技术总结
本发明公开一种快速高效的晶背缺陷识别方法，包括如下步骤：创建一存放有图形信息数据的图形信息数据库；将在线发现晶圆背面缺陷的照片转化为数据化的模拟图片；将上述数据化的模拟图片中的晶圆背面缺陷特征数据输入到上述图形信息数据库中；上述图形信息数据库根据所述晶圆背面缺陷特征数据对存储其中的图形信息数据进行自动搜索，以搜索到与上述晶圆背面缺陷特征数据匹配程度最高的图形信息数据。本发明可以实现快速和自动的对晶圆背面缺陷的原因进行查找，减少缺陷对正常生产的影响，控制工艺质量和提升产品的良率，同时降低生产的成本，并且可以降低设置晶背的检测站点来减少人力和工艺成本的增加。
技术研发人员：倪棋梁;陈宏璘;龙吟;王恺
受保护的技术使用者：上海华力微电子有限公司
文档号码：201310220498
技术研发日：2013.06.04
技术公布日：2017.07.07