一种应用在涂胶机上的光刻胶过滤回收循环系统的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种应用在涂胶机上的智能光刻胶循环过滤系统，包括光刻胶供给槽、光刻胶补给液槽、光刻胶过滤液回收液槽，光刻胶供给槽有管道与涂胶机相连通；涂胶机有管道与光刻胶过滤液回收液槽相连通，管道上串联第一自吸式水泵、光刻胶过滤器；光刻胶过滤液回收液槽有管道与光刻胶供给槽相连通，管道上有第二自吸式水泵；光刻胶补给液槽有管道与光刻胶供给槽相连通，管道上有第三自吸式水泵；光刻胶供给槽一侧设置有检测上水位传感器和检测下水位传感器，分别与第二自吸式水泵相连接；所述光刻胶供给槽在补给液管道进口处设置有补充液监控传感器，连接报警灯并与第三自吸式水泵连接。
【专利说明】一种应用在涂胶机上的光刻胶过滤回收循环系统
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及光刻胶回收【技术领域】，具体地说涉及一种应用在涂胶机上的光刻胶过滤回收循环系统。
【背景技术】
[0002]在半导体光刻匀胶工艺中，在黄光线涂布段，涂胶机向玻璃基板上使用滚轮涂胶的方式，将光刻胶印在玻璃基板上。但目前的半导体光刻匀胶工艺，大多存在如下缺陷:1、由于操作人员在涂胶时，要不断观察玻璃基板的涂胶效果，还需要不断更换光刻胶桶，确保光刻胶不中断向设备的供给；操作人员设备的多种操作，会影响产品检测效率，导致涂胶使用量的增多；2、由于光刻胶在循环使用中，会受到污染，并影响玻璃基板的涂胶效果，所以在循环使用多次后就需更换新的光刻胶，导致涂胶使用量的增多；3、光刻胶保质期为半年时间，而更换下来的光刻胶的杂质过多，无法继续使用，如作为废品丢弃会照成较大的浪费。
[0003]由于光刻胶被誉为液体黄金，其价格昂贵并且在生产工艺中90%以上的液体都被排掉，难以有效的回收利用，造成了极大的浪费，因此行业内急需一种能够对光刻胶进行过滤回收的装置，但现有的光刻胶回收系统难以对光刻胶进行过滤回收利用。
实用新型内容
[0004]本实用新型的目的是针对上述现有技术的缺陷，提供一种应用在涂胶机上的智能光刻胶循环过滤系统，以减少设备操作人员对设备光刻胶供给的管理，增加操作人员对产品质量的监督检测时间，为了加强光刻胶的回收再利用，为企业节约生产成本。
[0005]为了实现上述目的，本实用新型的技术方案是:
[0006]—种应用在涂胶机上的智能光刻胶循环过滤系统,包括光刻胶供给槽、光刻胶补给液槽、光刻胶过滤液回收液槽，所述光刻胶供给槽设置有光刻胶供给管道，与涂胶机相连通，为涂胶机提供光刻胶；所述涂胶机设置有回收管道，与光刻胶过滤液回收液槽相连通，所述回收管道上间隔串联设置有第一自吸式水泵、光刻胶过滤器；所述光刻胶过滤液回收液槽设置有回收过滤液管道，与光刻胶供给槽相连通，所述回收过滤液管道上设置有第二自吸式水泵；所述光刻胶补给液槽设置有补给液管道，与光刻胶供给槽相连通，所述补给液管道上设置有第三自吸式水泵；所述光刻胶供给槽一侧设置有检测上水位传感器和检测下水位传感器，分别与第二自吸式水泵相连接，所述检测上水位传感器控制第二自吸式水泵的关闭；所述检测下水位传感器控制第二自吸式水泵的打开，通过检测上水位传感器、检测下水位传感器对第二自吸式水泵的控制，进而控制光刻胶供给槽中光刻胶容量的范围恒定；所述光刻胶供给槽在补给液管道进口处设置有补充液监控传感器，所述补充液监控传感器连接报警灯并与第三自吸式水泵连接，通过控制第三自吸式水泵，将光刻胶补充液槽的光刻胶抽取补充给光刻胶供给槽，通过报警灯给出更换光刻胶补充液槽的警示。
[0007]作为对上述技术方案的改进，所述光刻胶过滤器最少为两个，依次串联在第一自吸式水泵和光刻胶过滤液回收液槽之间的回收管道上。
[0008]与现有技术相比，本实用新型的有益效果是:
[0009]本实用新型的应用在涂胶机上的智能光刻胶循环过滤系统，回收的光刻胶可以无限次的循环使用，大大延长了光刻胶的使用时间，操作人员从每天更换几次到几天更换一次光刻胶，操作人员可节约大量时间来关注产品良率；每次报警灯亮起时，说明光刻胶供给槽的光刻胶已经用完，光刻胶补充液槽的光刻胶已经开始补充给光刻胶供给槽，待补充完成后，需更换光刻胶补充液槽的光刻胶，此时更换补充液避免了对正常生产的影响；光刻胶的回收再利用，增强了光刻胶利用率，减少了浪费，为企业节约了生产成本。
【专利附图】
【附图说明】
[0010]图1为本实用新型的结构示意图。
[0011]图2为本实用新型的光刻胶供给槽的结构示意图。
【具体实施方式】
[0012]下面结合附图及具体的实施例对本实用新型作进一步地说明。
[0013]如图1和2所示，本实用新型的应用在涂胶机上的智能光刻胶循环过滤系统，包括光刻胶供给槽1、光刻胶补给液槽2、光刻胶过滤液回收液槽3，所述光刻胶供给槽I设置有光刻胶供给管道4，与涂胶机5相连通，为涂胶机5提供光刻胶；所述涂胶机5设置有回收管道6，与光刻胶过滤液回收液槽3相连通，所述回收管道6上间隔串联有第一自吸式水泵7、光刻胶过滤器8 ;所述光刻胶过滤液回收液槽3设置有回收过滤液管道9，与光刻胶供给槽I相连通，所述回收过滤液管道9上设置有第二自吸式水泵10 ;所述光刻胶补给液槽2设置有补给液管道11，与光刻胶供给槽I相连通，所述补给液管道11上设置有第三自吸式水泵12 ;所述光刻胶供给槽I 一侧设置有检测上水位传感器13和检测下水位传感器14，分别与第二自吸式水泵10相连接，所述检测上水位传感器13控制第二自吸式水泵10的关闭；所述检测下水位传感器14控制第二自吸式水泵10的打开，通过检测上水位传感器13、检测下水位传感器14对第二自吸式水泵10的控制，进而控制光刻胶供给槽I中光刻胶容量的范围恒定；所述光刻胶供给槽I在补给液管道进口处设置有补充液监控传感器15，所述补充液监控传感器15连接报警灯16并与第三自吸式水泵12连接，通过控制第三自吸式水泵12，将光刻胶补充液槽2的光刻胶抽取补充给光刻胶供给槽1，通过报警灯15给出更换光刻胶补充液槽2的警示。
[0014]所述光刻胶过滤器8最少为两个，依次串联在第一自吸式水泵7和光刻胶过滤液回收液槽3之间的回收管道6上。
[0015]以上所述仅是本实用新型的一种实施方式，应当指出，对于本【技术领域】的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进，这些改进也应视为本实用新型的保护范围。
【权利要求】
1.一种应用在涂胶机上的智能光刻胶循环过滤系统，其特征在于:该系统包括光刻胶供给槽、光刻胶补给液槽、光刻胶过滤液回收液槽，所述光刻胶供给槽设置有光刻胶供给管道，与涂胶机相连通，为涂胶机提供光刻胶；所述涂胶机设置有回收管道，与光刻胶过滤液回收液槽相连通，所述回收管道上间隔串联设置有第一自吸式水泵、光刻胶过滤器；所述光刻胶过滤液回收液槽设置有回收过滤液管道，与光刻胶供给槽相连通，所述回收过滤液管道上设置有第二自吸式水泵；所述光刻胶补给液槽设置有补给液管道，与光刻胶供给槽相连通，所述补给液管道上设置有第三自吸式水泵；所述光刻胶供给槽一侧设置有检测上水位传感器和检测下水位传感器，分别与第二自吸式水泵相连接，所述检测上水位传感器控制第二自吸式水泵的关闭；所述检测下水位传感器控制第二自吸式水泵的打开，通过检测上水位传感器、检测下水位传感器对第二自吸式水泵的控制，进而控制光刻胶供给槽中光刻胶容量的范围恒定；所述光刻胶供给槽在补给液管道进口处设置有补充液监控传感器，所述补充液监控传感器连接报警灯并与第三自吸式水泵连接。
2.根据权利要求1所述的应用在涂胶机上的智能光刻胶循环过滤系统，其特征在于:所述光刻胶过滤器最少为两个，依次串联在第一自吸式水泵和光刻胶过滤液回收液槽之间的回收管道上。
【文档编号】H01L21/67GK204086808SQ201420549165
【公开日】2015年1月7日 申请日期:2014年9月24日 优先权日:2014年9月24日
【发明者】张宗华 申请人:焦作市金宇阳高科电子有限公司