降低mos晶体管短沟道效应的方法
【专利摘要】一种降低MOS晶体管短沟道效应的方法，包括：在硅片的阱中形成三角形源极和三角形漏极，其中三角形源极的一个角和三角形漏极的一个角相对，在相对的角上分别形成轻掺杂源区和轻掺杂漏区，并在硅片上依次形成第一介质层和第二介质层，在第一介质层和第二介质层形成栅极凹槽；使栅极凹槽进入阱；在栅极凹槽的部分侧壁形成氮化硅层，使得在三角形源极、三角形漏极、轻掺杂源区、轻掺杂漏区和阱表面形成氮化硅层；利用硅对栅极凹槽进行部分填充，以使硅填充栅极凹槽处于衬底内的部分；对第一介质层进行湿法刻蚀，以使得未被硅填充的栅极凹槽的尺寸变大，从而形成扩大的栅极凹槽；在扩大的栅极凹槽中填充栅极材料。
【专利说明】降低MOS晶体管短沟道效应的方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体制造领域，更具体地说，本发明涉及一种降低MOS晶体管短沟道效应的方法。
【背景技术】
[0002]金属-氧化物-半导体(Metal-Oxide-Semiconductor)结构的晶体管简称MOS晶体管。现如今，MOS晶体管已经被广泛地用于大部分的数字电路及部分模拟电路中。
[0003]但是，随着器件尺寸的缩小，会出现短沟道效应，从而影响器件性能。具体地说，当MOS晶体管的沟道长度缩短到可与源和漏耗尽层宽度之和相比拟时，器件将发生偏离长沟道的行为，沟道边缘(如源极、漏极及绝缘区边缘)的扰动将变得更加重要.因此器件的特性将不再遵守长沟道近似(long—channel approximat1n)的假设。这种因沟道长度缩短而发生的对器件特性的影响，通常称为短沟道效应。
[0004]更具体地说，在现有技术中，一个重要问题就是，源漏区杂质在退火工艺时会产生横向扩散，那么当栅极特征尺寸不断缩小时，这种横向扩散就会产生越来越严重的短沟道效应(SCE);特别是有SiGe或SiC作为源漏区时，由于这个源漏区一般都是外延工艺产生的，所以都会同时原位外延掺杂相应的源漏区II1-V族杂质，这种原位外延掺杂由于工艺控制的难度，存在更严重的短沟道效应。
[0005]由此，随着器件尺寸的不断缩小，希望能够提供一种能够有效地降低MOS晶体管短沟道效应的方法。
【发明内容】
[0006]本发明所要解决的技术问题是针对现有技术中存在上述缺陷，提供一种能够降低MOS晶体管短沟道效应的方法。
[0007]为了实现上述技术目的，根据本发明，提供了一种降低MOS晶体管短沟道效应的方法，其包括:在硅片的阱中形成三角形源极和三角形漏极，其中三角形源极的一个角和三角形漏极的一个角相对，在三角形源极和三角形漏极的相互相对的角上分别形成轻掺杂源区和轻掺杂漏区，并且在硅片上依次形成第一介质层和第二介质层，而且在第一介质层和第二介质层形成栅极凹槽；对三角形源极、三角形漏极、轻掺杂源区、轻掺杂漏区和阱进行刻蚀，使栅极凹槽进入阱；在栅极凹槽的部分侧壁形成氮化硅层，使得在三角形源极、三角形漏极、轻掺杂源区、轻掺杂漏区和阱表面形成氮化硅层；利用硅对栅极凹槽进行部分填充，以使硅填充栅极凹槽处于衬底内的部分；对第一介质层进行湿法刻蚀，以使得未被硅填充的栅极凹槽的尺寸变大，从而形成扩大的栅极凹槽；在扩大的栅极凹槽中填充栅极材料。
[0008]优选地，第一介质层是氮化娃层。
[0009]优选地，第二介质层是二氧化硅层。
[0010]优选地，通过干法刻蚀对三角形源极、三角形漏极、轻掺杂源区、轻掺杂漏区和阱进行刻蚀。[0011 ] 优选地，通过外延在栅极凹槽的部分侧壁形成氮化硅层。
[0012]优选地，填充栅极凹槽的硅是掺杂的硅。
[0013]优选地，填充栅极凹槽的硅掺杂有P或As。
[0014]优选地，栅极材料是金属或者多晶硅。
[0015]优选地，三角形源极和三角形漏极的材料为SiGe或者SiC。
[0016]在根据本发明优选实施例的降低MOS晶体管短沟道效应的方法中，通过产生掺杂有碳的层(碳化硅层)，以达到阻挡源漏横向扩散的目的，从而有效改善短沟道效应及更严重的源漏穿通效应。
【专利附图】
【附图说明】
[0017]结合附图，并通过参考下面的详细描述，将会更容易地对本发明有更完整的理解并且更容易地理解其伴随的优点和特征，其中:
[0018]图1至图6示意性地示出了根据本发明优选实施例的降低MOS晶体管短沟道效应的方法的各个步骤。
[0019]需要说明的是，附图用于说明本发明，而非限制本发明。注意，表示结构的附图可能并非按比例绘制。并且，附图中，相同或者类似的元件标有相同或者类似的标号。
【具体实施方式】
[0020]为了使本发明的内容更加清楚和易懂，下面结合具体实施例和附图对本发明的内容进行详细描述。
[0021]图1至图6示意性地示出了根据本发明优选实施例的降低MOS晶体管短沟道效应的方法的各个步骤。
[0022]具体地说，如图1至图6所示，根据本发明优选实施例的降低MOS晶体管短沟道效应的方法包括:
[0023]如图1所示，在硅片的阱10中形成三角形源极20和三角形漏极30，其中三角形源极20的一个角和三角形漏极30的一个角相对，在三角形源极20和三角形漏极30的相互相对的角上分别形成轻掺杂源区40和轻掺杂漏区50，并且在硅片上依次形成第一介质层60和第二介质层70，而且在第一介质层60和第二介质层70形成栅极凹槽80。例如，第一介质层60是氮化硅层，第二介质层70是二氧化硅层。优选地，三角形源极20和三角形漏极30的材料为SiGe或者SiC ;本发明尤其对三角形源极20和三角形漏极30的材料为SiGe或者SiC的应用的改进效果明显。
[0024]随后，如图2所示，对三角形源极20、三角形漏极30、轻掺杂源区40、轻掺杂漏区50和阱10进行刻蚀，使栅极凹槽80进入阱10。例如，通过干法刻蚀对三角形源极20、三角形漏极30、轻掺杂源区40、轻掺杂漏区50和阱10进行刻蚀。
[0025]随后，如图3所示，在栅极凹槽80的部分侧壁形成氮化硅层90，使得在三角形源极20、三角形漏极30、轻掺杂源区40、轻掺杂漏区50和阱10表面形成氮化硅层90。例如，可通过外延在栅极凹槽80的部分侧壁形成氮化硅层90。
[0026]随后，如图4所示，利用硅100对栅极凹槽80进行部分填充，以使硅100填充栅极凹槽80处于衬底内的部分。例如，填充栅极凹槽80的硅100是掺杂的硅；例如，对于PMOS晶体管，填充栅极凹槽80的硅100掺杂有P或As。
[0027]随后，如图5所示，对第一介质层60进行湿法刻蚀，以使得未被硅100填充的栅极凹槽80的尺寸变大，从而形成扩大的栅极凹槽81。
[0028]实际上，第一介质层60 (例如是SiN层)的湿法刻蚀，这样可以使栅极特征尺寸变大一些，使得栅极下面轻掺杂源漏区可以与栅极有可靠的搭界，从而可以更好的受栅极控制。
[0029]随后，如图6所示，在扩大的栅极凹槽81中填充栅极材料110。例如，栅极材料110
是金属或者多晶硅。
[0030]由此，可以看出，在根据本发明优选实施例的降低MOS晶体管短沟道效应的方法中，通过产生掺杂有碳的层(碳化硅层)，以达到阻挡源漏横向扩散的目的，从而有效改善短沟道效应及更严重的源漏穿通效应。
[0031]而且，除了通过外延方式产生掺杂有碳的层(碳化硅层)之外，也可以用离子注入C的方式形成掺杂有碳的层。
[0032]此外，需要说明的是，除非特别说明或者指出，否则说明书中的术语“第一”、“第二”、“第三”等描述仅仅用于区分说明书中的各个组件、元素、步骤等，而不是用于表示各个组件、元素、步骤之间的逻辑关系或者顺序关系等。
[0033]可以理解的是，虽然本发明已以较佳实施例披露如上，然而上述实施例并非用以限定本发明。对于任何熟悉本领域的技术人员而言，在不脱离本发明技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的技术内容对本发明技术方案作出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均仍属于本发明技术方案保护的范围内。
【权利要求】
1.一种降低MOS晶体管短沟道效应的方法，其特征在于包括: 在硅片的阱中形成三角形源极和三角形漏极，其中三角形源极的一个角和三角形漏极的一个角相对，在三角形源极和三角形漏极的相互相对的角上分别形成轻掺杂源区和轻掺杂漏区，并且在硅片上依次形成第一介质层和第二介质层，而且在第一介质层和第二介质层形成栅极凹槽； 对三角形源极、三角形漏极、轻掺杂源区、轻掺杂漏区和阱进行刻蚀，使栅极凹槽进入讲； 在栅极凹槽的部分侧壁形成氮化硅层，使得在三角形源极、三角形漏极、轻掺杂源区、轻掺杂漏区和阱表面形成氮化硅层； 利用硅对栅极凹槽进行部分填充，以使硅填充栅极凹槽处于衬底内的部分； 对第一介质层进行湿法刻蚀，以使得未被硅填充的栅极凹槽的尺寸变大，从而形成扩大的栅极凹槽； 在扩大的栅极凹槽中填充栅极材料。
2.根据权利要求1所述的降低M0S晶体管短沟道效应的方法，其特征在于，第一介质层是氮化硅层。
3.根据权利要求1或2所述的降低M0S晶体管短沟道效应的方法，其特征在于，第二介质层是二氧化硅层。
4.根据权利要求1或2所述的降低M0S晶体管短沟道效应的方法，其特征在于，通过干法刻蚀对三角形源极、三角形漏极、轻掺杂源区、轻掺杂漏区和阱进行刻蚀。
5.根据权利要求1或2所述的降低M0S晶体管短沟道效应的方法，其特征在于，通过外延在栅极凹槽的部分侧壁形成氮化硅层。
6.根据权利要求1或2所述的降低M0S晶体管短沟道效应的方法，其特征在于，填充栅极凹槽的硅是掺杂的硅。
7.根据权利要求1或2所述的降低M0S晶体管短沟道效应的方法，其特征在于，填充栅极凹槽的硅掺杂有P或As。
8.根据权利要求1或2所述的降低M0S晶体管短沟道效应的方法，其特征在于，栅极材料是金属或者多晶硅。
9.根据权利要求1或2所述的降低M0S晶体管短沟道效应的方法，其特征在于，三角形源极和三角形漏极的材料为SiGe或者SiC。
【文档编号】H01L21/336GK104465383SQ201310438559
【公开日】2015年3月25日 申请日期:2013年9月23日 优先权日:2013年9月23日
【发明者】赵猛 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司