电容元件的制作方法

文档序号:12129214阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种电容元件,其特征在于具备:

第一电极,设置在第一配线层内;

第二电极,设置在所述第一配线层内,且以闭路包围所述第一电极的周围;及

第一通孔,连接于所述第一电极,且贯通所述第一配线层而设置。

2.根据权利要求1所述的电容元件,其特征在于还具备:

第二配线层,积层在所述第一配线层;及

第二通孔,连接于所述第二电极,且贯通所述第一配线层而设置;且

所述第一通孔贯通所述第一配线层及所述第二配线层而设置。

3.根据权利要求2所述电容元件,其特征在于:

所述第一配线层包含绝缘层。

4.根据权利要求3所述的电容元件,其特征在于:

所述第一通孔为在一端部具有所述第一电极的柱状体。

5.根据权利要求4所述的电容元件,其特征在于:

所述第二通孔为在一端部具有所述第二电极的筒状体。

6.根据权利要求5所述的电容元件,其特征在于:

所述第一电极为正方形,所述第二电极的内周的形状为与所述第一电极相似的正方形,且包含与所述正方形的各边平行的边。

7.根据权利要求5所述的电容元件,其特征在于:

所述第一电极为圆形。

8.根据权利要求7所述的电容元件,其特征在于:

所述第二电极的内周的形状为正六边形。

9.根据权利要求7所述的电容元件,其特征在于:

所述第二电极的内周的形状为与所述第一电极相似的圆形。

10.根据权利要求9所述的电容元件,其特征在于:

在所述第一配线层上,所述第一电极的中心与第二电极的内周的形状的中心一致。

11.一种电容元件,其特征在于具备:

多个第一电极,设置在第一配线层内;

第二电极,设置在所述第一配线层内,以闭路包围所述多个第一电极的各者的周围;

绝缘层,设置在所述第一电极与所述第二电极之间;及

多个第一通孔,连接于所述多个第一电极的各者,且贯通所述第一配线层。

12.根据权利要求11所述的电容元件,其特征在于还具备:

第二配线层,积层在所述第一配线层;及

第二通孔,连接于所述第二电极,且贯通所述第一配线层及所述第二配线层而设置。

13.根据权利要求12所述的电容元件,其特征在于:

所述多个第一通孔为在一端部分别具有所述多个第一电极的柱状体,且

所述第二通孔为在一端部具有所述第二电极的筒状体。

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