一种用于高功率半导体激光器的合束装置制造方法
【专利摘要】本实用新型提供了一种用于高功率半导体激光器的合束装置，可以得到均匀性好且能量密度高的激光光源。该装置包括沿光路依次设置的半导体激光器叠阵、准直透镜组和合束系统，所述半导体激光器叠阵由若干个半导体激光单元组成；所述合束系统包括沿半导体激光器叠阵出光方向依次平行等间距排布的N个平行六面棱镜，并在半导体激光器堆叠高度方向上依次向上相同位移；平行六面棱镜有两个相邻的侧面面向半导体激光器叠阵；其中上部侧面与所述出光方向成45°夹角，下部侧面与上部侧面的夹角为135°。
【专利说明】一种用于高功率半导体激光器的合束装置
【技术领域】
[0001] 本实用新型专利属于激光应用领域，具体涉及一种用于高功率半导体激光器的合 束装置。
【背景技术】
[0002] 半导体激光器具有体积小、重量轻、可靠性高、使用寿命长、功耗低的优点，目前已 经广泛应用于国民经济的各个领域，但是当前半导体激光器的推广应用受到其光束质量的 制约，所以提高半导体激光器的光束质量、亮度和功率为当下重要的研究方向。激光合束技 术近年来发展迅速，它是一个改善光束质量、增加输出功率、提高功率密度的过程。激光合 束技术在激光加工和高功率光纤耦合产品中已得到广泛应用。
[0003]目前常用的激光合束方法有偏振合束，波长合束和空间合束。常见的偏振合束装 置由1/2玻片和偏振分光棱镜（PBS)组成，一部分激光通过1/2玻片将偏振态由TE变为 TM(或TM变为TE)，再与另一部分激光进行合束。由于半导体激光器的激光光源偏振度约 为90%，若米用偏振合束，光能损失较大，仅适用于快轴方向的合束，且输出光为混合偏振 光，不能再次与其他光源进行偏振合束；当使用半导体激光叠阵作为光源时，输出光斑仍保 留bar与bar之间的发光死区，均匀度较差。波长合束是不同波长的激光进行合束，但是在 要求激光具有单一波长的场合无法应用，使其在应用领域具有局限性。 实用新型内容
[0004] 为了克服现有技术的不足，本实用新型提供了一种用于高功率半导体激光器的合 束装置，可以得到均匀性好且能量密度高的激光光源，方案如下：
[0005] -种用于高功率半导体激光器的合束装置，包括沿光路依次设置的半导体激光器 叠阵、准直透镜组和合束系统，所述半导体激光器叠阵由若干个半导体激光单元组成；所述 合束系统包括沿半导体激光器叠阵出光方向依次平行等间距排布的N个平行六面棱镜，并 在半导体激光器堆叠高度方向上依次向上相同位移；平行六面棱镜有两个相邻的侧面面向 半导体激光器叠阵；其中上部侧面与所述出光方向成45°夹角，下部侧面与上部侧面的夹 角为135° ;
[0006] 合束系统中平行六面棱镜的个数N与半导体激光单元个数m满足关系：
[0007] m为偶数，则
【权利要求】
1. 一种用于高功率半导体激光器的合束装置，其特征在于：包括沿光路依次设置的半 导体激光器叠阵、准直透镜组和合束系统，所述半导体激光器叠阵由若干个半导体激光单 元组成；所述合束系统包括沿半导体激光器叠阵出光方向依次平行等间距排布的N个平行 六面棱镜，并在半导体激光器堆叠高度方向上依次向上相同位移；平行六面棱镜有两个相 邻的侧面面向半导体激光器叠阵；其中上部侧面与所述出光方向成45°夹角，下部侧面与 上部侧面的夹角为135° ; 合束系统中平行六面棱镜的个数N与半导体激光单元个数m满足关系： m为偶数，则
或者m为奇数，则
N个平行六面棱镜厚度、高度均相等且满足以下关系： 厚度满足关系：d < a < w+d 高度满足关系：h = (m-1) (w+d) 位置关系满足以下坐标关系：以第一片平行六面棱镜的上部侧面的最下端为原点〇， 则第N片平行六面棱镜的上部侧面的最下端Μ点的坐标值满足 y = (N-l) (w+d) x ^ a 其中，m为半导体激光器叠阵中半导体激光单元个数，N为平行六面棱镜个数，w为相邻 半导体激光单元发出的光束间距，d为半导体激光器单元发出的激光光束直径，a为每个平 行六面棱镜的厚度，h为每个平行六面棱镜的高度。
2. 根据权利要求1所述的用于高功率半导体激光器的合束装置，其特征在于：所述平 行六面棱镜的入射面和出射面镀增透膜。
3. 根据权利要求1所述的用于高功率半导体激光器的合束装置，其特征在于：所述半 导体激光单元为焊接在热沉上的半导体激光器芯片，所述的半导体激光器芯片为一个单管 芯片、微型巴条或者巴条，或者为多个单管芯片、微型巴条或者巴条。
4. 根据权利要求1所述的用于高功率半导体激光器的合束装置，其特征在于：所述准 直透镜组包括快轴准直透镜和慢轴准直阵列，其中快轴准直透镜可为准直D型非球面透 镜；慢轴准直阵列为单阵列柱面透镜。
5. 根据权利要求1所述的用于高功率半导体激光器的合束装置，其特征在于：所述N 个平行六面棱镜通过固定架固定，固定架的材料为塑料，铝，钢或者铜。
6. 根据权利要求1所述的用于高功率半导体激光器的合束装置，其特征在于：所述合 束系统采用N个相同平行六面棱镜的组合，N个平行六面棱镜依次紧密贴合，并依次向上位 移w+d，每片平行六面棱镜的厚度为w+d ; 或者这样的N个相同平行六面棱镜的组合为一体件。
【文档编号】H01S5/40GK203871655SQ201420238012
【公开日】2014年10月8日 申请日期:2014年5月9日 优先权日:2014年5月9日
【发明者】蔡磊, 刘兴胜, 杨凯, 王警卫 申请人:西安炬光科技有限公司