用于通过质谱仪进行亚微米元素图像分析的设备和方法与流程

文档序号:13765890阅读:来源:国知局
技术总结
本发明提供一种用于对平面样本进行元素分析的质谱仪系统。在一些实施方案中,所述质谱仪系统包括:原离子源,其能够利用直径小于1mm的原离子束来照射平面样本上的区段;c)正交离子质荷比分析器,其定位在样本接口下游,所述分析器被配置来通过飞行时间根据二次元素原子离子的质荷比来将所述二次元素原子离子进行分离;d)离子检测器,其用于检测所述二次元素原子离子并且产生质谱测量结果;以及e)同步器,其中所述系统被配置成使得所述原离子束跨所述平面样本进行二维扫描,并且所述同步器将所述质谱测量结果与所述平面样本上的位置相关联。

技术研发人员:S·C·本多尔;R·M·安吉洛;G·P·诺兰
受保护的技术使用者:斯坦福大学托管董事会
文档号码:201580020875
技术研发日:2015.03.30
技术公布日:2016.12.14

当前第3页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1