微型双微波毫米波I/Q正交滤波器的制作方法与工艺

技术特征：
1.一种微型双微波毫米波I/Q正交滤波器，其特征在于：包括定向耦合器和两个微波毫米波滤波器；定向耦合器包括表面贴装的50欧姆阻抗输入端口（P1）、第一匹配线（L1）、第一层双螺旋结构的宽边耦合带状线（U1）、第二匹配线（L2）、第一输出电感（Lout1）、第二输出电感（Lout2）、第三匹配线（L3）、第二层双螺旋结构的宽边耦合带状线（U2）、第四匹配线（L4）、表面贴装的50欧姆阻抗隔离端口（P4），其中，第一层双螺旋结构的宽边耦合带状线（U1）垂直位于第二层双螺旋结构的宽边耦合带状线（U2）上方，第一匹配线（L1）、第二层双螺旋结构的宽边耦合带状线（U2）和第二匹配线（L2）在同一平面，第一匹配线（L1）与表面贴装的50欧姆阻抗输入端口（P1）连接，第二匹配线（L2）与第一输出电感（Lout1）连接，第二层双螺旋结构的宽边耦合带状线（U2）左端与第一匹配线（L1）连接，第二层双螺旋结构的宽边耦合带状线（U2）右端与第二匹配线（L2）连接；第三匹配线（L3）、第一层双螺旋结构的宽边耦合带状线（U1）和第四匹配线（L4）在同一平面，第三匹配线（L3）与第二输出电感（Lout2）连接，第四匹配线（L4）与表面贴装的50欧姆阻抗隔离端口（P4）连接，第一层双螺旋结构的宽边耦合带状线（U1）左端与第三匹配线（L3）连接，第一层双螺旋结构的宽边耦合带状线（U1）右端与第四匹配线（L4）连接；第一微波毫米波滤波器（F1）包括第一输入电感（Lin1）、第一级并联谐振单元（L11、L21、L31、C1）、第二级并联谐振单元（L12、L22、L32、C2）、第三级并联谐振单元（L13、L23、L33、C3）、第四级并联谐振单元（L14、L24、L34、C4）、第五级并联谐振单元（L15、L25、L35、C5）、第六级并联谐振单元（L16、L26、L36、C6）、第三输出电感（Lout3）、表面贴装的50欧姆阻抗第一输出端口（P2）、第一Z形级间耦合带状线（Z1），各级并联谐振单元均由三层带状线组成，第二层带状线垂直位于第三层带状线上方，第一层带状线垂直位于第二层带状线上方，第一级并联谐振单元（L11、L21、L31、C1）由第一层的第一带状线（L11）、第二层的第二带状线（L21）、第三层的第三带状线（L31）、第一微电容（C1）并联而成，第二级并联谐振单元（L12、L22、L32、C2）由第一层的第四带状线（L12）、第二层的第五带状线（L22）、第三层的第六带状线（L32）、第二微电容（C2）并联而成，第三级并联谐振单元（L13、L23、L33、C3）由第一层的第七带状线（L13）、第二层的第八带状线（L23）、第三层的第九带状线（L33）、第三微电容（C3）并联而成，第四级并联谐振单元（L14、L24、L34、C4）由第一层的第十带状线（L14）、第二层的第十一带状线（L24）、第三层的第十二带状线（L34）、第四微电容（C4）并联而成，第五级并联谐振单元（L15、L25、L35、C5）由第一层的第十三带状线（L15）、第二层的第十四带状线（L25）、第三层的第十五带状线（L35）、第五微电容（C5）并联而成，第六级并联谐振单元（L16、L26、L36、C6）由第一层的第十六带状线（L16）、第二层的第十七带状线（L26）、第三层的第十八带状线（L36）、第六微电容（C6）并联而成，其中，第一级并联谐振单元（L11、L21、L31、C1）的第二层的第二带状线（L21）与第一输入电感（Lin1）连接，第六级并联谐振单元（L16、L26、L36、C6）的第二层的第十七带状线（L26）与第三输出电感（Lout3）连接，第三输出电感（Lout3）与表面贴装的50欧姆阻抗第一输出端口（P2）连接，第一Z形级间耦合带状线（Z1）位于并联谐振单元的下面；六级并联谐振单元分别接地，其中第一、三层所有带状线接地端相同，一端是微电容接地，另一端开路，第二层带状线接地端相同，一端接地，另一端开路，且接地端方向与第一、三层接地端相反，第一Z形级间耦合带状线（Z1）两端均接地；第二微波毫米波滤波器（F2）包括第二输入电感（Lin2）、第一级并联谐振单元（L41、L51、L61、C7）、第二级并联谐振单元（L42、L52、L62、C8）、第三级并联谐振单元（L43、L53、L63、C9）、第四级并联谐振单元（L44、L54、L64、C10）、第五级并联谐振单元（L45、L55、L65、C11）、第六级并联谐振单元（L46、L56、L66、C12）、第四输出电感（Lout4）、表面贴装的50欧姆阻抗第二输出端口（P3）、第二Z形级间耦合带状线（Z2），各级并联谐振单元均由三层带状线组成，第二层带状线垂直位于第三层带状线上方，第一层带状线垂直位于第二层带状线上方，第一级并联谐振单元（L41、L51、L61、C7）由第一层的第十九带状线（L41）、第二层的第二十带状线（L51）、第三层的第二十一带状线（L51）、第七微电容（C7）并联而成，第二级并联谐振单元（L42、L52、L62、C8）由第一层的第二十二带状线（L42）、第二层的第二十三带状线（L52）、第三层的第二十四带状线（L62）、第八微电容（C8）并联而成，第三级并联谐振单元（L43、L53、L63、C9）由第一层的第二十五带状线（L43）、第二层的第二十六带状线（L53）、第三层的第二十七带状线（L63）、第九微电容（C9）并联而成，第四级并联谐振单元（L44、L54、L64、C10）由第一层的第二十八带状线（L44）、第二层的第二十九带状线（L54）、第三层的第三十带状线（L64）、第十微电容（C10）并联而成，第五级并联谐振单元（L45、L55、L65、C11）由第一层的第三十一带状线（L45）、第二层的第三十二带状线（L55）、第三层的第三十三带状线（L65）、第十一微电容（C11）并联而成，第六级并联谐振单元（L46、L56、L66、C12）由第一层的第三十四带状线（L46）、第二层的第三十五带状线（L56）、第三层的第三十六带状线（L66）、第十二微电容（C12）并联而成，其中，第一级并联谐振单元（L41、L51、L61、C7）的第二层的第二十带状线（L51）与第二输入电感（Lin2）连接，第六级并联谐振单元（L46、L56、L66、C12）的第二层的第三十五带状线（L56）与第四输出电感（Lout4）连接，第四输出电感（Lout4）与表面贴装的50欧姆阻抗第二输出端口（P3）连接，第二Z形级间耦合带状线（Z2）位于并联谐振单元的下面；六级并联谐振单元分别接地，其中第一、三层所有带状线接地端相同，一端是微电容接地，另一端开路，第二层带状线接地端相同，一端接地，另一端开路，且接地端方向与第一、三层接地端相反，第二Z形级间耦合带状线（Z2）两端均接地；定向耦合器的第一输出电感（Lout1）与第一微波毫米波滤波器（F1）的第一输入电感（Lin1）连接，定向耦合器的第二输出电感（Lout2）与第二微波毫米波滤波器（F2）的第二输入电感（Lin2）连接。2.根据权利要求1所述的微型双微波毫米波I/Q正交滤波器，其特征在于：包括表面贴装的50欧姆阻抗输入端口（P1）、第一匹配线（L1）、第一层双螺旋结构的宽边耦合带状线（U1）、第二匹配线（L2）、输出电感（Lout1、Lout2）、第三匹配线（L3）、第二层双螺旋结构的宽边耦合带状线（U2）、第四匹配线（L4）、表面贴装的50欧姆阻抗隔离端口（P4）、输入电感（Lin1、Lin2）、第一级并联谐振单元（L11、L21、L31、C1、L41、L51、L61、C7）、第二级并联谐振单元（L12、L22、L32、C2、L42、L52、L62、C8）、第三级并联谐振单元（L13、L23、L33、C3、L43、L53、L63、C9）、第四级并联谐振单元（L14、L24、L34、C4、L44、L54、L64、C10）、第五级并联谐振单元（L15、L25、L35、C5、L45、L55、L65、C11）、第六级并联谐振单元（L16、L26、L36、C6、L46、L56、L66、C12）、输出电感（Lout3、Lout4）、表面贴装的50欧姆阻抗输出端口（P2、P3）、Z形级间耦合带状线（Z1、Z2）和接地端均采用多层低温共烧陶瓷工艺实现。