具流量控制的晶圆载具气体填充装置制造方法
【专利摘要】一种具流量控制的晶圆载具气体填充装置，适用于连接一个晶圆载具，并包含一个进气端质量流量控制器、一个进气端、一个排气端、一个气体特性感测器、一个排气端质量流量控制器、一个抽气装置，及一个控制装置。该控制装置电连接于该气体特性感测器，接收该气体特性感测器的一个感测信号后，再经由运算处理，以控制该进气端质量流量控制器与该排气端质量流量控制器，以自动调节进、出气体的流量。如此，让该晶圆载具内部气体能够于设定时间内快速的被置换，以有效地控制制程时间与填充气体用量，进而提升制程上的产能。
【专利说明】具流量控制的晶圆载具气体填充装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种晶圆载具气体填充装置，特别是指一种具流量控制的晶圆载具气体填充装置。
【背景技术】
[0002]现有的晶圆载具(Foup)，是借由填充氮气或洁净空气(CDA、XCDA)于该晶圆载具中，以利用驱赶的方式将容置于该晶圆载具内的氧气及水气排除，以避免容置于该晶圆载具内的晶圆，受到氧气以及水气的影响，而在晶圆表面产生氧化物，而影响了后续制程上的良率。
[0003]然而，目前现有的晶圆载具气体填充装置，是在一个进气端利用一个质量流量控制器来控制一个气体供应装置(例如:氮气钢瓶或洁净气体钢瓶等)的供气流量，以设定固定气体流量的方式，将上述氮气或洁净气体填充于该晶圆载具之中，由于随着晶圆尺寸愈做愈大，如18吋晶圆，其容置该18吋晶圆的晶圆载具的尺寸也需跟着变大，若是利用此现有固定气体流量的填充技术来驱赶上述氧气以及水气，则会存在如下缺点:
[0004]一、由于晶圆载具尺寸大，会造成无法有效地气体置换，或者是置换率不佳，因而造成需要额外多填充气体，以让该晶圆载具内的氧气及水气能够被完全排出，如此一来，容易造成氮气或洁净气体使用上的浪费。
[0005]二、气体供应装置有异动时或者是长久使用之下，其易产生误差，原本设定的气体流量、时间等参数需要再重新调整。
[0006]三、填充入该晶圆载具的气体较为不稳定，且无法精准的控制，会大大的影响后续制程上的品质。
【发明内容】
[0007]本实用新型的目的在于提供一种具有自动调节进气端与排气端气体流量的具流量控制的晶圆载具气体填充装置。
[0008]本实用新型具流量控制的晶圆载具气体填充装置，适用于连接一个晶圆载具，该晶圆载具气体填充装置包含一个进气端质量流量控制器、一个进气端、一个排气端、一个气体特性感测器、一个排气端质量流量控制器、一个抽气装置，及一个控制装置。
[0009]该进气端连接于该进气端质量流量控制器与该晶圆载具间。
[0010]该排气端连接于该晶圆载具。
[0011]该气体特性感测器连接于该排气端。
[0012]该排气端质量流量控制器连接于该气体特性感测器。
[0013]该抽气装置连接于该排气端质量流量控制器。
[0014]该控制装置电连接于该气体特性感测器，用以接收该气体特性感测器的一个感测信号后，再经由运算处理，以控制该进气端质量流量控制器与该排气端质量流量控制器，以自动调节进、出气体的流量。[0015]本实用新型的具流量控制的晶圆载具气体填充装置，该气体特性感测器为一个湿度感测器。
[0016]本实用新型的具流量控制的晶圆载具气体填充装置，该抽气装置为鲁氏泵浦、螺旋式泵浦，及涡卷式泵浦其中一者。
[0017]本实用新型的有益效果在于:借由该控制装置接收该气体特性感测器的该感测信号后，再经由运算处理以控制该进气端质量流量控制器与该排气端质量流量控制器，以自动调节进、出气体的流量，如此，让该晶圆载具内部气体能够于设定时间内快速地被置换，以有效地控制制程时间与填充气体用量，进而提升制程上的产能。
【专利附图】
【附图说明】
[0018]图1是本实用新型具流量控制的晶圆载具气体填充装置一个较佳实施例的示意图；及
[0019]图2是该较佳实施例的一个系统方块图，说明一个控制装置、一个气体特性感测器、一个进气端质量流量控制器，及一个出气端质量流量控制器的关系。
【具体实施方式】
[0020]下面结合附图及实施例对本实用新型进行详细说明。
[0021]参阅图1与图2，本实用新型具流量控制的晶圆载具气体填充装置一个较佳实施例，适用于连接一个能容置18吋晶圆的晶圆载具100，该晶圆载具气体填充装置包含一个进气端质量流量控制器2、一个进气端3、一个排气端4、一个气体特性感测器5、一个排气端质量流量控制器6、一个抽气装置7，及一个控制装置8。
[0022]该进气端质量流量控制器2 —端连接于一个气体供应装置200，另一端连接于该进气端3。其中，在本较佳实施例中，该气体供应装置200为一个氮气钢瓶，以提供置换气体时所需的氮气，当然，该气体供气装置也能够是一个洁净气体(CDA、XCDA)钢瓶。
[0023]该进气端3连接于该进气端质量流量控制器2与该晶圆载具100间。
[0024]该排气端4 一端连接于该晶圆载具100，该排气端4另一端则连接于该气体特性感测器5。其中，在本较佳实施例中，该气体特性感测器5为一个湿度感测器，用以感测气体的湿度。
[0025]该排气端质量流量控制器6 —端连接于该气体特性感测器5，另一端则连接于该抽气装置7。利用该抽气装置7将容置于该晶圆载具100内的气体排出。其中，该抽气装置7能够是鲁氏泵浦、螺旋式泵浦，及涡卷式泵浦其中一者。
[0026]该控制装置8电连接于该气体特性感测器5，并包括一个人机操控界面81、一个电连接于该人机操控界面81的程序运算处理模组82，及一个电连接于该程序运算处理模组82且接收该气体特性感测器5的一个感测信号并以控制该进气端质量流量控制器2与该排气端质量流量控制器6的控制模组83。
[0027]在运作上，使用者能够先在该人机操控界面81上设定填充气体所需时间与湿度值后，该控制模组83能够接收由该气体特性感测器5侦测到该排气端4内气体湿度值的该感测信号后，即时经由该程序运算处理模组82运算处理后，依最适当的气体输入与输出的配比比例，再去控制该进气端质量流量控制器2与该排气端质量流量控制器6，以达到自动调节进、出气体的流量，如此，借由即时侦测监控以及线性回馈方式，能够于大尺寸的该晶圆载具100内，有效地控制气体进、出流量且精准的控制气体置换所需时间与气体置换效率，进而提升制程上的品质。
[0028]据上所述可知，本实用新型具流量控制的晶圆载具气体填充装置具有下列优点及功效:
[0029]借由该控制装置8的该控制模组83接收该气体特性感测器5的该感测信号后，再经由该程序运算处理模组82运算处理，以控制该进气端质量流量控制器2与该排气端质量流量控制器6，以自动调节进、出气体的流量，如此，让该晶圆载具100内部气体能够于设定时间内快速地被置换，以有效地控制制程时间与填充气体用量，进而提升制程上的产能。
【权利要求】
1.一种具流量控制的晶圆载具气体填充装置，适用于连接一个晶圆载具，该晶圆载具气体填充装置包含一个进气端质量流量控制器、一个进气端、一个排气端、一个气体特性感测器、一个排气端质量流量控制器、一个抽气装置，及一个控制装置，其特征在于: 该进气端，连接于该进气端质量流量控制器与该晶圆载具间； 该排气端，连接于该晶圆载具； 该气体特性感测器，连接于该排气端； 该排气端质量流量控制器，连接于该气体特性感测器； 该抽气装置，连接于该排气端质量流量控制器； 该控制装置，电连接于该气体特性感测器，用以接收该气体特性感测器的一个感测信号后，再经由运算处理，以控制该进气端质量流量控制器与该排气端质量流量控制器，以自动调节进、出气体的流量。
2.根据权利要求1所述的具流量控制的晶圆载具气体填充装置，其特征在于:该气体特性感测器为一个湿度感测器。
3.根据权利要求1所述的具流量控制的晶圆载具气体填充装置，其特征在于:该抽气装置为鲁氏泵浦、螺旋式泵浦，及涡卷式泵浦其中一者。
【文档编号】H01L21/673GK203466172SQ201320416056
【公开日】2014年3月5日 申请日期:2013年7月12日 优先权日:2012年11月5日
【发明者】卢德茂, 卢坤镇, 叶家政, 郑己祥 申请人:圣凰科技有限公司