1.一种超级电容器，包括：
衬底；
至少两个多孔电极集成在衬底内；和
在所述至少两个多孔电极之间延伸的电解质，所述电解质与所述衬底一体化，所述电解质在所述衬底内，
所述至少两个多孔电极和电解质配置成作为超级电容器存储电荷。
2.根据权利要求1所述的超级电容器，其中，所述衬底在三个方向上具有最大尺寸，所述至少两个电极完全位于所述衬底的最大尺寸内。
3.根据权利要求1所述的超级电容器，还包括覆盖所述至少两个多孔电极的集电器。
4.根据权利要求1所述的超级电容器，其中，所述至少两个多孔电极间隔开并且实质上彼此平行。
5.根据权利要求1所述的超级电容器，其中所述衬底包括硅。
6.根据权利要求1所述的超级电容器，其中，所述至少两个多孔电极和电解质在所述衬底内形成非直线路径。
7.根据权利要求6所述的超级电容器，其中，所述至少两个多孔电极和电解质在所述衬底内形成蛇形路径。
8.根据权利要求1所述的超级电容器，包括形成在衬底上和/或衬底中的MEMS结构，所述MEMS结构与所述至少两个多孔电极电耦合，所述至少两个多孔电极和电解质与MEMS结构。
9.根据权利要求1所述的超级电容器，其中所述至少两个多孔电极包括石墨烯。
10.根据权利要求1所述的超级电容器，还包括形成在所述衬底上和/或衬底中的有源电路，所述有源电路与所述至少两个多孔电极电耦合。
11.一种能量存储装置，包括：
衬底；
集成在衬底内的至少两个电极；和
在所述至少两个电极之间延伸的电解质，所述电解质与所述基底一体化，所述电解质在所述基底内，
所述至少两个电极和电解质配置成存储电荷。
12.根据权利要求11所述的能量存储装置，其中所述至少两个电极和电解质被配置为将电荷作为电池存储。
13.根据权利要求11所述的能量存储装置，其中所述衬底包括硅。
14.根据权利要求11所述的能量存储装置，其中所述至少两个电极和电解质在所述衬底内形成非直线路径。
15.根据权利要求11所述的能量存储装置，还包括在所述电极之一和所述电解质之间的分离器。
16.根据权利要求11所述的能量存储装置，还包括MEMS设备和衬底上和/或衬底中的有源电路中的一个或两个。
17.一种形成超级电容器的方法，所述方法包括：
提供具有初始外表面的衬底；
在所述衬底内形成至少两个多孔电极，所述至少两个多孔电极实质上形成为不延伸超过所述衬底的初始外表面；
形成电解质区域以接收电解质，所述电解质区域在所述至少两个电极之间；
将电解质添加到电解质区域，电解质基本上形成为不延伸超过衬底的初始外表面；和
形成至少两个集电器，每个电极与一个集电器电连通。
18.根据权利要求17所述的方法，其中形成电解质区域包括：
在所述至少两个电极之间形成多个侧壁；和
氧化侧壁；和
去除所述氧化侧壁以在所述至少两个电极之间形成开放室。
19.根据权利要求17所述的方法，其中，形成两个多孔电极包括在所述衬底中形成第一阱和第二阱，所述第一阱和所述第二阱彼此间隔开并且大体上彼此平行，所述第一阱和所述第二阱不直行。
20.根据权利要求17所述的方法，其中添加电解质包括：
向电解质区域中加入液态电解质；和
对液态电解质进行真空渗透。