专利名称：一种固晶机的制作方法
技术领域：
本实用新型属于半导体封装设备技术领域，具体涉及ー种固晶机。
背景技术：
如业界所知之理，在半导体器件如IC和LED等的封装过程中，固晶是极其重要的环节。固晶的过程是首先由点胶机构(也称点胶模块)在基板的固晶エ位上点胶，而后由固晶机构(也称固晶邦头)的固晶摆臂(也称取晶摆臂)将半导体晶粒从晶圆上取出，进而转移到已点好胶的固晶エ位上。在相同固晶良品率(质量)条件下，固晶机的固晶效率是评价固晶机性能的重要指标。在已公开的中国专利文献中虽然可见诸固晶装置的技术信息，例如CN101281878B推荐有“固晶机取晶臂驱动控制装置”和CN10195838A提供有“固晶机邦头机构”，等等，但是未披露如何提高固晶机的固晶效率的技术信息。 制约提高固晶效率的因素主要是固晶邦头的工作频率问题，这是由于固晶邦头的固晶摆臂的工作行程是由晶圆和固晶对象(引线框架或PCB板)的尺寸決定的，因此在不改变固晶邦头的固晶臂工作行程条件下，是难以显著提高固晶邦头的工作频率的，即使通过相应的技术手段藉以提高固晶邦头的工作频率，则付出的代价也是极其高昂的。鉴于上述已有技术，有必要从产业自主的角度出发而设计出ー种既能显著提高固晶效率又能体现经济廉价且实用的固晶机。为此，本申请人作了有益的探索与设计，下面将要介绍的技术方案便是在这种背景下产生的。
发明内容本实用新型的任务在于提供一种有助于显著提高固晶效率和有利于体现经济性并且结构简练的固晶机。本实用新型的任务是这样来完成的，ー种固晶机，包括一支撑平台，在该支撑平台的中央位置设有一具有顶针的顶针机构；第一、第二固晶运动机构，第一固晶运动机构设在支撑平台的左侧，而第二固晶运动机构设在支撑平台的右侧并且与第一固晶运动机构相对应；一支撑立座，该支撑立座固定在支撑平台的后侧，并且以腾空状态对应于第一、第二固晶运动机构的上方；一具有在所述顶针机构与第一固晶运动机构之间运动的第一固晶摆臂的第一固晶邦头和一具有在顶针机构与第二固晶运动机构之间运动的第二固晶摆臂的第ニ固晶邦头，第一、第二固晶邦头均设置在所述的支撑立座上，并且位于支撑立座的长度方向的中部；设置在所述支撑立座上的用于对置于所述第一固晶运动机构上的载具上的固晶对象进行点胶的第一点胶模块和用于对置于所述第二固晶运动机构上的载具上的固晶对象进行点胶的第二点胶模块，其中，第一点胶模块位于支撑立座的左端，并且与第一固晶运动机构的上方相对应，而第二点胶模块位于支撑立座的右端，并且与第二固晶运动机构的上方相对应；设置在所述支撑立座上的第一、第二相机模块和第三相机模块，其中，第二相机模块位于第一、第三相机模块之间，并且第一相机模块伴随于所述的第一点胶模块，第三相机模块伴随于所述的第二点胶模块，而第二相机模块与所述的顶针相对应；一与所述的顶针机构相配合的用于提供晶圆的取晶运动机构，该取晶运动机构设在所述支撑平台的前侧，位于所述第一、第二固晶运动机构之间，并且与所述支撑立座相对应。在本实用新型的ー个具体的实施例中，所述的顶针是上下垂直运动的。在本实用新型的另ー个具体的实施例中，设置在所述支撑平台的左侧的所述第一固晶运动机构的结构是与设置在支撑平台的右侧的所述的第二固晶运动机构的结构相同的，并且均可作X方向和Y方向的两坐标直线运动。在本实用新型的又ー个具体的实施例中，所述的第二固晶运动机构包括ー对彼此并行的第一导轨座、第一、第二电机、第一、第二螺杆座、第一、第二螺杆，第一载具移动装置和第二载具移动装置，ー对第一导轨座固定在所述支撑平台的右侧，各第一导轨座的长度方向的上部固设有ー第一导轨，第一电机固定在支撑平台上，并且对应于所述的ー对第一导轨座的一端，第二电机同样固定在支撑平台上，并且对应于ー对第一导轨座的另一端，第一螺杆座固定在ー对第一导轨座之间并且位于ー对第一导轨座的一端，第二螺杆座同样固定在ー对第一导轨座之间，并且位于ー对第一导轨座的另一端，与第一螺杆座相对应，第一、第二螺杆彼此并行，并且转动地支承在第一、第二螺杆座之间，其中，第一螺杆与所述的第一电机传动连接，而第二螺杆与所述的第二电机传动连接，第一载具移动装置和第二载具移动装置滑动配设在所述的ー对第一导轨上，其中第一载具移动装置与所述第一螺杆传动配合，而第二载具移动装置与所述第二螺杆传动配合。在本实用新型的再ー个具体的实施例中，所述的第一、第二电机均为正反转电机。在本实用新型的还有ー个具体的实施例中，所述的第一、第二载具移动装置的结构是相同的，所述的第一载具移动装置包括第一滑动座、第三螺杆座、第三电机、第三螺杆、第一载具滑台和第一载具，第一滑动座与所述的ー对第一导轨滑动配合，并且通过滑动座螺母与所述的第一螺杆传动配合，第二导轨座固定在第一滑动座上，在该第二导轨座的长度方向的两侧的上部各固定有一第二导轨，第三电机固定在第二导轨座上，第三螺杆转动地支承在第三螺杆座上，并且与第三电机传动连接，第一载具滑台与所述的ー对第二导轨滑动配合，并且通过滑台螺母与所述第三螺杆传动配合，第一载具固定在第一载具滑台上。在本实用新型的更而ー个具体的实施例中，所述的第三电机为正反转电机。在本实用新型的进而ー个具体的实施例中，在所述的第一固晶摆臂的末端设置有用于吸取晶圆的第一吸嘴，而所述的第二固晶摆臂的末端同样设置有用于吸取晶圆的第二吸嘴；在所述的第一、第二点胶模块上各配设有用于盛装银浆的容器和用于点胶的点胶嘴。在本实用新型的又更而ー个具体的实施例中，所述的取晶运动机构包括第三导轨座、第四电机、第四螺杆和晶圆夹具移动装置，第三导轨座固定在所述的支撑平台的前侧，在该第三导轨座的长度方向的彼此对应的壁体的顶部各固定有一第三导轨，第四电机固定在第三导轨座上，第四螺杆转动地支承在第三导轨座上，并且与第四电机传动连接，晶圆夹具移动装置与所述的ー对第三导轨滑动配合，并且通过螺母与第四螺杆传动配合，其中该晶圆夹具移动装置伸展到所述的顶针机构的部位，并且对应于所述顶针的上方，所述第四电机为正反转电机。在本实用新型的又进而ー个具体的实施例中，所述的晶圆夹具移动装置包括第二滑动座、第四导轨座、第五电机、第五螺杆、夹具滑动座、夹具臂和晶圆夹具，第二滑动座与所述的ー对第三导轨滑动配合，并且还通过螺杆螺母与所述的第四螺杆传动连接，第四导轨座的一端固定在第二滑动座上，而另一端构成为悬臂端，并且朝着所述的顶针机构的方向伸展，在该第四导轨座的长度方向的彼此对应的壁体的顶部各固定有一第四导轨，第五电机固定在第四导轨座上，第五螺杆转动地支承在第四导轨座上，并且与第五电机传动连接，夹具滑动座与所述的ー对第四导轨滑动配合，并且通过螺杆螺母与第五螺杆传动连接，夹具臂的一端固定在夹具滑动座上，另一端朝向所述顶针的方向伸展，晶圆夹具固定在夹具臂946的所述另一端，并且与顶针相对应，所述第五电机为正反转电机。本实用新型提供的技术方案相对于已有技术而言，由第一、第二、第三相机模块、第一、第二点胶模块、第一、第二固晶邦头和第一、第二固晶运动机构的配合而可使固晶速度提高一倍，尤其由第一、第二固晶运动机构满足固晶机的无停息作业；由于将第一、第二固晶运动机构择用了螺杆式的传动结构，因此具有经济上的廉价性并且能保障固晶机的整体结构的简练。
图I为本实用新型的一具体的实施例结构图。图2为图I的俯视图。图3为图I所示的第二固晶运动机构的详细结构图。图4为图I所示的取晶运动机构的详细结构图。图5为本实用新型的固晶原理示意图。图6为本实用新型的另一具实施例结构图。图7为图6所示的第二固晶运动机构的结构图。附图标记说明I支撑平台；11顶针机构；111顶针；12半导体晶粒；2第一固晶运动机构；3第二固晶运动机构；31第一导轨座；311第一导轨；32a第一电机；32b第ニ电机；33a第一螺杆座；33b第二螺杆座；34a第一螺杆；34b第二螺杆；35第一载具移动装置；351第一滑动座；352第三螺杆座；3521第二导轨；353第三电机；354第三螺杆；355第一载具滑台；356第一载具；357第二直线电机；3571第二永磁体座；3572第二永磁体；3573第二线圈；36第二载具移动装置；361第二载具；37第一直线电机；371第一永磁体座；372第一永磁体；373第一线圈；4支撑立座；5第一固晶邦头；51第一固晶摆臂；511第一吸嘴；6第二固晶邦头；61第二固晶摆臂；611第二吸嘴；7a第一点胶模块；7b第二点胶模块；8a第一相机模块；8b第二相机模块；8c第三相机模块；9取晶运动机构；91第四螺杆座；911第三导轨；92第四电机；93第四螺杆；94固晶夹具移动装置；941第二滑动座；942第五螺杆座；9421第四导轨；943第五电机；944第五螺杆；945夹具滑动座；946夹具臂；947晶圆夹具；10a第一固晶对象；10b第二固晶对象。
具体实施方式
为了使专利局的审查员尤其是公众能够更加清楚地理解本实用新型的技术实质和有益效果，申请人将在下面以实施例的方式作详细说明，但是对实施例的描述均不是对本实用新型方案的限制，任何依据本实用新型构思所作出的仅仅为形式上的而非实质性的等效变换都应视为本实用新型的技术方案范畴。实施例I :[0027]请參见图I至图4，给出了一矩形体的支撑平台1，在该支撑平台I的中央位置设置有一配有顶针111的顶针机构11，该顶针机构11的具体结构优选采用凸轮式结构，以保障顶针111的上下垂直运动。以目前图I和图2所示的位置状态为例，在支撑平台I的左侧设置有一第一固晶运动机构2,而在右侧并且在与第一固晶运动机构2相对应的位置设有一第二固晶运动机构3,由于第一、第二固晶运动机构2、3的结构和工作原理是相同的，因此申请人仅对第二固晶运动机构3作详细说明。重点见图3并且结合图I和图2，优选而非绝对限于的第二固晶运动机构3包括第一导轨座31、第一、第二电机32a、32b、第一、第二螺杆座33a、33b、第一、第二螺杆34a、34b、第一载具移动装置35和第二载具移动装置36，ー对第一导轨座31彼此并行地固定在支撑平台I的右侧，在各第一导轨座31的长度方向的上部(顶部)用螺钉固定有一第一导轨311。第一电机32a通过电机座固定在支撑平台I上，并且对应于ー对第一导轨座31的一端端部，第二电机32b同样通过电机座固定在支撑平台I上，并且对应于ー对第一导轨座31的另一端。第一螺杆座33a固定在ー对第一导轨座31之间，并且位于ー对第一导轨座31的一端，而第二螺杆座33b同样固定在ー对第一导轨座31之间，并且位于该对第一导轨座31 的另一端，第一、第二螺杆座33a、33b彼此对应。第一、第二螺杆34a、34b彼此并行，并且转动地支承在第一、第二螺杆座33a、33b之间。也就是说，第一、第二螺杆34a、34b的一端均转动地支承在第一螺杆座33a上，而另一端均转动地支承在第二螺杆座33b上。其中第一螺杆34a探出第一螺杆座33a与前述的第一电机32a传动连接，而第二螺杆34b探出第二螺杆座33b与前述的第二电机32b传动连接。第一载具移动装置35以及第ニ载具移动装置36均滑动地配设在前述的ー对第一导轨311上，其中第一载具移动装置35与第一螺杆34a传动配合(传动连接)，而第二载具移动装置36与第二螺杆34b传动配合(传动连接)。前述的第一、第二载具移动装置35、36的结构是彼此相同的，下面的描述是针对第一载具移动装置35而言的，该第一载具移动装置35包括第一滑动座351、第三螺杆座352、第三电机353、第三螺杆354、第一载具滑台355和第一载具356,第一滑动座351与前述的ー对第一导轨311滑动配合，并且通过图中未示出的但依据专业常识而可理解出的滑动座螺母与第一螺杆34a传动配合，第三螺杆座352固定在第一滑动座351上，在该三螺杆座352的长度方向的对应两侧的上部(顶部)各固定有一第二导轨3521，第三电机353固定在第三螺杆座352的端部，第三螺杆354转动地支承在第三螺杆座352上，并且与第三电机353传动连接，第一载具滑台355与前述的ー对第二导轨3521滑动配合，并且通过滑台螺母与第三螺杆354传动配合,第一载具356固定在第一载具滑台355上。前述的第一、第二和第三电机32a、32b、353均为正反转电机。当第一电机32aエ作时，带动第一螺杆34a旋转，从而使第一载具移动装置35移动；同例，当第二电机32bエ作时，带动第二螺杆34b旋转，从而使第二载具移动装置36移动；又，当第三电机353工作吋，带动第三螺杆354旋转，使第一载具滑台355携第一载具356移动；及，第二载具移动装置36的动作与第一载具移动装置35相同。从而使第二固晶运动机构3实现X-Y方向的两坐标运动，第一固晶运动机构2同例。在支撑平台I的后侧(以图I和图2所示的位置状态为例)以腾空状态固定有一支撑立座4,该支撑立座4对应于前述的第一、第二固晶运动机构2、3的一端的上方。第一、第ニ固晶邦头5、6均设置在前述的支撑立座4上，并且大体上位于支撑立座4的长度方向的中部。第一固晶邦头5具有一第一固晶摆臂51，在该第一固晶摆臂51的末端固设有ー用于吸取半导体晶粒12的第一吸嘴511，同例第二固晶邦头6具有一第二固晶摆臂61，在该第ニ固晶摆臂61的末端固设有ー用于吸取半导体晶粒12的第二吸嘴611。前述的第一固晶摆臂51在顶针机构11与第一固晶运动机构2之间运动，即在取晶位与固晶位之间运动，第ニ固晶摆臂61在顶针机构11与第二固晶运动机构3之间运动，也即在取晶位与固晶位之间运动。给出了设置在支撑立座4上的用于对置于第一固晶运动机构2的载具上的第一固晶对象IOa (图5示)进行点胶的第一点胶模块7a和用于对置于第二固晶运动机构3的第ー载具移动装置35的第一载具356上的第二固晶对象IOb (图5示)进行点胶的第二点胶模块7b，其中第一点胶模块7a位于支撑立座4的左端，并且与第一固晶运动机构2的上方相对应，而第二点胶模块7b位于支撑立座4的右端，与第二固晶运动机构3的上方相对应。第一、第二点胶模块7a、7b均配置有用于盛装银浆的容器和用于点胶的点胶嘴。在支撑立座4上设置有第一、第二相机模块8a、8b和第三相机模块8c，其中，第二 相机模块8b位于第一、第三相机模块8a、8c之间，并且第一相机模块8a伴随于前述的第一点胶模块7a,以保障第一点胶模块7a的点胶位的准确性,第三相机模块8c伴随于第二点胶模块7b，用于保障第二点胶模块7b的点胶位的精确性，而第二相机模块Sb与前述的顶针111相对应，用于保障第一、第二固晶摆臂51、61在对半导体晶粒12拾取时的准确性。由图I和图2示意并且由图4详示的与前述的顶针机构11相配合的用于提供晶圆也就是将晶圆对应到顶针111的位置的以便供顶针111顶及(即触及)的取晶运动机构9设置在支撑平台I的前侧，位于第一、第二固晶运动机构2、3之间，并且还与前述的支撑立座4相对应。优选而非绝对限于的取晶运动机构9包括第四螺杆座91、第四电机92、第四螺杆93和晶圆夹具移动装置94，第四螺杆座91固定在支撑平台I的前侧，在该第四螺杆座91的长度方向的彼此对应的壁体的顶部各固定有一第三导轨911，具有正反转功能的第四电机92固定在第四螺杆座91上，第四螺杆93转动地支承在第四螺杆座91上，并且与第四电机92传动连接，晶圆夹具移动装置94与ー对第三导轨911滑动配合，并且通过其底部的螺母与第四螺杆93传动配合。由图所示，晶圆夹具移动装置94伸展到或称对应到前述的顶针机构11的部位，并且位于顶针111的上方。前述的晶圆夹具移动装置94的优选的结构如下，包括第二滑动座941、第五螺杆座942、第五电机943、第五螺杆944、夹具滑动座945、夹具臂946和晶圆夹具947，第二滑动座941与前述的ー对第三导轨911滑动配合，并且还通过底部的螺杆螺母与第四螺杆93传动配合，第五螺杆座942的一端固定在第二滑动座941上,而另一端构成为悬臂端,并且朝着顶针机构11的方向伸展，在该第五螺杆座942的长度方向的彼此对应的壁体顶部各固定有ー第四导轨9421,具有正反转功能的第五电机943固定在第五螺杆座942上,第五螺杆944转动地支承在第五螺杆座942上，并且与第五电机943传动连接，夹具滑动座945与前述的第四导轨9421滑动配合，并且通过螺杆螺母与第五螺杆944传动配合，夹具臂946的一端固定在夹具滑动座945上，而另一端朝着前述的顶针111的方向伸展，晶圆夹具947固定在夹具臂946的另一端，即朝向顶针111的一端，与顶针111的上方相对应。由上述对取晶运动机构9的描述可知，该机构同样能体现X向和Y向的两坐标运动。具体地讲，当第四电机92工作吋，则通过第四螺杆93带动晶圆夹具移动装置94作左右方向的移动；当第五电机943工作吋，则带动晶圆夹具947作前后方向的移动，藉由该运动而使置于晶圆夹具947上的晶圆得以对应到顶针111，以便由顶针111顶起，供前述的第一固晶摆臂51的第一吸嘴511及第ニ固晶摆臂61的第二吸嘴611吸取半导体晶粒12，并且分别转移到已点好胶的第一、第二固晶对象10a、10b的点胶位而实施固晶。请见图5并且依然结合图I至图4，以第二固晶运动机构3为例，工作时，第三电机353带动第三螺杆354旋转，由第三螺杆354带动第一载具滑台355沿第二导轨3521滑动；同样，第一电机32a和第二电机32b分别带动第一、第二载具移动装置35、36在第一导轨311上滑动，并且，第一、第二载具移动装置35、36分别由第一、第二电机32a、32b带动，因此两者的运动是独立的。于是，第一载具移动装置35的第一载具356完成固晶作业后则移动到一端进行换料作业，同时第二载具移动装置36的第二载具361移动到固晶位置开始作业，当完成了对第二载具361的固晶作业后移动到另一端进行换料，此时，已完成了换料的第一载具356又移动到固晶位开始固晶作业，如此往复而实现无停息作业。整机作业时，第一固晶运动机构2在第一相机模块8a的辅助下将目标位置移动到固晶位，而第二固晶运动机构3在第三相机模块Sc的辅助下将目标位置移动到固晶位，取晶运动机构9 (也可称晶圆模块)在第二相机模块8b的辅助下将目标位置移动到取晶位，即对应到顶针111的位置(该顶针111的位置是与第二相机模块8b的镜头的中心垂线相对应的)。此时，第一点胶模块7a和第二点胶模块7b分别对第一、第二固晶运动机构2、3上安装的(安装在载具上)第一、第二固晶对象10a、10b进行点胶作业，然后，第一固晶邦头5和第二固晶邦头6分别驱动第一、第二固晶摆臂51、61，并且在顶针111的辅助下，由第一固晶摆臂51的第一吸嘴511以及由第二固晶摆臂61的第二吸嘴611先后从晶圆夹具947上拾取半导体晶粒12，而后将半导体晶粒12放置在已完成点胶的第一、第二固晶对象10a、10b上，完成固晶作业。其中，第一固晶摆臂51和第二固晶摆臂61从晶圆夹具947上拾取半导体晶粒12的时间差为两者固晶周期的二分之一，即第一、第二固晶摆臂51、61交替从取晶运动机构9的晶圆夹具移动装置94的晶圆夹具947上拾取半导体晶粒12。实施例2 请见图6和图7，仅将第二固晶运动机构3的第一载具移动装置35和第二载具移动装置36上的第一电机32a,第二电机32b,第一螺杆座33a,第二螺杆座33b,第一螺杆34a，第二螺杆34b改用具有第一永磁体座371、第一永磁体372和第一线圈373的第一直线电机37,同样将第三电机353和第三螺杆354改用具有第二永磁体座3571、第二永磁体3572和第二线圈3573的第二直线电机357，其余均与实施例I的描述相同。综上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并非用来限定本实用新型的实施范围，即，凡依据本实用新型的内容所做出的形式而非实质的变化与修饰均应视为本实用新型技术方案的范畴而得到保护。权利要求1.一种固晶机，其特征在于包括一支撑平台(I)，在该支撑平台(I)的中央位置设有ー具有顶针(111)的顶针机构(11);第一、第二固晶运动机构(2、3)，第一固晶运动机构(2)设在支撑平台(I)的左侧，而第二固晶运动机构(3)设在支撑平台(I)的右侧并且与第一固晶运动机构(2)相对应；一支撑立座(4)，该支撑立座(4)固定在支撑平台(I)的后侧，并且以腾空状态对应于第一、第二固晶运动机构(2、3)的上方；一具有在所述顶针机构(11)与第一固晶运动机构⑵之间运动的第一固晶摆臂(51)的第一固晶邦头(5)和一具有在顶针机构(11)与第二固晶运动机构(3)之间运动的第二固晶摆臂(61)的第二固晶邦头(6)，第一、第二固晶邦头(5、6)均设置在所述的支撑立座(4)上，并且位于支撑立座(4)的长度方向的中部；设置在所述支撑立座(4)上的用于对置于所述第一固晶运动机构(2)上的载具上的固晶对象进行点胶的第一点胶模块(7a)和用于对置于所述第二固晶运动机构(3)上的载具上的固晶对象进行点胶的第二点胶模块(7b)，其中，第一点胶模块(7a)位于支撑立座(4)的左端，并且与第一固晶运动机构(2)的上方相对应，而第二点胶模块(7b)位于支撑立座(4)的右端，并且与第二固晶运动机构(3)的上方相对应；设置在所述支撑立座(4)上的第一、第二相机模块(8a、8b)和第三相机模块(Sc)，其中，第二相机模块(Sb) 位于第一、第三相机模块(8a、8c)之间，并且第一相机模块(8a)伴随于所述的第一点胶模块(7a)，第三相机模块(Sc)伴随于所述的第二点胶模块(7b)，而第二相机模块(Sb)与所述的顶针(111)相对应；一与所述的顶针机构(11)相配合的用于提供晶圆的取晶运动机构(9)，该取晶运动机构(9)设在所述支撑平台(I)的前侧，位于所述第一、第二固晶运动机构(2、3)之间，并且与所述支撑立座(4)相对应。
2.根据权利要求I所述的固晶机，其特征在于所述的顶针(111)是上下垂直运动的。
3.根据权利要求I所述的固晶机，其特征在于设置在所述支撑平台(I)的左侧的所述第一固晶运动机构(2)的结构是与设置在支撑平台(I)的右侧的所述的第二固晶运动机构(3)的结构相同的，并且均可作X方向和Y方向的两坐标直线运动。
4.根据权利要求3所述的固晶机，其特征在于所述的第二固晶运动机构(3)包括ー对彼此并行的第一导轨座(31)、第一、第二电机(32a、32b)、第一、第二螺杆座(33a、33b)、第一、第二螺杆(34a、34b),第一载具移动装置(35)和第二载具移动装置(36),—对第一导轨座(31)固定在所述支撑平台(I)的右侧，各第一导轨座(31)的长度方向的上部固设有ー第一导轨(311)，第一电机(32a)固定在支撑平台(I)上，并且对应于所述的ー对第一导轨座(31)的一端，第二电机(32b)同样固定在支撑平台(I)上，并且对应于ー对第一导轨座(31)的另一端，第一螺杆座(33a)固定在ー对第一导轨座(31)之间并且位于ー对第一导轨座(31)的一端,第二螺杆座(33b)同样固定在ー对第一导轨座(31)之间，并且位于ー对第一导轨座(31)的另一端，与第一螺杆座(33a)相对应,第一、第二螺杆(34a、34b)彼此并行，并且转动地支承在第一、第二螺杆座(33a、33b)之间，其中，第一螺杆(34a)与所述的第ー电机(32a)传动连接,而第二螺杆(34b)与所述的第二电机(32b)传动连接,第一载具移动装置(35)和第二载具移动装置(36)滑动配设在所述的ー对第一导轨(311)上，其中 第ー载具移动装置(35)与所述第一螺杆(34a)传动配合，而第二载具移动装置(36)与所述第二螺杆(34b)传动配合。
5.根据权利要求4所述的固晶机，其特征在于所述的第一、第二电机(32a、32b)均为正反转电机。
6.根据权利要求4所述的固晶机，其特征在于所述的第一、第二载具移动装置(35、.36)的结构是相同的，所述的第一载具移动装置(35)包括第一滑动座(351)、第三螺杆座(352)、第三电机(353)、第三螺杆(354)、第一载具滑台(355)和第一载具(356),第一滑动座(351)与所述的ー对第一导轨(311)滑动配合，并且通过滑动座螺母与所述的第一螺杆(34a)传动配合，第三螺杆座(352)固定在第一滑动座(351)上，在该第三螺杆座(352)的长度方向的两侧的上部各固定有一第二导轨(3521),第三电机(353)固定在第三螺杆座(352)上，第三螺杆(354)转动地支承在第三螺杆座(352)上，并且与第三电机(353)传动连接，第一载具滑台(355)与所述的ー对第二导轨(3521)滑动配合，并且通过滑台螺母与所述第三螺杆(354)传动配合,第一载具(356)固定在第一载具滑台(355)上。
7.根据权利要求6所述的固晶机，其特征在于所述的第三电机(353)为正反转电机。
8.根据权利要求I所述的固晶机，其特征在于在所述的第一固晶摆臂(51)的末端设置有用于吸取晶圆的第一吸嘴(511)，而所述的第二固晶摆臂(61)的末端同样设置有用于吸取晶圆的第二吸嘴(611);在所述的第一、第二点胶模块(7a、7b)上各配设有用于盛装银浆的容器和用于点胶的点胶嘴。
9.根据权利要求I所述的固晶机，其特征在于所述的取晶运动机构(9)包括第四螺杆座(91)、第四电机(92)、第四螺杆(93)和晶圆夹具移动装置(94)，第四螺杆座(91)固定在所述的支撑平台(I)的前侧，在该第四螺杆座(91)的长度方向的彼此对应的壁体的顶部各固定有一第三导轨(911)，第四电机(92)固定在第四螺杆座(91)上，第四螺杆(93)转动地支承在第四螺杆座(91)上，并且与第四电机(92)传动连接，晶圆夹具移动装置(94)与所述的ー对第三导轨(911)滑动配合，并且通过螺母与第四螺杆(93)传动配合，其中该晶圆夹具移动装置(94)伸展到所述的顶针机构(11)的部位，并且对应于所述顶针(111)的上方，所述第四电机(92)为正反转电机。
10.根据权利要求9所述的固晶机，其特征在于所述的晶圆夹具移动装置(94)包括第ニ滑动座(941)、第五螺杆座(942)、第五电机(943)、第五螺杆(944)、夹具滑动座(945)、夹具臂(946)和晶圆夹具(947)，第二滑动座(941)与所述的ー对第三导轨(911)滑动配合，并且还通过螺杆螺母与所述的第四螺杆(93)传动连接，第五螺杆座(942)的一端固定在第ニ滑动座(941)上，而另一端构成为悬臂端，并且朝着所述的顶针机构(11)的方向伸展，在该第五螺杆座(942)的长度方向的彼此对应的壁体的顶部各固定有一第四导轨(9421)，第五电机(943)固定在第五螺杆座(942)上，第五螺杆(944)转动地支承在第五螺杆座(942)上，并且与第五电机(943)传动连接，夹具滑动座(945)与所述的ー对第四导轨(9421)滑动配合，并且通过螺杆螺母与第五螺杆(944)传动连接，夹具臂(946)的一端固定在夹具滑动座(945)上，另一端朝向所述顶针(111)的方向伸展，晶圆夹具(947)固定在夹具臂(946)的所述另一端，并且与顶针(111)相对应，所述第五电机(943)为正反转电机。
专利摘要一种固晶机，属于半导体封装设备技术领域。包括支撑平台，在支撑平台的中央位置设有具有顶针的顶针机构；第一、第二固晶运动机构，第一固晶运动机构设在支撑平台的左侧，第二固晶运动机构设在支撑平台的右侧；一支撑立座，固定在支撑平台的后侧；一具有第一固晶摆臂的第一固晶邦头和一具有第二固晶摆臂的第二固晶邦头，均设置在支撑立座上；设置在支撑立座上的第一、第二点胶模块，第一点胶模块位于支撑立座的左端，第二点胶模块位于支撑立座的右端；设置在所述支撑立座上的第一、第二相机模块和第三相机模块；一取晶运动机构，设在支撑平台的前侧。优点具有经济上的廉价性并且能保障固晶机的整体结构的简练。
文档编号H01L21/67GK202487641SQ20122005432
公开日2012年10月10日 申请日期2012年2月20日 优先权日2012年2月20日
发明者杨宁, 王敕 申请人:常熟艾科瑞思封装自动化设备有限公司