裸片安装系统的晶片图管理装置以及裸片安装方法
【专利摘要】参照晶片图而从晶片依次拾取合格裸片并安装在基板上，并且将晶片图中的已拾取的裸片位置的状态从“合格裸片”改写成“已拾取”，另一方面，将发生了图像处理错误或拾取错误的裸片位置的状态改写成“图像处理错误”或“拾取错误”。在裸片拾取装置上搭载晶片图修正功能，作业者在裸片拾取装置的显示装置的画面上将晶片图中的被改写成“图像处理错误”或“拾取错误”的裸片位置的状态修正为“合格裸片”，参照修正后的晶片图，再次执行因图像处理错误或拾取错误而剩下的裸片的拾取。
【专利说明】裸片安装系统的晶片图管理装置以及裸片安装方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及使用晶片图而从晶片依次拾取合格裸片并安装在基板上的裸片安装系统的晶片图管理装置及裸片安装方法。
【背景技术】
[0002]—般而言，晶片粘贴在切割片上而被切割,被分割为多个裸片(半导体芯片)。在一张晶片中含有不合格裸片，所以在裸片检查工序中对每个裸片检查是否合格，利用墨水对不合格裸片附加不良标记，在裸片安装工序中，由相机对每个裸片进行拍摄而通过图像来识别有无不良标记，从晶片依次仅拾取合格裸片(合格芯片)并安装在基板上。
[0003]但是，在该方法中，对于晶片的全部裸片，必须由相机对每个裸片进行拍摄而通过图像来识别有无不良标记，存在生产效率差这样的缺点。
[0004]因此，近年来，如下方法成为主流:如专利文献I (日本特开2001-250834号公报)所记载的那样，在裸片检查工序中，生成表示切割后的晶片的各位置的裸片是否合格的晶片图，在裸片安装工序中，参照晶片图，由吸嘴从晶片依次仅拾取合格裸片(合格芯片)并安装在基板上。在该方法中，由相机仅拍摄合格裸片并通过图像仅识别合格裸片的位置即可，对于不合格裸片能够省略图像识别，所以具有能够缩短图像识别所需的时间的优点。
[0005]专利文献1:日本特开2001-250834号公报
【发明内容】
[0006]但是，在裸片安装工序中，每当参照晶片图而从晶片拾取合格裸片时，将晶片图中的已拾取的裸片位置的状态从“合格裸片”改写成“已拾取”，但是有时因某些原因而导致合格裸片的图像处理失败(图像处理错误)或裸片的拾取失败(拾取错误)。在这种情况下，将发生了图像处理错误或拾取错误的裸片位置的状态从“合格裸片”改写成“图像处理错误”或“拾取错误”，能够与“已拾取”、“合格裸片”的状态进行区别。
[0007]因图像处理错误、拾取错误而剩下的裸片本来并非“不合格裸片”，在检查中已确认是“合格裸片”，所以即使安装在基板上也没有任何问题。另外，在裸片中，高价位的裸片也较多，所以也想要不剩余地将因图像处理错误、拾取错误而剩下的裸片作为“合格裸片”而用尽的用户侧的要求也较多。
[0008]在使用晶片图的裸片安装系统中，无法对状态成为“图像处理错误”、“拾取错误”的裸片进行拾取，所以在要拾取因图像处理错误、拾取错误而剩下的裸片的情况下，由设备外(生产线外)的晶片图生成装置生成将因图像处理错误、拾取错误而剩下的裸片位置的状态设为“合格裸片”而成的新的晶片图，利用该新的晶片图来更新裸片安装系统的服务器的晶片图数据。
[0009]但是，由设备外的晶片图生成装置生成新的晶片图的作业麻烦，成为使生产效率降低的原因。
[0010]因此，本发明所要解决的课题在于，在使用晶片图的裸片安装系统中，能够简单地再次使用因图像处理错误或拾取错误而剩下的裸片作为“合格裸片”。
[0011]为了解决上述课题，本发明提供一种裸片安装系统的晶片图管理装置，在上述裸片安装系统的存储机构中存储表示以分割为多个裸片的方式被切割的晶片的各位置的裸片是否合格的晶片图，在裸片安装工序中参照上述晶片图，从上述晶片依次拾取合格裸片并安装在基板上，并且每当拾取合格裸片时，将上述晶片图中的已拾取的裸片位置的状态从“合格裸片”改写成“已拾取”，另一方面，将发生了图像处理错误或拾取错误的裸片位置的状态从“合格裸片”改写成“图像处理错误”或“拾取错误”，其中，在上述裸片安装系统中设有晶片图修正机构，该晶片图修正机构将上述晶片图中的被改写成“图像处理错误”或“拾取错误”的裸片位置的状态修正为“合格裸片”。
[0012]这样一来，作业者能够对设于裸片安装系统的晶片图修正机构进行操作而将晶片图中的被改写成“图像处理错误”或“拾取错误”的裸片位置的状态修正为“合格裸片”，在该裸片安装系统中参照修正后的晶片图，再次执行因图像处理错误或拾取错误而剩下的裸片的拾取。由此，能够将因图像处理错误或拾取错误而剩下的裸片简单地修正为“合格裸片”并再次使用。
[0013]在这种情况下，可以在裸片安装系统中设有显示晶片图的各裸片位置的状态的显示装置，构成为，作业者能够在该显示装置的画面上通过目视来确认晶片图的各裸片位置的状态的同时对晶片图修正机构进行操作，而将“图像处理错误”或“拾取错误”的状态修正为“合格裸片”。这样一来，能够预先防止在将“图像处理错误”或“拾取错误”的状态修正为“合格裸片”时将错误的裸片位置的状态修正为“合格裸片”，并且在能够在显示装置的画面上通过目视来确认因图像处理错误、拾取错误而剩下的裸片由于某些原因而实际上无法使用的情况下，能够中止将该裸片的状态修正为“合格裸片”，而不生产不合格基板。
[0014]在这种情况下，晶片图修正机构可以对被改写成“图像处理错误”或“拾取错误”的每个裸片位置将状态逐个修正为“合格裸片”，也可以具有将多个裸片位置状态一并修正为“合格裸片”的一并修正功能。具有能够通过一并修正功能来提高操作性的优点。
【专利附图】
【附图说明】
[0015]图1是本发明的一实施例的裸片拾取装置的外观立体图。
[0016]图2是顶起单元及其周边部分的外观立体图。
[0017]图3是晶片托盘的外观立体图。
[0018]图4是表示在顶起动作时使顶起筒上升至吸附位置后的状态的局部剖视放大图。
[0019]图5是表示在顶起动作时使顶起销从顶起筒突出后的状态的局部剖视放大图。
[0020]图6是表示裸片拾取装置的控制系统的结构的框图。
[0021]图7是表示显示在显示装置的画面上的晶片图的一例的图。
[0022]图8(a)是表示将发生了图像处理错误或拾取错误的裸片位置的状态从“合格裸片”被改写成“图像处理错误”或“拾取错误”后的状态显示在显示装置的画面上的一例的图，图8(b)是表示将被改写成“图像处理错误”或“拾取错误”的裸片位置的状态修正为“合格裸片”后的状态显示在显示装置的画面上的一例的图。
【具体实施方式】
[0023]以下，说明将用于实施本发明的方式具体化后的一实施例。
[0024]首先，使用图1概略说明裸片拾取装置11的结构。
[0025]裸片拾取装置11具备料仓保持部22 (盘塔)、托盘拉出台23、XY移动机构25、顶起单元28(参照图2)等，设置成将托盘拉出台23插入于元件安装机(未图示)的状态。虽然未图示，但是元件安装系统(裸片安装系统)沿电路基板的搬送路径配置有一台或多台元件安装机，在至少一台元件安装机上设置有裸片拾取装置11。
[0026]在能够上下移动地收纳于裸片拾取装置11的料仓保持部22内的料仓(未图示)中，安装有晶片30的晶片托盘32装载多层，生产中从料仓将晶片托盘32拉出到托盘拉出台23上。如图3所示，晶片张设体30将粘贴有对晶片以棋盘格状进行切割而形成的裸片31的能够伸缩的切割片34以展开的状态安装于具有圆形的开口部的晶片安装板33(切割框架)，该晶片安装板33通过螺纹紧固等而安装在托盘主体35上。
[0027]顶起单元28(参照图2)以能够在晶片托盘32的切割片34下方的空间区域中沿XY方向移动的方式构成。并且，通过利用顶起筒37的顶起销39(参照图4、图5)将切割片34中的要拾取(吸附)的裸片31的粘贴部分从其下方局部地顶起，使该裸片31的粘贴部分从切割片34局部地剥离，使裸片31浮起成容易拾取的状态。
[0028]该顶起单元28以伺服马达(未图示)作为驱动源而以顶起单元28整体上下移动的方式构成。在裸片拾取动作时，当顶起单元28上升而使顶起筒37的上表面上升至与晶片托盘32的切割片34大致接触的预定的片吸附位置时，通过止动机构(未图示)使顶起单元28的上升停止，当进一步持续进行上升动作时，顶起销39 (参照图4、图5)从顶起筒37的上表面向上方突出，顶起切割片34中的要拾取的裸片31的粘贴部分。在这种情况下，通过调整作为动力源的伺服马达的旋转量，能够调整顶起销39的顶起高度位置(顶起量)。
[0029]如图1所示，在XY移动机构25上组装有吸附头41和相机42，通过该XY移动机构25使吸附头41和相机42 —体地沿XY方向移动。在吸附头41上，以上下移动的方式设有吸附切割片34上的裸片31的吸嘴43 (参照图4、图5)。相机42从上方拍摄切割片34上的裸片31并对其摄像图像进行图像处理，从而能够识别要由吸嘴43吸附的裸片31的位置。
[0030]裸片拾取装置11的控制装置51 (参照图6)对由相机42拍摄切割片34上的裸片31中的要吸附的裸片31而得到的图像进行处理并识别该裸片31的位置，确定该裸片31的顶起位置和吸附位置，如图5所示，利用顶起筒37的顶起销39将切割片34中的要拾取(吸附)的裸片31的粘贴部分从其下方局部地顶起，从而使该裸片31的粘贴部分从切割片34局部地剥离，使裸片31浮起成容易拾取的状态，并由吸嘴43吸附拾取该裸片31。
[0031]一般而言，在一张晶片中含有不合格裸片，所以在晶片制造公司中，基于裸片检查结果，生成表示切割后的晶片的各位置的裸片31是否合格的晶片图(参照图7)，将该晶片图与晶片一起卖给裸片安装基板制造公司。在裸片安装基板制造公司中，在裸片拾取装置11的控制装置51的存储装置52 (存储机构)中存储晶片图，参照该晶片图，通过相机42的拍摄图像而从晶片识别合格裸片(合格芯片)的位置，依次仅拾取合格裸片并安装在基板上。
[0032] 这时，每当从晶片拾取合格裸片时，将晶片图中的已拾取的裸片位置的状态从“合格裸片”改写成“已拾取”，但是有时因某些原因而导致合格裸片的图像处理失败(图像处理错误)或裸片31的拾取失败(拾取错误)。在这种情况下，如图8(a)所示，将发生了图像处理错误或拾取错误的裸片位置的状态从“合格裸片”改写成“图像处理错误”或“拾取错误”，能够与“已拾取”、“合格裸片”的状态进行区别。
[0033]因图像处理错误、拾取错误而剩下的裸片本来并非“不合格裸片”，在检查中已确认是“合格裸片”，所以即使安装在基板上也没有任何问题，但是在裸片拾取装置11中，无法对状态成为“图像处理错误”、“拾取错误”的裸片进行拾取。
[0034]因此，在本实施例中，在裸片拾取装置11的控制装置51中搭载作业者对鼠标、键盘、触摸板等输入装置53 (晶片图修正机构)进行操作而将晶片图中的被改写成“图像处理错误”或“拾取错误”的裸片位置的状态修正为“合格裸片”的晶片图修正功能，并且如图8所示，在显示装置54的画面上显示晶片图的各裸片位置的状态，作业者能够在该显示装置54的画面上通过目视来确认晶片图的各裸片位置的状态并操作输入装置53，而将“图像处理错误”或“拾取错误”的状态修正为“合格裸片”。
[0035]在这种情况下，晶片图修正功能可以对被改写成“图像处理错误”或“拾取错误”的每个裸片位置将状态逐个修正为“合格裸片”，也可以具有将多个裸片位置状态一并修正为“合格裸片”的一并修正功能。具有能够通过一并修正功能来提高操作性的优点。
[0036]根据以上说明的本实施例，由于在裸片拾取装置11的控制装置51中搭载了将晶片图中的被改写成“图像处理错误”或“拾取错误”的裸片位置状态修正为“合格裸片”的晶片图修正功能，所以作业者能够对裸片拾取装置11的输入装置53进行操作而将晶片图中的被改写成“图像处理错误”或“拾取错误”的裸片位置的状态修正为“合格裸片”，在该裸片拾取装置11中，参照修正后的晶片图，再次执行因图像处理错误或拾取错误而剩下的裸片的拾取。因此，不需要如以往那样在将因图像处理错误或拾取错误而剩下的裸片的状态变更为“合格裸片”时使用设备外的晶片图生成装置来进行生成新的晶片图的作业，能够通过对裸片拾取装置11的输入装置53进行操作而将裸片的状态从“图像处理错误”或“拾取错误”简单地修正为“合格裸片”并再次使用，能够提高生产率和成本性(裸片的成品率)。
[0037]并且，在本实施例中，能够在显示装置54的画面上显示晶片图的各裸片位置的状态，作业者在该显示装置54的画面上通过目视来确认晶片图的各裸片位置的状态并对输入装置53进行操作，而将“图像处理错误”或“拾取错误”的状态修正为“合格裸片”，所以能够预先防止在将“图像处理错误”或“拾取错误”的状态修正为“合格裸片”时将错误的裸片位置的状态修正为“合格裸片”，并且在能够在显示装置53(应为:显示装置54)的画面上通过目视来确认因图像处理错误、拾取错误而剩下的裸片由于某些原因而实际上无法使用的情况下，能够中止将该裸片的状态修正为“合格裸片”，具有不生产不合格基板的优点。
[0038]另外，在本实施例中，在裸片拾取装置11的控制装置51中搭载了晶片图修正功能，但是可以在设置有裸片拾取装置11的元件安装机的控制装置中搭载晶片图修正功能，或者也可以在对包含裸片拾取装置11的元件安装系统(元件安装线)整体进行管理的生产线管理用计算机中搭载晶片图修正功能。
[0039]另外，本实施例的裸片拾取装置11以通过YX移动机构25使吸附头41和相机42一体地沿XY方向移动的方式构成，但是也可以以如下方式构成:吸附头41和相机42仅沿X方向移动，且晶片托盘32在托盘拉出台23上沿Y方向移动，从而作为拍摄对象/吸附对象的裸片31的位置沿XY方向移动。
[0040]此外，本发明也可以对裸片拾取装置11的结构、晶片托盘32的结构进行适当变更等，当然能够在不脱离主旨的范围内进行各种变更而加以实施。
[0041]附图标记说明
[0042]11裸片拾取装置
[0043]22料仓保持部
[0044]23托盘拉出台
[0045]25XY移动机构
[0046]28顶起单元
[0047]30晶片张设体
[0048]31裸片
[0049]32晶片托盘
[0050]33晶片安装板
[0051]34切割片
[0052]37顶起筒
[0053]39顶起销
[0054]41吸附头
[0055]42相机
[0056]43吸嘴
[0057]51控制装置
[0058]52存储装置(存储机构)
[0059]53输入装置(晶片图修正机构)
[0060]54显示装置
【权利要求】
1.一种裸片安装系统的晶片图管理装置，在所述裸片安装系统的存储机构中存储表示以分割为多个裸片的方式被切割的晶片的各位置的裸片是否合格的晶片图，在裸片安装工序中参照所述晶片图，从所述晶片依次拾取合格裸片并安装在基板上，并且，每当拾取合格裸片时，将所述晶片图中的已拾取的裸片位置的状态从“合格裸片”改写成“已拾取”，另一方面，将发生了图像处理错误或拾取错误的裸片位置的状态从“合格裸片”改写成“图像处理错误”或“拾取错误”， 所述裸片安装系统的晶片图管理装置的特征在于， 在所述裸片安装系统中设有晶片图修正机构，该晶片图修正机构将所述晶片图中的被改写成“图像处理错误”或“拾取错误”的裸片位置的状态修正为“合格裸片”。
2.如权利要求1所述的裸片安装系统的晶片图管理装置，其特征在于， 在所述裸片安装系统中设有显示所述晶片图的各裸片位置的状态的显示装置， 构成为，作业者能够在所述显示装置的画面上通过目视来确认所述晶片图的各裸片位置的状态的同时对所述晶片图修正机构进行操作，而将“图像处理错误”或“拾取错误”的状态修正为“合格裸片”。
3.如权利要求1或2所述的裸片安装系统的晶片图管理装置，其特征在于， 所述晶片图修正机构具备将被改写成“图像处理错误”或“拾取错误”的多个裸片位置状态一并修正为“合格裸片”的一并修正功能。
4.一种裸片安装方法，在裸片安装系统的存储机构中存储表示以分割为多个裸片的方式被切割的晶片的各位置的裸片是否合格的晶片图，在裸片安装工序中参照所述晶片图，从所述晶片依次拾取合格裸片并安装在基板上，并且，每当拾取合格裸片时，将所述晶片图中的已拾取的裸片位置的状态从“合格裸片”改写成“已拾取”，另一方面，将发生了图像处理错误或拾取错误的裸片位置的状态从“合格裸片”改写成“图像处理错误”或“拾取错误”， 所述裸片安装方法的特征在于， 作业者对设于所述裸片安装系统的晶片图修正机构进行操作，将所述晶片图中的被改写成“图像处理错误”或“拾取错误”的裸片位置的状态修正为“合格裸片”，在所述裸片安装系统中参照修正后的晶片图，再次执行因图像处理错误或拾取错误而剩下的裸片的拾取。
【文档编号】H01L21/02GK104205289SQ201280071970
【公开日】2014年12月10日 申请日期:2012年4月27日 优先权日:2012年4月27日
【发明者】保坂英希, 岩濑友则, 柘植邦明, 小见山延久 申请人:富士机械制造株式会社