太赫兹单频双频滤波通道切换方法及其切换装置制造方法
【专利摘要】本发明提供了一种太赫兹单频双频滤波通道切换方法及其切换装置，其特征在于，具有以下步骤：将第一金属板上形成第一凹槽，在第二金属板相对侧面上设有尺寸一致的第二凹槽，两个凹槽相互平行；都设置在太赫兹时域光谱系统中；调节入射太赫兹波的偏振方向使之含有与第一凹槽和第二凹槽的长度方向一致的分量，此时低阶横电（TE1）模式将在波导中被激发；采用水平位移台部调节两个凹槽的中心轴线之间的槽轴间距a，太赫兹透射谱中形成明显的高频和低频双滤波通道；槽轴间距a确定后，采用竖直位移台部调节板间距d，使之等于高频滤波通道对应的谐振波长dx；采用位移台部在dx上下Δd范围内调节，从而实现单双频滤波通道之间的转换。
【专利说明】太赫兹单频双频滤波通道切换方法及其切换装置
【技术领域】
[0001]本发明属于太赫兹波检测【技术领域】，特别涉及一种基于金属平板波导的太赫兹单频双频滤波通道切换方法及其切换装置。
【背景技术】
[0002]太赫兹(THz)波是位于微波和远红外线之间的电磁波。近年来，随着超快激光技术的发展，使得太赫兹脉冲的产生有了稳定、可靠的激发光源，使得人们能够研究太赫兹。在生物医学、安全监测、无损伤探测、天文学、光谱与成像技术以及信息科学等这些领域，太赫兹都有着广泛的应用。对于太赫兹波段的开发和利用是离不开太赫兹功能器件的，太赫兹单频滤波通道装置、太赫兹双频滤波通道装置就是太赫兹应用的一种，也是太赫兹检测领域的重要器件，其发展一直备受重视。
[0003]2003年，德国学者A.Christ在“量子电子学和激光科学”(QELS)会议上报道了一维周期性金属表面存在可以传导的表面等离子激元(SPP)，从而从理论上指出了利用金属光栅制作波导的可行性，详见“Soc.Am.QELS, I, 2003”。接着，2011年，浙江大学Y.G.Ma等人，率先通过理论和实验方法制备出基于单个周期金属光栅结构的单波长分路器和耦合器，为单频双频滤波通道直接的转换提供了可能，详见“Opt.Exp.19 (22)，21189，2011”。再接着，2012年，俄克拉荷马州立大学的张伟力等报道了利用光刻方法制成U型结构谐振腔，实现了在0.5~0.9THz的双频通道的滤波器，详见“Appl.Phys.A, 107，285，2012”。然而，上述这些太赫兹器件仅仅涉及到了太赫兹单频滤波通道或双频滤波通道产生方法，并且，太赫兹的滤波通道数量一旦确定，太赫兹器件就会随之定型确定，根本无法实现单频滤波通道和双频滤波通道之间的切换，因此，无法随之满足太赫兹频段检测技术和太赫兹波段通讯的迅猛发展。
【发明内容】
`[0004]本发明的目的在于提供一种基于金属平板波导能够实现单频滤波通道和双频滤波通道之间切换的太赫兹单频双频滤波通道切换方法及其太赫兹单频双频滤波通道切换
>J-U ρ?α装直。
[0005]本发明提供的一种太赫兹透射谱中实现单频滤波或双频滤波的太赫兹单频双频滤波通道切换方法，具有这样的特征，具有以下步骤:将第一金属板的一侧面上形成第一凹槽，在第二金属板相对的侧面上设有与第一凹槽尺寸一致的第二凹槽，第一凹槽与第二凹槽相互平行；将第一金属板与第二金属板对向设置在太赫兹时域光谱系统中；调节入射太赫兹波的偏振方向，使入射的太赫兹波含有与第一凹槽和第二凹槽的长度方向一致的分量；采用位移台部在平行的方向上调节第一凹槽的中心轴线和第二凹槽的中心轴线之间的槽轴间距a，使得太赫兹透射谱中形成低频和高频两个明显的滤波峰；槽轴间距a确定后，采用位移台部在与平行相垂直的方向上调节第一金属板与第二金属板之间的板间距d达到初值dx ;采用位移台部调节板间距d基于初值dx在上下浮动范围± △ d内进行改变，从而在太赫兹透射谱中单频滤波通道和双频滤波通道之间切换。
[0006]在本发明的太赫兹单频双频滤波通道切换方法中，还可以具有这样的特征:其中，在入射的太赫兹波含有与第一凹槽和第二凹槽的长度方向一致的分量时，低阶横电(TEl)模式将在波导中被激发。
[0007]在本发明的太赫兹单频双频滤波通道切换方法中，还可以具有这样的特征:其中，第一凹槽和第二凹槽的槽宽w小于3mm ;第一凹槽和第二凹槽的槽深h小于3mm。
[0008]在本发明的太赫兹单频双频滤波通道切换方法中，还可以具有这样的特征:其中，槽轴间距a是槽宽w的0.25倍至0.75倍。
[0009]在本发明的太赫兹单频双频滤波通道切换方法中，还可以具有这样的特征:其中，板间距dx等于太赫兹透射谱中高频滤波峰对应的峰值波长值，调节范围± △ d由电控位移平台上被加载的电压而决定的，电压的电压值和正负可调节。
[0010]在本发明的太赫兹单频双频滤波通道切换方法中，还可以具有这样的特征:其中，当板间距d满足dX-Ad〈d〈dX时，太赫兹透射谱形成双频滤波通道，当板间距d满足dx〈d〈dx+A d时，太赫兹透射谱形成单频滤波通道，单频滤波通道为低频滤波通道。
[0011]另外，本发明还提供了一种太赫兹透射谱中单频双频滤波通道切换装置，具有这样的特征，包括:第一金属板，在底侧面上设有第一凹槽；第二金属板，在与底侧面相对的顶侧面上设有与第一凹槽尺寸一致的第二凹槽；以及位移台部，调节第一凹槽和第二凹槽之间的水平相对位置，使得第一凹槽的中心轴线和第二凹槽的中心轴线之间互相平行且具有一定的槽轴间距a，且调节第一金属板和第二金属板之间具有的板间距d达到初值dx，其中，太赫兹的偏振方向含有与第一凹槽和第二凹槽的长度方向一致的分量，太赫兹在第一金属板和第二金属板的板间距d中形成低阶横电模式，位移台部调节板间距d基于初值dx在上下浮动范围土 Ad内变动，在太赫兹透射谱中形成为单频滤波通道或双频滤波通道。
[0012]在本发明的太赫兹单频双频滤波通道切换装置中，还可以具有这样的特征:其中，低阶横电模式的太赫兹波的频率范围为0.01THz至ITHz。
[0013]在本发明的太赫兹单频双频滤波通道切换装置中，还可以具有这样的特征:其中，第一凹槽和第二凹槽内填充:非导电的气体、液体、胶体及粉末中的任意一种，第一金属板和第二金属板为铝、铜、银、铁、镍、钛、金、锌及其合金中的任意一种。
[0014]在本发明的太赫兹单频双频滤波通道切换装置中，还可以具有这样的特征:其中，第一金属板被固定，第二金属板设置在位移台部上，位移台部包括水平位移台、竖直位移台，及基于压电陶瓷的垂直电控系统，该垂直电控系统基于正负电压来移动第二金属板以调节板间距d。
[0015]发明的作用和效果
[0016]根据本发明所涉及的太赫兹单频双频滤波通道切换方法及其太赫兹单频双频滤波通道切换装置，首先使得太赫兹的偏振方向含有与第一凹槽和第二凹槽的所延伸长度方向一致的分量，低阶横电(TEl)模式将在波导中被激发，通过位移台部的调节，第一金属板和第二金属板上的第一凹槽的中心轴线和第二凹槽的中心轴线之间平行且产生槽轴间距a，在太赫兹透射谱中产生了明显的双频滤波通道，接着通过位移台部的调节，使板间距d等于高频滤波峰对应的谐振波长，然后通过垂直电控位移平台以dx为中心，在一定调节范围± Ad内上下快速移动金属板从而改变板间距d，实现单频滤波通道和双频滤波通道之间切换，因此，本发明能够提供一种基于金属平板波导的太赫兹单频双频滤波通道切换方法及其太赫兹单频双频滤波通道切换装置，这样相当于提供了可人为控制的通道数量，这不仅对太赫兹通信还是对太赫兹检测都有着极大意义，可由此预见单频双频滤波通道切换技术会得到快速发展。
【专利附图】
【附图说明】
[0017]图1是本发明的实施例中太赫兹单频双频滤波通道切换方法的步骤图；
[0018]图2是本发明的实施例中太赫兹单频双频滤波通道切换装置的结构示意图；
[0019]图3是本发明的实施例中第一金属板的结构示意图；
[0020]图4是本发明的实施例中第二金属板的结构示意图；
[0021]图5是本发明的实施例中调节板间距d为610 μ m时透射电磁波数据的传输特性效果不意图；
[0022]图6是本发明的实施例中调节板间距d为670 μ m时透射电磁波数据的传输特性效果不意图；
[0023]图7是本发明的实施例中调节板间距d为740 μ m时透射电磁波数据的传输特性效果不意图；以及
[0024]图8是本发明的实施例中调节板间距d为780 μ m时透射电磁波数据的传输特性效果示意图。
【具体实施方式】
[0025]下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
[0026]图2是本发明的实施例中太赫兹单频双频滤波通道切换装置的结构示意图。
[0027]如图2所示，在本实施例中，提供了一种太赫兹单频双频滤波通道切换装置100用于接受太赫兹波的入射，该太赫兹单频双频滤波通道切换装置100包括:本体支架11、第一金属板12、第二金属板13以及位移台部14。
[0028]第一金属板12固定于本体支架11上，第一金属板12、第二金属板13相对向设置，第二金属板13则设置在位移台部14上。位移台部14包括水平位移台15、竖直位移台16以及基于压电陶瓷的电控系统17。
[0029]水平位移台15、竖直位移台16用于分别在与第一金属板12相平行的平行平面内和在与平行平面相垂直的竖直平面内调节第二金属板13进行位移转动，以改变第一金属板12与第一金属板12之间的相对位置。
[0030]电控系统17作为电控高度调节装置，被设置在水平位移台15上，第二金属板13固定在电控系统17的顶侧被调高或者调低。
[0031]第一金属板12和第二金属板13之间具有板间距d,电控系统17基于正负电压在一定的调节范围± Δ d内来移动第二金属板13以改变板间距d。那么,在电控系统17未进行调节前，第一金属板12和第二金属板13之间预设的板间距d为初值dx，该初值dx采用700 μ m。字母d代表:装配后两金属块最接近的两个表面之间的间距，dx等于d间距处高频滤波峰值对应的谐振波长值。
[0032]图3和图4是由图2中从左往右方向上第一金属板12、第二金属板13的侧视立体结构示意图。图中I代表:金属块长度；P代表:金属块宽度；S代表:金属块高度；w代表:凹槽的槽宽；h代表:凹槽的槽深。
[0033]如图3所不,第一金属板12在底侧面上设有第一凹槽18,如图4所不,第二金属板13在顶侧面上设有第二凹槽19，该顶侧面与第一凹槽18的底侧面相对。第一金属板12和第二金属板13的结构简单，取材广泛，易于加工，材质可以是各种易于加工的金属，所有金属都可以，是铝、铜、银、铁、镍、钛、金、锌及其合金中中的任意一种，在本实施例中采用了纯铝质地。
[0034]图3中的第一金属板12具有:金属块长度L1:186mm、金属块宽度Pl:6mm、金属块高度S1:6mm。第一凹槽18的槽宽Wl:470 u m、第一凹槽18的槽深Hl:420 u m。
[0035]图4中的第二金属板13具有:金属块长度L2:186mm、金属块宽度P2:6mm、金属块高度S2:lmm。第一凹槽18的槽宽W2:470 y m、第一凹槽18的槽深H2:420 ym。
[0036]如图2至图4所示，第一凹槽18的中心轴线和第二凹槽19的中心轴线之间互相平行且具有一定的槽轴间距a，槽轴间距a是槽宽w的0.25倍至0.75倍，本实施例中槽轴间距a为200 y m,是槽宽的0.5倍。字母a代表是两个凹槽中心轴线之间的间距。
[0037]第一凹槽18的尺寸和第二凹槽19的尺寸是一致的，由图2的截面能得出，在本实施例中，第一凹槽18和第二凹槽19都为矩形体槽。由此可知，第二金属板13仅仅是厚度较薄，第一金属板12的厚度较大，这样的话，位于位移台上的第二金属板13重量较小，由于电控系统17是基于正负电压来移动第二金属板13时，那么重量较小的第二金属板13能够更加灵活精确地改变板间距d。
[0038]另外，位移台部14调节板间距d的调节范围土 A d是基于电控系统17上所加的电压的正负和大小。在本实施例中，第一凹槽18和第二凹槽19内为空气，在本发明中，在第一凹槽18和第二凹槽19内填充的可以是气体、液体、胶体及粉末中的任意一种，满足非导电条件均可，以免影响太赫兹单频双频滤波通道切换装置100的工作。
[0039]如图2至图4所示，在进行调节时，通过水平位移台15、竖直位移台16的预先定位，第一凹槽18和第二凹槽19相互平行放置，沿着槽宽W的方向，即图2中所示坐标系的X轴方向，第一凹槽18和第二凹槽19的之间存在一定的槽轴间距a。
[0040]在本实施例中具体的是，如图2所示的入射箭头所示，太赫兹波的入射方向与第一凹槽18和第二凹槽19的延伸长度方向是相垂直的，低阶横电(TEl)模式太赫兹波将在波导中被激发。在本发明中还可以为，太赫兹波的入射方向与第一凹槽18和第二凹槽19的延伸长度方向并非一定是相垂直的，在一定角度范围内相交也能够满足的，也就是，只要当入射的电磁波的偏振方向中含有与第一凹槽18和第二凹槽19的延伸长度方向，即图2中所不坐标系的y方向相一致的分量时，低阶横电(TEl)模式太赫兹波就能够在波导中被激发。
[0041]通过对于电控系统17的设定和操控，改变电控系统17的电压，使得板间距d在初值dx的上下变动，初值dx是高频滤波峰对应的谐振波长，本实施例中为700 u m,从而能够得到第一金属板12和第二金属板13之间的不同板间距d的不同透射电磁波的数据，经过数据处理能够得到本实施例的传输特性关系。
[0042]图5、图6、图7以及图8是本发明的实施例中调节板间距d为610iim、670iim、740 ii m以及780 ii m时透射电磁波数据的传输特性效果示意图。[0043]如图5至图8所示，实线为理论模拟数据，散点为实验测量数据。
[0044]如图5所示，当d为610 μ m时，由于在低阶横电(TEl)模式下0.4THz低频和0.45THz高频的两个频率处能够形成两个滤波通道。
[0045]如图6所示，当d为670μπι时，由于在低阶横电(TEl)模式下0.38ΤΗζ低频和
0.44ΤΗζ高频的两个频率处也能够形成两个滤波通道。
[0046]如图7和图8所示，当d为740或780 μ m时，位于图中右侧的高频的滤波通道消失，只剩下图中左侧的低频的滤波通道，使得太赫兹透射谱中形成单频(低频)滤波通道。
[0047]那么，将板间距d由610或670 μ m向740或780 μ m改变，可以实现了双频滤波通道向单频滤波通道的切换，反之则实现了单频滤波通道向双频滤波通道的切换。
[0048]本发明经过大量实验数据表明，在板间距d为700 μ m左右，位于高频的滤波通道的存在会出现跳变。因此，通过电控高度调节装置是使得板间距d在700 μ m左右改变，就能够控制位于高频通道实现有无，从而控制通道的数量，实现了单频双频通道的切换。
[0049]图1是本发明的实施例中太赫兹单频双频滤波通道切换方法的步骤图。如图1所示，本实施例中该太赫兹单频双频滤波通道切换方法，具有以下步骤:
[0050]S1:采用合适的纯铝的两个金属板作为第一金属板12和第二金属板13，第一金属板12的长宽高分别不得小于200mm, 10mm, IOmm,第二金属板13的长宽高分别不得小于200mm, 10mm, 2mm,经过切削、化学腐蚀或其他去除表面材料方式来进行加工,将第一金属板12的一侧面上形成第一凹槽18，在第二金属板13相对的侧面上设有与第一凹槽18尺寸一致的第二凹槽19 ；
[0051]S2:将第一金属板12与第二金属板13设置在太赫兹时域光谱系统(TDS系统)中，按图2装配后，将板间距d设置为初值dx，即700 μ m,该初值dx为高频滤波峰的谐振波长、槽轴间距a为200 μ m，第一凹槽18的开口朝向下，第一金属板12被固定在样品支架上，相对的，第二凹槽19朝向上，第二金属板13放置在电控高度调节装置上，电控高度调节装置在分别与水平位移台15和竖直位移台16相连接，调节水平和竖直位移台16，调节入射的光斑位置，使之照射到中心位置；
[0052]S3:采用位移台部14调节第一金属板12、第二金属板13与太赫兹波的波导之间的相对位置，使得第一凹槽18与第二凹槽19相互平行，并且第一凹槽18的中心轴线和第二凹槽19的中心轴线之间具有一定的槽轴间距a，调节太赫兹的偏振方向，使电磁波的偏振方向含有于平行板平面(图1中所示坐标系的xy平面)的分量，即太赫兹波的偏振方向含有与第一凹槽18和第二凹槽19的长度方向一致的分量时,低阶横电(TEl)模式将在波导中被激发；
[0053]S4:采用位移台部14在调节范围± Ad内改变第一金属板12和第二金属板13之间的板间距d在700 μ m上下变动，电控高度调节装置使用基于压电陶瓷的电控系统17，其± Ad调节范围为±300 μ m，通正负不同的电压能够快速改变板间距d的值；
[0054]当板间距d为610 μ m或者670 μ m时，形成在低频处和高频处的两个滤波通道，太赫兹透射谱形成双频滤波通道；
[0055]当板间距d为740 μ m或者780 μ m时，形成在低频处的一个滤波通道，高频处的一个滤波通道消失；
[0056]将板间距d由610或670μπι向740或780 μ m改变，可以实现了双频滤波通道向单频滤波通道的切换，反之则实现了单频滤波通道向双频滤波通道的切换。
[0057]实施例的作用与效果
[0058]根据本实施例所涉及的太赫兹单频双频滤波通道切换方法及其太赫兹单频双频滤波通道切换装置，首先使得太赫兹的偏振方向含有与第一凹槽和第二凹槽的所延伸长度方向一致的分量，低阶横电(TEl)模式将在波导中被激发，通过水平位移台部的调节，第一金属板和第二金属板上的第一凹槽的中心轴线和第二凹槽的中心轴线之间平行且产生槽轴间距a，在太赫兹透射谱中产生明显的双频滤波通道。通过竖直位移台部的调节，使板间距d等于高频滤波峰对应的谐振波长，然后通过垂直电控位移平台以dx为中心，在一定调节范围土 Ad内上下快速移动金属板从而改变板间距d，实现单频滤波通道和双频滤波通道之间切换，因此，本实施例能够提供一种基于金属平板波导的太赫兹单频双频滤波通道切换方法及其太赫兹单频双频滤波通道切换装置，这样相当于提供了可人为控制的通道数量。
[0059]进一步的，在本实施例涉及的太赫兹单频双频滤波通道切换装置，结构简单，采用了纯铝作为金属块的材质，其构成仅仅需要一种金属材料，并且使用机械加工或刻蚀的方法。在低阶电磁波模式下，在0.35THz-0.4THz附近，能够形成一到两个滤波通道，通过电控高度调节装置的精确调控来上下移动第二金属板从而改变通道的数量，实现了单频双频滤波通道的切换。
[0060]此外，根据本实施例涉及的太赫兹单频双频滤波通道切换方法，通过改变太赫兹单频双频滤波通道切换装置中金属块、凹槽的尺寸参数，改变金属板之间的板间距d和凹槽的中心轴线之间的槽轴间距a，就能够定制特殊频率的传输通道，拓展了一种太赫兹单频双频滤波通道切换装置在太赫兹各个领域的应用。
[0061]上述实施方式为本发明的优选案例，并不用来限制本发明的保护范围。
[0062]除上述实施例中的结构尺寸外，在以下范围内也能实现太赫兹单频双频滤波通道的切换，第一凹槽和第二凹槽的截面不一定为实施例中的矩形，还可以为梯形或者半圆形。
[0063]金属块长度I和金属块宽度P不限，金属块高度s大于槽深h,第二金属板的上述
3个尺寸不宜太大，以免影响电控高度调节装置的性能，凹槽的槽宽w为0至3mm ;凹槽的槽深h为0至3mm ;两个凹槽间的相对距离即、槽轴间距a:槽宽w的0.25倍至0.75倍，金属板之间的板间距dx等于高频滤波峰对应的谐振波长；电控高度调节装置范围土 Ad由所加的电压正负和大小来确定的。
【权利要求】
1.一种太赫兹波单频双频滤波通道切换方法，其特征在于，具有以下步骤: 将第一金属板的一侧面上形成第一凹槽，在第二金属板相对的侧面上设有与所述第一凹槽尺寸一致的第二凹槽，所述第一凹槽与所述第二凹槽相互平行； 将所述第一金属板与所述第二金属板对向设置在太赫兹时域光谱系统中； 调节入射太赫兹波的偏振方向，使入射的所述太赫兹波含有与所述第一凹槽和所述第二凹槽的长度方向一致的分量； 采用位移台部在所述平行的方向上调节所述第一凹槽的中心轴线和所述第二凹槽的中心轴线之间的槽轴间距a，使得太赫兹透射谱中形成低频和高频两个明显的滤波峰； 槽轴间距a确定后，采用位移台部在与所述平行相垂直的方向上调节所述第一金属板与所述第二金属板之间的板间距d达到初值dx ； 采用位移台部调节所述板间距d基于初值dx在上下浮动范围± Ad内进行改变，从而在太赫兹透射谱中单频滤波通道和双频滤波通道之间切换。
2.根据权利要求1所述的太赫兹单频双频滤波通道切换方法，其特征在于: 其中，在入射的所述太赫兹波含有与所述第一凹槽和所述第二凹槽的长度方向一致的分量时，低阶横电(TEl)模式将在波导中被激发。
3.根据权利要求1所述的太赫兹单频双频滤波通道切换装置，其特征在于: 其中，所述第一凹槽和所述第二凹槽的槽宽w小于3mm ； 所述第一凹槽和所述第二凹槽的槽深h小于3_。
4.根据权利要求1所述的太赫兹单频双频滤波通道切换方法，其特征在于: 其中，所述槽轴间距a是所述槽宽w的0.25倍至0.75倍。
5.根据权利要求1所述的太赫兹单频双频滤波通道切换方法，其特征在于: 其中，所述板间距dx等于太赫兹透射谱中高频滤波峰对应的峰值波长值，调节范围土 Ad由电控位移平台上被加载的电压而决定的， 所述电压的电压值和正负可调节。
6.根据权利要求1所述的太赫兹单频双频滤波通道切换方法，其特征在于: 其中，当所述板间距d满足dx_Ad〈d〈dx时,所述太赫兹透射谱形成所述双频滤波通道， 当所述板间距d满足dx〈d〈dx+ A d时，所述太赫兹透射谱形成所述单频滤波通道，所述单频滤波通道为低频滤波通道。
7.一种太赫兹单频双频滤波通道切换装置，其特征在于，包括: 第一金属板，在底侧面上设有第一凹槽； 第二金属板，在与所述底侧面相对的顶侧面上设有与所述第一凹槽尺寸一致的第二凹槽；以及 位移台部，调节所述第一凹槽和所述第二凹槽之间的水平相对位置，使得所述第一凹槽的中心轴线和所述第二凹槽的中心轴线之间互相平行且具有一定的槽轴间距a，且调节所述第一金属板和所述第二金属板之间具有的板间距d达到初值dx，其中，所述太赫兹的偏振方向含有与所述第一凹槽和所述第二凹槽的长度方向一致的分量，所述太赫兹在所述第一金属板和所述第二金属板的板间距d中形成低阶横电模式，所述位移台部调节板间距 d基于初值dx在上下浮动范围土 Ad内变动，在太赫兹透射谱中形成为单频滤波通道或双频滤波通道。
8.根据权利要求1所述的太赫兹单频双频滤波通道切换装置，其特征在于: 其中，所述低阶横电模式的太赫兹波的频率范围为0.01THz至ITHz。
9.根据权利要求1所述的太赫兹单频双频滤波通道切换装置，其特征在于: 其中，所述第一凹槽和所述第二凹槽内填充:非导电的气体、液体、胶体及粉末中的任意一种， 所述第一金属板和所述第二金属板为铝、铜、银、铁、镍、钛、金、锌及其合金中的任意一种。
10.根据权利要求1所述的太赫兹单频双频滤波通道切换装置，其特征在于: 其中，所述第一金属板被固定，所述第二金属板设置在所述位移台部上， 所述位移台部包括水平位移台、竖直位移台，及基于压电陶瓷的垂直电控系统，该垂直电控系统基于正负电压 来移动所述第二金属板以调节所述板间距d。
【文档编号】H01P1/20GK103594764SQ201310632190
【公开日】2014年2月19日 申请日期:2013年12月2日 优先权日:2013年12月2日
【发明者】陈麟, 朱亦鸣, 徐嘉明, 高春梅 申请人:上海理工大学