超共形电镀的制作方法

技术总结
一种用于至少部分地填充工件上的特征的方法，所述方法包括使用电镀电解液在工件上形成的种晶层上电化学沉积金属化层，所述电镀电解液具有至少一种电镀金属离子，约6至约13的pH范围，有机添加剂，以及第一金属络合剂与第二金属络合剂。

技术研发人员：克里斯·帕贝利科;罗伊·沙维夫;约翰·L·克洛克;埃迈什·T·伊斯梅尔
受保护的技术使用者：应用材料公司
文档号码：201580021601
技术研发日：2015.05.08
技术公布日：2017.02.22