可更换式吸料段的晶粒吸料轨道的制作方法
【专利摘要】本实用新型提供一种可更换式吸料段的晶粒吸料轨道，所述晶粒吸料轨道主要包括吸料段和轨道本体，其中，该吸料段可拆卸式地组装设置在该轨道本体的一侧端。因此，本实用新型可以因应因长久使用后所造成的吸料段表面损耗、凹陷而直接更换吸料段即可，不需要整个吸料轨道淘汰，以利于成本上的降低和减少资源浪费。此外，本实用新型的轨道本体可以另外设置有锁附长槽，锁附长槽可以因应不同的晶粒尺寸、或者对进料轨道裁切或其它加工的各种情况，来调整晶粒吸料轨道的位置，以达到可重复利用而节省资源和成本的功效。
【专利说明】可更换式吸料段的晶粒吸料轨道
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种可更换式吸料段的晶粒吸料轨道，具体地说，涉及一种适用在半导体晶粒检测设备的进料轨道。
【背景技术】
[0002]请参阅图1，图1是熟知的晶粒检测设备的进料模块的俯视图。如图1所示，晶粒检测设备Ti的进料模块Fe主要包括一喂料盘6和一进料轨道7，其中通过喂料盘6产生震动力使晶粒C循序经过进料轨道7进给到吸料机构8处，吸料机构8吸取晶粒C后，移到检测装置81 (探针、)处以进行测试。
[0003]再请参阅图2，图2为熟知的吸料机构与进料轨道的局部侧视图。如图2所示，当晶粒C进给到进料轨道7末端时，吸料机构8会下降接触晶粒C并将晶粒C吸取而进行移载。另一方面，常见的晶粒种类中，晶粒的四周缘会设有类似玻璃材质的绝缘材料，该材料具有高强度、耐压和绝缘的特性。然而，当检测机台经过长时间的运转之后，由于吸料机构8不断地吸取晶粒C，并且晶粒C本身具有高强度的玻璃绝缘材料，将导致进料轨道7的损耗、凹陷，而造成晶粒无法正常定位的情形。
[0004]此外，如图1所示，熟知的进料轨道7直接固定在机台上，进料轨道7通常通过螺栓9与螺孔直接锁附的方式，无法对进料轨道7的位置进行调整。然而，当面临对检测不同尺寸的晶粒、或对进料轨道7进一步的加工时，将无法调整进料轨道7的位置，而必须重新制备一全新的进料轨道7，从而造成了成本上的耗费。
[0005]由此可知，目前产业上迫切需求一种可以局部地更换已损耗、凹陷的部分，而不需要淘汰整个进料轨道，并且可以适时地调整进料轨道的位置的可更换式吸料段的晶粒吸料轨道。
实用新型内容
[0006]本实用新型的主要目的是提供一种可更换式吸料段的晶粒吸料轨道，当由于吸料轨道局部损耗而影响正常使用时，可以局部地更换已损耗、凹陷的部分，而不需要淘汰整个进料轨道，以降低成本和资源上的耗费。
[0007]为了达到上述目的，本实用新型提供了一种可更换式吸料段的晶粒吸料轨道，所述晶粒吸料轨道主要包括一吸料段和一轨道本体。其中，所述吸料段包括一第一导引侧壁和一吸料平台，所述第一导引侧壁邻接于所述吸料平台的一侧缘并且向上凸出于所述吸料平台；另外，所述轨道本体包括一第二导引侧壁和一进料平台，所述第二导引侧壁邻接在所述进料平台的一侧缘并且向上凸出于所述进料平台。再者，所述吸料段可拆卸式地组设在所述轨道本体的一侧端，并且所述吸料段的所述第一导引侧壁和所述吸料平台分别对应连接于所述轨道本体的所述第二导引侧壁和所述进料平台。因此，本实用新型的吸料段可因应因长久使用后所产生的表面损耗而进行更换，不需要将整个吸料轨道淘汰，以利于成本上的降低和减少资源浪费。[0008]优选地，本实用新型的所述吸料段为一 L型构件，所述吸料段包括一吸料侧和一固定侧，所述第一导引侧壁和所述吸料平台位于所述吸料侧。
[0009]优选地，本实用新型的晶粒吸料轨道还包括一锁附螺栓，并且所述吸料段的所述固定侧上开设有一贯穿孔，所述轨道本体的所述侧端上开设有一螺孔，所述锁附螺栓可贯穿经过所述吸料段的所述贯穿孔并且锁附于所述轨道本体的所述螺孔。因此，本实用新型可以经过锁附螺栓以螺锁的固定方式来将吸料段组装设置在轨道本体上，这一固定方式简单、稳定并且拆装便利。
[0010]优选地，本实用新型的所述轨道本体的所述侧端上凸设有一定位销，所述吸料段的所述固定侧上可开设有一定位孔，所述轨道本体的所述定位销插设在所述吸料段的所述定位孔内。因此，本实用新型进一步可以通过定位销和定位孔的方式来固定吸料段与轨道本体，定位销和定位孔的方式与螺栓构成两个固定点，可以稳固地结合吸料段与轨道本体，使得吸料段不会囚为单靠螺栓锁附而轻易产生转动或晃动。
[0011]优选地，本实用新型的所述轨道本体的所述侧端上凸设有一定位台，并且所述吸料段的所述固定侧上凹设有一定位槽，所述轨道本体的所述定位台可容纳设置在所述吸料段的所述定位槽内。因此，本实用新型可以另外通过定位台与定位槽的设计，可以更加稳固地结合吸料段与轨道本体，并且也有助于装配吸料段时的定位。
[0012]优选地，本实用新型的所述轨道本体可还包括一固定台，所述固定台邻接于所述进料平台，并且所述固定台上可开设有至少一锁附长槽。其中，锁附长槽主要用于将轨道本体锁附在机台上，锁附长槽的设置可以提供晶粒吸料轨道位置上的调整。换句话说，可以因应各种的需求，例如因应不同的晶粒尺寸、或者对进料轨道裁切或其它加工，来调整进料轨道的位置，以达到可重复利用而节省资源和成本的功效。
[0013]优选地，本实用新型的所述固定台开设有多个落料通孔，所述落料通孔沿着所述进料平台等距离地布局设置，优选地开设有三个落料通孔。
[0014]优选地，每一落料通孔包括一斜面，所述斜面朝向一晶粒的进料方向，而且所述斜面与所述进料平台的水平夹角为30度。其中，斜面的设置主要是为了协助晶粒的落料，可以避免晶粒以垂直的角度落下而遭受损伤。
[0015]因此，本实用新型可以因应因长久使用后所造成的吸料段表面损耗、凹陷而直接更换吸料段即可，不需要整个吸料轨道淘汰，以利于成本上的降低和减少资源浪费。此外，本实用新型的轨道本体可以另外设置有锁附长槽，锁附长槽可以因应不同的晶粒尺寸、或者对进料轨道裁切或其它加工的各种情况，来调整晶粒吸料轨道的位置，以达到可重复利用而节省资源和成本的功效。
【专利附图】
【附图说明】
[0016]图1为熟知的晶粒检测设备的进料模块的俯视图。
[0017]图2为熟知的吸料机构与进料轨道的局部侧视图。
[0018]图3为本实用新型的一优选实施例的俯视分解图。
[0019]图4为本实用新型的一优选实施例的轨道本体的局部放大图。
[0020]图5A为本实用新型的一优选实施例的吸料段的俯视图。
[0021]图5B为本实用新型的一优选实施例的吸料段的左侧视图。[0022]附图标记说明如下:
[0023]喂料盘6、进料轨道7、吸料机构8、检测装置81、螺栓9、晶粒C、进料模块Fe、晶粒检测设备T1、吸料段2、第一导引侧壁21、吸料侧201、固定侧202、吸料平台22、贯穿孔23、定位孔24、定位槽25、轨道本体3、第二导引侧壁31、进料平台32、螺孔33、定位销34、定位台35、固定台36、锁附长槽361、落料通孔362、斜面363、锁附螺栓4。
【具体实施方式】
[0024]为了使贵审查员能够进一步了解本实用新型的结构、特征及其他目的，现结合所附优选实施例附以附图详细说明如下，本附图所说明的实施例仅用于说明本实用新型的技术方案，并非限定本实用新型。
[0025]本实用新型的可更换式吸料段的晶粒吸料轨道在本实施例中被详细描述之前，需要特别注意的是，以下的说明中，类似的组件将以相同的组件符号来表示。
[0026]请同时参阅图3、图4、图5A和图5B，图3为本实用新型的可更换式吸料段的晶粒吸料轨道一优选实施例的俯视分解图，图4为本实用新型的可更换式吸料段的晶粒吸料轨道一优选实施例的轨道本体的局部放大图，图5A为本实用新型的可更换式吸料段的晶粒吸料轨道一优选实施例的吸料段的俯视图，图5B为本实用新型的可更换式吸料段的晶粒吸料轨道一优选实施例的吸料段的左侧视图。
[0027]如图所示，本实施例的可更换式吸料段的晶粒吸料轨道，主要包括一吸料段2、一轨道本体3和一锁附螺栓4。其中，吸料段2包括一第一导引侧壁21和一吸料平台22，两者构成为一体，第一导引侧壁21邻接于吸料平台22的一侧缘并且向上凸出于吸料平台22。第一导引侧壁21主要用于引导待测芯片，使得待测芯片可以沿着第一导引侧壁21进给，吸料段2主要为载置待测芯片而供吸料机构用于吸取移载。
[0028]此外，本实施例的吸料段2为一 L型构件，吸料段2包括一吸料侧201和一固定侧202，第一导引侧壁21和吸料平台22位于吸料侧201。另外，吸料段2的固定侧202开设有一贯穿孔23，贯穿孔23贯穿固定侧202的两侧的对应端面，面向轨道本体3的一侧端面上开设有一定位孔24和凹设一定位槽25。其中，定位槽25从固定侧202的下表面凹设。
[0029]另一方面，轨道本体3包括一第二导引侧壁31和一进料平台32，两者也构成了一体，并且第二导引侧壁31邻接于进料平台32的一侧缘并且向上凸出于进料平台32。同样地，第二导引侧壁31与进料平台32主要用于使待测芯片可以沿着第二导引侧壁31而在进料平台32上行进进料。
[0030]另外，如图所示，轨道本体3在面向吸料段2的侧端面上开设有一螺孔33，并且凸设有一定位销34和一定位台35。其中，定位销34用于配合吸料段2的定位孔24,定位台35则用于配合吸料段2的定位槽25。
[0031]再者，吸料段2通过锁附螺栓4而可拆卸式地组装设置在轨道本体3的一侧端，即锁附螺栓4贯穿经过吸料段2的贯穿孔23并且锁附在轨道本体3的螺孔33内。其中，锁附螺栓4锁附时，轨道本体3的定位销34插设在吸料段2的定位孔24内，并且轨道本体3的定位台35容钠设置在吸料段2的定位槽25内。因此，吸料段2的第一导引侧壁21和吸料平台22分别对应连接于轨道本体3的第二导引侧壁31和进料平台32，所以待测芯片可以沿着第一导引侧壁21与第二导引侧壁31，而通过进料平台32进给到吸料平台22上以供吸料。
[0032]以上所述，本实施例通过锁附螺栓螺锁4将吸料段2组装设置在轨道本体3上，这一固定方式简单、稳定并且拆装便利。另外，本实施例进一步通过定位销34和定位孔24的方式来固定吸料段2与轨道本体3，定位销34及定位孔24的方式与螺栓构成两个固定点，可以稳固地结合吸料段2与轨道本体3，使得吸料段2不会因为单靠螺栓锁附而轻易产生转动或晃动。此外，本实施例也可以通过定位台35与定位槽25的设计，可以更加稳固地结合吸料段2与轨道本体3，并且也有助于装配吸料段2时的定位，并且可以增加吸料段2的支撑力。
[0033]图3所示，本实施例的轨道本体3还包括一固定台36，固定台36邻接于进料平台32，固定台36主要用于将轨道本体3固定在机台上(图中未示)。其中，固定台36上开设有五个锁附长槽361，其主要用于供固定台36锁附在机台上，而且通过长槽的设置可以提供晶粒吸料轨道位置上的调整。换句话说，通过锁附长槽361的特性，可以因应各种的需求，例如因应不同的晶粒尺寸、或者对进料轨道裁切或其它加工，来调整进料轨道的位置，以达到可重复利用而节省资源和成本的功效。
[0034]再者，如图3所示，固定台36开设有三个落料通孔362，落料通孔362沿着进料平台32等距离地布局设置，并且每一落料通孔362包括一斜面363，斜面363朝向一晶粒的进料方向，斜面363与进料平台32的水平夹角为30度。因此，本实施例通过落料通孔362的设置，使得没有依序排列在进料平台32上的晶粒将落入落料通孔362内重新进料，以避免因位置不正确的晶粒持续进给到吸料段2造成吸料机构无法吸取或吸取位置不正而导致测试失效。再者，落料通孔362的斜面363的设置则可以协助晶粒的落料，可以避免晶粒以垂直的角度落下而遭受损伤。
[0035]需要声明的是，上述实用新型内容及【具体实施方式】意在证明本实用新型所提供技术方案的实际应用，不应解释为对本实用新型保护范围的限定。本领域技术人员在本实用新型的精神和原理内，当可作各种修改、等同替换或改进。本实用新型的保护范围以所附权利要求书为准。
【权利要求】
1.一种可更换式吸料段的晶粒吸料轨道，其特征在于，所述晶粒吸料轨道包括: 一吸料段，所述吸料段包括一第一导引侧壁和一吸料平台，所述第一导引侧壁邻接于所述吸料平台的一侧缘并且向上凸出于所述吸料平台；和 一轨道本体，所述轨道本体包括一第二导引侧壁和一进料平台，所述第二导引侧壁邻接于所述进料平台的一侧缘并且向上凸出于所述进料平台； 其中，所述吸料段可拆卸式地组设在所述轨道本体的一侧端，所述吸料段的所述第一导引侧壁和所述吸料平台分别对应连接在所述轨道本体的所述第二导引侧壁和所述进料T D ο
2.根据权利要求1所述的可更换式吸料段的晶粒吸料轨道，其特征在于，所述吸料段为一 L型构件，所述吸料段包括一吸料侧和一固定侧，所述第一导引侧壁和所述吸料平台位于所述吸料侧。
3.根据权利要求2所述的可更换式吸料段的晶粒吸料轨道，其特征在于，所述晶粒吸料轨道还包括一锁附螺栓，所述吸料段的所述固定侧上开设有一贯穿孔，所述轨道本体的所述侧端上开设有一螺孔，所述锁附螺栓贯穿经过所述吸料段的所述贯穿孔并且锁附于所述轨道本体的所述螺孔。
4.根据权利要求2所述的可更换式吸料段的晶粒吸料轨道，其特征在于，所述轨道本体的所述侧端上凸设有一定位销，所述吸料段的所述固定侧上开设有一定位孔，所述轨道本体的所述定位销插设在所述吸料段的所述定位孔内。
5.根据权利要求2所述的可更换式吸料段的晶粒吸料轨道，其特征在于，所述轨道本体的所述侧端上凸设有一定位台，所述吸料段的所述固定侧上凹设有一定位槽，所述轨道本体的所述定位台容纳设置在所述吸料段的所述定位槽内。
6.根据权利要求1所述的可更换式吸料段的晶粒吸料轨道，其特征在于，所述轨道本体还包括一固定台，所述固定台邻接在所述进料平台，所述固定台上开设有至少一锁附长槽。
7.根据权利要求6所述的可更换式吸料段的晶粒吸料轨道，其特征在于，所述固定台开设有多个落料通孔，所述落料通孔沿着所述进料平台等距离地布设。
8.根据权利要求7所述的可更换式吸料段的晶粒吸料轨道，其特征在于，每一落料通孔包括一斜面，所述斜面朝向一晶粒的进料方向。
9.根据权利要求8所述的可更换式吸料段的晶粒吸料轨道，其特征在于，所述斜面与所述进料平台的水平夹角为30度。
10.根据权利要求7所述的可更换式吸料段的晶粒吸料轨道，其特征在于，所述多个落料通孔为三个落料通孔。
【文档编号】H01L21/67GK203760429SQ201420068349
【公开日】2014年8月6日 申请日期:2014年2月17日 优先权日:2013年12月26日
【发明者】黄德崑 申请人:台北歆科科技有限公司