用于太阳能电池膜面开窗工艺的装置制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种用于太阳能电池膜面开窗工艺的装置，属于太阳能光伏电池制造【技术领域】。主要特点是具有进气管路和出气管路的腔体；腔体设置有开窗区域和真空区域，真空区域内置入真空管路，真空管路将硅片吸住，从进气管路通进反应气体。本实用新型主要通过采用能腐蚀SiO2(或SiNx/Al2O3/a-Si等所有能起到钝化和减反效果的薄膜)的气体(氢氟酸气体或添加有添加剂的氢氟酸气体的混合物等等所有能腐蚀这种薄膜的气体)来腐蚀膜面达到开窗的目的，高效的气体腐蚀速率，不仅产能高、工艺相对稳定适合量产，而且有效的克服了激光初次投入成本高和腐蚀浆料后期运营成本高的缺点。
【专利说明】用于太阳能电池膜面开窗工艺的装置【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种用于太阳能电池膜面开窗工艺的装置，属于太阳能光伏电池制造【技术领域】。
【背景技术】
[0002]太阳能电池经过制绒、扩散及PECVD等工序后，已经制成PN结，可以在光照下产生电流，为了将产生的电流导出，需要在电池表面上制作正、负两个电极。以上是常规电池工艺的生产流程，随着产业化生产技术日益成熟，实验室的高效电池工艺也逐步运用于产业化生产，当前比较热门的高效电池工艺有:选择性发射极电池、背场钝化电池、交叉指型背接触电池(IBC电池)等，而这些电池工艺都有涉及到在镀有Si02(或SiNx/A1203/a-Si等所有能起到钝化和减反效果的薄膜)的膜面上进行选择性开窗工艺，目前大家一般采用激光按照一定的图形开窗或者用腐蚀浆料用特定图形网版采用丝网印刷把浆料印在膜面上用腐蚀浆料腐蚀这些膜面进而达到开窗的目的，但是激光设备价格昂贵，一次投入非常大，而腐蚀浆料虽然初始投入不高，但是浆料较贵，后期的运营投入大。
实用新型内容
[0003]本实用新型的目的是提供一种用于太阳能电池膜面开窗工艺的装置，解决上述现有技术存在的缺陷，通过本实用新型有效的克服激光设备初次投入成本高和腐蚀浆料后期运营成本高的缺点。
[0004]本实用新型的目的是通过以下技术方案实现的，一种用于太阳能电池膜面开窗工艺的装置，其特征是，所述装置是具有进气管路和出气管路的腔体；腔体设置有开窗区域和真空区域，真空区域内置入真空管路，真空管路将硅片吸住，从进气管路通进腐蚀气体。
[0005]所述腔体的进气管路和出气管路在腔体外连通循环或不连通。
[0006]本实用新型主要采用具有进气管路和出气管路的腔体；腔体设置有开窗区域和真空区域，真空区域内置入真空管路，真空管路将硅片吸住，使用时通入能腐蚀Si02(或SiNx/A1203/a-Si等所有能起到钝化和减反效果的薄膜)的气体(氢氟酸气体或添加有添加剂的氢氟酸气体的混合物等等所有能腐蚀这种薄膜的气体)来腐蚀膜面达到开窗的目的，气体流量控制在0-5 L/m，高效的气体腐蚀速率，不仅产能高、工艺相对稳定适合量产，而且有效的克服了激光初次投入成本高和腐蚀浆料后期运营成本高的缺点。
【专利附图】
【附图说明】
[0007]图1为本实用新型中的设备示意图；
[0008]图2为图1中的设备腔体剖面图；
[0009]图中，I腔体，2进气管路，3气体流经途径，4出气管路，5真空管路，6开窗位置，7硅片。【具体实施方式】
[0010]结合附图和实施例进一步说明本实用新型，如图1所示，本实用新型由具有进气管路2和出气管路4的腔体I构成；腔体I设置有开窗区域6和真空区域，真空区域内置入真空管路5，真空管路5将硅片7吸住，从进气管路2通进腐蚀气体。
[0011]使用时将镀有Si02(或SiNX/A1203/a-Si等所有能起到钝化和减反效果的薄膜)膜的硅片7由真空管路5吸住，腐蚀气体从进气管路2通入腔体1，从出气管路4出来，进气管路2和出气管路4根据工艺要求可以连通循环使用也可以不连通。如图1所示，腔体I内开窗位置6与内部气体需连通，而真空管路5位置与腔体I内是隔绝的，腐蚀气体通过开窗位置6与镀膜硅片7的膜面直接接触从而达到与膜面反应去除膜面的目的，真空管路4则是通过通入负压将硅片7吸住。真空管路5开窗位置6必须严格密封，使腐蚀气体不能通到真空管路5中。开窗尺寸大小根据工艺要求可做到的尺寸在l(T200um，真空管路5主要起到吸住硅片7的目的，根据工艺和成本的要求可以在非开窗位置全部铺设真空孔(或者沿开窗孔壁通入一层真空或者与开窗孔一样做成l(T200um的真空管路或从上面往下压住硅片等，包括所有能实现吸住或压住硅片的方式，以起到隔绝腐蚀气体进入不需要开窗的区域和吸住硅片防止硅片出现位移)。开窗的图形根据工艺要求可以是直线，也可以是断线连接而成，也可以是一个个点组成，不管哪种图形线或点的尺寸需在l(T200um的范围内。
【权利要求】
1.一种用于太阳能电池膜面开窗工艺的装置，其特征是，所述装置是具有进气管路和出气管路的腔体；腔体设置有开窗区域和真空区域，真空区域内置入真空管路，真空管路将硅片吸住，从进气管路通进反应气体。
2.根据权利要求1所述的用于太阳能电池膜面开窗工艺的装置，其特征是，所述腔体的进气管路和出气管路在腔体外连通循环或不连通。
【文档编号】H01L31/18GK203690331SQ201320749590
【公开日】2014年7月2日 申请日期:2013年11月25日 优先权日:2013年11月25日
【发明者】叶权华, 郑飞 申请人:中电电气（扬州）光伏有限公司