钛掺杂碱土硼磷酸盐发光薄膜、制备方法及其应用的制作方法
【专利摘要】一种钛掺杂碱土硼磷酸盐发光薄膜，其化学式为Me(PO4)x(BO3)1-x：yTi4+,其中，0.1≤x≤0.4，0.01≤y≤0.06，Me(PO4)x(BO3)1-x是基质，钛元素是激活元素，Me为Mg、Ca、Sr或Ba。该钛掺杂碱土硼磷酸盐发光薄膜的电致发光光谱（EL）中，在410nm波长区都有很强的发光峰，能够应用于薄膜电致发光显示器中。本发明还提供该钛掺杂碱土硼磷酸盐发光薄膜的制备方法及其应用。
【专利说明】钛掺杂碱土硼磷酸盐发光薄膜、制备方法及其应用 【【技术领域】】
[0001] 本发明涉及一种钛掺杂碱土硼磷酸盐发光薄膜、其制备方法、薄膜电致发光器件 及其制备方法。 【【背景技术】】
[0002] 薄膜电致发光显示器（TFELD)由于其主动发光、全固体化、耐冲击、反应快、视角 大、适用温度宽、工序简单等优点，已引起了广泛的关注，且发展迅速。目前，研究彩色及至 全色TFELD，开发多波段发光的薄膜，是该课题的发展方向。但是，可应用于薄膜电致发光显 示器的钛掺杂碱土硼磷酸盐发光薄膜，仍未见报道。 【
【发明内容】
】
[0003] 基于此，有必要提供一种可应用于薄膜电致发光器件的钛掺杂碱土硼磷酸盐发光 薄膜、其制备方法该钛掺杂碱土硼磷酸盐发光薄膜电致发光器件及其制备方法。
[0004] 一种钛掺杂碱土硼磷酸盐发光薄膜，其化学式为其中，
【权利要求】
1. 一种钛掺杂碱土硼磷酸盐发光薄膜，其特征在于，其化学式为 7打4+，其中，0.1彡叉彡0.4,0.01彡7彡0.06，1^?04) !￡出03)1_!￡是基质，钛元素是激活元素， Me 为 Mg、Ca、Sr 或 Ba。
2. 根据权利要求1所述的钛掺杂碱土硼磷酸盐发光薄膜，其特征在于，所述钛掺杂碱 土硼磷酸盐发光薄膜的厚度为80nm?300nm。
3. -种钛掺杂碱土硼磷酸盐发光薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤： 将衬底装入化学气相沉积设备的反应室中，并将反应室的真空度设置为 1.0Xl(T2Pa ?1.0Xl(T3Pa ; 调节衬底的温度为250°C?650°C，转速为50转/分钟?1000转/分钟，采用氩气气流 的载体，根据各元素的化学计量比将双环戊二烯碱土金属源、硼烷、 磷烷和四异丙醇钛通入反应室内；及 通入氧气，进行化学气相沉积得到化学式为:yTi4+的钛掺杂碱土硼磷 酸盐发光薄膜，其中，0. 1彡X彡0.4,0.01彡y彡0.06, Me (POjjBC^h是基质，钛元素是 激活元素，Me为Mg、Ca、Sr或Ba。
4. 根据权利要求3所述的钛掺杂碱土硼磷酸盐发光薄膜的制备方法，其特征在于，所 述双环戊二烯碱土金属源、硼烷、磷烷和四异丙醇钛摩尔比为1 : (〇. 1?〇. 4): (0. 7?0. 9): (0· 01 ?0· 06)。
5. 根据权利要求3所述的钛掺杂碱土硼磷酸盐发光薄膜的制备方法，其特征在于，所 述氩气气流量为5?15sccm，所述氧气气流量为10?200sccm。
6. 根据权利要求3所述的钛掺杂碱土硼磷酸盐发光薄膜的制备方法，其特征在于，将 所述衬底装入所述反应室后将所述衬底在600°C?800°C下热处理10分钟?30分钟。
7. -种薄膜电致发光器件，该薄膜电致发光器件包括依次层叠的衬底、阳极层、发 光层以及阴极层，其特征在于，所述发光层的材料为钛掺杂碱土硼磷酸盐发光薄膜，该钛 掺杂碱土硼磷酸盐发光薄膜的化学式为MeTC^UBOl^yTi'其中，0. 1彡X彡0.4， 0.01彡y彡0.06，1^?04)!￡出03) 1_!￡是基质，钛元素是激活元素，16为1%、0&、51'或8 &。
8. 根据权利要求7所述的薄膜电致发光器件，其特征在于，所述发光层的厚度为 80nm ?300nm。
9. 一种薄膜电致发光器件的制备方法，其特征在于，包括以下步骤： 提供具有阳极的衬底； 在所述阳极上形成发光层，所述发光层的薄膜为钛掺杂碱土硼磷酸盐发光薄膜，该 钛掺杂碱土硼磷酸盐发光薄膜的化学式为:yTi4+，其中，0. 1彡X彡0. 4， 0· 01彡y彡0· 06, Me (P04) x (B03) ^是基质，钛元素是激活元素，Me为Mg、Ca、Sr或Ba ; 在所述发光层上形成阴极。
10. 根据权利要求9所述的薄膜电致发光器件的制备方法，其特征在于，所述发光层的 制备包括以下步骤： 将所述衬底装入化学气相沉积设备的反应室，并将反应室的真空度设置为 1.0Xl(T2Pa ?1.0Xl(T3Pa ; 调节衬底的温度为250°C?650°C，转速为50转/分钟?1000转/分钟，采用氩气气 流作为载体，根据Me(P04)T(B0丄i:yTi4+各元素的化学计量比将双环戊二烯碱土金属源、硼 烷、磷烷和四异丙醇钛通入反应室内，其中，氩气气流量为5?15sccm， 然后通入氧气，氧气气流量为10?200sCCm ;沉积薄膜在所述阳极上形成发光层。
【文档编号】H01L33/50GK104119894SQ201310149446
【公开日】2014年10月29日 申请日期:2013年4月26日 优先权日:2013年4月26日
【发明者】周明杰, 陈吉星, 王平, 张振华 申请人:海洋王照明科技股份有限公司, 深圳市海洋王照明技术有限公司, 深圳市海洋王照明工程有限公司