的上流侧，使通过所述加热器单元的空气的流速和风向均匀化的整流体。
8.一种基板处理装置，其特征在于，包括 内部设置用于基板处理的机构的框体；以及 安装于该框体并且向该框体内供应空气的、权利要求6所述的风扇过滤器单元。
9.根据权利要求8所述的基板处理装置，其特征在于， 所述风扇过滤器单元包括在沿着由所述风扇吹送的空气的吹送方向的所述加热器单元的上流侧，使通过所述加热器单元的空气的流速和风向均匀化的整流体。
全文摘要
本发明提供加热器单元、使用该加热器单元的风扇过滤器单元、使用该风扇过滤器单元的基板处理装置，可以使通过加热器单元内的空气均匀且效率高地加热，并且可以抑制从加热器对配置在加热器单元周围的部件的热传递。实施方式所涉及的加热器单元(15)包括将线状发热体(26)弯曲成平面状而形成的平面状加热器(22)；以导热性高的材料形成为网状并且在平面状加热器(22)的至少一面侧与该平面状加热器(22)相对配置的第一网状体(23)；以及以比第一网状体(23)的导热性低的材料形成为网状并且与第一网状体(23)的与平面状加热器(22)相对的面的相反侧的面相对配置的第二网状体(24、25)。
文档编号H01L21/67GK102842525SQ20121024314
公开日2012年12月26日 申请日期2012年6月21日 优先权日2011年6月21日
发明者古矢正明, 石见宗宪, 和歌月尊彦, 近藤正纪, 山田胜哉 申请人:芝浦机械电子株式会社, 株式会社东芝