用于短弧高压灯的电极的制作方法

文档序号:11851873阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种放电灯(9),包含:

阳极(8);和

阴极(1),其包括侧面区域(4)和具有通过离子注入诱变的发射性材料掺杂物(2)的尖端区域(5),并且

其中所述阴极(1)由不包括含钍钨的材料制造。

2.根据权利要求1所述的放电灯(9),其中所述发射性材料掺杂物(2)是从包括Y(或Y2O3)、Ba(或BaO)、Zr(或ZrO)、La(或La2O3)或Ce(或CeO2)的组选择的一个或多个材料。

3.根据权利要求2所述的放电灯(9),其中阴极衬底材料是钨或利用La2O3、CeO2、Y2O3、NbO、SmO、ZrO、BaO的一个或多个掺杂的钨。

4.根据权利要求1所述的放电灯(9),其中所述侧面区域(4)相比于所述尖端区域(5)具有更少的或不含有所述发射性材料掺杂物(2)。

5.根据权利要求1所述的放电灯(9),其中所述阴极(1)还包括覆盖所述侧面区域(5)的扩散势垒(7)。

6.根据权利要求5所述的放电灯(9),其中所述扩散势垒(7)由碳化钨、硝酸钨、硝酸钛、钽或碳化钽形成。

7.根据权利要求1所述的放电灯(9),其中所述尖端区域(5)覆盖在所述阴极(1)的尖端之下至少1mm的区域。

8.一种用于放电设备(9)的电极(1),其由包含下述步骤的过程制备:

掩蔽(3)所述电极的侧壁部分但留下所述电极的尖端区域不被掩蔽;以及

将发射性材料掺杂物注入(2)所述电极的尖端区域,

其中所述电极(1)由不包括含钍钨的材料形成。

9.根据权利要求8所述的电极(1),其中所述发射性材料掺杂物(2)是从包括Y(或Y2O3)、Ba(或BaO)、Zr(或ZrO)、La(或La2O3)或Ce(或CeO2)的组选择的一个或多个材料。

10.根据权利要求8所述的电极(1),其中所述电极(1)包括衬底材料,所述衬底材料是钨或利用La2O3、CeO2、Y2O3、NbO、SmO、ZrO、BaO的一个或多个掺杂的钨。

11.一种用于放电设备(9)的电极(1),其由包含下述步骤的过程制备:

使用离子注入,将发射性材料掺杂物注入(2)所述电极;以及

在侧壁(4)上沉积扩散势垒(7),以覆盖经注入电极(1)的部分,

其中所述电极(1)由不包括含钍钨的材料形成。

12.根据权利要求11所述的电极(1),其中所述发射性材料掺杂物(2)是从包括Y(或Y2O3)、Ba(或BaO)、Zr(或ZrO)、La(或La2O3)或Ce(或CeO2)的组选择的一个或多个材料。

13.根据权利要求11所述的电极(1),其中所述电极(1)包括衬底材料,所述衬底材料是钨或利用La2O3、CeO2、Y2O3、NbO、SmO、ZrO、BaO的一个或多个掺杂的钨。

14.根据权利要求11所述的电极(1),其中所述扩散势垒(7)是WxC、WN、TiN、Ta或TaC的层。

15.根据权利要求14所述的电极(1),其中所述扩散势垒(7)至少10um厚。

16.根据权利要求12所述的电极(1),其中所述放电设备(9)是短弧高压灯。

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