1.一种堆叠式高温退火工艺，其特征是，具体操作步骤如下：
(1)将刻蚀后的硅片以100-150片/叠的方式叠放整齐，放入退火用的石英片架中；
(2)用石英盖板盖在石英片架的硅片上并压好硅片，将石英片架送入高温扩散/氧化炉中；
(3)将高温扩散/氧化炉的炉管升温并稳定至在650-850℃，进行退火，保温时间10-30min，通入20000sccm的氮气；
(4)降温出炉：将高温扩散/氧化炉的炉管降温至600-700℃，保温时间600s，出炉。
2.根据权利要求1所述的一种堆叠式高温退火工艺，其特征是，在步骤(1)和步骤(2)中，所述的石英片架包括石英底板(1)、石英挡板(7)和若干石英细杆(3)，所述石英细杆(3)的一部分置于石英底板(1)的左右两侧边上，所述石英细杆(3)的另一部分置于石英挡板(7)上，所述的石英挡板(7)置于石英底板(1)的前后两侧边上。
3.根据权利要求2所述的一种堆叠式高温退火工艺，其特征是，所述石英底板(1)的左右两侧边上设有四根石英细杆(3)，其中石英底板(1)的左侧边上有两根石英细杆(3)，石英底板(1)的右侧边上有两根石英细杆(3)，石英底板(1)上左右两侧边的石英细杆(3)左右对称分布。
4.根据权利要求3所述的一种堆叠式高温退火工艺，其特征是，所述石英底板(1)上左右两侧边的两根石英细杆(3)上端外侧面上均设有小石英管(5)，所述的小石英管(5)与石英细杆(3)之间采用焊接连接。
5.根据权利要求2所述的一种堆叠式高温退火工艺，其特征是，所述石英底板(1)的形状为正方形，所述的石英挡板(7)上设有至少一根石英细杆(3)，其中石英底板(1)上前后两侧边的石英挡板(7)前后对称分布。
6.根据权利要求2或3或4或5所述的一种堆叠式高温退火工艺，其特征是，所述石英底板(1)的前后两侧边中间处均设有出片槽(6)，所述石英底板(1)的底部四周设有支撑脚(4)。
7.根据权利要求2或3或4或5所述的一种堆叠式高温退火工艺，其特征是，所述的石英底板(1)上设有若干镂空窗(2)，所述的镂空窗(2)均匀分布在石英底板(1)上。
8.根据权利要求2所述的一种堆叠式高温退火工艺，其特征是，在步骤(2)中，所述的石英盖板包括盖板本体(8)和石英盖顶(9)，所述盖板本体(8)的形状与石英底板(1)的形状相一致，所述盖板本体(8)的四周边缘上设有与石英细杆(3)相对应的凹槽(10)，所述的石英盖顶(9)置于盖板本体(8)的中心处。