技术总结
本文提供了用于增强沟槽隔离集成电路中的带宽的装置和方法。在一些配置中，形成槽隔离区域之间的漂浮区域的辅助沟槽能够将有源器件区域的寄生侧壁电容隔离于地或AC地。通过这种方式，有源器件区域由辅助沟槽合并，从而提高电路带宽且增强电路性能。当布置或者组合在电路分支内时，每个漂浮槽内的晶体管能够以相对小的寄生位移电流工作且能够具有改进的性能。
技术研发人员：E·P·乔丹;J·G·费法
受保护的技术使用者：美国亚德诺半导体公司
文档号码：201610318384
技术研发日：2016.05.13
技术公布日：2016.11.23