一种片盒精度的控制装置及控制方法与流程

技术总结
本发明公开一种片盒精度的控制装置，包括运动单元、导向单元、动力单元及检测单元，当片盒被放置在片库上时，所述运动单元沿所述导向单元压缩所述动力单元至所述检测单元的触发范围，根据所述检测单元的触发情况判断所述片盒是否正确地放置于所述片库上。

技术研发人员：黄明;王邵玉
受保护的技术使用者：上海微电子装备有限公司
文档号码：201510681240
技术研发日：2015.10.21
技术公布日：2017.05.03